JP2015066611A - アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 - Google Patents

アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 Download PDF

Info

Publication number
JP2015066611A
JP2015066611A JP2013201046A JP2013201046A JP2015066611A JP 2015066611 A JP2015066611 A JP 2015066611A JP 2013201046 A JP2013201046 A JP 2013201046A JP 2013201046 A JP2013201046 A JP 2013201046A JP 2015066611 A JP2015066611 A JP 2015066611A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
driving
voltage
drive
actuators
variable
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2013201046A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2015066611A5 (enExample
Inventor
望 廣久保
Nozomi Hirokubo
望 廣久保
佐野　朗
Akira Sano
朗 佐野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2013201046A priority Critical patent/JP2015066611A/ja
Priority to CN201410488590.7A priority patent/CN104516100B/zh
Priority to US14/494,996 priority patent/US9891424B2/en
Publication of JP2015066611A publication Critical patent/JP2015066611A/ja
Publication of JP2015066611A5 publication Critical patent/JP2015066611A5/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
    • B81B7/008—MEMS characterised by an electronic circuit specially adapted for controlling or driving the same
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
    • H02N1/002—Electrostatic motors
    • H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
    • B81B2207/00—Microstructural systems or auxiliary parts thereof
    • B81B2207/03—Electronic circuits for micromechanical devices which are not application specific, e.g. for controlling, power supplying, testing, protecting

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
  • Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
  • Micromachines (AREA)
JP2013201046A 2013-09-27 2013-09-27 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 Withdrawn JP2015066611A (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013201046A JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2013-09-27 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器
CN201410488590.7A CN104516100B (zh) 2013-09-27 2014-09-23 致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备
US14/494,996 US9891424B2 (en) 2013-09-27 2014-09-24 Actuator drive system, optical module, and electronic apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013201046A JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2013-09-27 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2015066611A true JP2015066611A (ja) 2015-04-13
JP2015066611A5 JP2015066611A5 (enExample) 2016-11-04

Family

ID=52739906

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013201046A Withdrawn JP2015066611A (ja) 2013-09-27 2013-09-27 アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9891424B2 (enExample)
JP (1) JP2015066611A (enExample)
CN (1) CN104516100B (enExample)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6010275B2 (ja) 2010-03-15 2016-10-19 セイコーエプソン株式会社 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
CN106289514A (zh) * 2016-07-25 2017-01-04 四川新健康成生物股份有限公司 多波长光束光强检测方法、光电转换电路和生化分析仪
DE102016214565A1 (de) * 2016-08-05 2018-02-08 Robert Bosch Gmbh Interferometer und Verfahren zum Betreiben desselben
GB201805301D0 (en) * 2018-03-29 2018-05-16 Adlens Ltd Improvements In Or Relating To Variable Focusing Power Optical Devices
JP7110081B2 (ja) * 2018-12-18 2022-08-01 浜松ホトニクス株式会社 制御装置、光学フィルタシステム、制御方法
JP7181784B2 (ja) * 2018-12-18 2022-12-01 浜松ホトニクス株式会社 モニタ装置、光学フィルタシステム、モニタ方法、電流発生装置
JP7691252B2 (ja) * 2021-03-02 2025-06-11 ローム株式会社 制御システムおよび制御方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02257676A (ja) * 1989-03-29 1990-10-18 Sharp Corp 波長選択性受光素子
JPH11133039A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Sharp Corp プローブ制御装置
JP2002350749A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Sony Corp 光変調素子駆動システム及びその駆動装置、並びに投映システム
WO2003065103A1 (en) * 2002-01-29 2003-08-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Shape-variable mirror and light control device having the shape-variable mirror
US20100201291A1 (en) * 2009-01-13 2010-08-12 Cheiky Michael C Multi-element piezoelectric actuator driver
JP2011191554A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Epson Corp 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP2012220656A (ja) * 2011-04-07 2012-11-12 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101546575B (zh) 2001-01-30 2012-11-07 松下电器产业株式会社 备有可形变镜子的信息装置
JP4210245B2 (ja) * 2004-07-09 2009-01-14 セイコーエプソン株式会社 波長可変フィルタ及び検出装置
US7733553B2 (en) * 2005-09-21 2010-06-08 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Light modulator with tunable optical state
JP2008197362A (ja) * 2007-02-13 2008-08-28 Olympus Corp 可変分光素子
JP5589459B2 (ja) 2010-03-15 2014-09-17 セイコーエプソン株式会社 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器
JP5874271B2 (ja) 2011-09-27 2016-03-02 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP5879910B2 (ja) 2011-10-18 2016-03-08 セイコーエプソン株式会社 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器
JP5888080B2 (ja) 2012-04-11 2016-03-16 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP6015090B2 (ja) 2012-04-18 2016-10-26 セイコーエプソン株式会社 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器
JP2013238755A (ja) 2012-05-16 2013-11-28 Seiko Epson Corp 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP2014059497A (ja) 2012-09-19 2014-04-03 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びｍｅｍｓデバイス

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02257676A (ja) * 1989-03-29 1990-10-18 Sharp Corp 波長選択性受光素子
JPH11133039A (ja) * 1997-10-31 1999-05-21 Sharp Corp プローブ制御装置
JP2002350749A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Sony Corp 光変調素子駆動システム及びその駆動装置、並びに投映システム
WO2003065103A1 (en) * 2002-01-29 2003-08-07 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Shape-variable mirror and light control device having the shape-variable mirror
US20100201291A1 (en) * 2009-01-13 2010-08-12 Cheiky Michael C Multi-element piezoelectric actuator driver
JP2011191554A (ja) * 2010-03-15 2011-09-29 Seiko Epson Corp 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器
JP2012220656A (ja) * 2011-04-07 2012-11-12 Seiko Epson Corp 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20150092275A1 (en) 2015-04-02
CN104516100A (zh) 2015-04-15
CN104516100B (zh) 2019-05-17
US9891424B2 (en) 2018-02-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6019863B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法
CN107479182B (zh) 光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机
US9335537B2 (en) Variable wavelength interference filter, optical filter device, optical module, and electronic apparatus
JP6107186B2 (ja) 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ
JP2015066611A (ja) アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器
CN109100861B (zh) 致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法
US9939629B2 (en) Optical filter device, optical module, and electronic apparatus
US11347049B2 (en) MEMS driving device, electronic apparatus, and MEMS driving method
CN105738997B (zh) 光学滤波器装置、光学模块、以及电子设备
JP6036341B2 (ja) 光学モジュール、及び電子機器
JP2015141209A (ja) アクチュエーター制御装置、光学モジュール、及び電子機器
JP5888080B2 (ja) 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP2015025773A (ja) 光学モジュール及び電子機器
JP6056464B2 (ja) 光学モジュール及び電子機器
JP6064468B2 (ja) 光学モジュール及び電子機器
JP6566061B2 (ja) 波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP2015225148A (ja) 光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの制御方法
JP6296128B2 (ja) 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法
JP2014174365A (ja) 干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、干渉フィルターの製造方法、及び基板間接続構造

Legal Events

Date Code Title Description
RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20150113

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20160617

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20160624

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160914

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20160914

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20170724

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20170801

A761 Written withdrawal of application

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761

Effective date: 20170919