JP2015064293A - 圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】圧力センサにおいてメタルダイヤフラムへの異物の付着を抑制する。【解決手段】この圧力センサは、センサチップと、センサチップが配置される第1ハウジングと、筒状を成して中空部を有するとともに、第1ハウジングと一体に組み付けられる第2ハウジングと、第2ハウジングの中空部を、第1ハウジングが収容される収容空間と、測定媒体が導入される導入空間とに区切るメタルダイヤフラムと、を有する。導入空間は、測定媒体をメタルダイヤフラムに向けて誘導する誘導路と、誘導路からメタルダイヤフラムにかけて路幅が拡がった拡幅路と、から成る。そして、拡幅路の側壁である拡幅壁に、測定媒体に混入した異物をトラップする粗面部を有する。【選択図】図2
Description
本発明は、メタルダイヤフラムを有する圧力センサに関する。
従来、例えば、特許文献1において、ハウジングとセンサチップを搭載したケースプラグとをかしめ固定により一体に組み付けて構成される圧力センサが開示されている。この圧力センサのセンサチップにはダイヤフラムが構成されており、このダイヤフラムには、ブリッジ回路を構成するように形成されたゲージ抵抗が設けられている。また、センサチップは直接測定媒体に曝されないように、メタルダイヤフラムで覆われた圧力検出室内に配置されている。そして、圧力検出室内はセンサチップを覆うようにオイルで充填されている。
このような圧力センサでは、メタルダイヤフラムに圧力が印加されると、圧力検出室内を充填するオイルを介してセンサチップに圧力が印加される。このとき、センサチップではピエゾ抵抗効果によりゲージ抵抗の抵抗値が変化する。これにより、ブリッジ回路の中間電位が変化し、この中間電位の変化に基づいて圧力に応じたセンサ出力信号が出力される。
また、このような圧力センサは、外部温度が高温の際に、オイルの体積が変化することにより圧力検出室内の体積が変化する。メタルダイヤフラムは、圧力検出室内の体積変化に伴って変位し、圧力検出室内の圧力上昇を緩和する効果を発揮する。
上記のような圧力センサでは、メタルダイヤフラムが、測定媒体の圧力をオイル、ひいてはセンサチップに伝達する役割を果たしている。さらには、メタルダイヤフラムは、圧力検出室内の圧力上昇を緩和する役割も果たしている。
しかしながら、測定媒体内に混入した異物がメタルダイヤフラムに付着すると、メタルダイヤフラムの変位が阻害される。これにより、圧力変化に対する感度が低下したり、外部温度の変化によるノイズの影響を受けやすくなるなど、圧力の検出精度が低下する虞がある。
本発明は、上記問題点を鑑みてなされたものであり、メタルダイヤフラムへの異物の付着を抑制することを目的とする。
ここに開示される発明は、上記目的を達成するために以下の技術的手段を採用する。なお、特許請求の範囲及びこの項に記載した括弧内の符号は、ひとつの態様として後述する実施形態に記載の具体的手段との対応関係を示すものであって、発明の技術的範囲を限定するものではない。
上記目的を達成するために、本発明は、測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(30)と、一面に凹部(13)を有し、凹部にセンサチップが配置される第1ハウジング(10)と、筒状を成して中空部を有するとともに、中空部に第1ハウジングが挿入されることで第1ハウジングと一体に組み付けられる第2ハウジング(20)と、測定媒体の圧力が印加され、中空部を、第1ハウジングにおける一面側の一端(11a)が収容される収容空間と、測定媒体が導入される導入空間とに区切るメタルダイヤフラム(50)と、収容空間における、メタルダイヤフラムと第1ハウジングの一面に囲まれて成る圧力検出室(17)に充填され、メタルダイヤフラムに作用する測定媒体の圧力をセンサチップに伝達する圧力伝達媒体(18)と、を備え、導入空間が、測定媒体をメタルダイヤフラムに向けて誘導する誘導路(23a)と、該誘導路からメタルダイヤフラムにかけて路幅が拡がった拡幅路(24a)と、から成る圧力センサであって、拡幅路の側壁である拡幅壁に、測定媒体に混入した異物をトラップする粗面部(70)を有することを特徴としている。
