JP5138691B2 - 静電アクチュエータ - Google Patents
静電アクチュエータ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5138691B2 JP5138691B2 JP2009530033A JP2009530033A JP5138691B2 JP 5138691 B2 JP5138691 B2 JP 5138691B2 JP 2009530033 A JP2009530033 A JP 2009530033A JP 2009530033 A JP2009530033 A JP 2009530033A JP 5138691 B2 JP5138691 B2 JP 5138691B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- actuator
- drive unit
- electrodes
- counter electrode
- electrostatic
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 21
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 21
- 239000012212 insulator Substances 0.000 claims description 7
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 4
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 12
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 229920001746 electroactive polymer Polymers 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02N—ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H02N2/00—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction
- H02N2/02—Electric machines in general using piezoelectric effect, electrostriction or magnetostriction producing linear motion, e.g. actuators; Linear positioners ; Linear motors
- H02N2/04—Constructional details
- H02N2/043—Mechanical transmission means, e.g. for stroke amplification
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
- H10N30/206—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators using only longitudinal or thickness displacement, e.g. d33 or d31 type devices
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)
Description
前記作動子が梃子を構成しており、梃子の力点側となる前記作動子の一端が前記駆動部の前記一対の電極の間に設けられ、梃子の作用点側となる前記作動子の他端が前記駆動部の外側に設けられていることを特徴とするものである。
上記においては、前記作動子が円弧状に形成され、該円弧の一端に前記駆動部の駆動力が伝達されるものが好ましい。
上記構成でも、絶縁性を高めることができ、短絡の発生を未然に防止できる。また各作動子に駆動対象物を載置することができ、例えば駆動対象物の水平姿勢を維持しつつ上下方向に昇降移動させることができる。
上記手段では、より大きな駆動力で安定的に作動子を駆動させることができる。
図2は第2の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。また図3は第3の実施の形態を示す静電アクチュエータの断面図であり、(A)は動作前の初期状態(寝そべり姿勢)、(B)は動作状態(立ち上がり姿勢)を示している。
図5に示す静電アクチュエータ5では、駆動部10が二段に積み重ねられた多段型の積層体として形成されている点で相違している。すなわち、静電アクチュエータ5では、駆動部10が、対向電極11と対向電極12との間に第1の弾性エラストマ14Aが設けられ、対向電極12と対向電極13との間に第1の弾性エラストマ14Bを有する構成である。前記作動子20の一方の端部21は、最上段に設けられた対向電極11の端部に対向配置するように配置され、支点は最下段に位置する前記対向電極13に設定されている。なお、作動子20の一方の端部21と最上段の対向電極11との間は、接着テープTなどを用いることにより連結されている。
また駆動部10の積層は、三段以上の多段構成であってもよい。
図6に示す静電アクチュエータ6では、1つの駆動部10の周囲に複数の作動子20(個別に20A,20B,20Cおよび20Dを付して示す)が設けられている点が上記各実施の形態と相違している。
10 駆動部
11 一方の対向電極
12 他方の対向電極
13 対向電極
14 弾性エラストマ
20,30,40,50,60 作動子
21,31,41,51,61 力点側となる一方の端部
22,32,42,52,62 作用点側となる他方の端部
43 屈曲部
Claims (10)
- 弾性エラストマおよび前記弾性エラストマの両面に配置された一対の電極を備えるとともに前記一対の電極間に働く静電力に応じて駆動される駆動部と、前記駆動部に接続され、前記駆動部のストロークを増幅する作動子と、を有し、
前記作動子が梃子を構成しており、梃子の力点側となる前記作動子の一端が前記駆動部の前記一対の電極の間に設けられ、梃子の作用点側となる前記作動子の他端が前記駆動部の外側に設けられていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記作動子が円弧状に形成され、該円弧の一端に前記駆動部の駆動力が伝達される請求項1記載の静電アクチュエータ。
- 弾性エラストマおよび前記弾性エラストマの両面に配置された一対の電極を備えるとともに前記一対の電極間に働く静電力に応じて駆動される駆動部と、前記駆動部に接続され、前記駆動部のストロークを増幅する作動子と、を有し、
前記作動子が円弧状に形成され、該円弧の一端に前記駆動部の駆動力が伝達されることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記一方の電極と前記作動子の一端とがヒンジまたは接続テープを介して連結されている請求項1ないし3のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 弾性エラストマおよび前記弾性エラストマの両面に配置された一対の電極を備えるとともに前記一対の電極間に働く静電力に応じて駆動される駆動部と、前記駆動部に接続され、前記駆動部のストロークを増幅する作動子と、を有し、
前記一方の電極と前記作動子の一端とがヒンジまたは接続テープを介して連結されていることを特徴とする静電アクチュエータ。 - 前記作動子が絶縁材料で形成されている請求項1ないし5のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 前記作動子の一部が前記駆動部の内部に位置し、前記駆動部が駆動された際に前記電極同士が接触することを防ぐ絶縁維持部とされている請求項1ないし6のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 前記作動子が複数設けられている請求項1ないし7のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
- 前記駆動部が多段に重ねられており、下層側の駆動部を形成する電極と上層側の駆動部を形成する電極との間に前記作動子が設けられている請求項1ないし8のいずれか記載の静電アクチュエータ。
- 前記弾性エラストマが、袋体に封入されたゲル状タイプである請求項1ないし9のいずれかに記載の静電アクチュエータ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009530033A JP5138691B2 (ja) | 2007-08-27 | 2008-08-07 | 静電アクチュエータ |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007219941 | 2007-08-27 | ||
