JP2015039007A - オーバレイ測定におけるマイクロターゲットの設計と使用のための方法と装置 - Google Patents
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Abstract
Description
従って、xy両方向での複雑なモデリング工程を必要とせず、測定された対称パラメータをオーバレイに相関させて、そのようなターゲットのためのオーバレイを決定出来るようなオーバレイターゲットを設計するための改良された技術が必要である。オーバレイの為の相関された測定された対称の為の簡素化された目盛校正技術も有用であろう。
オーバレイ=(D/2)*(ΔP/P)
である。このアプローチの主な利点は、ターゲットの特定が必要でないことであり、このことは、ツールの行動について大進歩である。ターゲットアレイを線アレイとしてグラフ表示することが不必要であることに留意される。例によっては、ターゲットは異なる順に置かれてもよく、任意のFOVでもよい。これらターゲットの解析の為にはこれらは個々のターゲットの非対称パラメータの値とOVLの記号とに従って順に並べられなくてはならない。OVLオフセットのステップの記号が異なる二本のアレイの間の区別をする為には、アレイの中の一本の為の総ての既定のOVLオフセットの値が例えばOVLオフセットステップの半分だけシフトされることが可能である。その代わりの手段として、第二のアレイを最上と最下の層に対して鉛直と水平の棒/溝を逆に対応させて印刷してもよい。
Claims (19)
- 第一方向に伸びる第一層内の一個以上の線または溝構成と、
第一構成と直交する第二方向に伸びる第二層内の一個以上の線または溝構成とから成り、
両方の層の構成は交差し、第一方向のオーバレイは第二方向の画像対称に影響を与えず、かつ第二方向のオーバーレイは第一方向の画像対称に影響を与えないオーバレイ決定用の半導体ターゲット。 - ターゲットが第一層内の唯一本の線または溝と第二層内の唯一本の線または溝から成る請求項1に記載のオーバレイ決定用の半導体ターゲット。
- ターゲットが第一方向と第二方向の各々に沿って3μm以下伸びたものである請求項1または2に記載のオーバレイ決定用の半導体ターゲット。
- ターゲットが半導体領域の活性領域内に形成されたものである請求項1ないし3のいずれか記載のオーバレイ決定用の半導体ターゲット。
- 第一と第二層の一本以上の線構成が非活性ダミー構成である請求項1ないし4のいずれか記載のオーバレイ決定用の半導体ターゲット。
- 第一と第二層の一本以上の線構成が半導体ウエファ上に形成されつつある装置の構成である請求項4に記載のオーバレイ決定用の半導体ターゲット。
- 複数のターゲット構成を含む半導体ダイを製造する方法であって、
第一方向に伸びる一本以上の線または溝構成を含む第一層を形成するステップと、
第一構成と直交する第二方向に伸びる一本以上の線または溝構成を含む第二層を形成するステップとから成り、
第一方向へのターゲット構成の投影は第二方向から独立であり、第二方向へのターゲット構成の投影は第一方向から独立である方法。 - ターゲットが第一層内の唯一本の線または溝と第二層内の唯一本の線または溝から成る請求項7に記載の方法。
- ターゲットが第一方向と第二方向の各々に沿って3μm以下伸びたものである請求項7または8に記載の方法。
- ターゲットが半導体領域の活性領域内に形成されたものである請求項7ないし9のいずれか記載の方法。
- 第一と第二層の一本以上の線構成が非活性ダミー構成である請求項7ないし10のいずれか記載の方法。
- 第一と第二層の一本以上の線構成が半導体ウエファ上に形成されつつある装置の構成である請求項10に記載の方法。
- オーバレイ測定用の目盛校正曲線を生成する方法であって、
ウエファ上にターゲットの第一アレイを印刷するステップと、
アレイ内の各ターゲットについて、ターゲット非対称パラメータを計算するステップと、
各ターゲットオーバレイ測定に参照用に使用される為の計算されたターゲット非対称パラメータ値を含む第一目盛校正曲線を生成するステップとを含み、曲線の対称中心がゼロオーバレイに対応するものである方法。 - 各ターゲットの第一部分はウエファの第一層の中に印刷され、各ターゲットの第二部分はウエファの第二層の中に印刷される請求項13に記載の方法。
- ターゲットのアレイを印刷するステップは既定のオーバレイ値を持つ三個のターゲットを印刷することを含み、方法は更に印刷されたターゲットに追加的オーバレイシフトをさせるステップと、追加的オーバレイシフトと逆の符号を持つ架空的ターゲットの一組の為の対応するオーバレイ値を測定する為オーバレイ値に対する目盛校正曲線の対称を使用するステップを含み、目盛校正曲線を生成するステップは印刷されたアーゲットと架空的ターゲットのオーバレイ値を使用してゼロオーバレイに対応する対称中心を決定することを含む、請求項13または14に記載の方法。
- 印刷するステップはウエファの活性領域内に任意の順序で第一アレイ内に印刷するステップを含み、方法は更に各ターゲット用に対称パラメータ値を測定するステップと、測定された対称パラメータ値を使用してターゲットを分類するステップを含む請求項13ないし5のいずれか記載の方法。
- 更に、ウエファ上に第二アレイを印刷し、十字架形ターゲットの第一アレイのピッチがターゲットの第二アレイのピッチとことなるようにするステップと、ターゲットの第二アレイの計算されたターゲット非対称パラメータ値を含めて第二目盛校正曲線を生成し、その曲線の対称中心がゼロオーバレイに対応するようにするステップと、第一と第二の目盛校正曲線の夫々の対称中心間の距離に基づいたオーバレイ値と、その後のターゲット間のオーバレイオフセットの差の比と、ターゲットアレイのピッチとを計算するステップとから成る請求項13ないし16のいずれか記載の方法。
- 第二アレイを印刷するステップが、第一アレイのターゲットと同じオフセットの絶対値を持つが、異なる符号の第二アレイのターゲットを印刷するものである請求項17に記載の方法。
- ターゲットは十字架形であり、アレイの各ターゲットは十字形を形成する水平方向のバーと鉛直方向のバーとの間に異なるオフセットを持つものである請求項13ないし18のいずれか記載の方法。
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