これによれば、誘導路における測定媒体の流れを阻害することなく、測定媒体に混入し誘導路に沿って導入空間に進入しつつある異物を、粗面部によってトラップすることができる。このため、異物がメタルダイヤフラムに付着することを抑制できる。したがって、圧力の検出精度の低下を抑制することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の各図相互において、互いに同一もしくは均等である部分に、同一符号を付与する。
(第1実施形態)
最初に、図1を参照して、本実施形態に係る圧力センサの概略構成について説明する。
最初に、図1を参照して、本実施形態に係る圧力センサの概略構成について説明する。
図1に示すように、本実施形態に係る圧力センサ100は、柱状の第1ハウジング10と、筒状の第2ハウジング20とが組み付けられて成る。第1ハウジング10には、センサチップ30とターミナル40とが固定されている。また、第2ハウジング20には、メタルダイヤフラム50とリングウェルド51とが固定されている。筒状の第2ハウジング20における中空部は、メタルダイヤフラム50によって、第1ハウジング10を収容する収容空間と、被検出対象である測定媒体が導入される導入空間とに区切られている。第2ハウジング20の一部は測定媒体が流れる図示しない流路に設置され、測定媒体が上記した導入空間に流入してメタルダイヤフラム50に作用することによって圧力が測定できるようになっている。
第1ハウジング10は、PPSやPBTなどの樹脂材料によって形成され、第1柱部11と第2柱部12とが一体的に連結されている。図1において、第1ハウジング10に示す破線aは、第1柱部11と第2柱部12の境界を示している。第1柱部11の径は、第2柱部12の径よりも大きくなっており、第1柱部11は、第2ハウジング20の収容空間内に収容されている。第2柱部12は第2ハウジング20の外部に配置されている。
図1に示すように、第1柱部11における、メタルダイヤフラム50側端部の一面11aには、凹部13が形成されている。凹部13の底部には、センサチップ30を収容するセンサ溝14と、ターミナル40の一部を一面11a側に露出させるためのターミナル溝15とが形成されている。また、一面11aには、凹部13を取り囲むように、外縁溝16が形成されている。センサ溝14の底部にはセンサチップ30が固定されている。ターミナル溝15の底部にはターミナル40の一部が露出するように固定されている。また、外縁溝16にはOリング60が配置されている。
また、上記凹部13とメタルダイヤフラム50とによって囲まれた領域には、圧力検出室17が形成されている。圧力検出室17は圧力伝達媒体18により満たされている。メタルダイヤフラム50に作用した測定媒体の圧力は、圧力伝達媒体18を介してセンサチップ30に伝達される。なお、Oリング60は、第1ハウジング10と第2ハウジング20とがかしめ固定される際に圧縮変形して、圧力検出室17とその外部との間をシールするようになっており、圧力伝達媒体18が外部に漏洩しないよう機能している。
第2ハウジング20は、アルミニウムなどの金属材料を構成材料とし、第1筒部21と第2筒部22とが連結して形成されている。図1において、第2ハウジング20に示す破線bは、第1筒部21と第2筒部22の境界を示している。第1筒部21の内径は第2筒部22の内径よりも大きくされている。第2ハウジング20の中空部は、内径が変化する位置を境界として、収容空間と導入空間とに分けられている。換言すれば、第1筒部21により形成される中空は第1ハウジング10が収容される収容空間に相当する。また、第2筒部22により形成される中空は測定媒体が導入される導入空間に相当する。
