JP2015061059A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015061059A5
JP2015061059A5 JP2013196081A JP2013196081A JP2015061059A5 JP 2015061059 A5 JP2015061059 A5 JP 2015061059A5 JP 2013196081 A JP2013196081 A JP 2013196081A JP 2013196081 A JP2013196081 A JP 2013196081A JP 2015061059 A5 JP2015061059 A5 JP 2015061059A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magnetic layer
sensing element
strain sensing
layer
element according
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2013196081A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2015061059A (ja
JP6173855B2 (ja
Filing date
Publication date
Priority claimed from JP2013196081A external-priority patent/JP6173855B2/ja
Priority to JP2013196081A priority Critical patent/JP6173855B2/ja
Application filed filed Critical
Priority to US14/333,906 priority patent/US9897494B2/en
Priority to TW103125503A priority patent/TW201516387A/zh
Publication of JP2015061059A publication Critical patent/JP2015061059A/ja
Publication of JP2015061059A5 publication Critical patent/JP2015061059A5/ja
Publication of JP6173855B2 publication Critical patent/JP6173855B2/ja
Application granted granted Critical
Priority to US15/855,668 priority patent/US10190923B2/en
Priority to US16/234,123 priority patent/US10444085B2/en
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2013196081A 2013-09-20 2013-09-20 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル Expired - Fee Related JP6173855B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013196081A JP6173855B2 (ja) 2013-09-20 2013-09-20 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
US14/333,906 US9897494B2 (en) 2013-09-20 2014-07-17 Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel
TW103125503A TW201516387A (zh) 2013-09-20 2014-07-25 應變感測元件,壓力感測器,麥克風,血壓感測器,及觸控面板
US15/855,668 US10190923B2 (en) 2013-09-20 2017-12-27 Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel
US16/234,123 US10444085B2 (en) 2013-09-20 2018-12-27 Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2013196081A JP6173855B2 (ja) 2013-09-20 2013-09-20 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル

Related Child Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2017131414A Division JP6363271B2 (ja) 2017-07-04 2017-07-04 センサ

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015061059A JP2015061059A (ja) 2015-03-30
JP2015061059A5 true JP2015061059A5 (enExample) 2016-05-12
JP6173855B2 JP6173855B2 (ja) 2017-08-02

Family

ID=52689772

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013196081A Expired - Fee Related JP6173855B2 (ja) 2013-09-20 2013-09-20 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル

Country Status (3)

Country Link
US (3) US9897494B2 (enExample)
JP (1) JP6173855B2 (enExample)
TW (1) TW201516387A (enExample)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5951454B2 (ja) 2012-11-20 2016-07-13 株式会社東芝 マイクロフォンパッケージ
JP6173855B2 (ja) * 2013-09-20 2017-08-02 株式会社東芝 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
JP6212000B2 (ja) 2014-07-02 2017-10-11 株式会社東芝 圧力センサ、並びに圧力センサを用いたマイクロフォン、血圧センサ、及びタッチパネル
JP6523004B2 (ja) 2015-03-24 2019-05-29 株式会社東芝 歪検知素子および圧力センサ
US20170092451A1 (en) * 2015-09-30 2017-03-30 Kyocera Corporation Switch and electronic device
JP6363271B2 (ja) * 2017-07-04 2018-07-25 株式会社東芝 センサ
JP7013346B2 (ja) * 2018-03-14 2022-01-31 株式会社東芝 センサ
JP7410935B2 (ja) 2018-05-24 2024-01-10 ザ リサーチ ファウンデーション フォー ザ ステイト ユニバーシティー オブ ニューヨーク 容量性センサ
JP6889135B2 (ja) * 2018-09-14 2021-06-18 株式会社東芝 センサ
CN109883456B (zh) * 2019-04-02 2024-06-28 江苏多维科技有限公司 一种磁电阻惯性传感器芯片

