JP2015065268A - レンズアレイおよびその製造方法、固体撮像装置、並びに電子機器 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、本技術が適用される固体撮像装置の一実施の形態を示すブロック図である。以下においては、増幅型固体撮像装置の1つであるCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)イメージセンサの構成について説明する。なお、本技術は、CMOSイメージセンサへの適用に限られるものではなく、他の増幅型固体撮像装置やCCD(Charge Coupled Device)イメージセンサ等の電荷転送型の固体撮像装置にも適用可能である。
図2は、単位画素の回路構成の一例を示す回路図である。
上述したCMOSイメージセンサ10は、瞳分割型の位相差検出を実現するために、位相差検出信号を得るための位相差検出画素を備える。位相差検出信号は、焦点のずれ方向(デフォーカス方向)およびずれ量(デフォーカス量)を表す信号である。
上述したように、位相差検出画素40と撮像画素(単位画素)20とは、構造上、遮光膜41に設けられる開口部41Aの大きさが異なる他、マイクロレンズ47の焦点距離も異なる。
ところで、一般的なマイクロレンズの形成手法として、熱メルトフロー法とドライエッチング法とが知られている。
ここで、ドライエッチング法を用いたマイクロレンズの形成手法として、例えば、特開2008−52004号公報に開示されている手法について検討する。
次に、本技術のマイクロレンズ形成手法について説明する。
ここで、図13を参照して、曲率半径比が画素サイズに依存する理由について説明する。
図14および図15を参照して、本技術のマイクロレンズの形成手法について説明する。図14は、マイクロレンズの形成処理について説明するフローチャートであり、図15は、マイクロレンズの形成の工程を示す平面図、横方向の断面図、および斜め方向の断面図である。
エッチング装置としては、マイクロ波プラズマ型エッチング装置の他、平行平板RIE(Reactive Ion Etching)装置、高圧狭ギャップ型プラズマエッチング装置、ECR(Electron Cyclotron Resonance)型エッチング装置、変成器結合プラズマ型エッチング装置、誘導結合プラズマ型エッチング装置、およびヘリコン波プラズマ型エッチング装置等、他の高密度プラズマ型エッチング装置が用いられる。
エッチングガスとしては、エッチング速度をコントロールするための第1のグループのガスと、CD(Critical Dimension)ゲインをコントロールするための第2のグループのガスの、少なくとも2種類のガスが用いられる。
次に、図16および図17を参照して、本技術のマイクロレンズの形成手法の他の例について説明する。図16は、マイクロレンズの形成処理について説明するフローチャートであり、図17は、マイクロレンズの形成の工程を示す横方向の断面図および斜め方向の断面図である。
本技術が適用可能な固体撮像装置は、主に、表面照射型の固体撮像装置と、裏面照射型の固体撮像装置とに大別される。
図21は、カラーフィルタ上に形成された下凸層内レンズを有する画素構造を示す断面図である。ここでは、互いに隣接する、撮像画素20および位相差検出画素40の2画素分の断面構造を示している。
図23は、カラーフィルタ上に形成された上凸層内レンズを有する画素構造を示す断面図である。ここでは、互いに隣接する、撮像画素20および位相差検出画素40の2画素分の断面構造を示している。
図25は、本技術を適用した電子機器の一例である撮像装置の構成例を示すブロック図である。
(1)
撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズ
を備え、
前記マイクロレンズは、
そのレンズ面が実質的に球面をなし、
平面視において矩形形状に形成されるとともに四隅の角が略角取りされることなく形成され、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成される
レンズアレイ。
(2)
前記マイクロレンズは、
平面視において正方形形状に形成され、
前記対辺中央部の断面における前記レンズ面の曲率半径である第1の曲率半径と、前記対角境界部の断面における前記レンズ面の曲率半径である第2の曲率半径とは略等しくなるように形成される
(1)に記載のレンズアレイ。
(3)
前記位相差検出画素の画素サイズは、3μm以上とされ、
前記レンズ面の曲率半径rが、前記レンズ面の頂点を通る断面での底面の幅dと、前記底面を基準とした前記レンズ面の頂点の高さtとを用いて、r=(d2+4t2)/8tで表される場合、
前記第1の曲率半径r1と前記第2の曲率半径r2との比である曲率半径比r1/r2は、0.98乃至1.20の範囲に含まれる値とされる
(2)に記載のレンズアレイ。
(4)
前記レンズ面表面に、反射防止膜として、少なくとも1層の無機膜が形成される
(2)または(3)に記載のレンズアレイ。
(5)
前記無機膜は、前記第1の曲率半径r1と前記第2の曲率半径r2との差を小さくする
(4)に記載のレンズアレイ。
(6)
撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズを備えるレンズアレイの製造方法であって、
前記マイクロレンズを、
そのレンズ面を実質的に球面とし、
平面視において矩形形状に形成するとともに四隅の角を略角取りされることなく形成し、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面を、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成する
ステップを含むレンズアレイの製造方法。
(7)
撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズ
を備え、
前記マイクロレンズが、
そのレンズ面が実質的に球面をなし、
平面視において矩形形状に形成されるとともに四隅の角が略角取りされることなく形成され、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成されるレンズアレイ
を備える固体撮像装置。
(8)
撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズ
を備え、
前記マイクロレンズが、
そのレンズ面が実質的に球面をなし、
平面視において矩形形状に形成されるとともに四隅の角が略角取りされることなく形成され、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成されるレンズアレイを備える固体撮像装置
を備える電子機器。
Claims (8)
- 撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズ
を備え、
前記マイクロレンズは、
そのレンズ面が実質的に球面をなし、
平面視において矩形形状に形成されるとともに四隅の角が略角取りされることなく形成され、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成される
レンズアレイ。 - 前記マイクロレンズは、
平面視において正方形形状に形成され、
前記対辺中央部の断面における前記レンズ面の曲率半径である第1の曲率半径と、前記対角境界部の断面における前記レンズ面の曲率半径である第2の曲率半径とは略等しくなるように形成される
請求項1に記載のレンズアレイ。 - 前記位相差検出画素の画素サイズは、3μm以上とされ、
前記レンズ面の曲率半径rが、前記レンズ面の頂点を通る断面での底面の幅dと、前記底面を基準とした前記レンズ面の頂点の高さtとを用いて、r=(d2+4t2)/8tで表される場合、
前記第1の曲率半径r1と前記第2の曲率半径r2との比である曲率半径比r1/r2は、0.98乃至1.20の範囲に含まれる値とされる
請求項2に記載のレンズアレイ。 - 前記レンズ面表面に、反射防止膜として、少なくとも1層の無機膜が形成される
請求項3に記載のレンズアレイ。 - 前記無機膜は、前記第1の曲率半径r1と前記第2の曲率半径r2との差を小さくする
請求項4に記載のレンズアレイ。 - 撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズを備えるレンズアレイの製造方法であって、
前記マイクロレンズを、
そのレンズ面を実質的に球面とし、
平面視において矩形形状に形成するとともに四隅の角を略角取りされることなく形成し、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面を、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成する
ステップを含むレンズアレイの製造方法。 - 撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズ
を備え、
前記マイクロレンズが、
そのレンズ面が実質的に球面をなし、
平面視において矩形形状に形成されるとともに四隅の角が略角取りされることなく形成され、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成されるレンズアレイ
を備える固体撮像装置。 - 撮像画素に混在して設けられる位相差検出画素に対応して形成されるマイクロレンズ
を備え、
前記マイクロレンズが、
そのレンズ面が実質的に球面をなし、
平面視において矩形形状に形成されるとともに四隅の角が略角取りされることなく形成され、
断面視において画素境界部の対辺中央部を含む対辺境界部近傍の底面が、対角境界部を含む対角境界部近傍の底面よりも高くなるように形成されるレンズアレイを備える固体撮像装置
を備える電子機器。
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