第1筒部21は、第2筒部22との連結端と反対側の端部がかしめ部21aとされている。第1ハウジング10は、第1筒部21の収容空間に収容後、かしめ部21aが内側に折り曲げられることによりかしめ固定されている。
第2筒部22は、誘導部23と拡幅部24とを有している。図1において、第2筒部22に示す破線cは、誘導部23と拡幅部24の境界を示している。誘導部23は測定媒体をメタルダイヤフラム50まで導く誘導路23aを有し、その誘導路23aの内径は軸方向に一定とされている。また、誘導部23の外壁の一部には、測定媒体が流れる流路に固定するためのネジ切り部25が形成されている。一方、拡幅部24は誘導部23と第1筒部21とを繋いでいる。拡幅部24は、誘導路23aからメタルダイヤフラム50に向かって径が徐々に大きくなるように拡幅された拡幅路24aを有する。拡幅路24aは誘導路23aと連続的に繋がっている。なお、メタルダイヤフラム50は、拡幅部24おける第1筒部21との連結端24bに溶接固定されている。この連結端24bは、第1ハウジング10における第1柱部11の一面11aと、メタルダイヤフラム50およびリングウェルド51を介して対向している。なお、拡幅路24aを構成する側壁(以下、拡幅壁24aとも示す)の壁面形状は、追って詳述する。
センサチップ30は、ダイヤフラム上にゲージ抵抗器を備え、ダイヤフラムの変位をピエゾ抵抗効果による抵抗値の変化に基づいて検出する圧力検出素子である。センサチップ30は、台座31を介して第1柱部11の一面11aに形成された凹部13のうち、センサ溝14の内部に配置されている。
ターミナル40は、第1ハウジング10にインサート成形されている。図1に示すように、ターミナル40の一端側の一部が、凹部13に設けられたターミナル溝15から露出している。また、ターミナル40の他端は、第2柱部12の第1柱部11との連結端とは反対の端部12aから露出している。ターミナル40のうち、ターミナル溝15から露出した部分は、ボンディングワイヤ41を介してセンサチップ30と電気的に接続されている。また、端部12aから露出した部分は、図示しない外部回路に接続される。すなわち、センサチップ30は、ボンディングワイヤ41およびターミナル40を介して外部回路に接続されている。
また、凹部13とメタルダイヤフラム50で囲まれた圧力検出室17は、圧力伝達媒体18が満たされている。また、ターミナル溝15にはシール材42が導入され、このシール材42によりターミナル40の露出した部分が保護されている。センサチップ30は、圧力伝達媒体18に覆われているため、メタルダイヤフラム50に作用した圧力は、圧力伝達媒体18を介してセンサチップ30に伝達される。
メタルダイヤフラム50は円板状を成し、その平面が波打った形状(コルゲート形状)となっている。メタルダイヤフラム50の周縁部は、第2筒部22の連結端24bに溶接固定されており、測定媒体が圧力検出室17に浸入したり、圧力伝達媒体18が拡幅路24aに漏洩したりしないようになっている。
リングウェルド51は、第1柱部11の一面11aと第2筒部22の連結端24bとに挟まれて配置されている。そして、第1柱部11に形成された外縁溝16に嵌め込まれたOリング60は、リングウェルド51と一面11aとに挟持されて圧縮変形し、圧力検出室17をシールしている。
次に、図2〜図4を参照して、本実施形態に係る圧力センサ100の拡幅路24aについて説明する。
図2は図1における領域IIの詳細断面図である。図2に示すように、本実施形態に係る圧力センサ100における拡幅壁24aは粗面部70を有している。この粗面部70は鋸刃状を成し、拡幅壁24aのうち、誘導路23a側に形成されている。粗面部70は、第2ハウジング20の軸に沿う断面において、拡幅壁24aに平行な底辺71aと、メタルダイヤフラム50に近い側の上辺71bと、誘導路23aに近い側の下辺71cとからなる三角形を単位胞として、この単位胞が複数連続して形成されることによって鋸刃状となっている。なお、この三角形は上辺71bと下辺71cとが直交する直角三角形を成している。
また、図3は、第2ハウジング20における第2筒部22の上面図である。ここで指す上面図とは、拡幅部24側から誘導部23側を見た図である。図3に示すように、粗面部70は、筒状を成す第2ハウジング20の周方向に沿って、全周に亘って形成されている。上記の底辺71a、上辺71bおよび下辺71cの三辺からなる連続した三角形が、第2ハウジング20の周方向に掃引された形状となっている。換言すれば、粗面部70は、拡幅壁24aに円形階段状になるように形成されている。なお、本実施形態の粗面部70は、拡幅壁24aを周方向に沿って削りとり、図2に示すような円周状の穿孔部80を複数形成することによって円形階段状にされている。すなわち、拡幅壁24aの延長面よりも下側に粗面部70が形成されている。
次に、本実施形態に係る圧力センサ100の作用効果について説明する。
この圧力センサ100は、誘導路23aの側壁に連続する拡幅壁24aに粗面部70を有しているため、粗面部70を有さない構成に較べて、誘導路23aの側壁に沿って導入空間内に浸入してくる異物に対して沿面距離を長くすることができる。このため、異物を粗面部70によってトラップしやすくすることができる。これにより、異物がメタルダイヤフラム50近傍に堆積することを抑制でき、異物がメタルダイヤフラム50の変位を阻害することを抑制することができる。したがって、異物に起因する圧力検出の感度低下や、検出精度の低下を抑制することができる。なお、異物とは、例えば、車両燃料中の水や煤などを指す。また、粗面部70が誘導路23aに形成されていても、異物をトラップする効果を奏することができるが、粗面部70が拡幅壁24aに形成されていることにより、誘導路23aによって測定媒体が乱流となることを抑制することができる。したがって、測定媒体のメタルダイヤフラム50への作用を安定させることができ、圧力の検出精度の低下を抑制することができる。
また、本実施形態における粗面部70は、筒状とされた第2ハウジング20の周方向に沿って全周に亘って形成されている。このため、誘導路23aに沿って進入してくる異物に対して、トラップする効果を全周に亘って機能させることができる。
また、本実施形態における粗面部70は鋸刃状に形成されている。この構成は、拡幅壁24aを周方向に切削するだけで形成することができるため、特別な加工を必要としない。すなわち、一般的な金属加工の方法を用いて簡便に形成することができる。なお、粗面部70は、切削による形成に限定されることなく、ダイカストや鍛造によって形成することもできる。
(変形例1)
なお、上記した第1実施形態では、粗面部70が、円周状の穿孔部80を設けることによって形成されているが、図4に示すように、拡幅壁24aに三角形の突起部81を設けることによって形成されてもよい。
なお、上記した第1実施形態では、粗面部70が、円周状の穿孔部80を設けることによって形成されているが、図4に示すように、拡幅壁24aに三角形の突起部81を設けることによって形成されてもよい。
(第2実施形態)
第1実施形態における粗面部70は、第2ハウジング20の軸に沿う断面において、複数の三角形が拡幅壁24aに沿う方向に連続して並んで形成されている。とくに、図2および図4に示すように、この三角形は上辺71bと下辺71cとが直交する直角三角形を成している。
第1実施形態における粗面部70は、第2ハウジング20の軸に沿う断面において、複数の三角形が拡幅壁24aに沿う方向に連続して並んで形成されている。とくに、図2および図4に示すように、この三角形は上辺71bと下辺71cとが直交する直角三角形を成している。
これに対して、本実施形態では、図5に示すように、底辺71aと下辺71cの成す角αが、底辺71aと上辺71bの成す角βよりも大きくなっている。また、本実施形態では、角αおよび角βともに鋭角であり、上辺71bと下辺71cの成す角γも鋭角となっている。なお、図5は粗面部70の拡大断面図である。
角αおよび角βは三角形の内角であり、かつ、α>βであるから、底辺71aと上辺71bの成す角βの外角は必ず鈍角となる。このため、万一粗面部70でトラップできずに進入した異物が存在していたとしても、角βの外角が鋭角の場合に較べて、図5の一点鎖線に示すように、メタルダイヤフラム50側から誘導路23a側に排出しやすくすることができる。
また、本実施形態では、上辺71bと下辺71cの成す角γが鋭角である。角αおよび角βの補角である角δは、角γに対して錯角であるから、角δも鋭角となる。このため、図5の二点鎖線に示すように、異物を誘導路23a側からメタルダイヤフラム50側に進入しにくくすることができる。
(変形例2)
なお、上記した第2実施形態では、角αが鋭角となる形態について説明したが、図6に示すように、角αが鈍角であってもよい。この場合、角δは必ず鋭角になるため、異物を誘導路23a側からメタルダイヤフラム50側に進入しにくくすることができる。
なお、上記した第2実施形態では、角αが鋭角となる形態について説明したが、図6に示すように、角αが鈍角であってもよい。この場合、角δは必ず鋭角になるため、異物を誘導路23a側からメタルダイヤフラム50側に進入しにくくすることができる。
(第3実施形態)
第1実施形態および第2実施形態では、粗面部70の第2ハウジング20の軸方向に沿う断面形状が鋸刃状である例について示した。これに対して、本実施形態では、拡幅壁24aに複数の突起部90が設けられることにより粗面部70が形成される例を示す。
第1実施形態および第2実施形態では、粗面部70の第2ハウジング20の軸方向に沿う断面形状が鋸刃状である例について示した。これに対して、本実施形態では、拡幅壁24aに複数の突起部90が設けられることにより粗面部70が形成される例を示す。
図7に示すように、本実施形態における粗面部70は、拡幅壁24aに形成された複数の突起部90により成る。この突起部90は、拡幅壁24aのうち、誘導路23a側に設けられている。そして、この突起部90は、図8に示すように、第2ハウジング20の軸を中心として、周方向に全周に亘って形成されている。これによれば、第1実施形態と同様に、誘導路23aに沿って進入してくる異物を、突起部90によりトラップすることができる。よって、異物がメタルダイヤフラム50近傍に堆積することを抑制でき、異物がメタルダイヤフラム50の変位を阻害することを抑制することができる。したがって、異物に起因する圧力検出の感度低下や、検出精度の低下を抑制することができる。
(変形例3)
また、粗面部70は、図9に示すように、拡幅壁24aに形成された複数の穿孔部91により形成されてもよいし、図10に示すように、突起部90と穿孔部91が混在して形成されていてもよい。
また、粗面部70は、図9に示すように、拡幅壁24aに形成された複数の穿孔部91により形成されてもよいし、図10に示すように、突起部90と穿孔部91が混在して形成されていてもよい。
(その他の実施形態)
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は上述した実施形態になんら制限されることなく、本発明の主旨を逸脱しない範囲において、種々変形して実施することが可能である。
上記した各実施形態では、粗面部70が、第2ハウジング20の軸を中心とした周方向に対して全周に亘って形成された例について示した。しかしながら、この例に限定されない。粗面部70は、拡幅壁24aの一部に形成されていれば、異物をトラップする効果を奏することができる。ただし、上記した例のように、粗面部70が第2ハウジング20の軸を中心とした周方向に対して全周に亘って形成されていることによって、誘導路23aから進入してくる異物を全周に亘ってくまなくトラップすることができる。
また、上記した各実施形態では、粗面部70について、拡幅壁24aを掘削等により加工する例を示した。換言すれば、粗面部70が拡幅部24と同一の材料により構成され、拡幅部24と一体的に形成される例を示した。しかしながら、粗面部70は、拡幅部24と別体の部材を拡幅壁24aに固定することによって形成されてもよい。例えば、異物をトラップする異物吸着ブラシ等を拡幅壁24aに設置してもよい。
