JP2015021025A - 熱伝導性シート及び剥離シート付熱伝導性シート - Google Patents
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Abstract
Description
なかでも、エポキシ樹脂などの熱硬化性樹脂と無機フィラーとを含有し前記熱硬化性樹脂を半硬化状態にさせたタイプの熱伝導性シートは、被着体に接着させて熱硬化させることで優れた接着性を発揮させ得るとともに接着後には熱が加わっても接着性が低下し難いことから広く用いられている。
このような熱伝導性シートの製造方法は、例えば下記特許文献1に開示されている。
具体的には、従来の熱伝導性シートは、図4に示されているように、無機フィラー103とポリマー成分104とを含むポリマーシート102a、102a’を、支持層101が形成された面と反対側の面が向い合うように重ね合わせ、熱プレスによって2層のポリマー層102b、102b’を積層して積層体102cを形成させる方法により作製されたりしている。
即ち、このような熱伝導性シートにおいては、一般的な接着シートにおいて接着面を保護すべく用いられている剥離シートとしての機能を前記支持層に発揮させている。
なお、剥離シート付の熱伝導性シートは、この特許文献1に記載の方法以外にも各種の方法で作製されている。
ところで、熱伝導性シートは、優れた熱伝導性を有することが求められており、従来、無機フィラーをいかにして高充填させるかといった検討がなされている。
しかし、従来、形成材料やその配合比率以外に熱伝導性シートに優れた熱伝導性を発揮させることは殆ど検討されていない。
熱伝導性シートは、表面が平滑すぎると被着体との接着に際して被着体との間に空気が閉じ込められて空気層が形成され易いところ本発明によれば、表面の粗さRzが2μm以上であるので、被着体に接着する際に、熱伝導性シートの表面と被着体との間の空気が、熱伝導性シートの表面と被着体との界面から外部へ逃げやすくなる。
また、熱伝導性シートは、表面が過度に粗い状態になっていると、被着体に接着する際に被着体との間の空気が残存し易くなってしまうが、本発明によれば粗さRzが30μm以下であるので、熱伝導性シートの表面と被着体との界面に残ることを抑制できる。
そして、熱伝導性シートは、被着体との間に空気を存在させてしまうと熱伝導性が十分に発揮されにくくなるところ本発明によれば被着体に接着した時に、被着体との間に空気が入ることを抑制することができ熱伝導性シートに優れた熱伝導性を発揮させることができる。
なお、以下の図面において同一または相当する部分には同一の参照符号を付し、その説明は繰り返さない。
即ち、本実施の形態の剥離シート付熱伝導性シート10は、熱伝導性シート11の両表面11a,11bをそれぞれを覆う形で剥離シート12、13が備えられている。
しかも、本実施形態の剥離シート付熱伝導性シート10は、剥離シート12、13が熱伝導性シート11の両表面11a,11bにそれぞれ密着している。
なお、以下においては図1正面視下側の表面11bを「裏面11b」と称して上側の表面11aと便宜上呼び分けることがある。
なかでも、トリフェニルメタン型フェノール樹脂は、耐熱性において有利であり、フェノールアラルキル樹脂は、被着体との間に良好なる接着性を示す点において好ましく用いられる。
硬化剤としては、例えば、ジアミノジフェニルスルホン、ジシアンジアミド、ジアミノジフェニルメタン、トリエチレンテトラミンなどのアミン系硬化剤、酸無水物系硬化剤などを用いることができる。
また、前記ノボラック型フェノール樹脂などもエポキシ樹脂を硬化させるための硬化剤として熱伝導性シート11に含有させることができる。
硬化促進剤としては、例えば、イミダゾール類や、トリフェニルフォスフェイト(TPP)、三フッ化ホウ素モノエチルアミンなどのアミン系硬化促進剤などが用いられる。
従って、熱伝導性シート11に対して表面状態を容易に転写する観点から、表面マット処理されたポリエステル樹脂フィルムを剥離シート12、13に用いることが好ましい。
なお、剥離シート付熱伝導性シート10を連続的に効率良く製造する上においては、前記剥離シート12、13として長尺帯状のものを準備することが好ましい。
このショットブラストとしては、例えば、サンドブラスト法、ドライアイスブラスト法などを採用することができる。
また、剥離シート12、13は、このような方法に代えて、例えば、粗さRzが2μm以上30μm以下の周面を有する加圧ローラとバックアップローラとの間を平坦な面を有するポリエステル樹脂フィルムを通過させて形成させることもできる。
この工程では、例えば、ボールミル、プラネタリーミキサー、ホモジナイザー、三本ロールミル等の攪拌装置を用いることができる。
この工程では、グラビヤロールコーター、リバースロールコーター、キスロールコーター、ナイフコーター、コンマコーター、ダイレクトコーター等のコーティング装置を用いることができる。
なお、この工程では、一般的な加熱乾燥炉を用いることができる。
これにより、剥離シート12、13の粗さRzが2μm以上30μm以下の表面が乾燥被膜に転写されるので、乾燥被膜において剥離シート12、13と対向する面(熱伝導性シート11の表面11a及び裏面11bとなる面)の粗さRzは2μm以上30μm以下になる。
これにより、熱伝導性シート11と、熱伝導性シート11の表面11a及び裏面11bに形成された剥離シート12、13とを有する剥離シート付熱伝導性シート10を製造することができる。
次に、図2に示すように、剥離シート付熱伝導性シート10から一方の剥離シート(本実施の形態では、熱伝導性シート11の裏面11b側に形成された剥離シート13)を剥離する。
この工程では、例えば、熱伝導性シート11の裏面11bと、被着体21の表面21aとを対向するように配置し、加熱及び/または加圧することで熱伝導性シート11と被着体21とを接着させる。
このとき、熱伝導性シート11の裏面11bが前記のような粗さRzを有することで被着体21との接触界面に空気が入り込んで空気層が形成されることを抑制できる。
仮に、熱伝導性シート11の裏面11bと、被着体21とを対向配置したときに空気が入り込んでも、加熱及び/または加圧する際に、前記空気を熱伝導性シート11の裏面11bと被着体21の表面21aとの界面を通じて取り除くことができる。
また、粗さRzが30μm以下であるので、被着体21に熱伝導性シート11を接着する際に、被着体21と熱伝導性シート11との間の空気が、被着体21と熱伝導性シート11との界面に残ることを抑制できる。
したがって、本実施の形態の熱伝導性シート11は、被着体21に接着した時に、被着体21との間に空気が入ることを抑制できる。
また、本実施の形態の剥離シート付熱伝導性シート10から剥離シートを剥離した後に、粗さRzが2μm以上30μm以下の熱伝導性シート11の表面を被着体21に接着することで、被着体21との間に空気が入ることを抑制することができる。
下記配合のものにより基材(電解銅箔厚み105μm)の片面に厚み100μmの熱伝導性樹脂層を形成した第一のシートを用意した。
一方で、表面粗さの異なる8種類のPETフィルムに第一のシートと同じ配合物を用いて厚み100μmの熱伝導性樹脂層を形成した第二のシートを用意した。
この第一のシートと第二のシートとを熱プレスして熱伝導性樹脂層どうしを貼り合わせ、第一のシートの背面から銅箔を剥離した。
この銅箔を剥離した面にAL板を配置させ、2MPa・120℃・20分の条件にてシートをAL板に転着させ、PETフィルムを剥がして所定の表面粗さを有する半硬化状態の熱伝導性シート(AL板付き)を作製した。
トリフェニルメタン型エポキシ樹脂:100質量部(当量169g/eq)
硬化剤(キシリレンノボラック):105質量部(当量178g/eq)
無機フィラー 窒化ホウ素粒子:360質量部
酸化アルミニウム粒子:279質量部
熱伝導性シートのPETフィルム剥離面における表面粗さ(Rz)を、株式会社東京精密製の表面粗さ測定器(型名「SURCOM 1400D−3DF」)を用いて測定した。
測定条件は、触針先端半径R=2μm、評価長さ10mm、基準長さ2mm、カットオフ値 0.8mm、測定速度0.3mm/秒とした。
各AL板付き熱伝導性シートに被着体(銅箔1oz)を配置し、2MPa、180℃、120minの熱プレスにて熱伝導性シートと被着体を一体化させた後、20mm×100mmのサイズに切り出し、切り出したものの被着体を幅10mm幅に加工(エッチング)し剥離試験用テストピースを作製した。
該テストピースを50mm/minの剥離速度で90°ピール試験を実施し、被着体と熱伝導性シートとの密着度合いを接着力によって評価した。
各熱伝導性シートの表面粗さ及び接着力を測定した結果を下記表に示す。
なお、下記表1の試料#1については、ピール試験開始直後に銅箔が簡単に剥れる状態となって測定ができなかった。
Claims (2)
- 熱硬化性樹脂と、前記熱硬化性樹脂よりも熱伝導率の高い無機フィラーとを含有する半硬化状態の熱伝導性シートにおいて、
粗さRzが2μm以上30μm以下である表面を有することを特徴とする熱伝導性シート。 - 熱硬化性樹脂と、前記熱硬化性樹脂よりも熱伝導率の高い無機フィラーとを含有する、半硬化状態の熱伝導性シートと、前記熱伝導性シートの表面に密着された剥離シートとを備え、
前記剥離シートが粗さRzが2μm以上30μm以下の表面を有し、該表面を前記熱伝導性シートに前記密着させていることを特徴とする剥離シート付熱伝導性シート。
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