JP2007101661A - マイクロレンズアレイおよびマイクロレンズアレイの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】集光効率の高いマイクロレンズアレイを、特別な装置や特別な製造プロセスを必要としない、非常に簡単な方法を用いて、低コストかつ安定に製造する。
【解決手段】マイクロレンズ１８を形成した後、オーバーコート膜２０を形成するが、この膜厚を調整して、マイクロレンズ１８をどの切り口で切断しても、同様の断面形状（同様の曲率）が得られるようにする。オーバーコート膜２０の膜厚の調整は、例えば、隣接する複数のマイクロレンズ間の、対辺方向や対角方向における隙間の間隔を調整すると共に、マイクロレンズ材料と同じ材料成分からなるオーバーコート膜の粘性を低下させて流動性をもたせ、これをスピンコートによって塗布することによって実現する。
【選択図】図１

Description

本発明は、マイクロレンズアレイおよびマイクロレンズアレイの製造方法に関し、特に、固体撮像素子（ＣＣＤやＣＭＯＳ等を用いたイメージセンサ）に使用されるマイクロレンズアレイならびにその製造方法に関する。

固体撮像素子の小型化、高画素化に伴う受光部面積の減少による感度およびＳ／Ｎ比の低下に対しては、受光部の上方にマイクロレンズを配置して入射光を受光部に集光する方法が広く用いられている。

上記マイクロレンズの作製方法としては、熱可塑性樹脂を平面形状にパターン化した後、加熱流動させて表面張力によってレンズ形状を形成する、いわゆる熱リフロープロセスが用いられる。

また、近年益々進む画素の微細化に対しては、入射面のマイクロレンズ(トップレンズまたはオンチップレンズ等と呼ばれる)の無光領域を極力小さくすべく、画素サイズに対応した矩形パターンとするのが一般的となっている。

ところが、矩形パターンを熱リフロー処理して得られるレンズは、各断面形状(曲率)が一定ではなく断面毎の焦点距離に大きな差が発生する、言わば入射光を受光部一点に集光することができない。これは感度向上阻害やスミアの原因にもなり得る為、本来は底面が矩形で曲率が一定のレンズが理想的である。

曲率がほぼ一定で集光効率の高いレンズアレイの製造方法としては、特許文献１に記載される方法（金型を用いた転写によってレンズアレイを作成する方法）や、特許文献２に記載される方法（金型を押しつけてオンチップレンズを形成する方法）がある。

また、他の製造方法としては、特許文献３や特許文献４で提案されているようなグレースケールマスク露光を用いる方法がある。

また、特許文献５に記載されるように、マイクロレンズアレイを市松状に２段階の工程を経て形成する方法も提案されている。

特開２０００−３２３６９３号公報 特開２００１−３５８３２０号公報 特開２００３−１０７２０９号公報 特開平１０−７４９２７号公報 特開２００３−２２９５５０号公報

特許文献１ならびに特許文献２で提案されているような型転写を用いる方法は、微細パターンをもつ型の作製が、加工精度やコストの面で困難である。また、転写時の位置精度や剥離性の面でも課題がある。

また、特許文献３や特許文献４に記載されるグレースケールマスク露光を使用する方法では、そのような透過率分布を持たせたグレースケールマスク作製にコストがかかると共に、所望の形状に対応した透過率分布の設計がむずかしい、という課題がある。

また、特許文献５に記載されるように、マイクロレンズアレイを市松状に２段階の工程を経て形成する方法では、フォトリソプロセスが１工程追加となり、製造プロセスの複雑化を招き、余計なコストがかかるという課題がある。

本発明は、このような考察に基づいてなされたものであり、断面形状がほぼ一定な集光効率の高いマイクロレンズアレイを、特別な装置や特別な製造プロセスを必要としない簡単な方法を用いて製造することを目的とする。

