JP5499620B2

JP5499620B2 - アクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法

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Publication number: JP5499620B2
Application number: JP2009239093A
Authority: JP
Inventors: 昭三大寺
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2009-10-16
Filing date: 2009-10-16
Publication date: 2014-05-21
Anticipated expiration: 2029-10-16
Also published as: JP2011087423A

Description

本発明は、アクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法に関し、特に、電歪材料で形成されたシートを積層したアクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法に関する。

医療機器、産業用ロボット等の精緻な動きを要求される機器にアクチュエータが使用される機会が多くなってきている。使用される機会が多くなるに従い、小型、軽量であり、しかも安価なアクチュエータの開発が急務となっている。例えば特許文献１には、製造工数の増大を招くことなく電極の取り出しが容易であり、沿面放電が低減される高分子静電型のアクチュエータが開示されている。

特許文献１に開示されているアクチュエータは、蛇腹状に折り畳まれた各シートの面に第一電極層部又は第二電極層部が設けられることにより、第一電極層部、第二電極層部、及び第一電極層部と第二電極層部とに挟まれたシートからなる一層のアクチュエータが複数積層された構成である。

特開２００８−２１１９２２

特許文献１に開示されているアクチュエータでは、第一電極層部同士を電気的に接続する第一配線部、及び第二電極層部同士を電気的に接続する第二配線部を、積層したシートの端部から引き出して設ける必要がある。そのため、特許文献１に開示されているアクチュエータは、構造が複雑になり、組み立て工数が増大することにより安価に製造することが困難であるという問題点があった。また、特許文献１に開示されているアクチュエータは、第一電極層部と第二電極層部とでシートを挟むように、シートを折り曲げる必要があるため、第一電極層部と第二電極層部との位置合わせが必要となり、組み立て工数が増大することにより安価に製造することが困難であるという問題点があった。さらに、特許文献１に開示されているアクチュエータは、シートを折り曲げるための厚みが必要となり、アクチュエータ自体を薄くすることが難しいという問題点があった。

本発明は、上記事情に鑑みてなされたものであり、構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができるアクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために第１発明に係るアクチュエータは、高分子電歪材料で形成されたシートの少なくとも一つの表面に電極膜を形成してあり、該電極膜を形成してある前記シートを複数積層したアクチュエータであって、前記電極膜は、前記アクチュエータの一側面に露出し、前記シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第１電極膜と、前記第１電極膜と前記シートを介して対向し、前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に露出し、前記シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第２電極膜とを有し、前記第１電極膜と電気的に接続する第１導電部を前記アクチュエータの一側面に形成してあり、前記第２電極膜と電気的に接続する第２導電部を前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に形成してあり、前記シートは、蛇腹形状に折り曲げられ、又はロール状に巻かれて積層されている。

また、第２発明に係るアクチュエータは、第１発明において、前記シートの一端は前記アクチュエータの一側面側に、前記シートの他端は前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面側にそれぞれ折り曲げてある。

上記目的を達成するために第３発明に係るアクチュエータを製造する方法は、高分子電歪材料で形成されたシートの少なくとも一つの表面に電極膜を形成してあり、該電極膜を形成してある前記シートを複数積層したアクチュエータを製造する方法であって、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して第１電極膜を、前記シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して第２電極膜をそれぞれ形成し、前記第１電極膜及び前記第２電極膜を形成した前記シートを蛇腹形状に折り曲げ、前記第１電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面に第１導電部を形成し、前記第２電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に第２導電部を形成する。

上記目的を達成するために第４発明に係るアクチュエータを製造する方法は、高分子電歪材料で形成されたシートの少なくとも一つの表面に電極膜を形成してあり、該電極膜を形成してある前記シートを複数積層したアクチュエータを製造する方法であって、シートの一表面に所定の間隔で電極膜を形成し、前記電極膜を形成した前記シートをロール状に巻き、前記電極膜が第１電極膜及び第２電極膜を構成するように、ロール状に巻いた前記シートから前記アクチュエータを切り出し、前記第１電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面に第１導電部を形成し、前記第２電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に第２導電部を形成する。

第１発明では、アクチュエータの一側面に露出し、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第１電極膜と、第１電極膜とシートを介して対向し、アクチュエータの一側面とは反対側の側面に露出し、シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第２電極膜とを有し、第１電極膜と電気的に接続する第１導電部をアクチュエータの一側面に形成してあり、第２電極膜と電気的に接続する第２導電部をアクチュエータの一側面とは反対側の側面に形成してあり、シートは、蛇腹形状に折り曲げられ、又はロール状に巻かれて積層されているので、積層したシートの端部から配線を引き出す必要がなく、配線を接続する作業も不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。

また、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して第１電極膜を、シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して第２電極膜をそれぞれ形成してあり、シートは蛇腹形状に折り曲げてあるので、シートを蛇腹形状に折り曲げるときに、第１電極膜同士及び第２電極膜同士の位置合わせが不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。
さらに、電極膜を形成したシートをロール状に巻き、電極膜が第１電極膜及び第２電極膜を構成するように、ロール状に巻いたシートからアクチュエータを切り出す場合には、一つのロール状に巻いたシートから複数のアクチュエータを切り出すことができ、アクチュエータを大量に製造することが容易になる。

第２発明では、シートの一端はアクチュエータの一側面側に、シートの他端はアクチュエータの一側面とは反対側の側面側にそれぞれ折り曲げてあるので、第１導電部及び第２導電部をアクチュエータの各側面に形成しやすくなる。

第３発明では、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して第１電極膜を、シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して第２電極膜をそれぞれ形成し、第１電極膜及び第２電極膜を形成したシートを蛇腹形状に折り曲げ、第１電極膜が露出したアクチュエータの一側面に第１導電部を形成し、第２電極膜が露出したアクチュエータの一側面とは反対側の側面に第２導電部を形成するので、積層したシートの端部から配線を引き出す必要がなく、配線を接続する作業も不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。
また、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して第１電極膜を、シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して第２電極膜をそれぞれ形成してあり、シートは蛇腹形状に折り曲げてあるので、シートを蛇腹形状に折り曲げるときに、第１電極膜同士及び第２電極膜同士の位置合わせが不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。
第４発明では、電極膜を形成したシートをロール状に巻き、電極膜が第１電極膜及び第２電極膜を構成するように、ロール状に巻いたシートからアクチュエータを切り出すので、一つのロール状に巻いたシートから複数のアクチュエータを切り出すことができ、アクチュエータを大量に製造することが容易になる。

本発明に係るアクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法は、アクチュエータの一側面に露出し、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第１電極膜と、第１電極膜とシートを介して対向し、アクチュエータの一側面とは反対側の側面に露出し、シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第２電極膜とを有し、第１電極膜と電気的に接続する第１導電部をアクチュエータの一側面に形成してあり、第２電極膜と電気的に接続する第２導電部をアクチュエータの一側面とは反対側の側面に形成してあり、シートは、蛇腹形状に折り曲げられ、又はロール状に巻かれて積層されているので、積層したシートの端部から配線を引き出す必要がなく、配線を接続する作業も不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。
また、シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して第１電極膜を、シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して第２電極膜をそれぞれ形成してあり、シートは蛇腹形状に折り曲げてあるので、シートを蛇腹形状に折り曲げるときに、第１電極膜同士及び第２電極膜同士の位置合わせが不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。

本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの構成を模式的に示す断面図である。本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの動作を模式的に示す断面図である。本発明の実施の形態１に係るアクチュエータを製造する方法を模式的に示す断面図である。本発明の実施の形態２に係るアクチュエータの構成を模式的に示す断面図である。本発明の実施の形態２に係るアクチュエータを製造する方法を模式的に示す断面図である。

以下、本発明の実施の形態に係るアクチュエータ及びアクチュエータを製造する方法について、図面を用いて具体的に説明する。以下の実施の形態は、特許請求の範囲に記載された発明を限定するものではなく、実施の形態の中で説明されている特徴的事項の組み合わせの全てが解決手段の必須事項であるとは限らないことは言うまでもない。

（実施の形態１）
図１は、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータの構成を模式的に示す断面図である。図１に示すように、アクチュエータ１は、蛇腹形状に折り曲げられた電歪シート（シート）２と、電歪シート２の一表面（図１の紙面に向かって上側面）に形成された第１電極膜３と、電歪シート２の一表面とは反対側の表面（図１の紙面に向かって下側面）に形成された第２電極膜４と、第１電極膜３が露出したアクチュエータ１の側面に形成してある第１導電部５と、第２電極膜４が露出したアクチュエータ１の側面に形成してある第２導電部６とを備えている。