JP2007219941 | 2007-08-27 | ||
PCT/JP2008/064197 WO2009028313A1 (ja) | 2007-08-27 | 2008-08-07 | 静電アクチュエータ |
JP2009530033A JP5138691B2 (ja) | 2007-08-27 | 2008-08-07 | 静電アクチュエータ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009028313A1 JPWO2009028313A1 (ja) | 2010-11-25 |
JP5138691B2 true JP5138691B2 (ja) | 2013-02-06 |
Family
ID=40387039
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009530033A Active JP5138691B2 (ja) | 2007-08-27 | 2008-08-07 | 静電アクチュエータ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5138691B2 (ja) |
WO (1) | WO2009028313A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5674222B2 (ja) * | 2011-07-01 | 2015-02-25 | 株式会社ポリテック・デザイン | 積層型静電アクチュエータ |
DE102014213168A1 (de) * | 2014-07-07 | 2016-01-07 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zum Umwandeln von mechanischer Energie in elektrische Energie |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6198164A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力発生装置 |
JP2003527046A (ja) * | 1999-02-26 | 2003-09-09 | アクティブ コントロール エキスパーツ,インコーポレイテッド | パッケージングされたひずみアクチュエータ |
WO2005079187A2 (en) * | 2003-09-03 | 2005-09-01 | Sri International | Surface deformation electroactive polymer transducers |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2647113B2 (ja) * | 1988-01-21 | 1997-08-27 | 株式会社東芝 | 静電アクチュエータ |
JP2001268948A (ja) * | 2000-03-21 | 2001-09-28 | Keiji Saneyoshi | 静電アクチュエータおよびそれを用いた動作機構 |
JP2004085700A (ja) * | 2002-08-23 | 2004-03-18 | Seiko Epson Corp | ミラーデバイス、光スイッチ、電子機器およびミラーデバイス駆動方法 |
JP2006046352A (ja) * | 2004-07-05 | 2006-02-16 | Mikuni Corp | 動力伝達機構 |
-
2008
- 2008-08-07 JP JP2009530033A patent/JP5138691B2/ja active Active
- 2008-08-07 WO PCT/JP2008/064197 patent/WO2009028313A1/ja active Application Filing
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6198164A (ja) * | 1984-10-19 | 1986-05-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧力発生装置 |
JP2003527046A (ja) * | 1999-02-26 | 2003-09-09 | アクティブ コントロール エキスパーツ,インコーポレイテッド | パッケージングされたひずみアクチュエータ |
WO2005079187A2 (en) * | 2003-09-03 | 2005-09-01 | Sri International | Surface deformation electroactive polymer transducers |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009028313A1 (ja) | 2009-03-05 |
JPWO2009028313A1 (ja) | 2010-11-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI729189B (zh) | 觸覺回饋產生裝置 | |
JP4316590B2 (ja) | 圧電駆動型memsアクチュエータ | |
JP4334581B2 (ja) | 静電型アクチュエータ | |
JP2001326399A (ja) | アクチュエータ装置 | |
JP5458288B2 (ja) | 静電アクチュエータおよびその製造方法 | |
JP5138691B2 (ja) | 静電アクチュエータ | |
JP4231062B2 (ja) | Mems素子 | |
JP2014217238A (ja) | アクチュエータ | |
JP5129998B2 (ja) | 電歪素子 | |
KR100862464B1 (ko) | 고분자 유전체 엑츄에이터 및 이를 이용한 선형 구동기 | |
US5517074A (en) | Piezoelectric actuator device | |
KR20150032132A (ko) | 적층형 압전소자 | |
JP5499620B2 (ja) | アクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法 | |
US7695389B2 (en) | Conductive polymer drive for actuating eccentric members of a motor | |
JP2009232523A (ja) | 電歪型アクチュエータおよび電歪型アクチュエータの製造方法 | |
JP2015122438A (ja) | 圧電素子、圧電アクチュエータおよび圧電素子の製造方法 | |
CN107408622A (zh) | 压电发电机、按钮、无线电模块和制造压电发电机的方法 | |
KR102626610B1 (ko) | 적층 압전 소자 및 그를 포함하는 압전 액추에이터 | |
JP4967019B2 (ja) | 電歪アクチュエータ | |
KR100599550B1 (ko) | 전왜 폴리머의 팽창력을 수축력으로 변환하는 다층 폴리머액추에이터 | |
JPH0739252Y2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
EP3979486A1 (en) | Electrostatic actuator having multilayer structure | |
JP2013008733A (ja) | 電歪アクチュエータ | |
JP5825656B2 (ja) | 圧電アクチュエータおよび連結型圧電アクチュエータ | |
JPH0314056Y2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20121106 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20121114 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5138691 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20151122 Year of fee payment: 3 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |