JP2015030133A - 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 - Google Patents
押圧装置および樹脂シートの硬化方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015030133A JP2015030133A JP2013159647A JP2013159647A JP2015030133A JP 2015030133 A JP2015030133 A JP 2015030133A JP 2013159647 A JP2013159647 A JP 2013159647A JP 2013159647 A JP2013159647 A JP 2013159647A JP 2015030133 A JP2015030133 A JP 2015030133A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plate
- spacer
- resin sheet
- laminate
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims abstract description 105
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims abstract description 105
- 238000003825 pressing Methods 0.000 title claims abstract description 81
- 238000001723 curing Methods 0.000 title claims abstract description 27
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 claims abstract description 155
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 47
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 16
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 16
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 12
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 claims description 12
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 8
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 12
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 11
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 11
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 8
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 5
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 5
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004640 Melamine resin Substances 0.000 description 1
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000002223 garnet Substances 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920006337 unsaturated polyester resin Polymers 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/02—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C43/18—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles
- B29C2043/181—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor of articles of definite length, i.e. discrete articles incorporating preformed parts or layers, e.g. compression moulding around inserts or for coating articles encapsulated
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C43/00—Compression moulding, i.e. applying external pressure to flow the moulding material; Apparatus therefor
- B29C43/32—Component parts, details or accessories; Auxiliary operations
- B29C43/36—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles
- B29C2043/366—Moulds for making articles of definite length, i.e. discrete articles plates pressurized by an actuator, e.g. ram drive, screw, vulcanizing presses
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/52—Encapsulations
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Presses And Accessory Devices Thereof (AREA)
- Press Drives And Press Lines (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
Abstract
【課題】積層体に対して適切に押圧でき、積層体の変形を抑制しつつ、樹脂シートの光半導体素子および基板に対する密着を確保することのできる押圧装置、およびその押圧装置が用いられる樹脂シートの硬化方法を提供すること。【解決手段】押圧装置1において積層体9を押圧するときは、まず、ベースプレート21を水平面上に位置させ、次いで、積層体9をベースプレート21上の中央に載置する。そして、積層体9の上に、第1スペーサ3aを載置する。その後、中間プレート5、積層体9、第2スペーサ3b、中間プレート5、積層体9、第2スペーサ3b、上プレート61、加重プレート62を、順次載置する。このとき、上下方向において、第1スペーサ3aの上端と剥離シート13の上端との間、および、第2スペーサ3bの上端と剥離シート13の上端との間には、剥離シート13の厚み分の距離Lが設けられる。【選択図】図2
Description
本発明は、積層体を押圧するための押圧装置およびその積層体に備えられる樹脂シートの硬化方法に関する。
プリント回路基材の製造などにおいては、電子部品が実装された基板を準備し、この基板の上に電子部品を被覆するように熱硬化性の樹脂材を配置して積層体を形成する。その後、積層体を加熱することで樹脂材を硬化させる。また、樹脂材の熱硬化の際には、一定の圧力で樹脂材を加圧する(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1においては、電子部品および基板を備える基材と、電子部品を覆うように基板に配置されたフィルム状樹脂材とを備える積層体を準備し、平面プレス装置により積層体を加圧しつつ加熱している。このとき、積層体は、一対の金属板によって挟まれるようにして加圧される。
しかしながら、積層体を一定以上の圧力で加圧した場合には、フィルム状樹脂材が必要以上に変形してしまうという不具合が生じる。一方、加圧が十分でない場合には、フィルム状樹脂材の電子部品および基板に対する密着が不十分となる。また、積層体を加圧するときの適切な圧力は、積層体を構成する樹脂材によって変わるため、積層体に応じて常に適切な圧力で加圧することが困難である。
そこで、本発明の目的は、積層体に対して適切に押圧でき、積層体の変形を抑制しつつ、樹脂シートの光半導体素子および基板に対する密着を確保することのできる押圧装置、およびその押圧装置が用いられる樹脂シートの硬化方法を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の押圧装置は、基板と、基板の上に実装される光半導体素子と、基板の上に、光半導体素子を被覆するように熱硬化性樹脂から形成される樹脂シートと、樹脂シートの上に配置される剥離シートとを備える積層体を押圧するための押圧装置であって、積層体を、基板が下側、剥離シートが上側となるように載置するように構成される下プレートと、積層体を、その上方から下方に押圧するように構成される上プレートと、下プレートと上プレートとの間に位置するように構成される第1スペーサとを備え、第1スペーサは、その上端が上下方向において積層体の剥離シートの上端よりも下方に位置するように構成されることを特徴としている。
このような押圧装置にすれば、第1スペーサの上端が積層体の剥離シートの上端よりも下方に位置している。そのため、上下方向において、第1スペーサの上端と剥離シートの上端との間に、一定の距離を積層体の押圧しろとして設けることができる。その結果、上プレートにより積層体を上方から下方に適切に押圧でき、樹脂シートを基板および光半導体素子に密着させることができる。
また、上プレートにより積層体が押圧されるときは、第1スペーサの上端が上プレートの下端に当接し、上プレートの下方への移動を規制することができる。その結果、積層体の一定以上の変形を抑制できる。
また、押圧装置では、第1スペーサは、樹脂シートを上方に露出させつつ、基板の上に載置されるように構成され、樹脂シートの厚みと同じ厚みを有することが好適である。
このような押圧装置にすれば、第1スペーサが樹脂シートと同じ厚みを有しているため、第1スペーサを基板の上に載置したときに、上下方向において、第1スペーサの上端と剥離シートの上端との間に、剥離シートの厚み分の距離を設けることができる。つまり、積層体の押圧しろを剥離シートの厚みにより調節することができる。その結果、上プレートにより積層体を一層適切に押圧できる。
また、押圧装置では、複数の積層体を押圧するために、下プレートと上プレートとの間に間隔を隔てて位置するように構成される少なくとも1つの中間プレートと、中間プレートの上方に位置する少なくとも1つの第2スペーサとをさらに備え、中間プレートは、積層体を、基板が下側、剥離シートが上側となるように載置するように構成され、第2スペーサは、その上端が上下方向において中間プレートに載置された積層体の剥離シートの上端よりも下方に位置するように構成され、上プレートは、中間プレートに載置された積層体を、その上方から下方に押圧するように構成されることが好適である。
このような押圧装置にすれば、下プレートに載置された積層体、および、中間プレートに載置された積層体は、上プレートにより上方から下方に押圧される。そのため、複数の積層体を上プレートにより一度に押圧することができ、効率的に複数の積層体を押圧することができ、複数の積層体のそれぞれにおいて、樹脂シートを基板および光半導体素子に密着させることができる。
また、上プレートにより積層体が押圧されると、第1スペーサの上端が中間プレートの下端に当接し、また、第2スペーサの上端が中間プレートまたは上プレートの下端に当接し、上プレートおよび中間プレートの下方への移動を規制することができる。その結果、複数の積層体の一定以上の変形を抑制することができる。
また、押圧装置では、第2スペーサは、樹脂シートを上方に露出させつつ、中間プレートに載置された積層体の基板の上に載置されるように構成され、樹脂シートの厚みと同じ厚みを有することが好適である。
このような押圧装置にすれば、第2スペーサが樹脂シートと同じ厚みを有しているため、第2スペーサを基板の上に載置したときに、上下方向において、第2スペーサの上端と剥離シートの上端との間に、剥離シートの厚み分の距離を設けることができる。つまり、積層体の押圧しろを剥離シートの厚みにより調節することができる。その結果、上プレートにより積層体を一層適切に押圧できる。
また、押圧装置では、複数の積層体、第1スペーサ、中間プレート、第2スペーサおよび上プレートを下プレートに対して位置決めするための位置決めガイドをさらに備えることが好適である。
このような押圧装置にすれば、位置決めガイドにより、複数の積層体、第1スペーサ、中間プレート、第2スペーサおよび上プレートを、下プレートに対して位置決めできる。そのため、精度良く複数の積層体を押圧することができる。
また、本発明の樹脂シートの硬化方法は、基板と、基板の上に実装される光半導体素子と、基板の上に、光半導体素子を被覆するように熱硬化性樹脂から形成される樹脂シートと、樹脂シートの上に配置される剥離シートとを備える積層体の樹脂シートを硬化させる樹脂シートの硬化方法であって、下プレートと、上プレートと、樹脂シートの厚みと同じ厚みを有する第1スペーサとを準備する準備工程と、積層体を、基板が下側、剥離シートが上側となるように下プレートの上に載置する工程と、第1スペーサを、樹脂シートを上方に露出させつつ、基板の上に載置する工程と、上プレートにより積層体をその上方から下方に押圧しつつ、樹脂シートを加熱して硬化させる硬化工程とを含むことを特徴としている。
このような方法によれば、樹脂シートと同じ厚みを有する第1スペーサを準備するため、第1スペーサを基板の上に載置したときに、上下方向において、第1スペーサの上端と剥離シートの上端との間に、剥離シートの厚み分の距離を設けることができる。つまり、積層体の押圧しろを剥離シートの厚みにより調節することができる。その結果、上プレートにより積層体を適切に押圧できる。
また、上プレートにより積層体が適切に押圧されると、第1スペーサの上端が上プレートの下端に当接し、上プレートの下方への移動を規制することができる。その結果、積層体の一定以上の変形を抑制することができる。
また、樹脂シートの硬化方法では、複数の積層体を押圧するために、準備工程は、少なくとも1つの中間プレートと、樹脂シートの厚みと同じ厚みを有する少なくとも1つの第2スペーサとを準備する工程を含み、中間プレートを、下プレートと上プレートとの間に位置させる工程と、積層体を、基板が下側、剥離シートが上側となるように中間プレートの上に載置する工程と、第2スペーサを、樹脂シートを上方に露出させつつ、中間プレートに載置された積層体の基板の上に載置する工程とをさらに含み、硬化工程は、上プレートにより複数の積層体をその上方から下方に押圧しつつ、複数の樹脂シートを加熱して硬化させることが好適である。
このような方法によれば、下プレートに載置された積層体は、中間プレートにより上方から下方に押圧される。また、中間プレートに載置された積層体は、上プレートにより上方から下方に押圧される。そのため、複数の積層体を上プレートまたは中間プレートにより一度に押圧することができ、効率的に複数の積層体を押圧することができる。
また、樹脂シートと同じ厚みを有する第2スペーサを準備するため、第2スペーサを基板の上に載置したときに、上下方向において、第2スペーサの上端と剥離シートの上端との間に、剥離シートの厚み分の距離を設けることができる。つまり、積層体の押圧しろを剥離シートの厚みにより調節することができる。その結果、上プレートにより積層体を一層適切に押圧できる。
また、上プレートにより積層体が押圧されると、第1スペーサの上端が中間プレートの下端に当接し、また、第2スペーサの上端が上プレートまたは中間プレートの下端に当接し、上プレートおよび中間プレートの下方への移動を規制することができる。その結果、複数の積層体の一定以上の変形を抑制することができる。
本発明の押圧装置およびその押圧装置が用いられる樹脂シートの硬化方法によれば、積層体に対して適切に押圧でき、積層体の変形を抑制しつつ、樹脂シートの光半導体素子および基板に対する密着を確保することができる。
1.押圧装置
図1および図2に示すように、押圧装置1は、後述する複数の積層体9を押圧するための装置であって、ベース部材2と、複数(3つ)のスペーサ3と、複数(2つ)の中間プレート5と、蓋部材6とを備えている。
図1および図2に示すように、押圧装置1は、後述する複数の積層体9を押圧するための装置であって、ベース部材2と、複数(3つ)のスペーサ3と、複数(2つ)の中間プレート5と、蓋部材6とを備えている。
なお、以下の説明において、押圧装置1の方向に言及するときには、押圧装置1を水平に載置した状態を基準とする。すなわち、図1の紙厚方向手前が上方であり、紙厚方向奥が下方である。また、図1の紙面左右方向が横方向であり、図1の紙面上下方向が縦方向である。また、図1の紙面左方が横方向一方であり、図1の紙面右方が横方向他方である。また、図1の紙面上方が縦方向一方であり、図1の紙面下方が縦方向他方である。
(1)ベース部材
図2に示すように、ベース部材2は、下プレートとしてのベースプレート21と、ガイドピン22,23,24とを備えている。
(1−1)ベースプレート
ベースプレート21は、図3に示すように、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。ベースプレート21の4隅近傍の上面には、それぞれ図2の破線で示すように、下方に窪む複数、すなわち、1つの太径溝および3つの細径溝が形成されている。
(1−2)ガイドピン
ガイドピン22,23,24は、図2に示すように、それぞれ、第1ガイドピン22、第2ガイドピン23、第3ガイドピン24に分類される。
(1)ベース部材
図2に示すように、ベース部材2は、下プレートとしてのベースプレート21と、ガイドピン22,23,24とを備えている。
(1−1)ベースプレート
ベースプレート21は、図3に示すように、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。ベースプレート21の4隅近傍の上面には、それぞれ図2の破線で示すように、下方に窪む複数、すなわち、1つの太径溝および3つの細径溝が形成されている。
(1−2)ガイドピン
ガイドピン22,23,24は、図2に示すように、それぞれ、第1ガイドピン22、第2ガイドピン23、第3ガイドピン24に分類される。
第1ガイドピン22は、ステンレスなどの金属からなり、上下方向に延びる略円柱形状に形成されている。第1ガイドピン22は、その下端がベースプレート21の太径溝に嵌合されることでベースプレート21に対して立設している。
図1および図3に示すように、第1ガイドピン22は、ベースプレート21の横方向両端縁近傍において、互いに縦方向に間隔を隔てて2つ設けられ、つまり合計4つ設けられている。具体的には、横方向において、横方向一方の第1ガイドピン22と横方向他方の第1ガイドピン22とが対向しており、縦方向において、縦方向一方の第1ガイドピン22と縦方向他方の第1ガイドピン22とが対向している。また、横方向一方の第1ガイドピン22と横方向他方の第1ガイドピン22との間には、上下方向に投影したときに、後述する積層体9、スペーサ3、中間プレート5、上プレート61および加重プレート6が介在されている。そして、第1ガイドピン22は、後述する加重プレート62の切欠部62cに係合する。これによって、第1ガイドピン22は、加重プレート62をベースプレート21に対して位置決めする。
図2に示すように、第2ガイドピン23は、ステンレスなどの金属からなり、上下方向に延びる第1ガイドピン22よりも小径の略円柱形状に形成されている。第2ガイドピン23は、その下端がベースプレート21の細径溝に嵌合されることでベースプレート21に対して立設している。
図1および図3に示すように、第2ガイドピン23は、ベースプレート21において、4隅近傍にそれぞれ1つ設けられ、つまり、合計4つ設けられている。具体的には、横方向において、横方向一方および横方向他方の第1ガイドピン22よりも内方において、横方向一方の第2ガイドピン23と横方向他方の第2ガイドピン23とが対向しており、縦方向において、縦方向一方および縦方向他方の第1ガイドピン22よりも内方において、縦方向一方の第2ガイドピン23と縦方向他方の第2ガイドピン23とが対向している。
また、横方向一方および横方向他方の第2ガイドピン23は、上下方向に投影したときに、それらの間に積層体9が介在されるように、後述するスペーサ3、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62の横方向両端部を上下方向に貫通している。これによって、第2ガイドピン23は、後述するスペーサ3、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62をベースプレート21に対して位置決めする。
図2に示すように、第3ガイドピン24は、ステンレスなどの金属からなり、上下方向に延びる第1ガイドピン22よりも小径、かつ、第2ガイドピン23と同径の略円柱形状に形成されている。ガイドピン24は、その下端がベースプレート21の細径溝に嵌合されることでベースプレート21に対して立設している。
図1および図3に示すように、第3ガイドピン24は、ベースプレート21において、4隅近傍にそれぞれ2つ設けられ、つまり合計8つ設けられている。
各隅において、2つの第3ガイドピン24は、上下方向に投影したときに、回路基板10の各隅に当接するように配置されており、具体的には、一方の第3ガイドピン24は、回路基板10の各隅における横方向端縁に当接し、他方の第3ガイドピン24は、回路基板10の各隅における縦方向端縁に当接するように、配置されている。これによって、第3ガイドピン24は、回路基板10ひいては積層体9をベースプレート21に対して位置決めする。
また、横方向一方および横方向他方の第3ガイドピン24は、上下方向に投影したときに、それらの間に積層体9が介在されるように、後述するスペーサ3、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62の横方向両端部を上下方向に貫通している。これによって、第3ガイドピン24は、後述するスペーサ3、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62をベースプレート21に対して位置決めする。
(2)スペーサ
図2、図5Aおよび図5Bに示すように、スペーサ3は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略枠形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。スペーサ3は、枠部31と、複数(4つ)の仕切部32とを一体的に備えている。スペーサ3は、後述する樹脂シート12と同じ厚みを有している。
(2)スペーサ
図2、図5Aおよび図5Bに示すように、スペーサ3は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略枠形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。スペーサ3は、枠部31と、複数(4つ)の仕切部32とを一体的に備えている。スペーサ3は、後述する樹脂シート12と同じ厚みを有している。
枠部31は、平面視略矩形枠形状に形成されており、縦方向に沿って延びる一対の板状部分と横方向に沿って延びる一対の板状部分とにより形成されている。枠部31には、厚み方向に貫通する、複数(12個)のスペーサ貫通穴31aが形成されている。
スペーサ貫通穴31aは、枠部31の4隅近傍にそれぞれ3つ設けられ、つまり合計12個設けられている。具体的には、枠部31の各隅において、1つの第2ガイドピン23および2つの第3ガイドピン24が挿通される3つのスペーサ貫通穴31aが形成されている。
上下方向に投影したときに、枠部31の縦方向に延びる一対の板状部分は、後述する回路基板10の横方向の両端部と重なり、枠部31の横方向に延びる一対の板状部分の間には、後述する回路基板10が介在される。
仕切部32は、縦方向に延びる正面視略矩形状の平板形状であって、枠部31の横方向に延びる一対の板状部分から、縦方向内方に向かって枠部31の縦方向4分の1程度まで突出している。
仕切部32は、横方向において、枠部31の開口(内部空間)を等分(3等分)に仕切るように、かつ、縦方向において、一方の仕切部32と他方の仕切部32とが対向するように、複数(4つ)が間隔を隔てて配置されている。横方向において互いに隣接する仕切部32の間隔は、後述する剥離シート13の横方向長さよりもわずかに大きく、各仕切部32の横方向長さは、後述する剥離シート13の横方向の長さよりも短い。
なお、スペーサ3は、上下方向において、3つが間隔を隔てて配置されており、最も下方のスペーサ3が第1スペーサ3aであり、最も下方のスペーサ3以外のスペーサ3が第2スペーサ3bである。
(3)中間プレート
図2、図6Aおよび図6Bに示すように、中間プレート5は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。中間プレート5は、縦方向長さがベースプレート2の縦方向長さと同じ長さであり、その横方向長さがベースプレート2の横方向長さよりも短くなるように形成されている。中間プレート5には、厚み方向に貫通する、複数(12個)の中間プレート貫通穴5aが形成されている。
(3)中間プレート
図2、図6Aおよび図6Bに示すように、中間プレート5は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。中間プレート5は、縦方向長さがベースプレート2の縦方向長さと同じ長さであり、その横方向長さがベースプレート2の横方向長さよりも短くなるように形成されている。中間プレート5には、厚み方向に貫通する、複数(12個)の中間プレート貫通穴5aが形成されている。
中間プレート貫通穴5aは、中間プレート5の4隅近傍にそれぞれ3つ設けられ、つまり合計12個設けられている。具体的には、中間プレート5の各隅において、1つの第2ガイドピン23および2つの第3ガイドピン24が挿通される3つの中間プレート貫通穴5aが形成されている。
なお、中間プレート5は、2つの中間プレート5が上下方向に間隔を隔てて配置されている。
(4)蓋部材
蓋部材6は、上プレート61と、加重プレート62とを備えている。
(4−1)上プレート
上プレート61は、中間プレート5と同じ形状およびサイズを有している。すなわち、図2、図7Aおよび図7Bに示すように、上プレート61は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。上プレート61は、縦方向長さがベースプレート2の縦方向長さと同じ長さであり、その横方向長さがベースプレート2の横方向長さよりも短くなるように形成されている。上プレート61には、厚み方向に貫通する、複数(12個)の上プレート貫通穴61aが形成されている。
(4)蓋部材
蓋部材6は、上プレート61と、加重プレート62とを備えている。
(4−1)上プレート
上プレート61は、中間プレート5と同じ形状およびサイズを有している。すなわち、図2、図7Aおよび図7Bに示すように、上プレート61は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。上プレート61は、縦方向長さがベースプレート2の縦方向長さと同じ長さであり、その横方向長さがベースプレート2の横方向長さよりも短くなるように形成されている。上プレート61には、厚み方向に貫通する、複数(12個)の上プレート貫通穴61aが形成されている。
上プレート貫通穴61aは、上プレート61の4隅近傍にそれぞれ3つ設けられ、つまり合計12個設けられている。具体的には、上プレート61の各隅において、1つの第2ガイドピン23および2つの第3ガイドピン24が挿通される3つの上プレート貫通穴61aが形成されている。
なお、上プレート61は、最も上方に位置する中間プレート5の上方に間隔を隔てて配置されている。
(4−2)加重プレート
図2、図8Aおよび図8Bに示すように、加重プレート62は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。加重プレート62は、縦方向長さがベースプレート2の縦方向長さと同じであり、横方向長さがベースプレート2の横方向長さと同じ長さとなるように形成されている。加重プレート62には、厚み方向に貫通する、複数(12個)の加重プレート貫通穴62aと、凹部62bと、複数(4つ)の切欠き部62cとが形成されている。
(4−2)加重プレート
図2、図8Aおよび図8Bに示すように、加重プレート62は、ステンレスなどの金属からなり、平面視略矩形状の一定の厚みを有する平板形状に形成されている。加重プレート62は、縦方向長さがベースプレート2の縦方向長さと同じであり、横方向長さがベースプレート2の横方向長さと同じ長さとなるように形成されている。加重プレート62には、厚み方向に貫通する、複数(12個)の加重プレート貫通穴62aと、凹部62bと、複数(4つ)の切欠き部62cとが形成されている。
加重プレート貫通穴62aは、加重プレート62の4隅近傍にそれぞれ3つ設けられ、つまり合計12個設けられている。具体的には、加重プレート62の各隅において、1つの第2ガイドピン23および2つの第3ガイドピン24が挿通される3つの加重プレート貫通穴62aが形成されている。
凹部62bは、平面視略矩形状をなし、加重プレート62の上面の中央部分において下方に向かって窪むように形成されている。凹部62bの深さは、加重プレート62の厚みの略半分程度である。
切欠き部62cは、加重プレート62の横方向両端縁にそれぞれ2つ設けられ、つまり合計4つ設けられている。具体的には、切欠き部62cは、加重プレート62の4隅近傍のそれぞれにおいて、加重プレート5の横方向端縁から内方に向かって略U字形状に切り欠いた形状を有している。切欠き部62cは、上下方向に投影したときに、ガイドピン22と重なる。
なお、加重プレート62は、上プレート61の上方に位置している。
2.積層体
図2、図9Aおよび図9Bに示すように、積層体9は、回路基板10と、回路基板10の上に支持される光半導体素子としての複数(12個)の発光ダイオード素子11と、回路基板10の上において、発光ダイオード素子11を封止する複数(12個)の樹脂シート12と、樹脂シート12の上に位置する複数(3つ)の剥離シート13とを備えている。
2.積層体
図2、図9Aおよび図9Bに示すように、積層体9は、回路基板10と、回路基板10の上に支持される光半導体素子としての複数(12個)の発光ダイオード素子11と、回路基板10の上において、発光ダイオード素子11を封止する複数(12個)の樹脂シート12と、樹脂シート12の上に位置する複数(3つ)の剥離シート13とを備えている。
回路基板10は、平面視略矩形状の一定の厚みを有する略平板形状であって、例えば、アルミナなどのセラミック基板、例えば、ポリイミドなどの樹脂基板、コアに金属板を用いたメタルコア基板など、光半導体装置に一般に用いられる基板からなる。
回路基板10は、その上面において、外部の電源(図示せず)に接続される一対の外部電極15と、配線16と、発光ダイオード素子11に電気的に接続される内部電極(図示せず)とを有する導体パターン17を備えている。
導体パターン17は、回路基板10において、縦方向に互いに間隔を隔てて、複数(4つ)が並列配置され、また、横方向に互いに間隔を隔てて、複数(3つ)が並列配置され、つまり合計12個が整列配置されている。
外部電極15は、回路基板10に積層される1つの樹脂シート12に対して外方に一対設けられており、樹脂シート12を挟むように対向配置されている。
配線16は、外部電極15と内部電極(図示せず)とを電気的に接続している。
そして、電源からの電力が外部電極15を介して供給され、その電力が、配線16を介して内部電極(図示せず)に供給される。
発光ダイオード素子11は、平面視略円板形状に形成され、回路基板10の上面において、縦方向に互いに間隔を隔てて、複数(4つ)が並列配置され、また、横方向に互いに間隔を隔てて、複数(3つ)が並列配置され、つまり合計12個が整列配置されている。発光ダイオード素子11は、各導体パターン17に対応して1つ配置され、具体的には、各発光ダイオード素子11は、対応する一対の外部電極15の間に配置されている。
このような発光ダイオード素子11は、内部電極(図示せず)に対して、ワイヤボンディング接続(図示せず)されているか、あるいは、フリップチップ実装(図示せず)されていることにより、内部電極(図示せず)からの電力が供給されることにより発光する。
発光ダイオード素子11の直径は、例えば、0.2mm以上、5mm以下である。発光ダイオード素子11の厚みは、例えば、100μm以上、1000μm以下である。
発光ダイオード素子11の縦方向および横方向における間隔は、例えば、0.5mm以上、好ましくは、1mm以上であり、また、例えば、10mm以下、好ましくは、5mm以下である。
発光ダイオード素子11は、例えば、青色光を発光できる光半導体素子(具体的には、青色発光ダイオード素子)である。
(2−1)樹脂シート
樹脂シート12は、発光ダイオード素子11よりも大径の平面視略円形状であって一定の厚みを有するシート状に形成されている。
(2−1)樹脂シート
樹脂シート12は、発光ダイオード素子11よりも大径の平面視略円形状であって一定の厚みを有するシート状に形成されている。
樹脂シート12は、封止樹脂を含む封止樹脂組成物から、形成されている。
封止樹脂としては、例えば、加熱により硬化する熱硬化性樹脂が挙げられる。
