JP2015066480A - 塗布液貯留装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】円柱型タンク3に塗布液4を導入する導入配管5は、円柱型タンク3の上部側に外壁11を貫通してその先端部5aがタンク内部に突出して設けられると共に、その先端部5aの向きが円柱型タンク3の中心位置から外れた位置に設けられている。また、円柱型タンク3は、中心に平面視で円形穴7を有すると共にその円形穴7の開口周辺に平面視で円環状の面8を有し、その円柱型タンク2の内径は、導入配管5が設けられた位置よりも導入配管の下側では小さい。
【選択図】図2
Description
3 円柱型タンク
4 塗布液
5 導入配管
6 攪拌機
7 円形穴
8 円環状の面(円環状面)
9 第1タンク
10 第2タンク
11 外壁
15 空間
16 隙間
17 堰き止め部材
18 支持部材(隙間調整手段)
19 長穴(隙間調整手段)
20 支持部材保持部(隙間調整手段)
21 ナット(固定手段)
Claims (8)
- 底部を有した円柱型タンクと、前記円柱型タンクに塗布液を導入する導入配管と、円柱型タンク内に貯留した塗布液を攪拌する攪拌機とを備える塗布液貯留装置において、
前記導入配管は、前記円柱型タンクの上部側に外壁を貫通してその先端部がタンク内部に突出して設けられると共に、その先端部の向きが円筒型タンクの中心位置から外れた位置に設けられており、
前記円柱型タンクは、中心に平面視で円形穴を有すると共にその円形穴の開口周辺に平面視で円環状の面を有し、その円柱型タンクの内径は、前記導入配管が設けられた位置よりも導入配管の下側では小さい
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項1記載の塗布液貯留装置であって、
前記円柱型タンクは、第1タンクと第2タンクを有し、第2タンクの上に直径が第2タンクよりも大きい第1タンクが配置された構成とされており、
前記導入配管は、その導入方向の延長線が前記第1タンクの前記円環状の面に交わるように傾斜角度を有している
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項2記載の塗布液貯留装置であって、
前記導入配管は、前記第1タンクの外壁に対して接線方向と平行に設けられており、その先端部から供給される塗布液が外壁内面に向かって流れるように先端部を配置している
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項2または請求項3に記載の塗布液貯留装置であって、
前記第1タンク内には、前記第2タンクの開口部の周囲を囲むように前記第1タンクの外壁との間に平面視で円環状の空間を形成し且つ第1タンクの円環状の面に対して隙間を有するように堰き止め部材が設けられている
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項4に記載の塗布液貯留装置であって、
前記堰き止め部材には、前記第1タンクの円環状の面との間に形成する前記隙間の間隔を大小に可変させる隙間調整手段が設けられている
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項5に記載の塗布液貯留装置であって、
前記隙間調整手段は、第1タンク内に突出するように該第1タンクの外壁に固定された支持部材と、前記支持部材を貫通させ前記堰き止め部材に形成された長穴と、前記長穴の任意の位置で前記支持部材に前記堰き止め部材を固定する固定手段とを備えた
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項6に記載の塗布液貯留装置であって、
前記固定手段は、前記支持部材がねじ部を有したボルトであり、そのボルトに螺合するナットからなる
ことを特徴とする塗布液貯留装置。 - 請求項6に記載の塗布液貯留装置であって、
前記長穴は、前記堰き止め部材17と一体的に固定された支持部材保持部からなる
ことを特徴とする塗布液貯留装置。
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---|---|---|---|---|
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JPS4883077A (ja) * | 1972-02-10 | 1973-11-06 | ||
JP2006343493A (ja) * | 2005-06-08 | 2006-12-21 | Ricoh Co Ltd | 塗工装置、感光体の製造方法、感光体及び画像形成装置 |
JP2008006385A (ja) * | 2006-06-29 | 2008-01-17 | Toyota Boshoku Corp | 気泡分離器 |
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- 2013-09-27 JP JP2013201123A patent/JP6149653B2/ja active Active
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JP7267088B2 (ja) | 2019-05-10 | 2023-05-01 | 東京エレクトロン株式会社 | タンク、基板処理装置、及びタンクの使用方法 |
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