JP2015026744A - 液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板であるウエハWに対して処理流体により液処理を行う液処理装置において、複数の基板保持部であるスピンチャック2を左右方向に配列する。また各々のスピンチャック2に対しては、前記左右方向と交差する前後方向の前方側からウエハWを搬入出すると共に、前後方向の後方側からノズル5、6が当該前後方向に進退するように構成する。このためスピンチャック2の並び方向である左右方向にノズル5、6の設置スペースを確保する必要がない。従って複数のスピンチャック2を配列しても、前記前後方向の大きさはスピンチャック2が単独である場合と変わらない。また前記左右方向においてもウエハWの処理スペース分の増加で足り、ノズルの設置スペースを余分に設ける必要がないことから、装置の小型化を図ることができる。
【選択図】図1
Description
さらにスループットを向上させるために液処理装置の個数を増加しようとすると、液処理装置のスペースに加えて現像ノズルの設置スペースが必要となるため、かなり装置が大きくなる。また前記配列方向の長さが増大し、ウエハの搬送領域が伸びると、ウエハの搬送に時間がかかり、スループットが低下する懸念もある。
左右方向に並べて配置され、各々基板を水平に保持するための複数の基板保持部と、
前記複数の基板保持部の各々に対応して設けられ、前記基板保持部に保持された基板に対して処理流体を供給するためのノズルと、
前記基板の中心部を含む領域に処理流体を供給する供給位置と、前記複数の基板保持部の並びに対して、基板が搬入出される前方側とは反対側の後方側の待機位置と、の間で前記基板保持部の並び方向と交差する前後方向に前記ノズルを進退させるノズル移動機構と、を備えたことを特徴とする。
またカップ体3は側壁32を備え、この側壁32の上端側は内側に傾斜して傾斜部321をなしており、カップ体3の底部側は、例えば凹部状をなす液受け部33として形成されている。液受け部33は、内側カップ34によりウエハWの周縁下方側に全周に亘って、外側領域と内側領域とに区画されている。外側領域の底面部には貯留した現像液のドレインを排出するための排液路35が接続されている。
また前記吐出口54は、第1のノズル5が供給位置と待機位置との間で移動するときに、スピンチャック2に保持されたウエハWの直径上を通るように構成されている。そして第1のアーム部51は、例えば待機位置にある第1のノズル5の吐出口54とスピンチャック2に保持されたウエハWの中心とを結ぶ直線L(図3参照)よりも左側又は右側、この例では左側に寄って設けられている。
続いて図7(a)に示すように、スピンチャック2によりウエハWを回転させながら、第1のノズル5からウエハWの中心部を含む領域に現像液を供給する。ウエハ中心部に供給された現像液Dはスピンコーティングにより、ウエハWの周縁部側へと広がり、ウエハ表面全体に塗布される。このとき第1のノズル5から現像液を吐出しながら、第1のノズル5をウエハWの中心部と外側方向との間で前記前後方向に進退移動させるようにしてもよい。
現像処理部1B〜1Dにおいても、夫々ウエハWに対して、現像処理部1Aにおける処理と同様に処理が行われる。こうして現像処理部1A→1B→1C→1Dの順にウエハWが搬入され、同様に一連の現像処理が行われる。
またスピンチャック2の配列方向はウエハWの搬送方向でもあるため、複数のスピンチャック2を配列するときに、この配列方向の長さの増大を抑えることは、ウエハWの搬送時間の低減につながり、スループットの低下を抑制できる。
さらに各専用排気路38は、最も下流側の現像処理部1Aよりもさらに下流側の地点にて共通の排気路30に集合させている。このため各カップ体からの専用排気路が共通の排気路に直接接続される構成に比べて、コンダクタンスが揃えられ、カップ体3内への逆流が抑制できると共に、カップ体3間における排気量が揃えられて、安定した排気を行うことができる。
このようなノズルの洗浄は、例えばロットの全てのウエハWに対して現像処理が行われた後、第1のノズル5と第2のノズル6とに対して順番に行われる。例えばノズル5を洗浄するときには、待機位置にあるノズル5を下降することにより、ノズル5を洗浄バス24に収容して行う。ノズル5の洗浄が終わった後、例えばノズル5を洗浄バス24よりも進退方向の手前側又は奥側に位置させてから、待機位置にある第2のノズル6を下降することにより、第1のノズル5と干渉させずに第2のノズル6を洗浄バス24に収容して行う。
またこのようなノズル洗浄部(洗浄バス)は、第1のノズル5と第2のノズル6とに対して、夫々個別に用意するようにしてもよい。この場合には、一方の洗浄バスと他方の洗浄バスとは、左右方向(X方向)に並んで配列される。このようにすると、第1のノズル5と第2のノズル6とに対して夫々同時に洗浄を行うことができて、洗浄処理に要する時間を短縮できる。
第1のノズル55はノズル移動機構を兼ねる支持部材551により支持されて、前後方向に水平に伸びる基台552に沿って移動自在に構成されている。前記支持部材551は、その基端側から上方側に伸び、次いで屈曲してスピンチャック2側に水平に伸びる略L字型に構成され、この支持部材551の先端領域の下端に第1のノズル55が設けられ、支持部材551の基端側は基台552に沿って移動自在に構成されている。553は現像液の供給管である。
前記第2のノズル66の基台664は、第1のノズル55の支持部材551と同様に、その基端側から上方側に伸び、次いで屈曲してスピンチャック2側に水平に伸びる略L字型に構成されている。また第2のノズル66の基台664と第1のノズル55の支持部材552とは、例えば図10(a)に示すように、平面的に見て互いに重なるように、支持部材551の上方側に基台664が位置するように設けられている。673、674は夫々洗浄液供給管、乾燥ガス供給管である。
この構成においても、第1のノズル55と第2のノズル66とが互いに干渉せずに、供給位置と待機位置との間で移動でき、また第1のノズル55の支持部材551と第2のノズル66の基台664とは平面的に見て重なるように設けられているので、ノズルの設置スペースをより削減することができる。
例えば前記なす角(θ1、θ2)は図11に示すように、第1のノズルと第2のノズルとが互いに干渉せずに供給位置と待機位置との間で進退移動できる大きさに適宜設定される。この例では、第1のノズル56は第1のアーム部561に支持されて、移動機構562により基台563に沿って進退自在に構成されている。また第2のノズル67は第2のアーム部671に支持されて、移動機構672により基台663に沿って進退自在に構成されている。これら第1のノズル56と第2のノズル67とは、供給位置に対して入れ替えるときに互いに干渉しない位置に設けられている。このため第1のノズル56と第2のノズル67との少なくとも一方のノズルを昇降させる必要はなく、これらは同じ高さ位置で進退自在に構成することができる。
また前記左右方向は、ウエハWの搬送領域に面しており、この左右方向のサイズが大きくなると、その分ウエハWの搬送領域が長くなる。これによりウエハWの搬送に時間がかかり、スループットが低下するので、本発明のように、液処理装置の左右方向の小型化を図ることができる構成は有効である。この場合においても、図5(b)に示すような複合ノズルを用い、一つのノズルに第1の処理流体を吐出する第1のノズルをなすノズル部と、第2の処理流体を吐出する第2のノズルをなすノズル部とを設ける構成であってもよい。
例えばウエハWを単位ブロックE1に受け渡す場合には、タワーT1の受け渡しモジュールTRSのうち、単位ブロックE1に対応する受け渡しモジュールTRS1(搬送アームF1によりウエハWの受け渡しが可能な受け渡しモジュール)に対して、前記TRS0からウエハWが受け渡される。またウエハWを単位ブロックE2に受け渡す場合には、タワーT1の受け渡しモジュールTRSのうち、単位ブロックE2に対応する受け渡しモジュールTRS2に対して、前記TRS0からウエハWが受け渡される。これらのウエハWの受け渡しは、受け渡しアーム75により行われる。
そしてTRS3、TRS4に振り分けられたウエハWは、TRS3(TRS4)→レジスト膜形成モジュールCOT→加熱モジュール→保護膜形成モジュールITC→加熱モジュール→タワーT2の受け渡しモジュールTRSの順で搬送される。前記受け渡しモジュールTRSに搬送されたウエハWは、インターフェイスアーム76、78により、タワーT3を介して露光装置D4へ搬入される。露光後のウエハWは、インターフェイスアーム77によりタワーT2、T4間を搬送されて、単位ブロックE5、E6に対応するタワーT2の受け渡しモジュールTRS5、TRS6に夫々搬送される。然る後、加熱モジュール→現像装置1→加熱モジュール→タワーT1の受け渡しモジュールTRSに搬送された後、移載機構73を介してキャリアCに戻される。
また第1のノズルと第2のノズルから夫々吐出される第1の処理流体及び第2の処理流体の種類については上述の実施の形態に限られない。例えば第1のノズルに現像液を吐出するためのノズル部と、リンス液(洗浄液)を吐出するためのノズル部を設けると共に、第2のノズルに乾燥用ガスを供給するためのノズル部を設ける構成としてもよい。この場合には、現像液及びリンス液が第1の処理流体に相当し、乾燥用ガスが第2の処理流体に相当する。
1A〜1D 現像処理部
2 スピンチャック
3 カップ体
37 排気口
38 専用排気路
4 ケース体
41 側壁
42 ノズル用の開口部
43 搬入出用の開口部
44、45 シャッター
5 第1のノズル
51 第1のアーム部
52、62 基台
53、63 移動機構
6 第2のノズル
61 第2のアーム部
Claims (17)
- 基板に対して処理流体により液処理を行う液処理装置において、
左右方向に並べて配置され、各々基板を水平に保持するための複数の基板保持部と、
前記複数の基板保持部の各々に対応して設けられ、前記基板保持部に保持された基板に対して処理流体を供給するためのノズルと、
前記基板の中心部を含む領域に処理流体を供給する供給位置と、前記複数の基板保持部の並びに対して、基板が搬入出される前方側とは反対側の後方側の待機位置と、の間で前記基板保持部の並び方向と交差する前後方向に前記ノズルを進退させるノズル移動機構と、を備えたことを特徴とする液処理装置。 - 前記ノズルは、基板に対して第1の処理流体を供給する第1のノズルと、基板に対して第2の処理流体を供給する第2のノズルと、を含むことを特徴とする請求項1記載の液処理装置。
- 前記ノズル移動機構は、第1のノズル及び第2のノズルを一体に進退させるアーム部を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の液処理装置。
- 前記ノズル移動機構は、第1のノズルを進退させる第1のアーム部と、第2のノズルを進退させる第2のアーム部と、を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載の液処理装置。
- 前記第1のアーム部及び第2のアーム部は、左右方向に互いに離間して設けられることを特徴とする請求項4記載の液処理装置。
- 前記第1のアーム部及び第2のアーム部は、左右方向に互いに離間し、
前記第1のノズル及び第2のノズルは、前記供給位置に対して入れ替えるときに平面的に見て互いに干渉する位置に設けられ、
前記ノズル移動機構は、第1のノズル及び第2のノズルの互いの干渉を避けるために、少なくとも一方のノズルを昇降させる昇降機構を備えていることを特徴とする請求項4記載の液処理装置。 - 前記昇降機構は、第1のアーム部及び第2のアーム部の少なくとも一方を昇降させるものであることを特徴とする請求項6記載の液処理装置。
- 前記ノズルの進退方向は、複数の基板保持部の並びと直交する方向であることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記基板保持部毎に設けられ、基板及び基板の上方空間を囲むと共にノズルが通過するためのノズル用の開口部がその側壁に形成された囲み部材を備えていることを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記基板保持部に保持された基板の側方及び下方を周方向全体に亘って囲むように設けられたカップ体を備え、
前記囲み部材は、前記カップ体の側方を周方向全体に亘って囲むと共に、側壁の上縁がカップ体よりも高いことを特徴とする請求項9記載の液処理装置。 - 前記囲み部材の側壁部には、基板を搬入出するための基板用の開口部が形成されていることを特徴とする請求項9又は10記載の液処理装置。
- 前記囲み部材には、ノズル用の開口部及び基板用の開口部を夫々開閉自在に塞ぐためのシャッターが設けられていることを特徴とする請求項11記載の液処理装置。
- 前記基板保持部に保持された基板の側方及び下方を周方向全体に亘って囲むように設けられたカップ体を備え、
前記カップ体の底面部に開口する排気口と、
前記カップ体内の雰囲気を排気するために前記排気口に接続され、前記基板保持部の並びから見て前方側に引き出される排気路と、を備えたことを特徴とする請求項1ないし8のいずれか一項に記載の液処理装置。 - ノズルを洗浄するためのノズル洗浄部が、前記供給位置と待機位置とを結ぶ直線上に設けられることを特徴とする請求項1ないし13のいずれか一項に記載の液処理装置。
- 前記ノズル洗浄部は、ノズルに対して洗浄液を供給するための洗浄液供給部と、ノズルに対してリンス液を供給するためのリンス液供給部と、ノズルに対して乾燥用のガスを供給するための乾燥ガス供給部と、を備え、これらはノズルの進退方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項14記載の液処理装置。
- 前記ノズル洗浄部は、液体が収容される液収容部を備え、一つの液収容部に、前記洗浄液供給部と、リンス液供給部と、乾燥ガス供給部と、が設けられることを特徴とする請求項15記載の液処理装置。
- 第1のノズルの待機位置と第2のノズルの待機位置とは、互いに進退方向の前後にずれて配置されていることを特徴とする請求項2ないし8のいずれか一項に記載の液処理装置。
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