熱硬化性樹脂としては、例えば、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、フェノール樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、不飽和ポリエステル樹脂などが挙げられる。
これら封止樹脂として、好ましくは、熱硬化性樹脂が挙げられ、より好ましくは、シリコーン樹脂が挙げられる。
また、封止樹脂としてシリコーン樹脂を含む封止樹脂組成物としては、例えば、2段階硬化型シリコーン樹脂組成物、1段階硬化型シリコーン樹脂組成物などの熱硬化性シリコーン樹脂組成物などが挙げられる。
2段階硬化型シリコーン樹脂組成物とは、2段階の反応機構を有しており、1段階目の反応でBステージ化(半硬化)し、2段階目の反応でCステージ化(最終硬化)する熱硬化性シリコーン樹脂組成物である。
なお、Bステージは、封止樹脂組成物が、溶剤に可溶なAステージと、最終硬化したCステージとの間の状態であって、硬化およびゲル化がわずかに進行し、溶剤に膨潤するが完全に溶解せず、加熱によって軟化するが溶融しない状態である。
2段階硬化型シリコーン樹脂組成物としては、例えば、縮合反応・付加反応硬化型シリコーン樹脂組成物が挙げられる。
なお、封止樹脂組成物には、必要により、蛍光体、充填剤を適宜の割合で含有させることができる。
蛍光体としては、例えば、青色光を黄色光に変換することのできる黄色蛍光体などが挙げられる。そのような蛍光体としては、例えば、複合金属酸化物や金属硫化物などに、例えば、セリウム(Ce)やユウロピウム(Eu)などの金属原子がドープされた蛍光体が挙げられる。
具体的には、蛍光体としては、例えば、Y3Al5O12:Ce(YAG(イットリウム・アルミニウム・ガーネット):Ce)などが挙げられる。
樹脂シート12は、好ましくはBステージであり、その硬さは、その圧縮弾性率が、例えば、0.025MPa以上、0.15MPa以下となるような硬さである。
また、樹脂シート12は、上下方向に投影したときに、発光ダイオード素子11と同心円状に重なり、その直径は、例えば、10mm以上、100mm以下である。
また、樹脂シート12の厚みは、特に限定されないが、例えば、100μm以上、好ましくは、800μm以上であり、また、例えば、1000μm以下である。
剥離シート13は、縦方向に延びる平面視略矩形状のシート状に形成されている。
剥離シート13は、例えば、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、アクリルフィルム、シリコーン樹脂フィルム、スチレン樹脂フィルム、フッ素樹脂フィルムなどの樹脂フィルムから形成されている。なお、剥離シート13の表面は、離型処理が施されていてもよい。
剥離シート13の縦方向長さは、回路基板10の縦方向長さより長く、剥離シート13の横方向長さは、一対の外部電極15を被覆できる長さである。
剥離シート13の厚みは、例えば、50μm以上、100μm以下である。剥離シート13の厚みが上記の範囲内であれば、コストの増大を抑制しながら、良好なハンドリング性(剥離シート13を樹脂シート12から剥離させるときのハンドリング性)を実現することができる。
剥離シート13は、縦方向に並列配置されている4つの樹脂シート12の上に、連続して接触するようにして配置されている。また、剥離シート13の縦方向両端縁は、回路基板10の縦方向両端縁よりも外方に配置されている。剥離シート13は、横方向に互いに間隔を隔てて、複数(3つ)が並列配置されている。
3.押圧装置による積層体の押圧
以下では、図10〜図16を参照して、押圧装置1による積層体9の押圧方法および樹脂シート12の硬化方法について説明する。
3.押圧装置による積層体の押圧
以下では、図10〜図16を参照して、押圧装置1による積層体9の押圧方法および樹脂シート12の硬化方法について説明する。
この方法では、まず、ベース部材2と、第1スペーサ3aと、2つの第2スペーサ3bと、2つの中間プレート5と、蓋部材6とを準備する。そして、図10および図11に示すように、ベース部材2のベースプレート21を水平面上に配置する。その後、ベースプレート21の太径溝に第1ガイドピン22を嵌合し、また、ベースプレート21の細径溝に第2ガイドピン23および第3ガイドピン24を嵌合して、これらをベースプレート21に対して立設させる。
次いで、積層体9を、回路基板10が下側、剥離シート13が上側となるようにベースプレート21上の中央に載置する。このとき、ベースプレート21の各隅の一方の第3ガイドピン24が、回路基板10の各隅における横方向端縁に当接し、他方の第3ガイドピン24が、回路基板10の各隅における縦方向端縁に当接する。
そして、図12および図13に示すように、第1スペーサ3aを、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24がスペーサ貫通穴31aを挿通するようにして、樹脂シート12および剥離シート13を上方に露出させつつ、回路基板10の上に載置する。
このとき、枠部31の内部空間であって仕切部32により3等分される空間のそれぞれに、剥離シート13および縦方向に並ぶ4つの発光ダイオード素子11が収容される。また、上下方向において、第1スペーサ3aの上端が積層体9の剥離シート13の上端よりも下方に位置している。詳しくは、第1スペーサ3aの上端と剥離シート13の上端との間に、剥離シート13の厚み分の距離L(図2参照)が設けられる。
その後、図14および図15に示すように、中間プレート5を、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24が中間プレート貫通穴5aを挿通するようにして、積層体9上、すなわち、3つの剥離シート13上に載置する。このとき、中間プレート5の下端と第1スペーサ3aの上端との間には、剥離シート13の厚み分の距離L(図2参照)が設けられる。
次いで、同様に、積層体9、第2スペーサ3b、中間プレート5、積層体9、第2スペーサ3bを、順次載置する。
すなわち、積層体9を、回路基板10が下側、剥離シート13が上側となるように中間プレート5上の中央に載置する。
そして、第2スペーサ3bを、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24がスペーサ貫通穴31aを挿通するようにして、樹脂シート12および剥離シート13を上方に露出させつつ、中間プレート5上の回路基板10の上に載置する。
その後、中間プレート5を、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24が中間プレート貫通穴5aを挿通するようにして、下方に位置する中間プレート5上の積層体9の上、すなわち、下方に位置する中間プレート5上の3つの剥離シート13上に載置する。
また、積層体9を、回路基板10が下側、剥離シート13が上側となるように最も上方に位置する中間プレート5上の中央に載置する。
そして、第2スペーサ3bを、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24がスペーサ貫通穴31aを挿通するようにして、樹脂シート12および剥離シート13を上方に露出させつつ、中間プレート5上の回路基板10の上に載置する。
このとき、ベースプレート21の各隅の一方の第3ガイドピン24が、すべての回路基板10に対し、回路基板10の各隅における横方向端縁に当接し、他方の第3ガイドピン24が、回路基板10の各隅における縦方向端縁に当接する。
また、第2スペーサ3bの枠部31の内部空間であって仕切部32により3等分される空間のそれぞれに、中間プレート3上に位置する剥離シート13および縦方向に並ぶ4つの発光ダイオード素子11が収容される。上下方向において、第2スペーサ3bの上端が積層体9の剥離シート13の上端よりも下方に位置している。詳しくは、第2スペーサ3aの上端と剥離シート13の上端との間には、剥離シート13の厚み分の距離L(図2参照)が設けられる。中間プレート5の下端と第2スペーサ3bの上端との間には、剥離シート13の厚み分の距離L(図2参照)が設けられる。
次いで、上プレート61を、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24が上プレート貫通穴61aを挿通するようにして、最も上方に位置する中間プレート5上の積層体9の上、すなわち、最も上方に位置する中間プレート5上の3つの剥離シート13上に載置する。このとき、上プレート61の下端と最も上方に位置する第2スペーサ3bの上端との間には、剥離シート13の厚み分の距離L(図2参照)が設けられる。
そして、図1および図2に示すように、加重プレート62を、ベース部材2の第1ガイドピン22が切欠き部62cの内方に位置するように、また、ベース部材2の第2ガイドピン23および第3ガイドピン24が加重プレート貫通穴62aを挿通するようにして、上プレート61上に載置する。
このとき、第1ガイドピン22は、切欠き部62cに係合することにより、加重プレート62を、ベースプレート21に対して位置決めする。
第2ガイドピン23は、第1スペーサ3a、第2スペーサ3b、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62を上下方向に貫通している。これによって、第2ガイドピン23は、第1スペーサ3a、第2スペーサ3b、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62をベースプレート21に対して位置決めする。
第3ガイドピン24は、すべての回路基板10の横方向端縁または縦方向端縁に当接し、すべての回路基板10ひいてはすべての積層体9をベースプレート21に対して位置決めする。また、第3ガイドピン24は、第1スペーサ3a、第2スペーサ3b、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62を上下方向に貫通している。これによって、第3ガイドピン24は、第1スペーサ3a、第2スペーサ3b、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62をベースプレート21に対して位置決めする。
その後、加重プレート62の凹部62bに重りWを載置して積層体9を上プレート61により上方から下方に押圧すると、図16に示すように、中間プレート5の下端が第1スペーサ3aの上端に当接し、また、中間プレート3aまたは上プレート61の下端が第2スペーサ3bの上端に当接する。これによって、上プレート61および中間プレート5の下方への移動が規制される。そして、積層体9の樹脂シート12が剥離シート13の厚み分だけ下方に収縮する。
次いで、押圧装置1をオーブン内(図示せず)にセットし、積層体9、すなわち、樹脂シート12を加圧しつつ加熱して硬化させる。
このとき、硬化条件は、上記した樹脂シート12の熱硬化性樹脂が完全硬化する条件であって、樹脂シート12がBステージである場合、加熱温度が、例えば、80〜200℃、好ましくは、100〜180℃、加熱時間が、例えば、0.1〜20時間、好ましくは、1〜10時間である。
そして、樹脂シート12の硬化が完了した後、押圧装置1をオーブン内(図示せず)から取り出す。
4.作用効果
この押圧装置1、および、押圧装置1を用いた樹脂シート12の硬化方法によれば、図2に示すように、第1スペーサ3aの上端および第2スペーサ3bの上端が積層体9の剥離シート13の上端よりも下方に位置している。そのため、上下方向において、第1スペーサ3aの上端と剥離シート13の上端との間、および、第2スペーサ3bの上端と剥離シート13の上端との間に、一定の距離Lを積層体9の押圧しろとして設けることができる。その結果、上プレート61により積層体9を上方から下方に適切に押圧でき、樹脂シート12を回路基板10および発光ダイオード素子11に密着させることができる。
4.作用効果
この押圧装置1、および、押圧装置1を用いた樹脂シート12の硬化方法によれば、図2に示すように、第1スペーサ3aの上端および第2スペーサ3bの上端が積層体9の剥離シート13の上端よりも下方に位置している。そのため、上下方向において、第1スペーサ3aの上端と剥離シート13の上端との間、および、第2スペーサ3bの上端と剥離シート13の上端との間に、一定の距離Lを積層体9の押圧しろとして設けることができる。その結果、上プレート61により積層体9を上方から下方に適切に押圧でき、樹脂シート12を回路基板10および発光ダイオード素子11に密着させることができる。
また、図16に示すように、上プレート61により積層体9が押圧されるときは、第1スペーサ3aの上端が中間プレート5の下端に当接し、また、第2スペーサ3bの上端が中間プレート3aまたは上プレート61の下端に当接するので、上プレート61および中間プレート5の下方への移動を規制することができる。その結果、複数の積層体9、すなわち、複数の樹脂シート12の一定以上の変形を抑制できる。
また、図2に示すように、第1スペーサ3aおよび第2スペーサ3bが樹脂シート12と同じ厚みを有しているため、第1スペーサ3aおよび第2スペーサ3bを回路基板10の上に載置したときに、上下方向において、第1スペーサ3aの上端と剥離シート13の上端との間、および、第2スペーサ3bの上端と剥離シート13の上端との間に剥離シート13の厚み分の距離Lを設けることができる。つまり、積層体9の押圧しろを剥離シート13の厚みにより調節することができる。その結果、上プレート61により積層体を一層適切に押圧できる。
また、図2に示すように、ベースプレート21に載置された積層体9、および、中間プレート8に載置された積層体9は、上プレート61により上方から下方に押圧される。そのため、複数の積層体9を上プレート61により一度に押圧することができ、効率的に複数の積層体9を押圧することができ、複数の積層体9のそれぞれにおいて、樹脂シート12を回路基板10および発光ダイオード素子11に密着させることができる。
また、図2に示すように、押圧装置1では、第1ガイドピン22、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24により、複数の積層体9、第1スペーサ3a、中間プレート5、第2スペーサ3b、上プレート61および加重プレート62をベースプレート21に対して位置決めできる。そのため、精度良く複数の積層体9を押圧することができる。
詳しくは、図1および図2に示すように、第1ガイドピン22は、切欠き部62cに係合するため、加重プレート62を、ベースプレート21に対して位置決めできる。
また、図1および図2に示すように、第2ガイドピン23は、第1スペーサ3a、第2スペーサ3b、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62を上下方向に貫通するため、これらをベースプレート21に対して位置決めできる。
また、図1および図2に示すように、第3ガイドピン24は、すべての回路基板10の横方向端縁または縦方向端縁に当接するため、すべての回路基板10ひいてはすべての積層体9をベースプレート21に対して位置決めできる。さらに、第3ガイドピン24は、第1スペーサ3a、第2スペーサ3b、中間プレート5、上プレート61および加重プレート62を上下方向に貫通するため、これらをベースプレート21に対して位置決めできる。
5.押圧装置の変形例1
図17および図18は、上記した押圧装置1の変形例を示す断面図である。図17および図18において、上記した押圧装置1と同一の部材については、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。また、以下に説明する押圧方法および硬化方法において、上記と同一の工程については、その説明を省略する。
5.押圧装置の変形例1
図17および図18は、上記した押圧装置1の変形例を示す断面図である。図17および図18において、上記した押圧装置1と同一の部材については、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。また、以下に説明する押圧方法および硬化方法において、上記と同一の工程については、その説明を省略する。
上記説明においては、押圧装置1では、上下方向において、ベースプレート21と上プレート61との間に中間プレート5を介在させたが、ベースプレート21の上方に中間プレート5を介在させることなく上プレート61を配置させてもよい。
すなわち、図17に示すように、この方法では、ベース部材2のベースプレート21を水平面上に位置させ、積層体9および第1スペーサ3aを、ベースプレート21上に載置した後に、上プレート61を、第2ガイドピン23および第3ガイドピン24が上プレート貫通穴62aを挿通するようにして、ベースプレート21上の積層体9の上、すなわち、ベースプレート21上の3つの剥離シート13上に載置する。その後、上プレート61の上に加重プレート62を載置する。そして、図18に示すように、加重プレート62に重りWを載置して積層体9を上プレート61により上方から下方に押圧する。
この押圧装置1、および、押圧装置1を用いた樹脂シート12の硬化方法によれば、簡易な構成および方法でありながら、上プレート61により積層体9を適切に押圧できる。
6.押圧装置の変形例2