電歪シート２は、高分子電歪材料から形成され、強誘電性を有する高分子圧電材料であれば、特に限定されるものではない。例えばＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオロイド）、ＰＶＤＦ（ポリビニリデンフルオロイド）系のコーポリマであるＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ、あるいはＰＶＤＦ系のターポリマ、例えばＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＦＥ、ＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＴＦＥ、ＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＣＤＦＥ、ＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＨＦＡ、ＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＨＦＰ、ＰＶＤＦ−ＴｒＦＥ−ＶＣ等が好ましい。なお、ＴｒＦＥはトリフルオロエチレンを、ＣＦＥはクロロフルオロエチレンを、ＣＴＦＥはクロロトリフルオロエチレンを、ＣＤＦＥはクロロディフルオロエチレンを、ＨＦＡはヘキサフルオロアセトンを、ＨＦＰはヘキサフルオロプロピレンを、ＶＣはビニルクロライドを、それぞれ示している。

具体的には、電歪シート２として、上述した高分子電歪材料を用いて数μｍから１００μｍ程度のシートを成形する。電歪シート２の一表面に、蒸着あるいはスパッタにより、Ｎｉ（ニッケル）、Ｐｔ（白金）、Ｐｔ−Ｐｄ（白金−パラジウム合金）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｕ（金）、Ａｕ−Ｐｄ（金パラジウム合金）等の金属膜を第１電極膜３として形成する。同様に、電歪シート２の一表面とは反対側の表面に、蒸着あるいはスパッタにより、Ｎｉ（ニッケル）、Ｐｔ（白金）、Ｐｔ−Ｐｄ（白金−パラジウム合金）、Ａｌ（アルミニウム）、Ａｕ（金）、Ａｕ−Ｐｄ（金パラジウム合金）等の金属膜を第２電極膜４として形成する。なお、第１電極膜３及び第２電極膜４の膜厚は、２０ｎｍ〜５０ｎｍ程度である。

第１電極膜３及び第２電極膜４は、電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げられている。そのため、蛇腹形状に折り曲げられた電歪シート２の内側に位置する第１電極膜３又は第２電極膜４は、第１電極膜３同士又は第２電極膜４同士が接することになる。また、第１電極膜３及び第２電極膜４は、電歪シート２の全面に形成されているため、電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げるときに、第１電極膜３同士又は第２電極膜４同士の位置合わせを考慮することなく折り曲げることができる。なお、第１電極膜３及び第２電極膜４は、電歪シート２の全面に形成されている場合に限定されるものではなく、電歪シート２の少なくとも長辺方向に連続して形成されていれば良い。

第１導電部５は、電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げられた第１電極膜３が露出したアクチュエータ１の一側面（紙面に向かって左側面）に塗布された導電ペースト、例えばエポキシ樹脂にＡｇ（銀）粒子を分散させたペーストを塗布して熱や紫外線などで硬化することで形成することができる。同様に、第２導電部６も、電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げられた第２電極膜４が露出したアクチュエータ１の一側面とは反対側の側面（紙面に向かって右側面）に塗布された導電ペースト、例えばエポキシ樹脂にＡｇ（銀）粒子を分散させたペーストを塗布して熱や紫外線などで硬化することで形成することができる。

アクチュエータ１の側面では、第１電極膜３及び第２電極膜４が折り曲げられるため、第１電極膜３及び第２電極膜４にクラックが生じる場合があり、第１電極膜３と第２電極膜４との間に５０Ｖ／μｍ程度の電圧を印加すると、クラックにおいて放電が発生することがあった。しかし、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１の側面には、第１導電部５及び第２導電部６を形成するため、第１電極膜３及び第２電極膜４にクラックが生じた場合でもクラックを埋めて、クラックにおける放電の発生を防ぎ、アクチュエータ１を正常に動作させることができる。

第１電極膜３と第２電極膜４との間に電圧を印加すると電歪シート２は、第１電極膜３及び第２電極膜４の垂直方向に縮み、第１電極膜３及び第２電極膜４の水平方向に伸びるように変形する。また、電歪シート２は、印加する電圧の向きを逆にしても、第１電極膜３及び第２電極膜４の垂直方向に縮み、第１電極膜３及び第２電極膜４の水平方向に伸びるように変形するため、積層した電歪シート２を蛇腹形状に折り曲げて、折り曲げた電歪シート２の各層に印加する電圧の向きを逆にしても、アクチュエータ１に同じ変位が生じる。

本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１の動作について説明する。図２は、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１の動作を模式的に示す断面図である。図２に示すように、アクチュエータ１は、電歪シート２の底面（固定台１０に対向する面）が固定台１０に接しないように、両端の第１導電部５及び第２導電部６を固定台１０に固定する。つまり、アクチュエータ１の両端よりも内側の位置で、第１導電部５及び第２導電部６を固定台１０に固定し、電歪シート２が図２の上側に向かって突起した形状となる（図面中において波線で示す）。なお、図２では、アクチュエータ１を単純化して電歪シート２、第１導電部５及び第２導電部６のみ図示しているが、実際は図１に示すように第１電極膜３及び第２電極膜４が電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げられ、それぞれが露出したアクチュエータ１の側面に第１導電部５及び第２導電部６を形成した形状である。

固定台１０に両端を固定したアクチュエータ１に対して、第１電極膜３と第２電極膜４との間に電圧を印加すると、電歪シート２は第１電極膜３及び第２電極膜４の水平方向に伸びるが、第１導電部５及び第２導電部６で両端が固定されているため、電歪シート２が図２の上側に突起するように変形する。アクチュエータ１の両端を固定しない場合、第１電極膜３及び第２電極膜４の垂直方向の変位（縮み）は３％程度である。しかし、アクチュエータ１の両端、すなわち第１導電部５及び第２導電部６を固定台１０に固定した場合、固定台１０の垂直方向に対するアクチュエータ１の変位を、例えばアクチュエータ１の長さが約１０ｍｍの場合、約１０％程度にすることができる。

次に、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１を製造する方法について説明する。図３は、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１を製造する方法を模式的に示す断面図である。まず、蒸着あるいはスパッタを用いて、電歪シート２の一表面（紙面に向かって上側面）に第１電極膜３、電歪シート２の一表面とは反対側の表面（紙面に向かって下側面）に第２電極膜４をそれぞれ形成する（図３（ａ））。

第１電極膜３及び第２電極膜４を形成した電歪シート２を蛇腹形状に折り曲げ、さらに電歪シート２の一端２ａと、他端２ｂとが互いに反対方向に位置するように折り曲げる（図３（ｂ））。電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げられた第１電極膜３が露出したアクチュエータ１の一側面（図３の紙面に向かって左側面）に第１導電部５を、電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げられた第２電極膜４が露出したアクチュエータ１の一側面とは反対側の側面（図３の紙面に向かって右側面）に第２導電部６をそれぞれ形成する（図３（ｃ））。

以上のように、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１は、第１電極膜３及び第２電極膜４を表面に形成してある電歪シート２を蛇腹形状に折り曲げて、電歪シート２と、第１電極膜３及び第２電極膜４を複数積層した形状を形成し、第１電極膜３が露出するアクチュエータ１の一側面に第１導電部５を、第２電極膜４が露出するアクチュエータ１の一側面とは反対側の側面に第２導電部６をそれぞれ形成している。従って、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１は、第１電極膜３同士及び第２電極膜４同士を電気的に接続するために、積層した電歪シート２の端部から配線を引き出す必要がなく、配線を接続する作業も不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。また、本発明の実施の形態１に係るアクチュエータ１は、第１電極膜３及び第２電極膜４が、それぞれ電歪シート２の各表面全面に形成されているため、電歪シート２とともに蛇腹形状に折り曲げるときに、第１電極膜３同士又は第２電極膜４同士の位置合わせが不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。なお、アクチュエータ１の一側面に形成する第１導電部５は、第１電極膜３同士を電気的に接続することが可能であれば導電ペースト等の樹脂以外の材料で形成しても良い。同様に、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面に形成する第２導電部６は、第２電極膜４同士を電気的に接続することが可能であれば導電ペースト等の樹脂以外の材料で形成しても良い。

（実施の形態２）
図４は、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータの構成を模式的に示す断面図である。図４に示すように、アクチュエータ１は、電歪シート２と、第１電極膜３と、第２電極膜４を複数積層し、アクチュエータ１の一側面（紙面に向かって左側面）に形成してある第１導電部５と、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面（紙面に向かって右側面）に形成してある第２導電部６とを備えている。

第１電極膜３は、電歪シート２の一表面（紙面に向かって上側面）に形成され、アクチュエータ１の一側面では露出しているが、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面では露出していない。第２電極膜４は、電歪シート２の一表面とは反対側の表面（紙面に向かって下側面）に形成され、アクチュエータ１の一側面では露出していないが、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面では露出している。そのため、アクチュエータ１の一側面に形成した第１導電部５は、露出した第１電極膜３同士を電気的に接続することができる。同様に、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面に形成した第２導電部６は、露出した第２電極膜４同士を電気的に接続することができる。

なお、本発明の実施の形態１に係る電歪シート２、第１電極膜３及び第２電極膜４、第１導電部５及び第２導電部６をそれぞれ構成する材料は、実施の形態１で説明した材料と同じであるため、詳細な説明は省略する。また、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ１の動作は、実施の形態１に係るアクチュエータ１の動作と同じであるため、詳細な説明は省略する。