本発明のマイクロレンズアレイは、平坦面上に底面が非真円状のマイクロレンズを多数配列したマイクロレンズアレイであって、前記多数のマイクロレンズの上には、前記多数のマイクロレンズの各々の曲率を調整するオーバーコート膜が形成され、前記マイクロレンズの中心からの距離が最大となる該マイクロレンズの端部である第一端部上の前記オーバーコート膜の厚みが、前記マイクロレンズの中心からの距離が最小となる該マイクロレンズの端部である第二端部上の前記オーバーコート膜の厚みよりも薄くなっている。

この構成により、オーバーコート膜が形成された個々のマイクロレンズの曲率がどの断面においてもほぼ一定になり、集光効率が向上する。

また、本発明のマイクロレンズアレイの一態様では、前記第一端部から前記第二端部に向かうにしたがって、前記マイクロレンズ上のオーバーコート膜の厚みが徐々に厚くなっている。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記非真円状が、角部が丸みを帯びた多角形状である。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記多角形状が四角形状である。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が、それぞれ樹脂を含み、それぞれの前記樹脂の組成が同一である。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記マイクロレンズの材料に含まれる前記樹脂の分子量分布と前記オーバーコート膜の材料に含まれる前記樹脂の分子量分布が異なる。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が同一である。

マイクロレンズの材料とオーバーコート膜の材料が同じであるため、マイクロレンズとオーバーコート膜の相互の密着性は何ら問題なく、また、熱膨張係数等の差に起因して余分なストレス（応力）が生じるといった心配もない。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記マイクロレンズの材料の粘度が、前記オーバーコート膜の材料の粘度よりも高い。

オーバーコート膜の厚みは、その位置に応じて調整する必要がある。この場合、オーバーコート膜の材料が低粘性で、ある程度の流動性をもつ方が、膜厚の調整がし易いことから、オーバーコート材料の粘性を低く設定したものである。

また、本発明のマイクロレンズアレイの他の態様では、前記マイクロレンズと前記オーバーコート膜が、それぞれイオン注入により硬化処理されたものである。

また、本発明のマイクロレンズの製造方法は、平坦面上に底面が非真円状のマイクロレンズを多数配列したマイクロレンズアレイの製造方法であって、前記平坦面上に前記多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成工程と、前記多数のマイクロレンズの上に、前記多数のマイクロレンズの各々の曲率を調整するオーバーコート膜を形成するオーバーコート膜形成工程とを含み、前記レンズ形成工程では、前記マイクロレンズの中心と、前記中心からの距離が最大となる該マイクロレンズの端部とを結ぶ方向に並ぶマイクロレンズ同士の隙間が、前記マイクロレンズの中心と、前記中心からの距離が最小となる該マイクロレンズの端部とを結ぶ方向に並ぶマイクロレンズ同士の隙間よりも大きくなるように前記多数のマイクロレンズを形成する。

この方法により、オーバーコート膜が形成された個々のマイクロレンズの曲率がどの断面においてもほぼ一定になり、集光効率が向上する。

また、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の一態様では、前記オーバーコート膜形成工程では、スピンコートによって前記オーバーコート膜を形成する。

スピンコートによるオーバーコート材料の塗布は、半導体製造において一般的に使用されている方法であり、導入が容易であり、また、半導体ウエハの量産性にも優れている。

また、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の一態様では、前記非真円状が、角部が丸みを帯びた多角形状である。

また、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の他の態様では、前記多角形状が四角形状である。

また、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の一態様では、前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が、それぞれ樹脂を含み、それぞれの前記樹脂の組成が同一である。

また、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の一態様では、前記マイクロレンズの材料に含まれる前記樹脂の分子量分布と前記オーバーコート膜の材料に含まれる前記樹脂の分子量分布が異なる。

本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の他の態様では、前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が同一である。

マイクロレンズの材料とオーバーコート膜の材料が同じであるため、マイクロレンズとオーバーコート膜の相互の密着性は何ら問題なく、また、熱膨張係数等の差に起因して余分なストレス（応力）が生じるといった心配もない。

