CN104516100B - 致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备 - Google Patents
致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN104516100B CN104516100B CN201410488590.7A CN201410488590A CN104516100B CN 104516100 B CN104516100 B CN 104516100B CN 201410488590 A CN201410488590 A CN 201410488590A CN 104516100 B CN104516100 B CN 104516100B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- variable
- actuator
- driving
- voltage
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/001—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements based on interference in an adjustable optical cavity
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B7/00—Microstructural systems; Auxiliary parts of microstructural devices or systems
- B81B7/008—MEMS characterised by an electronic circuit specially adapted for controlling or driving the same
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N1/00—Electrostatic generators or motors using a solid moving electrostatic charge carrier
- H02N1/002—Electrostatic motors
- H02N1/006—Electrostatic motors of the gap-closing type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2207/00—Microstructural systems or auxiliary parts thereof
- B81B2207/03—Electronic circuits for micromechanical devices which are not application specific, e.g. for controlling, power supplying, testing, protecting
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
- Micromachines (AREA)
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013201046A JP2015066611A (ja) | 2013-09-27 | 2013-09-27 | アクチュエーターの駆動システム、光学モジュール及び電子機器 |
| JP2013-201046 | 2013-09-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN104516100A CN104516100A (zh) | 2015-04-15 |
| CN104516100B true CN104516100B (zh) | 2019-05-17 |
Family
ID=52739906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201410488590.7A Active CN104516100B (zh) | 2013-09-27 | 2014-09-23 | 致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US9891424B2 (enExample) |
| JP (1) | JP2015066611A (enExample) |
| CN (1) | CN104516100B (enExample) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6010275B2 (ja) | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| CN106289514A (zh) * | 2016-07-25 | 2017-01-04 | 四川新健康成生物股份有限公司 | 多波长光束光强检测方法、光电转换电路和生化分析仪 |
| DE102016214565A1 (de) * | 2016-08-05 | 2018-02-08 | Robert Bosch Gmbh | Interferometer und Verfahren zum Betreiben desselben |
| GB201805301D0 (en) * | 2018-03-29 | 2018-05-16 | Adlens Ltd | Improvements In Or Relating To Variable Focusing Power Optical Devices |
| JP7110081B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-08-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | 制御装置、光学フィルタシステム、制御方法 |
| JP7181784B2 (ja) * | 2018-12-18 | 2022-12-01 | 浜松ホトニクス株式会社 | モニタ装置、光学フィルタシステム、モニタ方法、電流発生装置 |
| JP7691252B2 (ja) * | 2021-03-02 | 2025-06-11 | ローム株式会社 | 制御システムおよび制御方法 |
Family Cites Families (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0766982B2 (ja) * | 1989-03-29 | 1995-07-19 | シャープ株式会社 | 波長選択性受光素子 |
| JP3497359B2 (ja) * | 1997-10-31 | 2004-02-16 | シャープ株式会社 | プローブ制御装置 |
| CN101546575B (zh) | 2001-01-30 | 2012-11-07 | 松下电器产业株式会社 | 备有可形变镜子的信息装置 |
| JP2002350749A (ja) * | 2001-05-23 | 2002-12-04 | Sony Corp | 光変調素子駆動システム及びその駆動装置、並びに投映システム |
| KR101073175B1 (ko) * | 2002-01-29 | 2011-10-12 | 파나소닉 주식회사 | 가변형 미러, 및 당해 가변형 미러를 구비한 광 제어 장치 |
| JP4210245B2 (ja) * | 2004-07-09 | 2009-01-14 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変フィルタ及び検出装置 |
| US7733553B2 (en) * | 2005-09-21 | 2010-06-08 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Light modulator with tunable optical state |
| JP2008197362A (ja) * | 2007-02-13 | 2008-08-28 | Olympus Corp | 可変分光素子 |
| US20100201291A1 (en) * | 2009-01-13 | 2010-08-12 | Cheiky Michael C | Multi-element piezoelectric actuator driver |
| JP6010275B2 (ja) * | 2010-03-15 | 2016-10-19 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター並びにそれを用いた分析機器及び光機器 |
| JP5589459B2 (ja) | 2010-03-15 | 2014-09-17 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター及び光フィルターモジュール並びに分析機器及び光機器 |
| JP5724557B2 (ja) | 2011-04-07 | 2015-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光モジュール、および光分析装置 |
| JP5874271B2 (ja) | 2011-09-27 | 2016-03-02 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP5879910B2 (ja) | 2011-10-18 | 2016-03-08 | セイコーエプソン株式会社 | 光フィルター、光フィルターモジュール、分析機器、及び光機器 |
| JP5888080B2 (ja) | 2012-04-11 | 2016-03-16 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP6015090B2 (ja) | 2012-04-18 | 2016-10-26 | セイコーエプソン株式会社 | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、及び電子機器 |
| JP2013238755A (ja) | 2012-05-16 | 2013-11-28 | Seiko Epson Corp | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
| JP2014059497A (ja) | 2012-09-19 | 2014-04-03 | Seiko Epson Corp | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及びmemsデバイス |
-
2013
- 2013-09-27 JP JP2013201046A patent/JP2015066611A/ja not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-09-23 CN CN201410488590.7A patent/CN104516100B/zh active Active
- 2014-09-24 US US14/494,996 patent/US9891424B2/en active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2015066611A (ja) | 2015-04-13 |
| US20150092275A1 (en) | 2015-04-02 |
| CN104516100A (zh) | 2015-04-15 |
| US9891424B2 (en) | 2018-02-13 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN104516100B (zh) | 致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备 | |
| CN107479182B (zh) | 光模块、电子设备、食物分析装置以及分光照相机 | |
| CN104656176B (zh) | 光学滤波器装置、光学模块以及电子设备 | |
| JP6019863B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、および電子機器、並びに波長可変干渉フィルターの製造方法 | |
| US10782653B2 (en) | Actuator apparatus, electronic device, and control method | |
| JP6107186B2 (ja) | 光学モジュール、電子機器、及び分光カメラ | |
| CN109100861B (zh) | 致动器控制装置、光学模块、电子设备及致动器控制方法 | |
| CN105319797B (zh) | Mems驱动装置、电子设备及mems驱动方法 | |
| CN103376544B (zh) | 波长可变干涉滤波器、光滤波器装置、光模块及电子设备 | |
| US20150153564A1 (en) | Wavelength variable interference filter, optical module, and electronic device | |
| CN103376545A (zh) | 波长可变干涉滤波器、滤光器设备、光模块及电子设备 | |
| CN104516040A (zh) | 干涉滤波器、光学滤波器装置、光模块以及电子设备 | |
| CN103969727B (zh) | 光学模块以及电子设备 | |
| CN103217732A (zh) | 干涉滤波器、光学模块以及电子设备 | |
| JP2015141209A (ja) | アクチュエーター制御装置、光学モジュール、及び電子機器 | |
| JP5888080B2 (ja) | 波長可変干渉フィルター、光学フィルターデバイス、光学モジュール、電子機器、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
| JP5879893B2 (ja) | 光学フィルターデバイス、光学モジュールおよび電子機器 | |
| JP6566061B2 (ja) | 波長可変干渉フィルターの駆動方法 | |
| JP2017015728A (ja) | 光学モジュール、電子機器、食物分析装置、分光カメラ、及び波長可変干渉フィルターの駆動方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |