JP2015035525A - シート貼付装置及びシート貼付方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 10
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims abstract description 67
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims abstract description 67
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 54
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 36
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 19
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 10
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000016571 aggressive behavior Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- -1 optical disks Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
Description
なお、本実施形態において基準となる図を挙げることなく、例えば、上、下、左、右、または、前、後といった方向を示した場合は、全て図1を正規の方向(付した番号が適切な向きとなる方向)から観た場合を基準とし、上、下、左、右方向が紙面に平行な方向であり、前が紙面に直交する手前方向、後が紙面に直交する奥方向とする。
上ケース52は、第1変形部材21の厚み寸法と略同一の深さに設定された第1凹部52Aと、第1凹部52A内に位置し、第2変形部材31の厚み寸法と略同一の深さに設定された第2凹部52Bとを備え、第1凹部52Aの底面外縁に第1変形部材21の外縁が支持され、第2凹部52Bの底面外縁に第2変形部材31の外縁が支持されている。これにより、第1変形部材21の上面と第1凹部52Aの底面と第2変形部材31の下面とで密閉された第1空間SP1が形成され、第2変形部材31の上面と第2凹部52Bの底面とで密閉された第2空間SP2が形成される。尚、第2変形部材31の厚み寸法と略同一の深さに設定された第2凹部52Bとすることで、第1凹部52Aの底面と第2変形部材31の下面とが同一平面に位置するようになるので、第1変形部材21が第1凹部52Aの底面に接している状態で当該第1変形部材21の面がフラットに維持され、当該第1変形部材21が劣化することを防止することができる。
まず、図1中二点鎖線で示すように、上下ケース52、51が離隔した状態で、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない搬送手段によって、接着シートASを第1変形部材21の下面に当接させると、当接手段20が図示しない電圧印加手段を駆動し、クーロン力によって接着シートASを保持する。次に、人手または図示しない搬送手段によって、テーブル42上にウエハWFを載置すると、支持手段40が図示しない電圧印加手段を駆動し、クーロン力によってウエハWFを保持する。次いで、収容手段50が直動モータ53を駆動し、上ケース52を下降させて図1中実線で示すように貼付空間SP3を形成する。その後、当接手段20、押圧手段30及び収容手段50が減圧手段22、32及び54を駆動し、第1、第2空間SP1、SP2及び貼付空間SP3を同じ減圧率で減圧し、各圧力検知手段23、33及び55によって所定の減圧状態(第1圧力)となったことが検知されると、当接手段20、押圧手段30及び収容手段50が減圧手段22、32及び54の駆動を停止する。次に、支持手段40が直動モータ41を駆動し、テーブル42を所定の位置にまで上昇させた後、当接手段20が減圧手段22を駆動し、第1空間SP1に大気を徐々に導入することで、第1空間SP1を貼付空間SP3よりも高圧にする。これにより、第1変形部材21を変形させ、図2中実線で示すように、接着シートASの中央部をウエハWFの被着面WA中央部に当接させた後、当該接着シートASをその外側に向かって徐々に被着面WAに当接させて行き、図2中二点鎖線で示すように、接着シートAS全体を被着面WAに当接させる。これにより、接着シートASと被着面WAとの間の空気が外方に追い出されながら貼付が行われるので、当該接着シートASと被着面WAとの間に気泡が形成されることを防止することができる。そして、圧力検知手段23によって第1空間SP1の圧力が所定の減圧状態(第2圧力)となったことが検知されると、当接手段20が減圧手段22の駆動を停止する。このとき、押圧手段30が減圧手段32を駆動し、圧力検知手段33の検知結果に基づいて第2空間SP2の圧力も第2圧力となるように制御する一方、収容手段50が減圧手段54を駆動し、圧力検知手段55の検知結果に基づいて貼付空間SP3の圧力を第1圧力で維持するように制御する。
即ち、当接手段20によって小さい押圧力で被着面WAに接着シートASを当接させた後、押圧手段30によって大きい押圧力で被着面WAに接着シートASを押圧して貼付することで、ウエハWFとの間に気泡が形成されることを防止して接着シートASを確実にウエハWFに貼付することができる。
更に、第1、第2変形部材21、31は、弾性変形可能な部材であってもよいし、完全に又は部分的に元の形状に戻ることのない部材であってもよい。
また、第1、第2変形部材21、31の材質や、形状、厚さ、大きさを適宜に選択することができる。
更に、第1変形部材21を上下ケース52、51で挟み込まれるように構成し、当該第1変形部材21を上下ケース52、51のパッキンとして機能させてもよい。
また、第1変形部材21は、第2変形部材31と同じ大きさでもよい。
更に、第1変形部材21やテーブル42は、吸引、接着、メカチャック等によって接着シートASやウエハWFを保持する構成であってもよい。