Family Cites Families (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5891586A (en) * 1995-01-27 1999-04-06 Alps Electric Co., Ltd. Multilayer thin-film for magnetoresistive device
JP2001237473A (ja) * 1999-12-14 2001-08-31 Tdk Corp 複合磁性薄膜
JP4355439B2 (ja) * 2000-11-09 2009-11-04 東北リコー株式会社 微小圧力検知素子、この素子を用いた装置及び健康監視システム
JP2003298139A (ja) * 2002-03-29 2003-10-17 Alps Electric Co Ltd 磁気検出素子
DE10319319A1 (de) * 2003-04-29 2005-01-27 Infineon Technologies Ag Sensoreinrichtung mit magnetostriktivem Kraftsensor
US7270896B2 (en) * 2004-07-02 2007-09-18 International Business Machines Corporation High performance magnetic tunnel barriers with amorphous materials
JP2006295000A (ja) * 2005-04-13 2006-10-26 Sony Corp 記憶素子及びメモリ
JP4768488B2 (ja) * 2006-03-27 2011-09-07 株式会社東芝 磁気抵抗効果素子,磁気ヘッド,および磁気ディスク装置
JP2009094104A (ja) * 2007-10-03 2009-04-30 Toshiba Corp 磁気抵抗素子
US8372661B2 (en) * 2007-10-31 2013-02-12 Magic Technologies, Inc. High performance MTJ element for conventional MRAM and for STT-RAM and a method for making the same
US20090122450A1 (en) 2007-11-08 2009-05-14 Headway Technologies, Inc. TMR device with low magnetostriction free layer
JP5361201B2 (ja) * 2008-01-30 2013-12-04 株式会社東芝 磁気抵抗効果素子の製造方法
JP2010080806A (ja) * 2008-09-29 2010-04-08 Canon Anelva Corp 磁気抵抗素子の製造法及びその記憶媒体
KR101683135B1 (ko) * 2009-03-13 2016-12-06 시게이트 테크놀로지 엘엘씨 수직자기기록매체
US8259420B2 (en) 2010-02-01 2012-09-04 Headway Technologies, Inc. TMR device with novel free layer structure
JP5101659B2 (ja) 2010-05-25 2012-12-19 株式会社東芝 血圧センサ
JP5235964B2 (ja) 2010-09-30 2013-07-10 株式会社東芝 歪検知素子、歪検知素子装置、および血圧センサ
JP2012160681A (ja) * 2011-02-03 2012-08-23 Sony Corp 記憶素子、メモリ装置
JP5443421B2 (ja) 2011-03-24 2014-03-19 株式会社東芝 磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドジンバルアッセンブリ、及び、磁気記録再生装置
JP2013033881A (ja) * 2011-08-03 2013-02-14 Sony Corp 記憶素子及び記憶装置
JP5665707B2 (ja) 2011-09-21 2015-02-04 株式会社東芝 磁気抵抗効果素子、磁気メモリ及び磁気抵抗効果素子の製造方法
JP5677258B2 (ja) * 2011-09-27 2015-02-25 株式会社東芝 歪検知装置及びその製造方法
JP5701807B2 (ja) 2012-03-29 2015-04-15 株式会社東芝 圧力センサ及びマイクロフォン
JP5367877B2 (ja) 2012-06-19 2013-12-11 株式会社東芝 Mems圧力センサ
JP6113581B2 (ja) * 2013-06-12 2017-04-12 株式会社東芝 圧力センサ、音響マイク、血圧センサ及びタッチパネル
JP6173854B2 (ja) 2013-09-20 2017-08-02 株式会社東芝 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
JP6223761B2 (ja) * 2013-09-20 2017-11-01 株式会社東芝 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル
JP6173855B2 (ja) * 2013-09-20 2017-08-02 株式会社東芝 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
JP6200358B2 (ja) * 2014-03-20 2017-09-20 株式会社東芝 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサおよびタッチパネル

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015061059A5 (enExample)
JP5395366B2 (ja) 磁気素子のスピンバルブ構造およびcpp−gmrスピンバルブ構造、ならびに磁気再生ヘッドにおけるスピンバルブ構造の形成方法
JP6212000B2 (ja) 圧力センサ、並びに圧力センサを用いたマイクロフォン、血圧センサ、及びタッチパネル
US10746526B2 (en) Strain sensing element and pressure sensor
JP5711705B2 (ja) 圧力検知素子及びその製造方法
US10444085B2 (en) Strain sensing element, pressure sensor, microphone, blood pressure sensor, and touch panel
JP6291370B2 (ja) 歪検出素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
JP2015061070A5 (enExample)
JP2016161410A (ja) 歪検出素子、圧力センサ及びマイクロフォン
JP2013254957A5 (enExample)
US10094723B2 (en) Sensor and electronic device
JP4862564B2 (ja) トンネル型磁気検出素子およびその製造方法
JP2015179779A (ja) 歪検出素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
JP6421101B2 (ja) センサ、情報端末、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
US20180231621A1 (en) Sensor
US10788545B2 (en) Sensor having deformable film portion and magnetic portion and electronic device
JP7555484B2 (ja) ヒステリシス応答を低減した2次元磁気センサ用磁気抵抗素子
JP7652784B2 (ja) 高磁場での誤差が小さな、2次元磁場を感知する磁気抵抗センサ素子
JP6577632B2 (ja) センサ
JP2018082186A (ja) センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル
JP6967259B2 (ja) 高感度面直通電巨大磁気抵抗素子、及びその用途
JP6363271B2 (ja) センサ
JP6615971B2 (ja) センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル