JP2015035905A - アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 アクチュエータの変位を大きくしたり、大きな出力を得ることができるアクチュエータを提供すること。【解決手段】 導電性高分子を備える複数の電極層１，２と電解質層３とが積層され、前記電極層１，２に電圧を印加することにより伸縮する伸縮駆動部１３を固定部１１と作用部１２として構成するアクチュエータ１００，３００の所定部に切り込み１５を入れた。この切り込み１５によって、伸縮駆動部の有効長さを増大させることでアクチュエータ１００の変位を大きくしたり、或いは、アクチュエータ３００の支えを強くすることで、応答性の劣化や、反りの変位の減少という問題を生じることなしに大きな出力を得ることができる。【選択図】図１

Description

本発明は、アクチュエータに関する。

従来、圧電素子の圧電効果を利用した圧電型のアクチュエータ（以下「圧電アクチュエータ」という。）が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
圧電アクチュエータは、例えば、２枚の板状の圧電素子を貼り合わせて、一方の圧電素子には伸長方向に電圧を印加し、他方の圧電素子には短縮方向に電圧を印可することにより圧電素子の延在方向に対して垂直方向（すなわち、圧電素子の貼り合せ面に対して垂直方向）の反りを生じさせるバイモルフ型や、金属板の一方の面に板状の圧電素子を貼り合せて、この圧電素子に電圧を印加して伸縮させることにより反りを生じさせるユニモルフ型のものが一般的である。

しかし、従来の圧電アクチュエータは、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）等の圧電効果特性を有するセラミック材料の両面に電極層を貼り合わせた板状の圧電素子（ピエゾ素子）等を適用したものが一般的であり、圧電素子の伸縮に起因して生じる板状部の反り（変位）が小さく、また高い電圧を印加する必要があるといった問題がある。

そこで、近時、複数の電極層の間に電解質層を挟み込み、薄い板状とした導電性高分子アクチュエータも開発されている。この導電性高分子アクチュエータは、電圧を印加することにより、電解質層内でイオンの移動が生じ、電極付近の分子が膨らむことで物理的に変形し、板状部に反り（変位）を生ずる。
アクチュエータをこのような構成とした場合には、比較的低い電圧を印加することで板状部の変位を生じさせることができる。また、構成も単純であり、板状部の反り（変位）も比較的大きくすることができるため、小型機器における効率のよい駆動源として期待される。

特開２００８−１９３８９３号公報

ところで、アクチュエータの一端部を固定部とし、他端部を作用部とする場合、アクチュエータの反り方は、印加電圧の大きさと、アクチュエータの長さとに依存する。つまり、印加電圧が大きければ反りが大きくなり、また、アクチュエータの長さが長ければ反りが大きくなる。
このため、ある程度の印加電圧で大きな変位をもたらすには、長いアクチュエータを用いる必要がある。しかし、長いアクチュエータを用いるには、それなりの設置スペースを確保することが必要であり、小型機器においては、十分な設置スペースを確保することができず、長いアクチュエータを搭載することができない場合が想定される。
また一方で、アクチュエータの出力を大きくするには、アクチュエータを厚くする必要がある。しかし、アクチュエータを厚くする場合、応答性の劣化や、反りの変位の減少という問題が生じる。
本発明は、かかる事情に鑑みなされたもので、以上の問題点を解決し得るアクチュエータを提供することを目的とする。

本発明は、導電性高分子を備える複数の電極層と電解質層とが積層され、前記電極層に電圧を印加することにより伸縮する伸縮駆動部を固定部と作用部として構成するアクチュエータであって、前記アクチュエータの所定部に切り込みを入れたことを特徴とする。

本発明によれば、アクチュエータの所定部に切り込みを入れることで、伸縮駆動部の有効長さを増大させることでアクチュエータの変位を大きくしたり、或いは、アクチュエータの支えを強くすることで、応答性の劣化や、反りの変位の減少という問題を生じることなしに大きな出力を得ることができる。