図19は、上記した押圧装置1に用いられるスペーサ3の変形例を示す平面図である。図19において、上記した押圧装置1と同一の部材については、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。また、以下に説明する押圧方法および硬化方法において、上記と同一の工程については、その説明を省略する。
6.押圧装置の変形例2
図19は、上記した押圧装置1に用いられるスペーサ3の変形例を示す平面図である。図19において、上記した押圧装置1と同一の部材については、同一の参照符号を付し、その説明を省略する。また、以下に説明する押圧方法および硬化方法において、上記と同一の工程については、その説明を省略する。
上記説明においては、スペーサ3は、平面視略矩形枠形状であって、枠部31と仕切部32とを備えているが、略平帯形状の複数のスペーサを備えてもよい。
すなわち、図19に示すように、スペーサ90は、第3スペーサ91と、第4スペーサ92とを備えている。
第3スペーサ91は、平面視略矩形状の略平帯形状であって、樹脂シート12と同じ厚みを有している。第3スペーサ91には、厚み方向に貫通する、複数(2つ)のスペーサ貫通穴91aが形成されている。
スペーサ貫通穴91aは、第3スペーサ91の両端部にそれぞれ1つ設けられ、つまり合計2つ設けられている。
第4スペーサ92は、第3スペーサ91と同一の形状を有している。すなわち、第4スペーサ92は、平面視略矩形状の略平帯形状であって、樹脂シート12と同じ厚みを有している。第4スペーサ92には、厚み方向に貫通する、複数(2つ)のスペーサ貫通穴92aが形成されている。
スペーサ貫通穴92aは、第4スペーサ92の両端部にそれぞれ1つ設けられ、つまり合計2つ設けられている。
図示しないが、第2ガイドピン23は、ベースプレート21において、4隅近傍にそれぞれ1つ設けられ、つまり、合計4つ設けられている。具体的には、横方向において、横方向一方および横方向他方の第1ガイドピン22よりも内方において、横方向一方の第2ガイドピン23と横方向他方の第2ガイドピン23とが対向しており、縦方向において、縦方向一方および縦方向他方の第1ガイドピン22の近傍において、縦方向一方の第2ガイドピン23と縦方向他方の第2ガイドピン23とが対向している。
押圧装置1によって積層体9を押圧する際は、ベースプレート21に積層体9を載置した後、ベースプレート21の縦方向一方側の2つの第2ガイドピン23が第3スペーサ91の2つのスペーサ貫通穴91aを挿通するようにして、第3スペーサ91を回路基板10の縦方向一方側端部の上に載置する。また、ベースプレート21の縦方向他方側の2つの第2ガイドピン23が第4スペーサ92の2つのスペーサ貫通穴92aを挿通するようにして、第4スペーサ92を回路基板10の縦方向他方側端部の上に載置する。その後は、中間プレート5、積層体9、スペーサ90、中間プレート5、積層体9、スペーサ90を順次載置した後、上プレート61および加重プレート62を載置して積層体9を上プレート61により上方から下方に押圧する。
この押圧装置1、および、押圧装置1を用いた樹脂シート12の硬化方法によれば、一層簡易な構成および方法でありながら、上プレート61により積層体9を適切に押圧できる。
1 押圧装置
3a 第1スペーサ
3b 第2スペーサ
5 中間プレート
9 積層体
10 回路基板
11 発光ダイオード素子
12 樹脂シート
13 剥離シート
21 ベースプレート
22 第1ガイドピン
23 第2ガイドピン
24 第3ガイドピン
61 上プレート
3a 第1スペーサ
3b 第2スペーサ
5 中間プレート
9 積層体
10 回路基板
11 発光ダイオード素子
12 樹脂シート
13 剥離シート
21 ベースプレート
22 第1ガイドピン
23 第2ガイドピン
24 第3ガイドピン
61 上プレート
Claims (7)
- 基板と、前記基板の上に実装される光半導体素子と、前記基板の上に、前記光半導体素子を被覆するように熱硬化性樹脂から形成される樹脂シートと、前記樹脂シートの上に配置される剥離シートとを備える積層体を押圧するための押圧装置であって、
前記積層体を、前記基板が下側、前記剥離シートが上側となるように載置するように構成される下プレートと、
前記積層体を、その上方から下方に押圧するように構成される上プレートと、
前記下プレートと前記上プレートとの間に位置するように構成される第1スペーサとを備え、
前記第1スペーサは、その上端が上下方向において前記積層体の前記剥離シートの上端よりも下方に位置するように構成されることを特徴とする、押圧装置。 - 前記第1スペーサは、
前記樹脂シートを上方に露出させつつ、前記基板の上に載置されるように構成され、
前記樹脂シートの厚みと同じ厚みを有することを特徴とする、請求項1に記載の押圧装置。 - 複数の前記積層体を押圧するために、
前記下プレートと前記上プレートとの間に間隔を隔てて位置するように構成される少なくとも1つの中間プレートと、
前記中間プレートの上方に位置する少なくとも1つの第2スペーサとをさらに備え、
前記中間プレートは、前記積層体を、前記基板が下側、前記剥離シートが上側となるように載置するように構成され、
前記第2スペーサは、その上端が上下方向において前記中間プレートに載置された前記積層体の前記剥離シートの上端よりも下方に位置するように構成され、
前記上プレートは、前記中間プレートに載置された前記積層体を、その上方から下方に押圧するように構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の押圧装置。 - 前記第2スペーサは、
前記樹脂シートを上方に露出させつつ、前記中間プレートに載置された前記積層体の前記基板の上に載置されるように構成され、
前記樹脂シートの厚みと同じ厚みを有することを特徴とする、請求項3に記載の押圧装置。 - 前記複数の積層体、前記第1スペーサ、前記中間プレート、前記第2スペーサおよび前記上プレートを前記下プレートに対して位置決めするための位置決めガイドをさらに備えることを特徴とする、請求項3または4に記載の押圧装置。
- 基板と、前記基板の上に実装される光半導体素子と、前記基板の上に、前記光半導体素子を被覆するように熱硬化性樹脂から形成される樹脂シートと、前記樹脂シートの上に配置される剥離シートとを備える積層体の前記樹脂シートを硬化させる樹脂シートの硬化方法であって、
下プレートと、上プレートと、前記樹脂シートの厚みと同じ厚みを有する第1スペーサとを準備する準備工程と、
前記積層体を、前記基板が下側、前記剥離シートが上側となるように前記下プレートの上に載置する工程と、
前記第1スペーサを、前記樹脂シートを上方に露出させつつ、前記基板の上に載置する工程と、
前記上プレートにより前記積層体をその上方から下方に押圧しつつ、前記樹脂シートを加熱して硬化させる硬化工程とを含むことを特徴とする、樹脂シートの硬化方法。 - 複数の前記積層体を押圧するために、
前記準備工程は、少なくとも1つの中間プレートと、前記樹脂シートの厚みと同じ厚みを有する少なくとも1つの第2スペーサとを準備する工程を含み、
前記中間プレートを、前記下プレートと前記上プレートとの間に位置させる工程と、
前記積層体を、前記基板が下側、前記剥離シートが上側となるように前記中間プレートの上に載置する工程と、
前記第2スペーサを、前記樹脂シートを上方に露出させつつ、前記中間プレートに載置された前記積層体の前記基板の上に載置する工程とをさらに含み、
前記硬化工程は、前記上プレートにより前記複数の積層体をその上方から下方に押圧しつつ、前記複数の樹脂シートを加熱して硬化させる工程であることを特徴とする、請求項6に記載の樹脂シートの硬化方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159647A JP2015030133A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 |
KR1020167002358A KR20160036660A (ko) | 2013-07-31 | 2014-06-24 | 프레스 장치 및 수지 시트의 경화 방법 |
PCT/JP2014/066703 WO2015015956A1 (ja) | 2013-07-31 | 2014-06-24 | 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 |
CN201410374446.0A CN104339511A (zh) | 2013-07-31 | 2014-07-31 | 按压装置和树脂片的固化方法 |