また、本発明のマイクロレンズアレイの製造方法の他の態様では、前記マイクロレンズの材料の粘度が、前記オーバーコート膜の材料の粘度よりも高い。

オーバーコート膜の厚みは、その位置に応じて調整する必要がある。この場合、オーバーコート膜の材料が低粘性で、ある程度の流動性をもつ方が、膜厚の調整がし易いことから、オーバーコート材料の粘性を低く設定したものである。これにより、隣接するマイクロレンズ同士間の隙間を利用してオーバーコート膜の膜厚を部分的に調整することが実現し易くなる。

又、本発明のマイクロレンズアレイは、平坦面上にマイクロレンズを多数配列したマイクロレンズアレイであって、前記多数のマイクロレンズの上には、前記多数のマイクロレンズの各々の曲率を調整するオーバーコート膜が形成され、前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が別材料で構成される。

本発明によれば、断面形状がほぼ一定な集光効率の高いレンズアレイを、特別な装置や特別な製造プロセスを必要としない簡単な方法を用いて製造することができる。

次に、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。

まず、図１を用いて、本発明の実施形態を説明するためのマイクロレンズアレイの製造工程の概要を説明する。本実施形態では、固体撮像素子に搭載されるマイクロレンズアレイを例示するが、用途はこれに限定されない。

図１は、本発明の実施形態を説明するためのマイクロレンズアレイの製造工程を示す断面模式図である。
まず、図１（ａ）に示すように、光電変換素子等が作りこまれたシリコン基板やその上方に形成されたカラーフィルタ等を含む基板１０上に平坦化膜１２を形成する。次に、図１（ｂ）に示すように、平坦化膜１２上にマイクロレンズ材料であるレジスト１４を所定厚みで塗布する。次に、図１（ｃ）に示すように、フォトリソ工程によりレジスト１４をパターニングし、各光電変換素子に対応した位置に、所定間隔を空けて矩形状のレジスト（以下、単位レジストという）１６を形成する。次に、図１（ｄ）に示すように、単位レジスト１６を所定温度で熱リフロー処理し、角部を丸めてマイクロレンズ１８を形成し、イオン注入等によってレンズ硬化処理を施す。この状態で、マイクロレンズ１８の底面は、角部が丸みを帯びた矩形状となっている。次に、図１（ｅ）に示すように、レジスト１４と同一材料で且つレジスト１４よりも低粘度のレジストからなるオーバーコート膜２０（マイクロレンズ１８の曲率を調整するための膜）を、マイクロレンズ１８上に形成する。次に、そのオーバーコート膜２０にイオン注入等によって硬化処理を施し、これによって、マイクロレンズ１８とオーバーコート膜２０とからなる所望のマイクロレンズアレイを得る。

本実施形態のマイクロレンズアレイは、マイクロレンズ１８の中心からの距離が最大となる該マイクロレンズ１８の端部である第一端部上のオーバーコート膜２０の厚みが、マイクロレンズ１８の中心からの距離が最小となる該マイクロレンズ１８の端部である第二端部上のオーバーコート膜２０の厚みよりも薄くなっており、この結果、個々のマイクロレンズ１８（その上にあるオーバーコート膜２０を含む）が、どの切断面であってもその断面の曲率がほぼ同じであるという特徴を有する。以下では、このような特徴を持つマイクロレンズアレイをどのようにして製造するのかを具体的に説明する。

図２は、図１（ｄ）に示すレンズ形成工程後のマイクロレンズアレイの平面図である。図２では、４つのマイクロレンズが形成された部分のみを示した。図２において、符号Ｐは各マイクロレンズの中心（中心軸）を示す。

図２に示すように、図１（ｄ）のレンズ形成工程では、マイクロレンズ１８の中心Ｐと、該マイクロレンズ１８の第一端部とを結ぶ方向（Ｂ−Ｂ線で示す方向及びこれに直交する方向、以下では第一方向という）に並ぶマイクロレンズ１８同士の隙間Ｙが、マイクロレンズ１８の中心Ｐと、該マイクロレンズ１８の第二端部とを結ぶ方向（Ａ−Ａ線で示す方向及びこれに直交する方向、以下では第二方向という）に並ぶマイクロレンズ１８同士の隙間Ｘよりも大きく（例えばＸ：Ｙ＝１：３）なるようにマイクロレンズ１８を形成する。マイクロレンズ１８の形成位置は、単位レジスト１６の配置間隔、単位レジスト１６の形状、及び熱リフロー条件等を制御することで調整可能である。

図３（ａ）は、図２に示すＡ−Ａ線断面図のオーバーコート膜形成後の状態を示す図であり、図３（ｂ）は、図２に示すＢ−Ｂ線断面図のオーバーコート膜形成後の状態を示す図である。

レンズ形成工程後は、図１（ｅ）に示したように、マイクロレンズ１８上にオーバーコート膜２０を形成する。具体的には、図２に示すように配置されたマイクロレンズ１８上にオーバーコート膜の材料（以下、オーバーコート材料という）をスピンコートによって塗布してオーバーコート膜２０を形成する。

図２に示したように、第一方向では、マイクロレンズ１８同士の隙間Ｙが広いため、スピンコートによって塗布されたオーバーコート材料は、その隙間Ｙに流れ込んで平坦化膜１２に水平な方向に浅く広がり、平坦化膜１２に垂直な方向の膜厚はあまり厚くならない。この結果、図３（ｂ）に示したように、マイクロレンズ１８の第一端部上のオーバーコート膜２０の膜厚Ｌ２は薄くなる。したがって、第一方向については、オーバーコート膜２０で覆われたマイクロレンズ１８の曲率Ｒが、マイクロレンズ１８そのものの持つ曲率に近い値を維持する。

一方、第二方向におけるマイクロレンズ１８同士の隙間Ｘは隙間Ｙよりも狭いため、スピンコートによって塗布されたオーバーコート材料は、その隙間Ｘに流れ込んでも、平坦化膜１２に水平な方向にはあまり広がることはできず、平坦化膜１２に垂直な方向の膜厚が厚くなる。この結果、図３（ａ）に示したように、マイクロレンズ１８の第二端部上のオーバーコート膜２０の膜厚Ｌ１は膜厚Ｌ２よりも厚くなる。したがって、第二方向については、オーバーコート膜２０で覆われたマイクロレンズ１８の曲率Ｒが、マイクロレンズ１８そのものの持つ曲率よりも小さい値となるよう調整される。

以上では、第一端部上と第二端部上の膜厚についてのみ説明したが、マイクロレンズ１８の端部上のオーバーコート膜２０の膜厚は、マイクロレンズ１８の形状及び配置により、第一端部から第二端部に向かうにしたがって厚くなる。

このように、第二方向におけるマイクロレンズ１８の第二端部上のオーバーコート膜２０の膜厚は厚くし、第一方向におけるマイクロレンズ１８の第一端部上のオーバーコート膜２０の膜厚は薄くすることが可能であるため、オーバーコート膜２０を含むマイクロレンズ１８の各断面における曲率Ｒを一定に調整することができ、オーバーコート膜２０で覆われたマイクロレンズ１８をどの切り口で切断しても、略同じ断面形状（曲率）が得られるようになる。この結果、マイクロレンズアレイの集光効率を向上させることができる。

マイクロレンズの底面形状が真円でない場合には、マイクロレンズの曲率を全体で一定にすることは難しい。しかし、本実施形態のようにマイクロレンズの形成位置を調整して、スピンコートによりオーバーコート膜を形成することで、底面形状が非真円のマイクロレンズにおいても、その全体の曲率を容易に制御することができる。したがって、底面矩形レンズ等においても、焦点距離のばらつきを効果的に低減することができる。

また、以上のような製造方法では、特別な装置、プロセス技術は一切必要なく、製造プロセスの複雑化、コスト上昇を招くことがない。

また、オーバーコート膜２０の形成に際し、スピンコートを用いることは、粘性の低いオーバーコート材料をマイクロレンズ１８上に効率的に広げるという点で有利であり、また、この方法は導入が容易であり、また、半導体ウエハの量産性にも優れている。