図１は第１の実施形態のアクチュエータを示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の斜視図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の斜視図である。 図２はアクチュエータの層構成等を示す断面図である。 図３は比較例のアクチュエータを示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の斜視図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の斜視図である。 図４は第２の実施形態のアクチュエータを示し、（Ａ）はアクチュエータの斜視図、（Ｂ）は電圧が印加されていない状態の正面図、（Ｃ）は電圧が印加されている状態の正面図である。 図５は第３の実施形態のアクチュエータを示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の平面図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の正面図である。 図６は第３の実施形態のアクチュエータの脚部の固定構造を示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の拡大図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の拡大図である。 図７は比較例のアクチュエータを示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の斜視図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の斜視図である。 図８は第４の実施形態のアクチュエータの電圧が印加されていない状態の平面図である。

以下、本発明の実施形態に係るアクチュエータについて説明する。なお、本実施形態に係るアクチュエータは、例えば腕時計における駆動機構等を動作させるために適用されるものであるが、本発明に係るアクチュエータの適用範囲はこれに限定されるものではない。また、以下の説明及び図面において同一の構成要素については同一符号を用い、同一の構成要素についての説明は適宜省略してある。

［第１の実施形態］
図１は第１の実施形態のアクチュエータを示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の斜視図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の斜視図を示している。
このアクチュエータ１００は、固定部１１と、作用部１２と、この固定部１１及び作用部１２が構成された板状の伸縮駆動部１３と、を備えている。そして、このアクチュエータ１００は、後述するように、電極層１，２（図２参照）に所定の電圧を印加することにより伸縮駆動部１３が伸縮することで、作用部１２が変位するように構成されている。

ここで、固定部１１は、伸縮駆動部１３の一端側に設けられ、伸縮駆動部１３を、例えば腕時計ケース等の組み込み先の所定の搭載位置に固定している部分である。この固定部１１は、例えばねじ１１１によって固定されている。なお、固定手段はこれに限定されず、接着材による固定、溶着による固定等であってもよい。

作用部１２は、伸縮駆動部１３における固定部１１から離れた位置に配置され、電極層１，２に電圧を印加することにより伸縮駆動部１３が伸縮すると、この伸縮に伴って変位する部分である。図１には、この作用部１２によって動作される動作部材１２１を例示してある。

伸縮駆動部１３は、電極層１，２に電圧を印加することにより伸縮する板状の部分である。この伸縮駆動部１３は、導電性高分子を備える複数の電極層と電解質層とが積層されたものであり、本実施形態では、図２に示すように、電解質層３の両面にそれぞれ電極層１，２が積層された３層構造となっている。なお、この第１の実施形態では、固定部１１及び作用部１２は、伸縮駆動部１３の一部に構成されているので、同様な層構成となっている。

続いて、電解質層３について説明すれば、電解質層３は、例えば、高分子マトリクス中に常温溶融塩を含有させてなるゲル状電解質であり、高分子マトリクスとしては、可撓性を有する公知の高分子を用いることができる。具体的には、例えば、ポリアミド、ポリエステル、ポリビニルアルコール、ポリ酢酸ビニル、ポリアクリル酸やそのエステル、ポリアクリルアミド、ポリスチレン、ポリウレタン、ポリフッ化ビニリデン、ポリエチレンオキシド、ポリプロピレンオキシド等が挙げられ、これらの高分子を単独で用いるか、複数混合または架橋させて用いられる。なお、電解質層３を構成する材料はここに例示したものに限定されない。

また、電極層１，２は、電解質層３の上に薄膜状に形成された電極であり、導電性高分子と導電材とを備えている。

このうち導電性高分子は、電圧印加による酸化還元反応に伴うイオンのドープ／脱ドープを可能とし、例えば電極層１，２間に電圧が印加されてイオンがドープされると、電極層１，２のうち、陰極が接続されている側が膨張し、イオンが脱ドープされると初期状態まで収縮する。
この電極層１，２を構成する導電性高分子としては、例えば、ポリアニリン、ポリピロール、ポリチオフェン等の公知の導電性高分子及びこれらの誘導体の何れか一種又は複数種の混合物を適用することができる。

一方、導電材は、導電性高分子と電気的に接触することによって導電性高分子に対して電子伝導を高めるように機能する。
この導電材としては、電子伝導性が高く、溶剤等に対して耐性を有し、且つ導電性高分子が酸化還元する電位範囲において電気化学的に安定な炭素材料、金属等を用いる。この導電材としては、例えば炭素繊維、非結晶性炭素、黒鉛、金、白金、パラジウム等を用いることができる。
この導電材は、酸化還元により導電性高分子が膨張・収縮する際に、この導電性高分子の動きを妨げることがないような形状として粉末状、網状、多孔質状を呈しており、導電性高分子と電気的に接触した状態で電極層１，２を構成している。
具体的には、例えば、カーボンナノチューブ（ＣＮＴ）をシート状に構成したＣＮＴ電極として構成されていてもよい。

なお、電極層１，２の構成、及び導電性高分子や導電材として適用される材料等は、ここに例示したものに限定されない。

第１の実施形態のアクチュエータ１００は、上述のように、固定部１１と、作用部１２と、この固定部１１及び作用部１２が構成された板状の伸縮駆動部１３と、を備えた平面型のアクチュエータとして構成され、平面視で長方形を呈している。この場合の長辺長さと短辺長さとの比は、例えば、略２対１となっている。なお、アクチュエータ１００は薄板長方形でなくてもよい。

図１（Ａ）及び図１（Ｂ）に示すように、このアクチュエータ１００には、一側の短辺ＮＳ１に切り込み口１４を有する切り込み１５が形成されている。この切り込み１５は一側の短辺ＮＳ１の中央から他側の短辺ＮＳ２に向かって長辺ＬＳ１，ＬＳ２に平行に直線状に延びている。本実施形態では、この切り込み１５の長さは、アクチュエータ１００の長辺ＬＳ１，ＬＳ２の長さの３／４程度の長さとなっている。ただし、切り込み１５の長さの長辺ＬＳ１，ＬＳ２の長さに対する割合はこれに限定されるものではない。

そして、このアクチュエータ１００の短辺ＮＳ１側の端部には、切り込み１５で区切られる２つの領域のうちの一方の領域に固定部１１が形成され、他方の領域に作用部１２が形成されている。

また、図２に示すように、このアクチュエータ１００には、固定部１１における電極層１，２に導線４が接続されている。そして、この電極層１，２は、導線４を介して電源部５に接続されている。ここでは電源部５は直流電源となっているが、直流電源には限定されない。そして、このアクチュエータ１００は、電源部５によって電極層１，２に電圧を印加することによって、電解質層内でイオンの移動を生じさせ、電極付近の分子を膨らませることで物理的な変形を生じさせ、板状部に反り（変位）を生じさせるようになっている。

このように構成されたアクチュエータ１００によれば、変位に寄与する伸縮駆動部１３の長さ（有効長さ）は、単純に固定部１１と作用部１２とを直線的に結ぶ長さではなく、固定部１１から切り込み１５を迂回した作用部１２までの長さとなる。したがって、長辺長さが同じアクチュエータの場合であっても、本実施形態によれば伸縮駆動部１３の有効長さを略２倍とすることができるので、長いアクチュエータを用いなくても、大きな変位を産み出すことが可能となる。

これを図１及び図３を用いて説明すれば次の通りである。
図３（Ａ），（Ｂ）は比較例のアクチュエータ１００Ａを示している。このアクチュエータ１００Ａは、図１の第１の実施形態のアクチュエータ１００と長辺長さが同じで、短辺長さが１／２程度となっている。このアクチュエータ１００Ａでは、長辺方向の一端部に固定部１１が設けられ、他端部に作用部１２が設けられている。この場合、変位に寄与する伸縮駆動部１３の有効長さは、単純に固定部１１と作用部１２とを結んだ長さとなる。
一方、図１の第１の実施形態のアクチュエータ１００では、固定部１１と作用部１２との間に切り込み１８が形成され、固定部１１と作用部１２とは、切り込みを迂回して折り返される伸縮駆動部１８を介して連結されているので、伸縮駆動部１８の有効長さは比較例のアクチュエータ１００Ａの略２倍となる。

［第２の実施形態］
図４は第２の実施形態のアクチュエータを示し、（Ａ）はこのアクチュエータの斜視図、（Ｂ）は電圧が印加されていない状態の正面図、（Ｃ）は電圧が印加されている状態の正面図を示している。
この第２の実施形態のアクチュエータ２００は、第１の実施形態のアクチュエータ１００と同様に、電解質層３の両面にそれぞれ電極層１，２が積層された３層構造となっており、電極層１，２に導線４が接続され、電極層１，２が導線４を介して電源部５に接続されている（図２参照）。

この第２の実施形態のアクチュエータ２００は平面視で長方形に構成されている。このアクチュエータ２００には、渦巻き状の切り込み１５が形成されている。この切り込み１５は、直線状の切り込み部分１５１、１５２、１５３、１５４を順に連結することによって形成されている。なお、アクチュエータ２００は薄板長方形でなくてもよい。

具体的には、この切り込み１５は次のように構成されている。
切り込み部分１５１は、一側の長辺ＬＳ２１に切り込み口１４を有している。この切り込み口１４の形成箇所は、短辺ＮＳ２１側の長辺ＬＳ２１の端から長辺長さの１／４程度の距離隔たった箇所である。そして、この切り込み部分１５１は、短辺ＮＳ２１，ＮＳ２２に平行に延びている。この切り込み部分１５１の長さは、短辺長さの２／３程度の長さである。
また、切り込み部分１５２は、切り込み部分１５１の他端に一端が連絡されている。そして、この切り込み部分１５２は長辺ＬＳ２１、ＬＳ２２に平行に延びている。この切り込み部分１５２の長さは、短辺長さの１／２程度の長さである。
また、切り込み部分１５３は、切り込み部分１５２の他端に一端が連絡されている。そして、この切り込み部分１５２は、短短辺ＮＳ２１，ＮＳ２２に平行に延びている。この切り込み部分１５３の長さは、短辺長さの１／３程度の長さである。
また、切り込み部分１５４は、切り込み部分１５３の他端に一端が連絡されている。そして、この切り込み部分１５４は、長辺ＬＳ２１、ＬＳ２２に平行に延びている。この切り込み部分１５４は、長辺長さの１／４程度の長さである。

そして、このアクチュエータ２００には、切り込み部分１５２、１５３、１５４で３方が囲繞され袋小路となった中央部分に固定部１１が形成され、短辺ＮＳ２１と長辺ＬＳ２１との隅部に作用部１２が形成されている。

このアクチュエータ２００によれば、図４（Ｃ）に示すように、電源部５によって電極層１，２に電圧を印加することによって、中央の固定部１１を抑えとし、渦巻き状に外側に上っていく形となる。すなわち、このアクチュエータ２００は、長さの短い方の部分から順々に沿っていく構造となっている。

このように構成されたアクチュエータ２００によれば、変位に寄与する伸縮駆動部１３の長さ（有効長さ）は、単純に固定部１１と作用部１２とを直線的に結ぶ長さではなく、固定部１１から切り込み１５に沿った作用部１２までの長さとなる。したがって、伸縮駆動部１３の有効長さを大きくすることができるので、長いアクチュエータを用いなくても、大きな変位を産み出すことが可能となる。

なお、この第２の実施形態では渦巻き状の切り込み１５を直線状の切り込み部分１５１，１５２，１５３，１５４を連結することによって形成したが、曲率を変化させた弧状の切り込み部分を連結することによって形成してもよい。この場合、アクチュエータを平面視で円形に構成してもよい。

［第３の実施形態］
図５は第３の実施形態のアクチュエータを示し、（Ａ）はこのアクチュエータの平面図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の正面図を示している。
この第３の実施形態のアクチュエータ３００は、第１の実施形態のアクチュエータ１００と同様に、電解質層３の両面にそれぞれ電極層１，２が積層された３層構造となっており、電極層１，２に導線４が接続され、電極層１，２が導線４を介して電源部５に接続されている（図２参照）。

この第３の実施形態のアクチュエータ３００は平面視で長方形に構成されている。このアクチュエータ３００には、対向する辺に向かって延びる切り込み１５ａ〜１５ｎが各辺に形成されている。なお、アクチュエータ３００は薄板長方形でなくてもよい。

具体的には、この切り込み１５ａ〜１５ｎは次のように構成されている。
切り込み１５ａ〜１５ｄは、短辺ＮＳ３１に切り込み口を有するように形成されている。この切り込み１５ａ〜１５ｄは、短辺ＮＳ３１を等間隔に５つに区切るような位置に形成されている。この切り込み１５ａ〜１５ｄは、長辺ＬＳ３１，ＬＳ３２に平行に延びている。この切り込み１５ａ〜１５ｄの長さは、長辺長さの１／４程度の長さである。
切り込み１５ｅ〜１５ｈは、短辺ＮＳ３２に切り込み口を有するように形成されている。この切り込み１５ｅ〜１５ｈは、短辺ＮＳ３２を等間隔に５つに区切るような位置に形成されている。この切り込み１５ｅ〜１５ｈは、長辺ＬＳ３１，ＬＳ３２に平行に延びている。この切り込み部分１５ｅ〜１５ｈの長さは、長辺長さの１／４程度の長さである。
切り込み１５ｉ〜１５ｋは、長辺ＬＳ３１に切り込み口を有するように形成されている。この切り込み１５ｉ〜１５ｋは、上記切り込み１５ａ〜１５ｄと同じ間隔で長辺ＬＳ３１の中央位置に形成されている。この切り込み１５ｉ〜１５ｋは、短辺ＮＳ３１，ＮＳ３２に平行に延びている。この切り込み１５ｉ〜１５ｋの長さは、短辺長さの１／３程度の長さである。
切り込み１５ｌ〜１５ｎは、長辺ＬＳ３２に切り込み口を有するように形成されている。この切り込み１５ｌ〜１５ｎは、上記切り込み１５ａ〜１５ｄと同じ間隔で長辺ＬＳ３２の中央位置に形成されている。この切り込み１５ｌ〜１５ｎは、短辺ＮＳ３１，ＮＳ３２に平行に延びている。この切り込み１５ｌ〜１５ｎの長さは、短辺長さの１／３程度の長さである。

図６は第３の実施形態のアクチュエータの脚部の固定構造を示し、（Ａ）は電圧が印加されていない状態の拡大図、（Ｂ）は電圧が印加されている状態の拡大図である。このように、このアクチュエータ３００は、切り込み１５ｅ〜１５ｈで区切られた短辺ＮＳ３２側端部がゴム等の固定部材１６によって固定されている。この固定部材１６は、アクチュエータ３００の反りによって図６（Ａ）の状態から図６（Ｂ）の状態に変形し、アクチュエータ３００の反りを許容するように当該アクチュエータ３００を固定する。したがって、この固定部材１６は、ゴム等の弾性体に限らず、アクチュエータ３００の反りを許容するものであれば足りる。
なお、固定部材１６によって固定せずに、アクチュエータ３００の中央にガイド孔を形成する一方で、例えば腕時計ケース等の組み込み先の所定の搭載位置にガイドロッドを立設し、このガイドロッドにガイド孔を嵌合させ、ガイドロッドに沿って上下に変形するようにしてもよい。この場合、アクチュエータ３００のガイド孔の周辺部を作用部１２として構成すれば足りる。

このアクチュエータ３００によれば、図５（Ｂ）に示すように、電源部５によって電極層１，２に電圧を印加することによって、中央の作用部１２を突き上げるように反った形となる。

このように構成されたアクチュエータ３００によれば、切り込み１５ａ〜１５ｎで区切られた各部分の自由端の反りは大きく、しかも、隣り合う部分の自由端の影響をあまり受けないので、各部分は有効に脚部として機能することから、全体として強い支えとなり、安定した変位が得られることになる。

これを図５及び図７を用いて説明すれば次の通りである。
図７（Ａ），（Ｂ）には比較例のアクチュエータ３００Ａが示されている。このアクチュエータ３００Ａは、図５の第３の実施形態のアクチュエータ３００と同じ大きさとなっている。このアクチュエータ３００Ａは、電圧を印加した際に中央を突き上げるように反る。この場合、アクチュエータ３００Ａの各辺も大きく湾曲することから、アクチュエータ３００Ａは４つの角部でポイント支持される状態となる。このようにアクチュエータ３００Ａは４つの角部でポイント支持されるだけなので、支持が脆弱となり、大きな力を安定して出力することができない。
これに対して、図５の第３の実施形態のアクチュエータ３００によれば、切り込み１５ａ〜１５ｎが形成されていることから、短辺及び長辺において切り込みで仕切られる各部分の自由端を接地させることができ、全体として強い支えとなるため安定した変位が得られることになる。

［第４の実施形態］
図８は、第４の実施形態におけるアクチュエータの平面図である。
この第４の実施形態のアクチュエータ４００は、第１の実施形態のアクチュエータ１００と同様に、電解質層３の両面にそれぞれ電極層１，２が積層された３層構造となっており、電極層１，２に導線４が接続され、電極層１，２が導線４を介して電源部５に接続されている（図２参照）。

この第４の実施形態のアクチュエータ４００と第３の実施形態のアクチュエータ３００とでは切り込みの数、切り込みの形成位置、切り込みの長さが同一となっている。両者が異なる点は、切り込みの形状が異なっているだけである。したがって、切り込みの符号として、第３の実施形態と同じ符号を用いるものとする。なお、アクチュエータ４００は薄板長方形でなくてもよい。

この第４の実施形態のアクチュエータ４００は、切り込み１５ａ〜１５ｎの幅が切り込み口に向かうにつれて大きくなるように形成されている。

この第４の実施形態のアクチュエータ４００によれば、切り込み１５ａ〜１５ｎの幅が切り込み口に向かうにつれて大きくなっているので、各切り込みを挟む部分同士が変形の際に擦れ合うことがなくなり、その分、変形の際の抵抗が少なく、大きな力を出力することができる。

以下に、この出願の願書に最初に添付した特許請求の範囲に記載した発明を付記する。
付記に記載した請求項の項番は、この出願の願書に最初に添付した特許請求の範囲の通りである。

［付記］
＜請求項１＞
導電性高分子を備える複数の電極層と電解質層とが積層され、前記電極層に電圧を印加することにより伸縮する伸縮駆動部を固定部と作用部として構成するアクチュエータであって、前記アクチュエータの所定部に切り込みを入れたことを特徴とするアクチュエータ。
＜請求項２＞
前記アクチュエータは薄板であり、前記固定部と前記作用部は前記薄板の外周部の一部に配置され、前記固定部と前記作用部の間の外周部の一部に切り込み口を有する切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
＜請求項３＞
前記アクチュエータは薄板であり、前記固定部は前記薄板の中央に配置され、前記作用部は前記薄板の外周部の一部に配置され、前記薄板の中央から前記作用部が配置されている外周部の一部に向かって渦巻き状に切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
＜請求項４＞
前記アクチュエータは薄板であり、前記固定部は前記薄板の外周部近くに配置され、前記作用部は前記薄板の中央に配置され、前記薄板の外周部に切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

１，２ …電極
３ …電解質層
４ …導線
５ …電源部
１１ …固定部
１２ …作用部
１３ …伸縮駆動部
１５，１５ａ〜１５ｎ …切り込み
１００，１００Ａ，２００，３００，３００Ａ，４００ …アクチュエータ
１５１〜１５４ …切り込み部分

Claims (4)

1. 導電性高分子を備える複数の電極層と電解質層とが積層され、前記電極層に電圧を印加することにより伸縮する伸縮駆動部を固定部と作用部として構成するアクチュエータであって、前記アクチュエータの所定部に切り込みを入れたことを特徴とするアクチュエータ。
2. 前記アクチュエータは薄板であり、前記固定部と前記作用部は前記薄板の外周部の一部に配置され、前記固定部と前記作用部の間の外周部の一部に切り込み口を有する切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
3. 前記アクチュエータは薄板であり、前記固定部は前記薄板の中央に配置され、前記作用部は前記薄板の外周部の一部に配置され、前記薄板の中央から前記作用部が配置されている外周部の一部に向かって渦巻き状に切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１記載のアクチュエータ。
4. 前記アクチュエータは薄板であり、前記固定部は前記薄板の外周部近くに配置され、前記作用部は前記薄板の中央に配置され、前記薄板の外周部に切り込みが形成されていることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。

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