更に、当接手段20及び押圧手段30は、加圧することで気圧差を制御する構成であってもよいし、減圧及び加圧を組み合わせて気圧差を制御する構成であってもよい。尚、当接手段20及び押圧手段30が第1及び第2空間SP1、SP2を加圧可能に設けられていれば、貼付空間SP3は大気圧であってもよく、減圧手段54や圧力検知手段55、下ケース51はなくてもよいし、上ケース52と下ケース51とで貼付空間SP3を密閉空間にしなくてもよい。また、当接手段20及び押圧手段30が第1及び第2空間SP1、SP2を加圧可能に設けられていれば、貼付空間SP3を大気圧よりも高い圧力としてもよい。
また、第1圧力、第2圧力、第3圧力は、第1及び第2変形部材21、31を変形させて接着シートASをウエハWFに当接して貼付できれば、任意に設定することができる。
更に、各減圧手段22、32、54に代えて液体やジェル等の空気以外の流体によって第1、第2空間SP1、SP2及び貼付空間SP3を加減圧する構成のものを採用してもよい。
本発明における各手段は、それら手段について説明した動作または機能を果たすことができる限りなんら限定されるものではなく、まして、前記実施形態で示した単なる1実施形態の構成物に全く限定されるものではない。当接手段は、変形可能な第1変形部材を備え、当該第1変形部材を間に挟んで貼付空間の反対側に位置する第1空間を貼付空間よりも高圧にすることで、第1変形部材を変形させて被着面に接着シートを当接させることができるものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせてその範囲内であればなんら限定されることはない(他の手段についての説明は省略する)。
また、前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダ及びロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる(実施形態で例示したものと重複するものもある)。
20 当接手段
21 第1変形部材
30 押圧手段
31 第2変形部材
SP1 第1空間
SP2 第2空間
SP3 貼付空間
AS 接着シート
WF ウエハ(被着体)
WA 被着面
Claims (3)
- 所定の貼付空間で対向配置させた被着体及び接着シートに相対接近する方向の押圧力を付与することで、当該被着体の被着面に接着シートを貼付するシート貼付装置であって、
変形可能な第1変形部材を備え、当該第1変形部材を間に挟んで前記貼付空間の反対側に位置する第1空間を当該貼付空間よりも高圧にすることで、当該第1変形部材を変形させて前記被着面に接着シートを当接させる当接手段と、
変形可能な第2変形部材を備え、当該第2変形部材を間に挟んで前記第1空間の反対側に位置する第2空間を当該第1空間及び前記貼付空間よりも高圧にすることで、当該第2変形部材を変形させて前記第1変形部材を介して前記被着体及び接着シートに押圧力を付与する押圧手段とを備えていることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記第1変形部材は、前記第2変形部材よりも変形が容易なもので構成されていることを特徴とする請求項1に記載のシート貼付装置。
- 所定の貼付空間で対向配置させた被着体及び接着シートに相対接近する方向の押圧力を付与することで、当該被着体の被着面に接着シートを貼付するシート貼付方法であって、
変形可能な第1変形部材を間に挟んで前記貼付空間の反対側に位置する第1空間を当該貼付空間よりも高圧にすることで、当該第1変形部材を変形させて前記被着面に接着シートを当接させる工程と、
変形可能な第2変形部材を間に挟んで前記第1空間の反対側に位置する第2空間を当該第1空間及び前記貼付空間よりも高圧にすることで、当該第2変形部材を変形させて前記第1変形部材を介して前記被着体及び接着シートに押圧力を付与する工程とを有することを特徴とするシート貼付方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013166134A JP6130264B2 (ja) | 2013-08-09 | 2013-08-09 | シート貼付装置及びシート貼付方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013166134A JP6130264B2 (ja) | 2013-08-09 | 2013-08-09 | シート貼付装置及びシート貼付方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015035525A true JP2015035525A (ja) | 2015-02-19 |
JP6130264B2 JP6130264B2 (ja) | 2017-05-17 |
Family
ID=52543851
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013166134A Active JP6130264B2 (ja) | 2013-08-09 | 2013-08-09 | シート貼付装置及びシート貼付方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6130264B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005129678A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Nec Engineering Ltd | テープ貼付装置及び貼付方法 |
JP2008270448A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
-
2013
- 2013-08-09 JP JP2013166134A patent/JP6130264B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005129678A (ja) * | 2003-10-23 | 2005-05-19 | Nec Engineering Ltd | テープ貼付装置及び貼付方法 |
JP2008270448A (ja) * | 2007-04-19 | 2008-11-06 | Lintec Corp | シート貼付装置及び貼付方法 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP6130264B2 (ja) | 2017-05-17 |
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