また、マイクロレンズ１８の材料であるレジスト１４とオーバーコート膜２０の材料とが同一材料であるため、マイクロレンズ１８とオーバーコート膜２０の相互の密着性は何ら問題なく、また、熱膨張係数等の差に起因して余分なストレス（応力）が生じるといった心配もない。

また、オーバーコート膜２０の粘度が、マイクロレンズ１８の材料であるレジスト１４の粘度よりも低くなっているため、オーバーコート材料の流動性が高くなり、隙間Ｘ，Ｙを埋める効果を高めることができる。上記のとおり、オーバーコート膜２０の膜厚は、その位置に応じて調整する必要があるが、この場合、オーバーコート材料が低粘性で、ある程度の流動性をもつ方が、上記膜厚の調整がし易いといった利点がある。これにより、隣接するマイクロレンズ同士間の隙間を利用してオーバーコート膜の膜厚を部分的に調整することが実現し易くなる。

次に、図１（ａ）〜（ｅ）の各工程にて使用される材料の具体例について説明する。

マイクロレンズ１８の材料であるレジスト１４としては、例えば、感光性・熱硬化性樹脂を使用することができる。この感光性・熱硬化性樹脂は、例えば、ＰＧＭＥＡ（溶剤）、ＰＧＭＥ（溶剤）、ポリスチレン誘導体樹脂ならびに光酸発生剤を含んで構成される材料を使用することができる。

オーバーコート材料としては、例えば、レジスト１４と同じ材料を使用することができる。オーバーコート材料をレジスト１４よりも低粘度にする場合は、ＰＧＭＥＡ（溶剤）、ＰＧＭＥ（溶剤）、ポリスチレン誘導体樹脂ならびに光酸発生剤を含んで構成される感光性・熱硬化性樹脂を、ＥＬ(エチルラクトースまたはγ−ブチロラクトン等の高沸点溶剤)にて薄めたものを用いることができる。

平坦化膜１２としては、例えば、透明樹脂硬化膜を使用することができる。この透明樹脂硬化膜は、例えば、アクリル系樹脂、ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、カップリング剤ならびにジエチレングリコールメチルエチルエーテル等を含んで構成される材料を使用することができる。

マイクロレンズの好適なサイズは１〜１０μｍ程度であり、マイクロレンズトップの好適な厚みは５μｍ以下(レンズサイズの半分以下)である。

なお、以上の説明では、マイクロレンズ材料とオーバーコート材料を同一材料としたが、これらは別材料であっても同様の効果を得ることが可能である。

例えば、マイクロレンズ材料とオーバーコート材料が、それぞれ樹脂を含み、それぞれの樹脂の組成が同一である材料であっても良い。この場合、この樹脂の分子量分布が異なっていることがより好ましい。

また、本実施形態では、マイクロレンズ１８の底面が角部が丸みを帯びた矩形状としたが、本実施形態の効果は、マイクロレンズ１８の底面が非真円状であれば得ることができる。例えば、マイクロレンズ１８の底面が角部が丸みを帯びた８角形状等の多角形状であっても良い。これは、単位レジスト１６の底面を８角形状（多角形状）にすることで実現可能である。

本発明の実施形態を説明するためのマイクロレンズアレイの製造工程を示す断面模式図 図１（ｄ）に示す製造工程後のマイクロレンズアレイの平面図 （ａ）は図２に示すＡ−Ａ線断面図のオーバーコート膜形成後の状態を示す図であり、（ｂ）は図２に示すＢ−Ｂ線断面図のオーバーコート膜形成後の状態を示す図

符号の説明

１０ 基板
１２ 平坦化膜
１４ レジスト
１６ 単位レジスト
１８ マイクロレンズ
２０ オーバーコート膜

Claims (18)