次に、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ１を製造する方法について説明する。図５は、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ１を製造する方法を模式的に示す断面図である。まず、蒸着あるいはスパッタを用いて、電歪シート２の一表面（紙面に向かって上側面）に電極膜７を短辺方向に所定の間隔で形成する（図５（ａ））。

電極膜７を形成した電歪シート２を、電歪シート２の長辺方向にロール状に巻く（図５（ｂ））。ロール状に巻いた電歪シート２からアクチュエータ１を切り出す（図５（ｃ））。アクチュエータ１は、電極膜７が、アクチュエータ１の一側面では露出しているが、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面では露出していない第１電極膜３と、アクチュエータ１の一側面では露出していないが、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面では露出している第２電極膜４とを構成するように、ロール状に巻いた電歪シート２から切り出す。

図５（ｄ）に示すように、切り出したアクチュエータ１は、一側面（紙面に向かって左側面）に第１電極膜３（７）が、一側面とは反対側の側面（紙面に向かって右側面）に第２電極膜４（７）がそれぞれ露出している。そのため、図４に示すように、アクチュエータ１の一側面に第１導電部５を形成して、第１電極膜３（７）同士を電気的に接続し、アクチュエータ１の一側面とは反対側の側面に第２導電部６を形成して、露出した第２電極膜４（７）同士を電気的に接続する。

以上のように、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ１は、ロール状に巻いた電歪シート２から電極膜７が第１電極膜３及び第２電極膜４を構成するように切り出して、電歪シート２と、第１電極膜３及び第２電極膜４を複数積層した形状を形成し、第１電極膜３が露出するアクチュエータ１の一側面に第１導電部５を、第２電極膜４が露出するアクチュエータ１の一側面とは反対側の側面に第２導電部６をそれぞれ形成している。従って、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ１は、第１電極膜３同士及び第２電極膜４同士を電気的に接続するために、積層した電歪シート２の端部から配線を引き出す必要がなく、配線を接続する作業が不要になるので構造が簡単で、組み立て工数が少なく安価に製造することができる。また、本発明の実施の形態２に係るアクチュエータ１は、ロール状に巻いた電歪シート２から複数のアクチュエータ１を切り出すことができるので、アクチュエータ１を大量に製造することが容易になる。

１アクチュエータ
２電歪シート
３第１電極膜
４第２電極膜
５第１導電部
６第２導電部
７電極膜

Claims

高分子電歪材料で形成されたシートの少なくとも一つの表面に電極膜を形成してあり、該電極膜を形成してある前記シートを複数積層したアクチュエータであって、
前記電極膜は、
前記アクチュエータの一側面に露出し、前記シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第１電極膜と、
前記第１電極膜と前記シートを介して対向し、前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に露出し、前記シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して形成された第２電極膜とを有し、
前記第１電極膜と電気的に接続する第１導電部を前記アクチュエータの一側面に形成してあり、前記第２電極膜と電気的に接続する第２導電部を前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に形成してあり、
前記シートは、蛇腹形状に折り曲げられ、又はロール状に巻かれて積層されていることを特徴とするアクチュエータ。
前記シートの一端は前記アクチュエータの一側面側に、前記シートの他端は前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面側にそれぞれ折り曲げてあることを特徴とする請求項１に記載のアクチュエータ。
高分子電歪材料で形成されたシートの少なくとも一つの表面に電極膜を形成してあり、該電極膜を形成してある前記シートを複数積層したアクチュエータを製造する方法であって、
シートの一表面の少なくとも長辺方向に連続して第１電極膜を、前記シートの一表面とは反対側の表面の少なくとも長辺方向に連続して第２電極膜をそれぞれ形成し、
前記第１電極膜及び前記第２電極膜を形成した前記シートを蛇腹形状に折り曲げ、
前記第１電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面に第１導電部を形成し、
前記第２電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に第２導電部を形成することを特徴とするアクチュエータを製造する方法。
高分子電歪材料で形成されたシートの少なくとも一つの表面に電極膜を形成してあり、該電極膜を形成してある前記シートを複数積層したアクチュエータを製造する方法であって、
シートの一表面に所定の間隔で電極膜を形成し、
前記電極膜を形成した前記シートをロール状に巻き、
前記電極膜が第１電極膜及び第２電極膜を構成するように、ロール状に巻いた前記シートから前記アクチュエータを切り出し、
前記第１電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面に第１導電部を形成し、
前記第２電極膜が露出した前記アクチュエータの一側面とは反対側の側面に第２導電部を形成することを特徴とするアクチュエータを製造する方法。