JP2015056651A - 受光素子と光結合型絶縁装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】受光素子は、第1導電形を有する基板と、高抵抗半導体層と、第1の層と、第2の層と、絶縁層と、金属配線層と、導電膜と、を有する。第1の層は、高抵抗半導体層内に設けられ、表面領域と、内部領域と、を含み、第1導電形を有する。表面領域の厚さは内部領域の厚さよりも小さい。第2の層は、高抵抗半導体層内に設けられ、第2導電形を有する。第2の層は、高抵抗半導体層を挟んで第1の層に隣接して配置される。金属配線層は、第2の層の表面に接続される。導電膜は、高抵抗半導体層の表面のうち第1の層の表面領域と第2の層との間の領域と、金属配線層と、第2の層と、を覆う。表面領域の幅は、内部領域の幅よりも広い。内部領域の側面と第2の層の側面とは、互いに対向する。基板と、表面領域と、導電膜と、は、第1の電位とされる。
【選択図】図1
Description
図1(a)は第1の実施形態にかかる受光素子の受光部領域の模式平面図、図1(b)はA−A線に沿った模式断面図である。
受光素子10は、基板12と、高抵抗半導体層20と、第1の層22と、第2の層26と、絶縁層60と、金属配線層50と、導電膜52と、を有する。
比較例の受光素子110は、p基板112上に、n層120が設けられている。n層120の上にn+形層122が設けられ、n+形層122の表面の一部に、絶縁層150を介してカソード電極130が接続される。このような受光素子110のp基板112の裏面を接地し、カソード電極130を信号処理回路160に接続する。
第2の層26はおよび金属配線層50は、2次元状にかつ規則的に配置された複数の領域を含む。図3(a)において、第2の層26および金属配線層50の複数の領域はそれぞれ正方形または矩形をなし、格子状にそれぞれ配列される。また、第1の層22は、第2の層26の複数の領域のうちの、2つの領域の中央に配置される。複数の領域は2次元状に配置されるので、第1の層22は、たとえば、正方形や矩形の開口部が設けられた網状の平面構造とし、第2の層26の複数の領域をそれぞれ囲む。
第2の層26はおよび金属配線層50は、互いに所定の間隔を保ち2次元的に規則的に配列された複数の領域を含む。また、第1の層22は、第2の層26および金属配線層50を囲むようになハニカム構造として、第2の実施形態の平面配置よりも高密度の配置とでき、導電膜52で遮光する領域の面積を低減し、受光感度を高めることができる。なお、第1および第2引き出し部は、表示していない。
第1の層22のうち、内部領域22b(厚さT2が大きい)が、第2の層26を8角形状に囲む。この場合、内部領域22bの側面と、第2の層26の側面との距離を、第2の実施形態(矩形平面形状)や第3の実施形態(ハニカム形状)よりも、均一とすることができる。このため、横方向の空乏層がより均一に広がり、キャリアの走行時間をほぼ同じにすることができる。また、受光面積をより広くすることができる。なお、平面配置はこれらの実施形態に限定されない。なお、第1および第2引き出し部は、表示していない。
光結合型絶縁装置(フォトカプラおよびフォトリレーを含む)80は、第1〜第4の実施形態の受光素子10と、受光素子10へ近赤外光を照射する発光素子84と、を有している。もし、受光素子10が出力リード83の上に設けられ、発光素子84が入力リード82の上に設けられた場合、互いに対向する発光素子84と受光素子10とを包むインナ樹脂層86とアウタ樹脂層87とをさらに設けることができる。
光結合型絶縁装置80は、入力リード82(発光素子84の側)と出力リード83(受光素子10の側)とが絶縁されている。このため、入力リード82と出力リード83との間に、浮遊容量を有する。
Claims (5)
- 第1導電形を有する基板と、
前記基板の上に設けられた半導体からなる高抵抗半導体層と、
前記高抵抗半導体層内に設けられ、表面領域と、前記表面領域の下方でありかつ前記表面領域に連続した内部領域と、を含み、第1導電形を有する第1の層であって、前記表面領域の厚さは前記内部領域の厚さよりも小さい、第1の層と、
前記基板に到達しないように前記高抵抗半導体層内に設けられ、第2導電形を有し、前記第1の層の延在方向と直交する第1の断面において、前記高抵抗半導体層を挟んで前記第1の層に隣接して配置された、第2の層と、
前記高抵抗半導体層と、前記第1の層と、前記第2の層と、の上に設けられた絶縁層と、
前記第2の層の表面に接続され、前記高抵抗半導体層の表面との間に前記絶縁層が充填された金属配線層と、
前記高抵抗半導体層の前記表面のうち前記第1の層の前記表面領域と前記第2の層との間の領域と、前記金属配線層と、前記第2の層と、を覆い、かつ前記高抵抗半導体層の前記表面との間に前記絶縁層が充填された導電膜と、
備え、
前記第1の断面において、前記表面領域の幅は、前記内部領域の幅よりも広く、
前記内部領域の側面と前記第2の層の側面とは、前記高抵抗半導体層を挟んで互いに対向し、
前記基板と、前記表面領域と、前記導電膜と、は、第1の電位とされた、受光素子。 - 前記第2の層は2次元状にかつ規則的に配置された複数の領域を含み、
前記第1の層は前記第2の層の前記複数の領域を網状にそれぞれ囲む、請求項1記載の受光素子。 - 前記金属配線層は、第1引き出し部と、前記第1引き出し部で接続された複数の領域と、を含む請求項1または2に記載の受光素子。
- 前記導電膜は、第2引き出し部と、前記第2引き出し部で接続された複数の領域と、を含む請求項1〜3のいずれか1つに記載の受光素子。
- 請求項1〜4のいずれか1つに記載の受光素子と、
前記受光素子に近赤外光を照射する発光素子と、
前記受光素子が接着され、前記第1の電位が接続される接地リードを含む出力リードと、
前記発光素子が接着され、前記出力リードと絶縁された入力リードと、
を備えた光結合型絶縁装置。
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