また、上記した各実施形態では、拡幅部24が、誘導路23aからメタルダイヤフラム50に向かって径が徐々に大きくなるように拡幅された拡幅路24aを有する例について示した。しかしながら、拡幅路24aの形状は上記例に限定されない。例えば、図11に示すように、拡幅路24aが誘導路23aからメタルダイヤフラム50に向かって一定の径を有し、その径が誘導路23aの径よりも大きくされた構成であってもよい。この構成でも、誘導路23aに沿ってメタルダイヤフラム50側に進入してくる異物を、粗面部70によりトラップすることができる。
100・・・圧力センサ
10・・・第1ハウジング
20・・・第2ハウジング
21・・・第1筒部,22・・・第2筒部,23・・・誘導部,24・・・拡幅部
23a・・・誘導路,24a・・・拡幅路
30・・・センサチップ
40・・・ターミナル
50・・・メタルダイヤフラム
70・・・粗面部
10・・・第1ハウジング
20・・・第2ハウジング
21・・・第1筒部,22・・・第2筒部,23・・・誘導部,24・・・拡幅部
23a・・・誘導路,24a・・・拡幅路
30・・・センサチップ
40・・・ターミナル
50・・・メタルダイヤフラム
70・・・粗面部
Claims (6)
- 測定媒体の圧力に応じたセンサ信号を出力するセンサチップ(30)と、
一面(11a)に凹部(13)を有し、前記凹部に前記センサチップが配置される第1ハウジング(10)と、
筒状を成して中空部を有するとともに、前記中空部に前記第1ハウジングが挿入されることで前記第1ハウジングと一体に組み付けられる第2ハウジング(20)と、
前記測定媒体の圧力が印加され、前記中空部を、前記第1ハウジングにおける前記一面側の一端が収容される収容空間と、前記測定媒体が導入される導入空間とに区切るメタルダイヤフラム(50)と、
前記収容空間における、前記メタルダイヤフラムと前記第1ハウジングの前記一面に囲まれて成る圧力検出室(17)に充填され、前記メタルダイヤフラムに作用する前記測定媒体の圧力を前記センサチップに伝達する圧力伝達媒体(18)と、を備え、
前記導入空間が、
前記測定媒体を前記メタルダイヤフラムに向けて誘導する誘導路(23a)と、
該誘導路から前記メタルダイヤフラムにかけて路幅が拡がった拡幅路(24a)と、から成る圧力センサであって、
前記拡幅路の側壁である拡幅壁に、前記測定媒体に混入した異物をトラップする粗面部(70)を有することを特徴とする圧力センサ。 - 前記粗面部は、筒状とされた前記第2ハウジングの周方向に沿って全周に亘って形成されることを特徴とする請求項1に記載の圧力センサ。
- 前記粗面部は、前記第2ハウジングの軸方向に沿う断面形状が鋸刃状であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサ。
- 前記粗面部は、鋸刃状の断面が、筒状とされた前記第2ハウジングの周方向に沿って全周に亘って掃引された形状を成すことを特徴とする請求項3に記載の圧力センサ。
- 前記第2ハウジングの軸方向に沿う断面において、前記粗面部は、鋸刃状を成す単位胞として三角形を成し、
該三角形は、前記拡幅壁に平行な底辺(71a)と、前記メタルダイヤフラムに近い側の上辺(71b)と、前記誘導路に近い側の下辺(71c)と、から成り、
前記底辺と前記下辺の成す角(α)が、前記底辺と前記上辺の成す角(β)よりも大きいことを特徴とする請求項3または請求項4に記載の圧力センサ。 - 前記粗面部は、前記拡幅壁に対して、複数の突起部(81,90)、および、複数の穿孔部(80,91)、の少なくとも一方により形成されることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の圧力センサ。
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