JP7176903B2 - 放熱シートおよびその製造方法、ならびに放熱性装置 - Google Patents

Description

本発明は、放熱シートおよびその製造方法、ならびに放熱性装置に関するものである。

従来より、熱電変換デバイス、光電変換デバイス、大規模集積回路等の半導体デバイスなどの電子デバイス等において、発熱した熱を逃がすために、熱伝導性を有する放熱シートが用いられている。例えば、半導体デバイスから発生する熱を効率良く外部に放熱するための方法として、半導体デバイスとヒートシンクとの間に、熱伝導性に優れる放熱シートを設けることが行われている。

上記のような放熱シートは、特許文献１に例示されるように、粘着性樹脂、無機フィラー、硬化剤および溶剤を含有する放熱材料の塗布液を、剥離シートや基材に塗工し、乾燥することにより製造される。ここで、放熱シートの熱伝導率を高めるためには、放熱フィラーの配合量を多くすることが望ましい。

特開２０１５－６７７１３号公報

しかしながら、上記の方法により放熱シートを製造すると、塗布液の乾燥後に得られる放熱シートの表面が荒れて凹凸ができてしまう。この場合、放熱シートと被着体との接触面積が減少し、それによって、十分な粘着力が得られず、また、熱伝導性が低下して、放熱性が悪化するという問題がある。

本発明は、このような実状に鑑みてなされたものであり、十分な粘着力を発揮するとともに、放熱性にも優れた放熱シートおよびその製造方法、ならびに部材間の密着性が高く、放熱性にも優れた放熱性装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、第１に本発明は、樹脂および熱伝導性フィラーを含有する放熱シートであって、前記樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が－９０℃以上、０℃以下であり、前記熱伝導性フィラーの含有量が５０質量％以上、９６質量％以下であり、前記放熱シートの少なくとも一方の面の算術平均粗さＲａ（μｍ）を前記放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値が４％以下であることを特徴とする放熱シートを提供する（発明１）。

第２に本発明は、樹脂および熱伝導性フィラーを含有する放熱シートであって、前記樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が－９０℃以上、０℃以下であり、前記熱伝導性フィラーの含有量が５０質量％以上、９６質量％以下であり、前記放熱シートの少なくとも一方の面の十点平均粗さＲｚ（μｍ）を前記放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値が２９％以下であることを特徴とする放熱シートを提供する（発明２）。

上記発明（発明１，２）に係る放熱シートは、熱伝導性フィラーの含有量が多くても、表面平滑性が高く、樹脂が所定のガラス転移温度（Ｔｇ）を有することにより、十分な粘着力を発揮する。また、熱伝導性フィラーの含有量が多く、被着体との接触面積が大きく密着性も高いため、放熱性に優れる。

上記発明（発明１，２）においては、少なくとも一方の面のステンレススチールに対する粘着力が１００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましい（発明３）。

上記発明（発明１～３）に係る放熱シートは、２枚の剥離シートに挟持されていてもよい（発明４）。

第３に本発明は、前記放熱シート（発明１～４）の製造方法であって、第１の剥離シートに対して、活性エネルギー線硬化性の放熱シート形成用組成物を塗布する工程と、前記放熱シート形成用組成物の塗布層に第２の剥離シートを積層する工程と、前記塗布層に対して活性エネルギー線を照射して、前記放熱シート形成用組成物を硬化させる工程とを備えたことを特徴とする放熱シートの製造方法を提供する（発明５）。

第４に本発明は、発熱部材と、伝熱部材と、前記発熱部材および前記伝熱部材の間に設けられた前記放熱シート（発明１～３）とを備えたことを特徴とする放熱性装置を提供する（発明６）。

本発明に係る放熱シートは、十分な粘着力を発揮するとともに、放熱性にも優れる。また、本発明に係る放熱シートの製造方法によれば、十分な粘着力を発揮するとともに、放熱性にも優れる粘着シートを製造することができる。さらに、本発明に係る放熱性装置は、部材間の密着性が高く、放熱性にも優れる。

本発明の一実施形態に係る放熱シート（剥離シート付き）の断面図である。 本発明の一実施形態に係る放熱性装置の概略断面図である。

以下、本発明の実施形態について説明する。
〔放熱シート〕
本発明の一実施形態に係る放熱シートは、樹脂および熱伝導性フィラーを含有し、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が－９０℃以上、０℃以下であり、熱伝導性フィラーの含有量が５０質量％以上、９６質量％以下であり、当該放熱シートの少なくとも一方の面（好ましくは両方の面）の算術平均粗さＲａ（μｍ）を当該放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値が４％以下であるものである。

また、本発明の他の実施形態に係る放熱シートは、樹脂および熱伝導性フィラーを含有し、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が－９０℃以上、０℃以下であり、熱伝導性フィラーの含有量が５０質量％以上、９６質量％以下であり、当該放熱シートの少なくとも一方の面（好ましくは両方の面）の十点平均粗さＲｚ（μｍ）を当該放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値が２９％以下であるものである。

上記の物性および構成を有する放熱シートは、熱伝導性フィラーの含有量が多くても、表面平滑性が高く、樹脂が所定のガラス転移温度（Ｔｇ）を有することにより、十分な粘着力を発揮する。また、熱伝導性フィラーの含有量が多く、被着体との接触面積が大きく密着性も高いため、放熱性に優れる。

特に粘着力の観点から、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）は、０℃以下であることを要し、－５℃以下であることが好ましく、特に－１０℃以下であることが好ましい。また、上記ガラス転移温度（Ｔｇ）は、凝集力を高いものとする観点から、－９０℃以上であることを要し、－６０℃以上であることが好ましく、特に－３５℃以上であることが好ましい。なお、樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）の測定方法は、後述の試験例に示す通りである。また、ここでいう樹脂は、主として、後述する樹脂成分を硬化または架橋してなるものが該当する。

放熱性の観点から、熱伝導性フィラーの含有量は、５０質量％以上であることを要し、７０質量％以上であることが好ましく、特に８５質量％以上であることが好ましい。また、表面平滑性および粘着力の観点から、熱伝導性フィラーの含有量は、９６質量％以下であることを要し、９２質量％以下であることが好ましく、特に８８質量％以下であることが好ましい。

また、特に粘着力の観点から、算術平均粗さＲａ（μｍ）を厚さ（μｍ）で除した値は、４％以下であることを要し、３％以下であることが好ましく、特に２％以下であることが好ましい。当該値の下限値は、最も好ましくは０％であるが、通常は０．１％以上であることが好ましく、特に０．３％以上であることが好ましい。

同じく、特に粘着力の観点から、十点平均粗さＲｚ（μｍ）を厚さ（μｍ）で除した値は、２９％以下であることを要し、２５％以下であることが好ましく、特に２０％以下であることが好ましい。当該値の下限値は、最も好ましくは０％であるが、通常は１％以上であることが好ましく、特に４％以上であることが好ましい。

熱伝導率の再現性を高いものとする観点から、本実施形態に係る放熱シートの少なくとも一方の面（好ましくは両方の面）の算術平均粗さＲａは、３．０μｍ以下であることが好ましく、特に２．０μｍ以下であることが好ましく、さらには１．１μｍ以下であることが好ましい。算術平均粗さＲａの下限値は、最も好ましくは０μｍであるが、通常は０．１μｍ以上であることが好ましく、特に０．５μｍ以上であることが好ましい。

また、十点平均粗さＲｚ（μｍ）を放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値を前述の上限値内とする観点から、本実施形態に係る放熱シートの少なくとも一方の面（好ましくは両方の面）の十点平均粗さＲｚは、４０μｍ以下であることが好ましく、さらに、熱伝導率の再現性を高いものとする観点を加味すると、３０μｍ以下であることが好ましく、特に２５μｍ以下であることが好ましく、さらには１５μｍ以下であることが好ましい。十点平均粗さＲｚの下限値は、最も好ましくは０μｍであるが、通常は１μｍ以上であることが好ましく、特に５μｍ以上であることが好ましい。

なお、上記算術平均粗さＲａおよびＲｚは、ＪＩＳ Ｂ０６０１－１９９４に準拠して測定した値である。

本実施形態に係る放熱シートの厚さ（ＪＩＳ Ｋ７１３０に準じて測定した値）は、下限値として１μｍ以上であることが好ましく、１０μｍ以上であることがより好ましく、特に２０μｍ以上であることが好ましく、さらには１１０μｍ以上であることが好ましい。放熱シートの厚さの下限値が上記であると、良好な粘着力を発揮しやすい。また、放熱性に優れた粒径を有する熱伝導性フィラーを、放熱シートの表面から突出させ難くして、放熱シートの表面平滑性を高く維持し易くすることができる。

また、本実施形態に係る放熱シートの厚さは、上限値として１０００μｍ以下であることが好ましく、５００μｍ以下であることがより好ましく、特に２００μｍ以下であることが好ましく、さらには４０μｍ以下であることが好ましい。放熱シートの厚さの上限値が上記であると、放熱性により優れたものとすることができる。なお、放熱シートは単層で形成してもよいし、複数層を積層して形成することもできる。

本実施形態に係る放熱シートのステンレススチール（ＳＵＳ３０４，＃３６０研磨）に対する粘着力は、１００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることが好ましい。これにより、発熱部材や伝熱部材に対して良好に密着し、優れた放熱性を発揮することができる。かかる粘着力は、本実施形態に係る放熱シートが前述した物性および構成を有することにより、達成可能である。

また、上記粘着力は５０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、特に２０Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましく、さらには１Ｎ／２５ｍｍ以下であることが好ましい。これにより、良好なリワーク性が得られ、貼合ミスが生じた場合でも貼り直しが可能となる。本明細書における粘着力は、基本的にはＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９に準じた１８０度引き剥がし法により測定した粘着力をいい、具体的な測定方法は、後述する試験例に示す通りである。

本実施形態に係る放熱シートが含有する樹脂の種類は、アクリル系、ポリエステル系、ポリウレタン系、ゴム系、シリコーン系等のいずれであってもよいが、中でも上記物性を満たし易いアクリル系が好ましい。また、樹脂は、エマルション型、溶剤型または無溶剤型のいずれであってもよい。さらに、樹脂は、硬化性の樹脂成分を硬化させたものであってもよいし、架橋性の樹脂成分を架橋させたものであってもよいし、非硬化または非架橋のものであってもよい。また、硬化性の樹脂成分は、活性エネルギー線硬化性であってもよいし、熱硬化性であってもよい。

本実施形態に係る放熱シートは、樹脂成分（Ａ）と、熱伝導性フィラー（Ｂ）とを含有する放熱シート形成用組成物（以下「放熱シート形成用組成物Ｃ」という場合がある。）から得られるものであることが好ましい。特に、本実施形態に係る放熱シートは、活性エネルギー線硬化性の樹脂成分（Ａ１）と、熱伝導性フィラー（Ｂ）と、好ましくはさらに光重合開始剤（Ｃ）とを含有する放熱シート形成用組成物（以下「放熱シート形成用組成物Ｃ１」という場合がある。）の活性エネルギー線硬化物（放熱シート形成用組成物Ｃ１を活性エネルギー線により硬化させたもの）であるか、架橋性の樹脂成分（Ａ２）と、熱伝導性フィラー（Ｂ）と、好ましくはさらに架橋剤（Ｄ）とを含有する放熱シート形成用組成物（以下「放熱シート形成用組成物Ｃ２」という場合がある。）の架橋物（放熱シート形成用組成物Ｃ２を熱等により架橋させたもの）であることが好ましい。

１．各成分
（１）樹脂成分（Ａ１）
放熱シート形成用組成物Ｃ１が含有する活性エネルギー線硬化性の樹脂成分（Ａ１）は、極性モノマーを含有することが好ましく、特に極性モノマーを２０質量％以上含有することが好ましい。これにより、溶剤を使用しなくても、低粘度で、熱伝導性フィラー（Ｂ）の分散性が良く、塗工性に優れる。そのため、熱伝導性フィラー（Ｂ）を多量に配合しても、前述したパラメータが満たされ易く、もって十分な粘着力を発揮する放熱シートを得ることができる。

ここで、熱伝導性フィラー（Ｂ）が金属酸化物又は水酸化金属からなるフィラーである場合には、当該熱伝導性フィラー（Ｂ）と極性モノマーとの組み合わせにより、当該熱伝導性フィラー（Ｂ）をより多く配合しても、溶剤なしで塗工性に優れ、前述したパラメータが満たされ易く、放熱性の効果は特に優れたものとなる。しかも、放熱シートを薄膜化（例えば１００μｍ以下、特に４０μｍ以下）した場合であっても、十分な粘着力が発揮される。

また、溶剤を使用しない放熱シート形成用組成物Ｃ１は、環境問題や作業環境対策の観点からも好ましいものである。ただし、本発明は、放熱シート形成用組成物Ｃ１に溶剤を添加して使用することを排除するものではない。

上記極性モノマーは、極性基として水酸基、カルボキシル基、アミノ基およびアミド基から選らばれる少なくとも１種を含むモノマーであることが好ましく、特に、極性基とともに（メタ）アクリロイル基を含有する（メタ）アクリロイル基含有モノマーであることが好ましい。なお、本明細書において、（メタ）アクリロイルとは、アクリロイル及びメタクリロイルの両方を意味する。他の類似用語も同様である。

かかる極性モノマーとしては、例えば、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシプロピル、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸３－ヒドロキシブチル、（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル等の（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステル；アクリル酸、メタクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、イタコン酸、シトラコン酸等のエチレン性不飽和カルボン酸；（メタ）アクリル酸モノメチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸モノエチルアミノエチル、（メタ）アクリル酸モノメチルアミノプロピル、（メタ）アクリル酸モノエチルアミノプロピル等の（メタ）アクリル酸モノアルキルアミノアルキル；Ｎ－メチロールメタクリルアミド等のアクリルアミド類などが挙げられる。これらの極性モノマーは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

上記の中でも、水酸基を有するモノマー（水酸基含有モノマー）であることが好ましい。水酸基含有モノマーによれば、熱伝導性フィラー（Ｂ）、特に金属酸化物又は水酸化金属からなる熱伝導性フィラー（Ｂ）との組み合わせにおいて、当該熱伝導性フィラー（Ｂ）の分散性が良く、また、得られる放熱シート形成用組成物Ｃ１の粘度を効果的に低減させることができる。

水酸基含有モノマーとしては、得られる放熱シートの算術平均粗さＲａおよび十点平均粗さＲｚをより低減する観点から、水酸基を有する（メタ）アクリロイル基含有モノマーであることが好ましく、上記の（メタ）アクリル酸ヒドロキシアルキルエステルがより好ましい。具体的には、（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチルまたは（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチルが好ましく挙げられ、特に、アクリル酸２－ヒドロキシエチルまたはアクリル酸４－ヒドロキシブチルが好ましく挙げられる。

なお、水酸基を有する（メタ）アクリロイル基含有モノマー（特に（メタ）アクリル酸２－ヒドロキシエチルおよび（メタ）アクリル酸４－ヒドロキシブチル）の粘度は、一般的に５００ｍＰａ・s以下であり、相当低い値を示す。

樹脂成分（Ａ１）中における極性モノマーの割合は、得られる放熱シートの算術平均粗さＲａおよび十点平均粗さＲｚをより低減する観点から、２０質量％以上であることが好ましく、４０質量％以上であることがより好ましく、特に６０質量％以上であることが好ましく、さらには８０質量％以上であることが好ましい。樹脂成分（Ａ１）中における極性モノマーの割合の上限値は１００質量％である。

樹脂成分（Ａ１）は、得られる放熱部材の粘着性、柔軟性などの他の特性を発現させるために、上記極性モノマー以外のモノマー（その他のモノマー）およびオリゴマーの少なくとも１種を含有してもよい。

上記のその他のモノマーとしては、前述した極性基を有しない（メタ）アクリロイル基含有モノマー（以下「（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭ」という場合がある。）であることが好ましい。この（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭは、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭとしては、例えば、アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく挙げられる。アルキル基は、直鎖状または分岐鎖状であってもよい。アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、ブチル（メタ）アクリレート、ペンチル（メタ）アクリレート、ヘキシル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソオクチル（メタ）アクリレート、デシル（メタ）アクリレート、ドデシル（メタ）アクリレート、ミリスチル（メタ）アクリレート、パルミチル（メタ）アクリレート、ステアリル（メタ）アクリレート、ラウリル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、形成される放熱性シートに柔軟性を付与する観点から、アルキル基の炭素数が１～１０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましく、特に、種々の被着体に対する高粘着力発現の観点から、アルキル基の炭素数が４～８のアクリル酸アルキルエステルが好ましい。具体的には、例えば、ブチルアクリレート、イソオクチルアクリレート、もしくは２－エチルヘキシルアクリレートが好ましく挙げられる。

また、（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭとしては、分子内に脂環式構造を有する（メタ）アクリレート（脂環式構造含有（メタ）アクリレート）も好ましく挙げられる。脂環式構造含有（メタ）アクリレートは、脂環式構造が嵩高く、形成されるポリマー間に適切な距離を与え、得られる放熱部材に柔軟性を付与することができる。

脂環式構造含有（メタ）アクリレートとしては、例えば、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、ジシクロペンタニル（メタ）アクリレート、アダマンチル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニル（メタ）アクリレート、ジシクロペンテニルオキシエチル（メタ）アクリレート等が挙げられる。これらの中でも、柔軟性付与の観点から、ジシクロペンタニルアクリレート、アダマンチルアクリレート、もしくはイソボルニルアクリレートが好ましい。

（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭとして、上記の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルと、脂環式構造含有（メタ）アクリレートとを併用する場合、それらの質量比は、９０：１～５０：５０であることが好ましく、特に９０：１０～６０：４０であることが好ましく、さらには８０：２０～７０：３０であることが好ましい。

上記オリゴマーは、前述した極性基を有するものであってもよいし、前述した極性基を有しないものであってもよい。

上記オリゴマーとしては、ラジカル重合性基を有する、ポリエステル系、エポキシ系、ウレタン系、ポリエーテル系、ポリブタジエン系、シリコーン系等のオリゴマーが挙げられる。これらの中でも、柔軟性付与および凝集力向上の観点から、ラジカル重合性基を有するウレタンオリゴマー（重合性ウレタンオリゴマー）が好ましい。

上記の粘度にするためにも、重合性ウレタンオリゴマーの重合平均分子量の上限値は、１００，０００以下であることが好ましく、特に５０，０００以下であることが好ましく、さらには２０，０００以下であることが好ましい。一方、重合性ウレタンオリゴマーの重合平均分子量の下限値は、１，０００以上であることが好ましく、３，０００以上であることがより好ましく、特に５，０００以上であることが好ましく、さらには８，０００以上であることが好ましい。なお、本明細書における重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）法により測定した標準ポリスチレン換算の値である。

重合性ウレタンオリゴマーは、多官能であることが好ましく、また、重合性ウレタンオリゴマーが有する重合性基は、末端、特に両末端に存在することが好ましい。当該重合性基の種類としては、例えば、（メタ）アクリロイル基、ビニル基等が好ましく、特に（メタ）アクリロイル基が好ましい。すなわち、重合性ウレタンオリゴマーは、ウレタンアクリレート系オリゴマーであることが好ましい。

ウレタンアクリレート系オリゴマーは、例えば、ポリアルキレンポリオール、ポリエーテルポリオール、ポリエステルポリオール、ヒドロキシ基末端を有する水添イソプレン、ヒドロキシ基末端を有する水添ブタジエンといった化合物と、ポリイソシアネートとの反応によって得られるポリウレタンオリゴマーを、（メタ）アクリル酸または（メタ）アクリル酸誘導体でエステル化することにより得ることができる。

ウレタンアクリレート系オリゴマーの中でも、熱伝導性フィラー（Ｂ）の分散性の観点から、特にポリエーテルウレタンアクリレートが好ましい。

上記オリゴマーは、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。また、上記オリゴマーは、上記の（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭと併用することも好ましい。

樹脂成分（Ａ１）が、極性モノマーと、（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭとを含有する場合、樹脂成分（Ａ１）中における極性モノマーの割合は、２０質量％以上であることが好ましく、特に４０質量％以上であることが好ましい。一方、当該割合は、８０質量％以下であることが好ましく、特に６０質量％以下であることが好ましい。また、樹脂成分（Ａ１）中における（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭは、２０質量％以上であることが好ましく、特に４０質量％以上であることが好ましい。一方、当該割合は、８０質量％以下であることが好ましく、特に６０質量％以下であることが好ましい。各成分が上記の割合であると、粘度を低く抑えつつ、粘着性および柔軟性を効果的に向上させることができる。

樹脂成分（Ａ１）が、極性モノマーと、（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭと、オリゴマーとを含有する場合、樹脂成分（Ａ１）中における極性モノマーの割合は、２０質量％以上であることが好ましく、特に３０質量％以上であることが好ましく、さらには３５質量％以上であることが好ましい。一方、当該割合は、８０質量％以下であることが好ましく、特に６０質量％以下であることが好ましく、さらには５０質量％以下であることが好ましい。また、樹脂成分（Ａ１）中における（メタ）アクリロイル基含有モノマーＭの割合は、１０質量％以上であることが好ましく、特に２０質量％以上であることが好ましく、さらには４０質量％以上であることが好ましい。一方、当該割合は、７０質量％以下であることが好ましく、特に６０質量％以下であることが好ましく、さらには５０質量％以下であることが好ましい。また、樹脂成分（Ａ１）中におけるオリゴマーの割合は、１質量％以上であることが好ましく、特に５質量％以上であることが好ましく、さらには１０質量％以上であることが好ましい。一方、当該割合は、５０質量％以下であることが好ましく、特に４０質量％以下であることが好ましく、さらには２０質量％以下であることが好ましい。各成分が上記の割合であると、粘度を低く抑えつつ、粘着性および柔軟性を効果的に向上させることができる。

放熱シート形成用組成物Ｃ１中における樹脂成分（Ａ１）の含有量は、４質量％以上であることが好ましく、特に８質量％以上であることが好ましく、さらには１２質量％以上であることが好ましい。これにより、放熱シート形成用組成物Ｃの粘度を低く維持して塗工性をより良好なものとすることができ、得られる放熱シートの表面平滑性をより向上させることができる。一方、樹脂成分（Ａ１）の含有量は、５０質量％以下であることが好ましく、４０質量％以下であることがより好ましく、特に３０質量％以下であることが好ましく、さらには１５質量％以下であることが好ましい。これにより、熱伝導性フィラー（Ｂ）の含有量を確保して、得られる放熱シートの放熱性を優れたものにすることができる。

（２）光重合開始剤（Ｃ）
樹脂成分（Ａ１）が活性エネルギー線硬化性のものであり、その硬化のための活性エネルギー線として紫外線を用いる場合には、放熱シート形成用組成物Ｃ１は、さらに光重合開始剤（Ｃ）を含有することが好ましい。このように光重合開始剤（Ｃ）を含有することにより、樹脂成分（Ａ１）を効率良く重合させることができ、また重合硬化時間および活性エネルギー線の照射量を少なくすることができる。

このような光重合開始剤（Ｃ）としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾイン－ｎ－ブチルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、アセトフェノン、ジメチルアミノアセトフェノン、２，２－ジメトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２，２－ジエトキシ－２－フェニルアセトフェノン、２－ヒドロキシ－２－メチル－１－フェニルプロパン－１－オン、１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン、２－メチル－１－［４－（メチルチオ）フェニル］－２－モルフォリノ－プロパン－１－オン、４－（２－ヒドロキシエトキシ）フェニル－２－（ヒドロキシ－２－プロピル）ケトン、ベンゾフェノン、ｐ－フェニルベンゾフェノン、４，４’－ジエチルアミノベンゾフェノン、ジクロロベンゾフェノン、２－メチルアントラキノン、２－エチルアントラキノン、２－ターシャリ－ブチルアントラキノン、２－アミノアントラキノン、２－メチルチオキサントン、２－エチルチオキサントン、２－クロロチオキサントン、２，４－ジメチルチオキサントン、２，４－ジエチルチオキサントン、ベンジルジメチルケタール、アセトフェノンジメチルケタール、ｐ－ジメチルアミノ安息香酸エステル、オリゴ［２－ヒドロキシ－２－メチル－１［４－（１－メチルビニル）フェニル］プロパノン］、２，４，６－トリメチルベンゾイル－ジフェニル－フォスフィンオキサイド、ビス（２，４，６－トリメチルベンゾイル）－フェニルフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

放熱シート形成用組成物Ｃ１中における光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、樹脂成分（Ａ１）１００質量部に対して、０．１質量部以上であることが好ましく、特に０．５質量部以上であることが好ましい。また、光重合開始剤（Ｃ）の含有量は、１０質量部以下であることが好ましく、特に５質量部以下であることが好ましい。

（３）樹脂成分（Ａ２）
放熱シート形成用組成物Ｃ２が含有する架橋性の樹脂成分（Ａ２）は、（メタ）アクリル酸エステル重合体を含むことが好ましい。なお、本明細書において、「重合体」には「共重合体」の概念も含まれるものとする。

本実施形態における（メタ）アクリル酸エステル重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、後述する架橋剤（Ｄ）と反応する反応性基を分子内に有する反応性基含有モノマーを含むことが好ましい。この反応性基含有モノマー由来の反応性基が架橋剤（Ｄ）と反応して、架橋構造（三次元網目構造）が形成され、所望の凝集力を有する放熱シートが得られる。

上記反応性基含有モノマーとしては、前述した極性モノマーとして列挙したものを使用することができる。それらの中でも、粘着力および架橋剤（Ｄ）との反応性の観点から、分子内にカルボキシ基を有するモノマー（カルボキシ基含有モノマー）が好ましく、特にアクリル酸が好ましい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、反応性基含有モノマーを、下限値として１質量％以上含有することが好ましく、特に５質量％以上含有することが好ましく、さらには１５質量％以上含有することが好ましい。また、（メタ）アクリル酸エステル重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、反応性基含有モノマーを、上限値として４０質量％以下含有することが好ましく、特に３０質量％以下含有することが好ましく、さらには２０質量％以下含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体がモノマー単位として上記の量で反応性基含有モノマーを含有すると、得られる放熱シートにおいて良好な架橋構造が形成され、所望の凝集力が得られる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを含有することが好ましい。これにより、良好な粘着性を発現することができる。アルキル基は、直鎖状、分岐鎖状または環状であってもよい。

（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、粘着性の観点から、アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルが好ましい。アルキル基の炭素数が１～２０の（メタ）アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸エチル、（メタ）アクリル酸プロピル、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ペンチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ヘキシル、（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシル、（メタ）アクリル酸イソオクチル、（メタ）アクリル酸ｎ－デシル、（メタ）アクリル酸ｎ－ドデシル、（メタ）アクリル酸ミリスチル、（メタ）アクリル酸パルミチル、（メタ）アクリル酸ステアリル等が挙げられる。中でも、粘着性をより向上させる観点から、アルキル基の炭素数が１～８の（メタ）アクリル酸エステルが好ましく、（メタ）アクリル酸メチル、（メタ）アクリル酸ｎ－ブチルまたは（メタ）アクリル酸２－エチルヘキシルが特に好ましく、アクリル酸メチルまたはアクリル酸ｎ－ブチルがさらに好ましい。なお、これらは単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを５０質量％以上含有することが好ましく、６０質量％以上含有することがより好ましく、特に７０質量％以上含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有量の下限値が上記であると、（メタ）アクリル酸エステル重合体は好適な粘着性を発揮することができる。また、（メタ）アクリル酸エステル重合体は、当該重合体を構成するモノマー単位として、（メタ）アクリル酸アルキルエステルを９９質量％以下含有することが好ましく、特に９４質量％以下含有することが好ましく、さらには８５質量％以下含有することが好ましい。（メタ）アクリル酸アルキルエステルの含有量の上限値が上記であると、（メタ）アクリル酸エステル重合体中に反応性官能基含有モノマー等の他のモノマー成分を好適な量導入することができる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体は、所望により、当該重合体を構成するモノマー単位として、他のモノマーを適宜含有してもよい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体は、直鎖状のポリマーであることが好ましい。直鎖状のポリマーであることにより、分子鎖の絡み合いが起こりやすくなり、凝集力の向上が期待でき、耐久性に優れた放熱シートが得られ易い。

また、（メタ）アクリル酸エステル重合体は、溶液重合法によって得られた溶液重合物であることが好ましい。溶液重合物であることにより、高分子量のポリマーが得られやすくなり、凝集力の向上が期待でき、耐久性に優れた放熱シートが得られ易い。

（メタ）アクリル酸エステル重合体の重合態様は、ランダム共重合体であってもよいし、ブロック共重合体であってもよい。

（メタ）アクリル酸エステル重合体の重量平均分子量は、下限値として２０万以上であることが好ましく、特に４０万以上であることが好ましく、さらには５０万以上であることが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体の重量平均分子量の下限値が上記以上であると、得られる放熱シートの耐久性が優れたものとなる。

また、（メタ）アクリル酸エステル重合体の重量平均分子量は、上限値として２００万以下であることが好ましく、特に１５０万以下であることが好ましく、さらには９０万以下であることが好ましい。（メタ）アクリル酸エステル重合体の重量平均分子量の上限値が上記以下であると、得られる放熱シートの被着体への密着性が優れたものとなる。

なお、放熱シート形成用組成物Ｃ２において、（メタ）アクリル酸エステル重合体は、１種を単独で用いてもよいし、２種以上を組み合わせて用いてもよい。

（４）架橋剤（Ｄ）
架橋剤（Ｄ）は、放熱シート形成用組成物Ｃ２の加熱により（メタ）アクリル酸エステル重合体を架橋し、三次元網目構造を良好に形成することが可能となる。これにより、得られる放熱シートの凝集力が向上し、耐久性が優れたものとなる。

上記架橋剤（Ｄ）としては、（メタ）アクリル酸エステル重合体が有する反応性基と反応するものであればよく、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、アミン系架橋剤、メラミン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、ヒドラジン系架橋剤、アルデヒド系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、金属アルコキシド系架橋剤、金属キレート系架橋剤、金属塩系架橋剤、アンモニウム塩系架橋剤等が挙げられる。上記の中でも、（メタ）アクリル酸エステル重合体が有する反応性基との反応性に優れたイソシアネート系架橋剤を使用することが好ましい。なお、架橋剤（Ｄ）は、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。

イソシアネート系架橋剤は、少なくともポリイソシアネート化合物を含むものである。ポリイソシアネート化合物としては、例えば、トリレンジイソシアネート、ジフェニルメタンジイソシアネート、キシリレンジイソシアネート等の芳香族ポリイソシアネート、ヘキサメチレンジイソシアネート等の脂肪族ポリイソシアネート、イソホロンジイソシアネート、水素添加ジフェニルメタンジイソシアネート等の脂環式ポリイソシアネートなど、及びそれらのビウレット体、イソシアヌレート体、さらにはエチレングリコール、プロピレングリコール、ネオペンチルグリコール、トリメチロールプロパン、ヒマシ油等の低分子活性水素含有化合物との反応物であるアダクト体などが挙げられる。中でも水酸基との反応性の観点から、トリメチロールプロパン変性の芳香族ポリイソシアネート、特にトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネートおよびトリメチロールプロパン変性キシリレンジイソシアネートが好ましい。

放熱シート形成用組成物Ｃ２中における架橋剤（Ｄ）の含有量は、（メタ）アクリル酸エステル重合体１００質量部に対して、０．０１質量部以上であることが好ましく、特に０．０５質量部以上であることが好ましく、さらには０．１質量部以上であることが好ましい。また、当該含有量は、１０質量部以下であることが好ましく、特に５質量部以下であることが好ましく、さらには１質量部以下であることが好ましい。架橋剤（Ｄ）の含有量が上記範囲にあることで、得られる放熱シートが良好な凝集力を発揮し、耐久性により優れたものとなる。

（５）熱伝導性フィラー（Ｂ）
放熱シート形成用組成物Ｃは、熱伝導性フィラー（Ｂ）を含有する。本明細書における熱伝導性フィラーとは、高い熱伝導率を有するフィラーをいい、例えば、２５℃における熱伝導率が１０Ｗ／ｍ・Ｋ以上のフィラーをいい、好ましくは２０Ｗ／ｍ・Ｋ以上のフィラーをいい、特に好ましくは３０Ｗ／ｍ・Ｋ以上のフィラーをいう。なお、熱伝導性フィラーの２５℃における熱伝導率の上限値は限定されないものの、通常、３００Ｗ／ｍ・Ｋ以下である。

熱伝導性フィラー（Ｂ）の材料としては、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化亜鉛、酸化チタン、酸化鉄等の金属酸化物、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム等の水酸化金属、窒化ホウ素、窒化アルミニウム等の窒化物、炭化ケイ素、炭化カルシウム等の炭化物、タルクなどが挙げられる。

上記の中でも、放熱性および樹脂成分（Ａ）（特に極性モノマーを２０質量％以上含有する樹脂成分（Ａ１））に対する分散性の観点から、金属酸化物、水酸化金属または窒化物が好ましく、特に、金属酸化物または水酸化金属が好ましい。それらの中でも、放熱性および分散性に優れる酸化アルミニウム（アルミナ）が特に好ましい。また、酸化アルミニウムは、導電性を有しないことから、絶縁性が要求される用途のときには、その観点からも好ましい。なお、上記熱伝導性フィラー（Ｂ）は、１種を単独で使用してもよいし、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

熱伝導性フィラー（Ｂ）の形状としては、例えば、粒状、針状、板状、鱗片状、不定形等があり、粒状には、丸み状、真球状、多角形状等がある。なお、本明細書における「丸み状」とは、全体的に丸みを帯びた形状を意味し、球状、楕円球状、卵状等の形状を含むものであるが、必ずしも表面が曲面状のみの形状を意味するのではなく、表面に平面を有する形状をも含むものである。

熱伝導性フィラー（Ｂ）が金属酸化物または水酸化金属、特にアルミナからなる場合、上記の中でも、少なくとも丸み状または真球状の粒状フィラーを使用することが好ましく、粒状フィラーと不定形フィラーとを組み合わせて使用することも好ましい。粒状フィラーと不定形フィラーとを組み合わせる場合、丸み状または真球状のフィラーと不定形フィラーとを組み合わせて使用することが好ましく、特に丸み状のフィラーと不定形フィラーとを組み合わせて使用することが好ましい。これらの場合、得られる放熱シートにおける熱伝導性フィラー（Ｂ）の充填率が向上し、放熱シートにおいて効率的な熱伝導経路が形成され、結果として、放熱シートがより優れた放熱性を有するものとなる。

一方、熱伝導性フィラー（Ｂ）が窒化物、特に窒化ホウ素からなる場合、上記の中でも、鱗片状フィラーを使用することが好ましい。

熱伝導性フィラー（Ｂ）の平均粒径は、目的とする放熱シートの厚さ未満であることが好ましい。これにより、放熱シートの表面から熱伝導性フィラー（Ｂ）が突出し難くなり、放熱シートの表面の平滑性がより高いものとなる。

熱伝導性フィラー（Ｂ）が粒状である場合、その平均粒径は、８μｍ以上であることが好ましく、１５μｍ以上であることがより好ましく、特に２５μｍ以上であることが好ましく、さらには３０μｍ以上であることが好ましい。また、上記平均粒径は、１００μｍ以下であることが好ましく、特に７０μｍ以下であることが好ましく、さらには４０μｍ以下であることが好ましい。粒状フィラーの平均粒径が上記範囲にあることで、得られる放熱シートにおける熱伝導性フィラー（Ｂ）の充填率を高くすることができ、放熱性がより優れたものとなるとともに、放熱シートの表面平滑性をより向上させることができる。

熱伝導性フィラー（Ｂ）の形状が不定形である場合、その平均粒径は、０．１μｍ以上であることが好ましく、特に０．５μｍ以上であることが好ましく、さらには１．０μｍ以上であることが好ましい。また、上記平均粒径は、７μｍ以下であることが好ましく、特に４μｍ以下であることが好ましく、さらには２μｍ以下であることが好ましい。不定形フィラーの平均粒径が上記範囲にあることで、得られる放熱シートにおける熱伝導性フィラー（Ｂ）の充填率を高くすることができ、放熱性がより優れたものとなるとともに、放熱シートの表面平滑性、ひいては粘着力をより向上させることができる。

熱伝導性フィラー（Ｂ）の形状が鱗片状である場合、その平均粒径は、１μｍ以上であることが好ましく、特に５μｍ以上であることが好ましく、さらには８μｍ以上であることが好ましい。また、上記平均粒径は、５０μｍ以下であることが好ましく、特に３０μｍ以下であることが好ましく、さらには１５μｍ以下であることが好ましい。鱗片状フィラーの平均粒径が上記範囲にあることで、得られる放熱シートにおける熱伝導性フィラー（Ｂ）の充填率を高くすることができ、放熱性がより優れたものとなるとともに、放熱シートの表面平滑性、ひいては粘着力をより向上させることができる。

なお、本明細書におけるフィラーの平均粒径とは、電子顕微鏡で無作為に選んだフィラー２０個の長軸径を測定し、その算術平均値として算出される粒径をいう。

放熱シート形成用組成物Ｃ中における熱伝導性フィラー（Ｂ）の含有量は、放熱シート中における含有量と同じであり、前述した通りである。

（６）各種添加剤
放熱シート形成用組成物Ｃには、所望により、各種添加剤、例えば粘着付与剤、難燃剤、酸化防止剤、光安定剤、軟化剤、防錆剤などを添加することができる。

２．放熱シート形成用組成物の調製
（１）放熱シート形成用組成物Ｃ１の調製
放熱シート形成用組成物Ｃ１は、樹脂成分（Ａ１）としての各成分と、熱伝導性フィラー（Ｂ）とを混合するとともに、所望により光重合開始剤（Ｃ）および添加剤を加えることで製造することができる。

ここで、放熱シート形成用組成物Ｃ１は、極性モノマーを２０質量％以上含有する樹脂成分（Ａ１）と熱伝導性フィラー（Ｂ）との組み合わせにより、熱伝導性フィラー（Ｂ）を多量に含有しても、粘度が低く、塗工性に優れる。そのため、放熱シート形成用組成物Ｃ１は、溶剤等を添加することなく、そのまま塗布液として使用することができる。すなわち、上記の放熱シート形成用組成物Ｃ１は、溶剤を含有しないことが好ましい。これにより、塗布後における溶剤を揮発させる乾燥工程が不要となり、乾燥に伴う表面の荒れが防止され、高い平滑性、ひいては高い粘着力を有する放熱シートを得ることができる。

（２）放熱シート形成用組成物Ｃ２の調製
放熱シート形成用組成物Ｃ２は、（メタ）アクリル酸エステル重合体を製造し、得られた（メタ）アクリル酸エステル重合体と、架橋剤（Ｄ）とを混合するとともに、所望により添加剤を加えることで製造することができる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体は、重合体を構成するモノマーの混合物を通常のラジカル重合法で重合することにより製造することができる。（メタ）アクリル酸エステル重合体の重合は、所望により重合開始剤を使用して、溶液重合法により行うことが好ましい。重合溶媒としては、例えば、酢酸エチル、酢酸ｎ－ブチル、酢酸イソブチル、トルエン、アセトン、ヘキサン、メチルエチルケトン等が挙げられ、２種類以上を併用してもよい。

重合開始剤としては、アゾ系化合物、有機過酸化物等が挙げられ、２種類以上を併用してもよい。アゾ系化合物としては、例えば、２,２'－アゾビスイソブチロニトリル、２,２'－アゾビス（２－メチルブチロニトリル）、１,１'－アゾビス（シクロヘキサン１－カルボニトリル）、２,２'－アゾビス（２,４－ジメチルバレロニトリル）、２,２'－アゾビス（２,４－ジメチル－４－メトキシバレロニトリル）、ジメチル２,２'－アゾビス（２－メチルプロピオネート）、４,４'－アゾビス（４－シアノバレリック酸）、２,２'－アゾビス（２－ヒドロキシメチルプロピオニトリル）、２,２'－アゾビス［２－（２－イミダゾリン－２－イル）プロパン］等が挙げられる。

有機過酸化物としては、例えば、過酸化ベンゾイル、ｔ－ブチルパーベンゾエイト、クメンヒドロパーオキシド、ジイソプロピルパーオキシジカーボネート、ジ－ｎ－プロピルパーオキシジカーボネート、ジ（２－エトキシエチル）パーオキシジカーボネート、ｔ－ブチルパーオキシネオデカノエート、ｔ－ブチルパーオキシビバレート、（３，５，５－トリメチルヘキサノイル）パーオキシド、ジプロピオニルパーオキシド、ジアセチルパーオキシド等が挙げられる。

なお、上記重合工程において、２－メルカプトエタノール等の連鎖移動剤を配合することにより、得られる重合体の重量平均分子量を調節することができる。

（メタ）アクリル酸エステル重合体が得られたら、（メタ）アクリル酸エステル重合体の溶液に、架橋剤（Ｄ）、ならびに所望により希釈溶剤および添加剤を添加し、十分に混合することにより、溶剤で希釈された放熱シート形成用組成物Ｃ２を得る。なお、上記各成分のいずれかにおいて、固体状のものを用いる場合、あるいは、希釈されていない状態で他の成分と混合した際に析出を生じる場合には、その成分を単独で予め希釈溶媒に溶解もしくは希釈してから、その他の成分と混合してもよい。

上記希釈溶剤としては、例えば、ヘキサン、ヘプタン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、塩化メチレン、塩化エチレン等のハロゲン化炭化水素、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、１－メトキシ－２－プロパノール等のアルコール、アセトン、メチルエチルケトン、２－ペンタノン、イソホロン、シクロヘキサノン等のケトン、酢酸エチル、酢酸ブチル等のエステル、エチルセロソルブ等のセロソルブ系溶剤などが用いられる。

このようにして調製された放熱シート形成用組成物Ｃ２の粘度としては、コーティング可能な範囲であればよく、特に制限されず、状況に応じて適宜選定することができる。なお、希釈溶剤等の添加は必要条件ではなく、放熱シート形成用組成物Ｃ２がコーティング可能な粘度等であれば、希釈溶剤を添加しなくてもよい。この場合、放熱シート形成用組成物Ｃ２は、（メタ）アクリル酸エステル重合体の重合溶媒をそのまま希釈溶剤とする塗布溶液となる。

３．放熱シートの構成例
本実施形態に係る放熱シートは、一例として、２枚の剥離シートに挟持されてなる構成を有していることも好ましい。以下、図面を参照して説明する。

図１に示すように、一例としての本実施形態に係る放熱シート１の一方の面（図１では上側の面）には、第１の剥離シート１１ａが積層されており、放熱シート１の他方の面（図１では下側の面）には、第２の剥離シート１１ｂが積層されている。各剥離シート１１ａ，１１ｂは、それらの剥離面が放熱シート１に接するように、放熱シート１に積層されている。なお、本明細書における剥離シートの剥離面とは、剥離シートにおいて剥離性を有する面をいい、剥離処理を施した面および剥離処理を施さなくても剥離性を示す面のいずれをも含むものである。

（１）放熱シート
本実施形態における放熱シート１は、前述した放熱シートであり、好ましくは、放熱シート形成用組成物Ｃから得られるものであり、特に好ましくは、放熱シート形成用組成物Ｃ１を活性エネルギー線硬化させてなるものであるか、放熱シート形成用組成物Ｃ２を架橋してなるものである。

放熱シートの厚さは前述した通りであるが、特に放熱シート形成用組成物Ｃ２から得られる放熱シート１の場合、その厚さの下限値は、１１０μｍ以上であることが好ましく、１４０μｍ以上であることがより好ましい。これにより、算術平均粗さＲａ（μｍ）を厚さ（μｍ）で除した値および十点平均粗さＲｚ（μｍ）を厚さ（μｍ）で除した値が前述した範囲に入り易くなり、十分な粘着力が得られる。なお、当該厚さの上限値は、前述した通りである。

放熱シート１の２３℃、５０％ＲＨにおける熱伝導率（ＩＳＯ ２２００７－３に準じて測定した値）は、１．５Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましく、特に１．８Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましく、さらには２．０Ｗ／ｍ・Ｋ以上であることが好ましい。これにより、放熱シート１は放熱性に優れるということができる。前述した放熱シート形成用組成物Ｃから得られる放熱シート１は、上記の熱伝導率を満たすことが可能である。なお、放熱シート１の２３℃、５０％ＲＨにおける熱伝導率の上限値は特に限定されないが、通常は１４Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることが好ましく、特に７Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることが好ましい。

また、放熱シート１の任意の１０サンプルについて上記熱伝導率を測定して得られる最大値と最小値との差（幅）は、１．５Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることが好ましく、０．６Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることがより好ましく、特に０．４Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることが好ましく、さらには０．２Ｗ／ｍ・Ｋ以下であることが好ましい。これによって、熱伝導率の再現性が良いということができる。

放熱シート形成用組成物Ｃ１から得られる放熱シート１は、２３℃の酢酸エチルに２４時間浸漬した後の残存率（溶剤浸漬後残存率）が、８０質量％以上であることが好ましく、９０質量％以上であることがより好ましく、特に９４質量％以上であることが好ましく、さらには９６質量％以上であることが好ましい。これにより、放熱シート１は凝集力の非常に高いものとなり、フィラー（Ｂ）が熱により配置を変えて放熱性に変化が生じるといった現象を有効に防止することができる。すなわち、繰り返し加熱の下でも熱伝導率の再現性がより優れたものとなる。なお、当該溶剤浸漬後残存率の上限値は、特に限定されないが、１００質量％以下であることが好ましく、特に９９質量％以下であることが好ましい。ここで、本明細書における放熱シートの溶剤浸漬後残存率の測定方法の詳細は、後述する試験例に示す通りである。

（２）剥離シート
剥離シート１１ａ，１１ｂとしては、例えば、ポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリブテンフィルム、ポリブタジエンフィルム、ポリメチルペンテンフィルム、ポリ塩化ビニルフィルム、塩化ビニル共重合体フィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリエチレンナフタレートフィルム、ポリブチレンテレフタレートフィルム、ポリウレタンフィルム、エチレン酢酸ビニルフィルム、アイオノマー樹脂フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸共重合体フィルム、エチレン・（メタ）アクリル酸エステル共重合体フィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム、ポリイミドフィルム、フッ素樹脂フィルム等が用いられる。また、これらの架橋フィルムも用いられる。さらに、これらの積層フィルムであってもよい。

上記剥離シート１１ａ，１１ｂの剥離面（特に放熱シート１と接する面）には、剥離処理が施されていることが好ましい。剥離処理に使用される剥離剤としては、例えば、アルキッド系、シリコーン系、フッ素系、不飽和ポリエステル系、ポリオレフィン系、ワックス系の剥離剤が挙げられる。

剥離シート１１ａ，１１ｂの厚さについては特に制限はないが、通常２０～１５０μｍ程度である。

４．放熱シートの製造
放熱シートの製造方法の一例として、図１に示される放熱シート１を製造する方法を説明する。

（１）放熱シート形成用組成物Ｃ１を使用する場合
放熱シート形成用組成物Ｃ１を使用する場合、放熱シート１の一製造例としては、一方の剥離シート１１ａ（または１１ｂ）の剥離面に、放熱シート形成用組成物Ｃ１を塗工することで塗布層を形成する。次いで、当該塗布層に他方の剥離シート１１ｂ（または１１ａ）の剥離面を重ね合わせて圧着する。その後、塗布層に対して所定量の活性エネルギー線を照射して放熱シート形成用組成物Ｃ１を硬化させ、放熱シート１を形成する。

塗布層に対する活性エネルギー線の照射は、一方の剥離シート１１ａ（または１１ｂ）越しに行ってもよいし、両方の剥離シート１１ａ，１１ｂ越しに行ってもよい。放熱シート形成用組成物Ｃ１を効率良く確実に硬化させるためには、両方の剥離シート１１ａ，１１ｂ越しに活性エネルギー線を照射することが好ましい。

なお、第１の剥離シート１１ａと第２の剥離シート１１ｂとの間における所望の位置（例えば、剥離シート１１ａ，１１ｂが長尺の場合、長手方向に沿った両端縁部；剥離シート１１ａ，１１ｂが矩形の場合、各辺の端縁部）には、所定の厚さを有するスペーサを介在させてもよい。その状態で、第１の剥離シート１１ａ／放熱シート形成用組成物Ｃ１の塗布層／第２の剥離シート１１ｂの積層体を圧着することにより、放熱シート形成用組成物Ｃ１の塗布層の厚さをスペーサの厚さに合わせることができ、所望の厚さの放熱シート１を容易に形成することが可能となる。

上記放熱シート形成用組成物Ｃ１を塗布する方法としては、例えばバーコート法、ナイフコート法、ロールコート法、ブレードコート法、ダイコート法、グラビアコート法等を利用することができる。

ここで、活性エネルギー線とは、電磁波または荷電粒子線の中でエネルギー量子を有するものをいい、具体的には、紫外線や電子線などが挙げられる。活性エネルギー線の中でも、取扱いが容易な紫外線が特に好ましい。

紫外線の照射は、高圧水銀ランプ、フュージョンＨランプ、キセノンランプ等によって行うことができ、紫外線の照射量は、照度が５０～３００ｍＷ／ｃｍ^２程度であることが好ましい。また、光量は、５０～２０００ｍＪ／ｃｍ^２であることが好ましく、１００～１０００ｍＪ／ｃｍ^２であることがより好ましく、２００～６００ｍＪ／ｃｍ^２であることが特に好ましい。一方、電子線の照射は、電子線加速器等によって行うことができ、電子線の照射量は、１～１０００ｋｒａｄ程度が好ましい。活性エネルギー線の照射量が上記範囲にあることにより、放熱シート形成用組成物Ｃ１を効率良く硬化させることができる。

なお、放熱シート形成用組成物Ｃ１の硬化は、活性エネルギー線の照射および加熱処理により行うこともできるが、活性エネルギー線の照射のみを行うことが好ましい。これにより、放熱シート形成用組成物Ｃ１の塗布対象としての樹脂フィルム等の熱劣化、熱収縮等を防ぐことができる。また、加熱しないことにより、放熱シート形成用組成物Ｃ１中の揮発成分の加熱による消失を抑制することができる。

（２）放熱シート形成用組成物Ｃ２を使用する場合
放熱シート形成用組成物Ｃ２を使用する場合、放熱シート１の一製造例としては、一方の剥離シート１１ａ（または１１ｂ）の剥離面に、放熱シート形成用組成物Ｃ２を塗工し、加熱処理を行って放熱シート形成用組成物Ｃ２を架橋（熱架橋）し、塗布層を形成した後、その塗布層に他方の剥離シート１１ｂ（または１１ａ）の剥離面を重ね合わせる。養生期間が必要な場合は養生期間をおくことにより、養生期間が不要な場合はそのまま、上記塗布層が放熱シート１となる。これにより、上記放熱シート１が得られる。

放熱シート形成用組成物Ｃ２の塗工方法は、放熱シート形成用組成物Ｃ１の塗工方法と同様である。

上記のように、放熱シート形成用組成物Ｃ２の架橋は、通常は加熱処理により行うことができる。なお、この加熱処理は、所望の対象物に塗布した放熱シート形成用組成物Ｃ２の塗布層から希釈溶剤等を揮発させる際の乾燥処理で兼ねることもできる。

加熱処理の加熱温度は、５０～１５０℃であることが好ましく、特に７０～１２０℃であることが好ましい。また、加熱時間は、１０秒～１０分であることが好ましく、特に５０秒～２分であることが好ましい。

加熱処理後、架橋反応を完遂させるために、必要に応じて、常温（例えば、２３℃、５０％ＲＨ）で１～２週間程度の養生期間を設けてもよい。この養生期間が必要な場合は、養生期間経過後、養生期間が不要な場合には、加熱処理終了後、放熱シート１が形成される。

〔放熱性装置〕
図２に示すように、本発明の一実施形態に係る放熱性装置２は、発熱部材２１と、伝熱部材２２と、発熱部材２１および伝熱部材２２の間に設けられた放熱シート１とを備えている。

放熱シート１は、前述した実施形態に係る放熱シート１である。当該放熱シート１は、十分な粘着力を発揮するため、当該放熱シート１を介して発熱部材２１と伝熱部材２２とは固定されている。また、放熱シート１は、熱伝導性フィラーの含有量が多く、かつ、高い表面平滑性により被着体（発熱部材２１および／または伝熱部材２２）との接触面積が大きく密着性も高いため、放熱性に優れる。したがって、発熱部材２１で発熱した熱は、放熱シート１を通って伝熱部材２２に良好に熱伝導し、伝熱部材２２から効率良く外部に放熱される。

本実施形態における発熱部材２１は、所定の機能の発揮に伴い発熱するものの、温度上昇の抑制が要求される部材、あるいは当該部材が発熱した熱の流れを特定の方向に制御することが要求される部材などである。かかる発熱部材２１としては、例えば、熱電変換デバイス、光電変換デバイス、大規模集積回路等の半導体デバイス、ＬＥＤ発光素子、光ピックアップ、パワートランジスタなどの電子デバイスや、モバイル端末、ウェアラブル端末等の各種電子機器、バッテリー、電池、モーター、エンジンなどが挙げられる。

本実施形態における伝熱部材２２は、受熱した熱を放熱する部材、あるいは受熱した熱を別の部材に伝熱する部材などである。かかる伝熱部材２２は、熱伝導性の高い材料、例えば、アルミニウム、ステンレススチール、銅等の金属や、グラファイト、カーボンナノファイバーなどからなることが好ましい。伝熱部材２２の形態としては、基板、筐体、ヒートシンク、ヒートスプレッダー等のいずれであってもよく、特に限定されない。

放熱性装置２を製造するには、放熱シート１から一方の剥離シート１１ａ（または１１ｂ）を剥離し、露出した放熱シート１の一方の面を発熱部材２１に貼付する。次いで、発熱部材２１に設けられた放熱シート１から他方の剥離シート１１ｂ（または１１ａ）を剥離し、露出した放熱シート１の他方の面を、伝熱部材２２に貼付する。また、放熱シート１の一方の面を伝熱部材２２に貼付した後、放熱シート１の他方の面に発熱部材２１を貼合してもよい。

以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。

例えば、放熱シート１に積層された剥離シート１１ａ，１１ｂのいずれか一方または両方は省略されてもよい。また、放熱性装置２における発熱部材２１および伝熱部材２２の形状は、図２に示されるものに限定されず、種々の形状であってもよい。

以下、実施例等により本発明をさらに具体的に説明するが、本発明の範囲はこれらの実施例等に限定されるものではない。

〔実施例１〕
１．放熱シート形成用組成物の調製
樹脂成分（Ａ１）としてのアクリル酸２－ヒドロキシエチル１００質量部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）としてのアルミナフィラー（昭和電工社製，製品名「ＡＳ－４００」；平均粒径３５μｍの丸み状フィラーと平均粒径１．５μｍ不定形フィラーとの混合品）４００質量部と、光重合開始剤（Ｃ）としての１－ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン３質量部とを混合し、ディスパーにより１分間撹拌することで放熱シート形成用組成物を得た。

２．放熱シートの製造
上記工程１で得られた放熱シート形成用組成物を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した剥離シート（第１の剥離シート；リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１０３１」）の剥離処理面に、アプリケーターにより塗工した。

次いで、上記で得られた剥離シート上の塗布層と、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した剥離シート（第２の剥離シート；リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）とを、当該剥離シートの剥離処理面が塗布層に接触するように貼合し、ハンドローラー（１．２５ｋｇ）を使用して圧着した。

その後、それぞれの側の剥離シート越しに、すなわち両面側から、塗布層に対し、それぞれ１回ずつ下記の条件で活性エネルギー線（紫外線）を照射して、放熱シート形成用組成物の塗布層を硬化させ、厚さ１５０μｍの放熱シートを形成した。
＜活性エネルギー線照射条件＞
・高圧水銀ランプ使用
・照度１８０ｍＷ／ｃｍ^２，光量２３０ｍＪ／ｃｍ^２
・ＵＶ照度・光量計はアイグラフィックス社製「ＵＶＰＦ－Ａ１」を使用

〔実施例２〕
樹脂成分（Ａ１）として、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１００質量部の替わりに、アクリル酸４－ヒドロキシブチル１００質量部を使用する以外、実施例１と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例３〕
樹脂成分（Ａ１）として、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１００質量部の替わりに、アクリル酸４－ヒドロキシブチル５０質量部およびアクリル酸２－エチルヘキシル５０質量部を使用する以外、実施例１と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例４〕
重量平均分子量９，２００のポリプロピレングリコール１モルと、イソホロンジイソシアネート２モルと、アクリル酸２－ヒドロキシエチル２モルとを重合させ、ウレタンアクリレート系オリゴマーとしての、重量平均分子量９，９００のポリエーテルウレタンアクリレートを得た。

なお、ポリプロピレングリコールおよびポリエーテルウレタンアクリレートの重量平均分子量は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー（ＧＰＣ）にて、下記条件に沿って測定した標準ポリスチレン換算値である。
＜測定条件＞
・測定装置：東ソー社製，ＨＬＣ－８３２０
・ＧＰＣカラム（以下の順に通過）：東ソー社製
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨＭ－Ｈ
ＴＳＫ ｇｅｌ ｓｕｐｅｒＨ２０００
・測定溶媒：テトラヒドロフラン
・測定温度：４０℃

樹脂成分（Ａ１）として、アクリル酸２－ヒドロキシエチル１００質量部の替わりに、アクリル酸４－ヒドロキシブチル３７質量部、アクリル酸２－エチルヘキシル３５質量部、アクリル酸イソボルニル１２質量部、および上記で得られたポリエーテルウレタンアクリレート１６質量部を使用する以外、実施例１と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例５〕
アルミナフィラーの配合量を６６７質量部に変更する以外、実施例２と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例６〕
熱伝導性フィラー（Ｂ）として、実施例１のアルミナフィラーに替えて、アルミナフィラー（昭和電工社製，製品名「ＡＳ－４０」；平均粒径２８μｍの丸み状フィラーと平均粒径１．５μｍ不定形フィラーとの混合品）を使用する以外、実施例２と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例７〕
熱伝導性フィラー（Ｂ）として、実施例１のアルミナフィラーに替えて、アルミナフィラー（昭和電工社製，製品名「Ａ２０Ｓ」；平均粒径２２μｍの真球状フィラー）を使用する以外、実施例２と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例８〕
熱伝導性フィラー（Ｂ）として、実施例１のアルミナフィラーに替えて、アルミナフィラー（昭和電工社製，製品名「ＡＳ５０」；平均粒径１０μｍの丸み状フィラー）を使用する以外、実施例２と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例９〕
放熱シート形成用組成物を塗工するアプリケーターを調節することにより、得られる放熱シートの厚さを３０μｍとする以外、実施例８と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例１０〕
熱伝導性フィラー（Ｂ）として、実施例１のアルミナフィラー４００質量部に替えて、窒化ホウ素フィラー（昭和電工社製，製品名「ＵＨＰ－２」；平均粒径１０μｍの鱗片状フィラー）５７質量部を使用する以外、実施例１と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例１１〕
窒化ホウ素フィラーの配合量を８０質量部に変更する以外、実施例１０と同様にして放熱シートを製造した。

〔実施例１２〕
１．（メタ）アクリル酸エステル重合体の調製
アクリル酸ｎ－ブチル６０質量部、アクリル酸メチル２０質量部、およびアクリル酸２０質量部を溶液重合法により共重合させて、（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）を調製した。この（メタ）アクリル酸エステル重合体（Ａ）の分子量を前述したＧＰＣ法で測定したところ、重量平均分子量（Ｍｗ）６０万であった。

２．放熱シート形成用組成物の調製
上記工程１で得られた樹脂成分（Ａ２）としての（メタ）アクリル酸エステル重合体（固形分換算値：以下同様とする）１００質量部と、架橋剤（Ｄ）としてのトリメチロールプロパン変性トリレンジイソシアネート（トーヨーケム社製，製品名「ＢＨＳ８５１５」）０．７質量部と、熱伝導性フィラー（Ｂ）としてのアルミナフィラー（昭和電工社製，製品名「ＡＳ－４００」；平均粒径３５μｍの丸み状フィラーと平均粒径１．５μｍ不定形フィラーとの混合品）４００質量部とを混合するとともに、メチルエチルケトンで希釈し、十分に撹拌して、固形分濃度５０質量％の放熱シート形成用組成物を得た。

３．放熱シートの製造
上記工程２で得られた放熱シート形成用組成物を、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した剥離シート（第１の剥離シート；リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１０３１」）の剥離処理面に、アプリケーターで塗布したのち、９０℃で１分間、１２０℃で１分間加熱処理して塗布層を形成した。得られた塗布層付きの剥離シートにおける塗布層側の面と、ポリエチレンテレフタレートフィルムの片面をシリコーン系剥離剤で剥離処理した剥離シート（第２の剥離シート；リンテック社製，製品名「ＳＰ－ＰＥＴ７５１１３０」）の剥離処理面とを貼合し、２３℃、５０％ＲＨの条件下で７日間養生することにより、塗布層を架橋させて、厚さ２２０μｍの放熱シートを形成した。

〔実施例１３〕
熱伝導性フィラー（Ｂ）として、実施例１２のアルミナフィラー４００質量部に替えて、窒化ホウ素フィラー（昭和電工社製，製品名「ＵＨＰ－２」；平均粒径１０μｍの鱗片状フィラー）５７質量部を使用する以外、実施例１２と同様にして放熱シートを製造した。

〔比較例１〕
放熱シート形成用組成物を塗工するアプリケーターを調節することにより、得られる放熱シートの厚さを１００μｍとする以外、実施例１２と同様にして放熱シートを製造した。

〔比較例２〕
放熱シート形成用組成物を塗工するアプリケーターを調節することにより、得られる放熱シートの厚さを５０μｍとする以外、実施例１３と同様にして放熱シートを製造した。

〔試験例１〕（ガラス転移温度の測定）
実施例および比較例で使用または調製した樹脂成分（Ａ１）（Ａ２）を当該実施例および比較例と同様にして硬化または架橋させた樹脂について、そのガラス転移温度（Ｔｇ）を、示差走査熱量測定装置（ティー・エイ・インスツルメント・ジャパン社製，製品名「ＤＳＣ Ｑ２０００」）によって、昇温・降温速度２０℃／分で測定した。結果を表１に示す。

〔試験例２〕（粘度の評価）
実施例および比較例で調製した放熱シート形成用組成物について、その粘度が製造ラインにおいて撹拌混合が可能な程度に低い（〇）か、当該撹拌混合に適しない程度に高い（×）かを、撹拌棒を使用して判断した。結果を表１に示す。

〔試験例３〕（塗工性の評価）
実施例および比較例で調製した放熱シート形成用組成物をアプリケーターにより塗工したときの状況を判断するとともに、アプリケーターにより塗工して得られた塗布層に、スジがないかどうかを目視により判断した。そして、以下の基準に基づいて塗工性を評価した。結果を表１に示す。
○：スジが無く均一な面が形成された。
△：スジが発生した。
×：放熱シート形成用組成物の粘度が高く塗工できなかった。