TW103126290A TW201504022A (zh) | 2013-07-31 | 2014-07-31 | 按壓裝置及樹脂片材之硬化方法 |
CN201420430514.6U CN204036735U (zh) | 2013-07-31 | 2014-07-31 | 按压装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013159647A JP2015030133A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015030133A true JP2015030133A (ja) | 2015-02-16 |
Family
ID=52237441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013159647A Withdrawn JP2015030133A (ja) | 2013-07-31 | 2013-07-31 | 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015030133A (ja) |
KR (1) | KR20160036660A (ja) |
CN (2) | CN104339511A (ja) |
TW (1) | TW201504022A (ja) |
WO (1) | WO2015015956A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11471993B2 (en) | 2018-03-09 | 2022-10-18 | Hoya Corporation | Spacer, laminate of substrates, method for manufacturing substrate, and method for manufacturing substrate for magnetic disk |
TWI772128B (zh) * | 2020-12-30 | 2022-07-21 | 盟立自動化股份有限公司 | 固持裝置 |
CN114290730B (zh) * | 2021-12-30 | 2023-10-03 | 国药集团北京华邈药业有限公司 | 一种中药饮片煨木香的制备设备 |
KR20240026543A (ko) | 2022-08-22 | 2024-02-29 | 주식회사 한국카본 | 복합 시트 제조장치와 제조방법 및 그에 따라 제조된 복합 시트 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ES2094367T3 (es) * | 1992-05-05 | 1997-01-16 | Cedal Srl | Proceso para producir laminados de plastico con laminas de metal, especialmente para circuitos impresos. |
JPH1058534A (ja) * | 1996-08-20 | 1998-03-03 | Mitsubishi Electric Corp | 加熱加圧成形装置及びその方法 |
JP2002001588A (ja) * | 2000-06-23 | 2002-01-08 | Meiki Co Ltd | 多段プレス装置におけるキャリアプレートの浮上機構 |
JP2009099850A (ja) * | 2007-10-18 | 2009-05-07 | Sony Chemical & Information Device Corp | 半導体モジュールの製造方法及び製造装置、半導体モジュール |
JP2013131552A (ja) * | 2011-12-20 | 2013-07-04 | Tdk Corp | 電子回路モジュール部品の製造方法 |
-
2013
- 2013-07-31 JP JP2013159647A patent/JP2015030133A/ja not_active Withdrawn
-
2014
- 2014-06-24 WO PCT/JP2014/066703 patent/WO2015015956A1/ja active Application Filing
- 2014-06-24 KR KR1020167002358A patent/KR20160036660A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-07-31 CN CN201410374446.0A patent/CN104339511A/zh active Pending
- 2014-07-31 CN CN201420430514.6U patent/CN204036735U/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-07-31 TW TW103126290A patent/TW201504022A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201504022A (zh) | 2015-02-01 |
CN104339511A (zh) | 2015-02-11 |
KR20160036660A (ko) | 2016-04-04 |
WO2015015956A1 (ja) | 2015-02-05 |
CN204036735U (zh) | 2014-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2015015956A1 (ja) | 押圧装置および樹脂シートの硬化方法 | |
JP2014524663A5 (ja) | ||
WO2013005646A1 (ja) | 半導体発光素子の製造方法 | |
JPWO2015108051A1 (ja) | 積層配線基板およびこれを備える検査装置 | |
JP2010153498A (ja) | 樹脂封止パッケージ及びその製造方法 | |
TW201438537A (zh) | 配線基板的製造方法 | |
US12002907B2 (en) | Light emitting module and method for manufacturing same | |
JP2013106033A (ja) | 半導体パッケージ及びその製造方法 | |
US9288914B2 (en) | Method of manufacturing a printed circuit board with circuit visible | |
JP2007258324A (ja) | 発光装置の製造方法および発光装置 | |
KR101437494B1 (ko) | 플렉시블부를 구비하는 리지드 프린트 배선기판의 벤딩복구방법 | |
JP2014157878A (ja) | プリント配線基板の接合装置およびプリント配線基板の接合方法 | |
JP2009289936A (ja) | 電子部品の製造方法と熱プレス装置 | |
WO2012172937A1 (ja) | 配線体及び配線体の製造方法 | |
US20130025921A1 (en) | Method for manufacturing circuit board using electrically conductive particles and circuit board manufactured by the method | |
WO2015015955A1 (ja) | 貼着治具および電子装置の製造方法 | |
JP5353614B2 (ja) | 基板挿入用コネクタ及びその製造方法 | |
TW201338129A (zh) | 發光裝置集合體及照明裝置 | |
JP5955050B2 (ja) | 配線基板の製造方法 | |
JP2013140898A (ja) | 発光素子搭載用基板、発光裝置 | |
JP2016072425A (ja) | 配線基板の製造方法 | |
KR20120026782A (ko) | 인쇄회로기판의 제조방법 | |
JP6458978B2 (ja) | 積層板 | |
JP2014022741A (ja) | メタルコアが挿入された印刷回路基板の製造方法 | |
CN103152976A (zh) | 用于led安装的陶瓷基印刷电路板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160420 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20160525 |