JP2015012176A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6782082B2 (ja) * 2016-03-11 2020-11-11 古河電気工業株式会社 半導体光素子、およびその製造方法
JP6667325B2 (ja) * 2016-03-11 2020-03-18 古河電気工業株式会社 半導体光素子
JP6782083B2 (ja) * 2016-03-11 2020-11-11 古河電気工業株式会社 半導体光素子、およびその製造方法
WO2018147307A1 (ja) 2017-02-07 2018-08-16 古河電気工業株式会社 光導波路構造
JP7012409B2 (ja) * 2018-03-14 2022-01-28 古河電気工業株式会社 光導波路構造及びその製造方法
CN113396512B (zh) 2019-02-08 2024-06-21 古河电气工业株式会社 半导体元件
DE102019108701A1 (de) * 2019-04-03 2020-10-08 OSRAM Opto Semiconductors Gesellschaft mit beschränkter Haftung Verfahren zur Herstellung einer Mehrzahl von Bauteilen, Bauteil und Bauteilverbund aus Bauteilen
JP7309667B2 (ja) * 2020-05-29 2023-07-18 日本ルメンタム株式会社 ヒータを集積したリッジ型半導体光素子
WO2024257152A1 (ja) * 2023-06-12 2024-12-19 日本電信電話株式会社 半導体レーザ

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4164679B2 (ja) * 2004-02-16 2008-10-15 セイコーエプソン株式会社 面発光型半導体レーザ
JP2007273644A (ja) * 2006-03-30 2007-10-18 Eudyna Devices Inc 光半導体装置、レーザチップおよびレーザモジュール
KR101295896B1 (ko) * 2009-12-17 2013-08-12 한국전자통신연구원 레이저 소자
JP5366149B2 (ja) * 2010-03-16 2013-12-11 独立行政法人産業技術総合研究所 半導体レーザー装置
JP5303580B2 (ja) * 2011-01-11 2013-10-02 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 光半導体装置、レーザチップおよびレーザモジュール
JP2013033892A (ja) * 2011-06-29 2013-02-14 Sumitomo Electric Ind Ltd 半導体レーザおよびレーザ装置
JP2013026254A (ja) * 2011-07-15 2013-02-04 Sumitomo Electric Ind Ltd 光導波路および光導波路の製造方法

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