1. 平坦面上に底面が非真円状のマイクロレンズを多数配列したマイクロレンズアレイであって、
   前記多数のマイクロレンズの上には、前記多数のマイクロレンズの各々の曲率を調整するオーバーコート膜が形成され、
   前記マイクロレンズの中心からの距離が最大となる該マイクロレンズの端部である第一端部上の前記オーバーコート膜の厚みが、前記マイクロレンズの中心からの距離が最小となる該マイクロレンズの端部である第二端部上の前記オーバーコート膜の厚みよりも薄くなっているマイクロレンズアレイ。
2. 請求項１記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記第一端部から前記第二端部に向かうにしたがって、前記マイクロレンズ上のオーバーコート膜の厚みが徐々に厚くなっているマイクロレンズアレイ。
3. 請求項１又は２記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記非真円状が、角部が丸みを帯びた多角形状であるマイクロレンズアレイ。
4. 請求項３記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記多角形状が四角形状であるマイクロレンズアレイ。
5. 請求項１〜４のいずれか記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が、それぞれ樹脂を含み、それぞれの前記樹脂の組成が同一であるマイクロレンズアレイ。
6. 請求項５記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記マイクロレンズの材料に含まれる前記樹脂の分子量分布と前記オーバーコート膜の材料に含まれる前記樹脂の分子量分布が異なるマイクロレンズアレイ。
7. 請求項５記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が同一であるマイクロレンズアレイ。
8. 請求項７記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記マイクロレンズの材料の粘度が、前記オーバーコート膜の材料の粘度よりも高いマイクロレンズアレイ。
9. 請求項１〜８のいずれか記載のマイクロレンズアレイであって、
   前記マイクロレンズと前記オーバーコート膜が、それぞれイオン注入により硬化処理されたものであるマイクロレンズアレイ。
10. 平坦面上に底面が非真円状のマイクロレンズを多数配列したマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記平坦面上に前記多数のマイクロレンズを形成するレンズ形成工程と、
    前記多数のマイクロレンズの上に、前記多数のマイクロレンズの各々の曲率を調整するオーバーコート膜を形成するオーバーコート膜形成工程とを含み、
    前記レンズ形成工程では、前記マイクロレンズの中心と、前記中心からの距離が最大となる該マイクロレンズの端部とを結ぶ方向に並ぶマイクロレンズ同士の隙間が、前記マイクロレンズの中心と、前記中心からの距離が最小となる該マイクロレンズの端部とを結ぶ方向に並ぶマイクロレンズ同士の隙間よりも大きくなるように前記多数のマイクロレンズを形成するマイクロレンズアレイの製造方法。
11. 請求項１０記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記オーバーコート膜形成工程では、スピンコートによって前記オーバーコート膜を形成するマイクロレンズアレイの製造方法。
12. 請求項１０又は１１記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記非真円状が、角部が丸みを帯びた多角形状であるマイクロレンズアレイの製造方法。
13. 請求項１２記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記多角形状が四角形状であるマイクロレンズアレイの製造方法。
14. 請求項１０〜１３のいずれか記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が、それぞれ樹脂を含み、それぞれの前記樹脂の組成が同一であるマイクロレンズアレイの製造方法。
15. 請求項１４記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記マイクロレンズの材料に含まれる前記樹脂の分子量分布と前記オーバーコート膜の材料に含まれる前記樹脂の分子量分布が異なるマイクロレンズアレイの製造方法。
16. 請求項１４記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が同一であるマイクロレンズアレイの製造方法。
17. 請求項１６記載のマイクロレンズアレイの製造方法であって、
    前記マイクロレンズの材料の粘度が、前記オーバーコート膜の材料の粘度よりも高いマイクロレンズアレイの製造方法。
18. 平坦面上にマイクロレンズを多数配列したマイクロレンズアレイであって、
    前記多数のマイクロレンズの上には、前記多数のマイクロレンズの各々の曲率を調整するオーバーコート膜が形成され、
    前記マイクロレンズの材料と前記オーバーコート膜の材料が別材料で構成されるマイクロレンズアレイ。

Images