〔試験例４〕（溶剤浸漬後残存率の測定）
実施例１～１１で得られた放熱シートを４０ｍｍ×４０ｍｍのサイズに裁断し、両面の剥離シートを剥がして、ポリエステル製メッシュ（メッシュサイズ２００）に包み、その質量を精密天秤にて秤量し、上記メッシュ単独の質量を差し引くことにより、放熱シートのみの質量を算出した。このときの質量をＭ１とする。

次に、上記ポリエステル製メッシュに包まれた放熱シートを、室温下（２３℃）で酢酸エチルに２４時間浸漬させた。その後、放熱シートを取り出し、温度２３℃、相対湿度５０％の環境下で、２４時間風乾させ、さらに８０℃のオーブン中にて１２時間乾燥させた。乾燥後、その質量を精密天秤にて秤量し、上記メッシュ単独の質量を差し引くことにより、放熱シートのみの質量を算出した。このときの質量をＭ２とする。溶剤浸漬後残存率（％)は、（Ｍ２／Ｍ１）×１００で表される。これにより、放熱シートの溶剤浸漬後残存率を導出した。結果を表１に示す。

〔試験例５〕（表面粗さの測定）
実施例および比較例で得られた放熱シートの両面（第１の剥離シート側の面／第２の剥離シート側の面）の算術平均粗さＲａ（μｍ）および十点平均粗さＲｚ（μｍ）を、触針式表面粗さ計（ミツトヨ社製，製品名「ＳＵＲＦ ＴＥＳＴ ＳＶ－３０００」）を用いて、ＪＩＳ Ｂ０６３３：２００１に準拠して、それぞれ１０サンプルずつ測定した。そして、それらの平均値を、各例のＲａ、Ｒｚとして表１に示す。なお、表中、上段の値は第２の剥離シート側の面の表面粗さであり、下段の値は第１の剥離シート側の面の表面粗さである。

また、上記で得られた算術平均粗さＲａ（μｍ）を放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値、および上記で得られた十点平均粗さＲｚ（μｍ）を放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値を、各面について算出した。結果を表１に示す。なお、表中、上段の値は第２の剥離シート側の面の値であり、下段の値は第１の剥離シート側の面の値である。

〔試験例６〕（粘着力の測定）
実施例および比較例で得られた放熱シートから第２の剥離シートを剥がし、露出した面を、易接着層を有するポリエチレンテレフタレートフィルム（東洋紡社製，東洋紡社製，製品名「ＰＥＴ Ａ４３００」，厚さ：２５μｍ）の易接着層に貼合した。その積層体を、幅２５ｍｍ、長さ１００ｍｍに裁断し、これをサンプルとした。そして、当該サンプルから第１の剥離シートを剥がし、露出した面を、ステンレススチール板（ＳＵＳ３０４，＃３６０研磨）に貼付した。

貼付後１分以内に、引張試験機（オリエンテック社製，製品名「テンシロン」）を用い、剥離速度３００ｍｍ／ｍｉｎ、剥離角度１８０°の条件で粘着力（Ｎ／２５ｍｍ）を測定した。ここに記載した以外の条件はＪＩＳ Ｚ０２３７：２００９に準拠して、それぞれ１０サンプルずつ測定を行った。また、粘着力の測定は、放熱シートの両面について行った。

測定の結果、全てのサンプルについて粘着力が１００ｍＮ／２５ｍｍ以上であった場合を粘着力良好（○）、粘着力が１００ｍＮ／２５ｍｍ未満であったサンプルが１つでもあった場合を粘着力不良（×）と判断した。結果を表１に示す。なお、表中、上段の値は第２の剥離シート側の面の結果であり、下段の値は第１の剥離シート側の面の結果である。

上記の粘着力が１００ｍＮ／２５ｍｍ以上あれば、ＬＥＤ発光素子がアルミニウム板上で横ずれすることを防止することができ、また、ＬＥＤ発光素子とアルミニウム板との密着性が向上し、熱伝導性を高めることができる。

〔試験例７〕（熱伝導率の測定）
実施例および比較例で得られた放熱シートについて、熱拡散率・熱伝導率測定装置（アイフェイズ社製，製品名「ａｉ－ｐｈａｓｅ ｍｏｂｉｌｅ」）を使用し、ＩＳＯ ２２００７－３に準拠して熱伝導率（Ｗ／ｍ・Ｋ）の測定を行った。なお、測定は、それぞれ１０サンプルについて行い、それらの最大値、最小値、および最大値と最小値との差（幅）を求めた。結果を表１に示す。

〔試験例８〕（放熱性の評価）
試験例７において測定した熱伝導率が最大値を示した各例に係る放熱部材のサンプルから１０ｍｍ×２５ｍｍの大きさの放熱部材を切り出し、これをサンプルとした。厚さ１ｍｍのアルミニウム板（パルテック社製，製品名「アルミニウム合金板 Ａ１０５０Ｐ」）の上に上記サンプルを載置し、さらに当該サンプルの上にＬＥＤ発光素子（ＩＰＦ社製ＬＥＤヘッドランプバルブ「Ｈ４ ２４Ｖ ６５００Ｋ ３４ＶＨＬＢ」から取り外したＬＥＤ発光素子）を載置した。

次いで、上記ＬＥＤ発光素子に電圧２４Ｖ、電流３Ａの電気を通して当該ＬＥＤ発光素子を発光させた。それと同時に、アルミニウム板の下方５ｍｍの位置から、空冷ファン（Ｎｉｄｅｃ社製，製品名「Ｄ０２Ｘ－０５ＴＳ１ ０２」）によって当該アルミニウム板を冷却した。そして、発光から２１０秒後における上記ＬＥＤ発光素子の温度を、上記ＬＥＤ発光素子の上方３５ｃｍの位置からサーモカメラ（テストー社製，製品名「ｔｅｓｔｏ ８７０－１ サーモグラフィー」）によって測定した。その測定温度が８０℃以下であれば、放熱性に優れているということができる。結果を表１に示す。

また、比較例３として、アルミニウム板の上にＬＥＤ発光素子を直接載置し、上記と同様にしてＬＥＤ発光素子の温度を測定した。

表１から分かるように、実施例で製造した放熱シートは、良好な粘着力を有するとともに、表面平滑性が高く、熱伝導性・放熱性に優れていた。また、実施例で製造した放熱シートは、熱伝導性についてロット間誤差が少なく、再現性に優れていた。さらに、実施例で製造した放熱シートは、溶剤浸漬後残存率が高く、繰り返し加熱の下での熱伝導率の再現性に優れるものであった。

本発明に係る放熱シートは、例えば、発熱する電子デバイスと放熱性の基板またはヒートシンクとの間に介在させて、当該電子デバイスを冷却するのに好適に使用することができる。また、本発明に係る放熱性装置は、例えば、発熱する電子デバイスと放熱性の基板またはヒートシンクとを備えた装置として有用である。

１…放熱シート
１１ａ…第１の剥離シート
１１ｂ…第２の剥離シート
２…放熱性装置
２１…発熱部材
２２…伝熱部材

Claims (6)

1. 樹脂および熱伝導性フィラーを含有する放熱シートであって、
   前記樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が－９０℃以上、０℃以下であり、
   前記熱伝導性フィラーの含有量が５０質量％以上、９６質量％以下であり、
   前記放熱シートの少なくとも一方の面の算術平均粗さＲａ（μｍ）を前記放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値が４％以下であり、
   活性エネルギー線硬化性の樹脂成分（Ａ１）と、熱伝導性フィラー（Ｂ）とを含有する放熱シート形成用組成物の活性エネルギー線硬化物である
   ことを特徴とする放熱シート。
2. 樹脂および熱伝導性フィラーを含有する放熱シートであって、
   前記樹脂のガラス転移温度（Ｔｇ）が－９０℃以上、０℃以下であり、
   前記熱伝導性フィラーの含有量が５０質量％以上、９６質量％以下であり、
   前記放熱シートの少なくとも一方の面の十点平均粗さＲｚ（μｍ）を前記放熱シートの厚さ（μｍ）で除した値が２９％以下であり、
   活性エネルギー線硬化性の樹脂成分（Ａ１）と、熱伝導性フィラー（Ｂ）とを含有する放熱シート形成用組成物の活性エネルギー線硬化物である
   ことを特徴とする放熱シート。
3. 少なくとも一方の面のステンレススチールに対する粘着力が１００ｍＮ／２５ｍｍ以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の放熱シート。
4. ２枚の剥離シートに挟持されてなる請求項１～３のいずれか一項に記載の放熱シート。
5. 請求項１～４のいずれか一項に記載の放熱シートの製造方法であって、
   第１の剥離シートに対して、活性エネルギー線硬化性の放熱シート形成用組成物を塗布する工程と、
   前記放熱シート形成用組成物の塗布層に第２の剥離シートを積層する工程と、
   前記塗布層に対して活性エネルギー線を照射して、前記放熱シート形成用組成物を硬化させる工程と
   を備えたことを特徴とする放熱シートの製造方法。
6. 発熱部材と、
   伝熱部材と、
   前記発熱部材および前記伝熱部材の間に設けられた請求項１～３のいずれか一項に記載の放熱シートと
   を備えたことを特徴とする放熱性装置。

Images