JP2015012077A - 電子部品収納用パッケージおよび電子装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 外部接続の信頼性が高い電子装置を作製することが容易な電子部品収納用パッケージ等を提供すること。
【解決手段】 それぞれに搭載部2aを含む第1および第2主面を有しており、少なくとも一方の第1主面において搭載部2aを含む凹部2を有一対の絶縁基板1と、第1絶縁基板1(1A)において搭載部2aから第1主面にかけて設けられた第1配線導体3と、第2絶縁基板1(1B)において搭載部2aから第2主面にかけて設けられた第2配線導体4と、第2絶縁基板1(1B)において第1主面から第2主面にかけて設けられた第3配線導体5とを備えており、一対の絶縁基板1が、それぞれの第1主面の搭載部2aを囲む部分同士が対向し合うとともに、第1配線導体3と第3配線導体5とが互いに接続されるように接合される電子部品収納用パッケージである。
【選択図】 図1
【解決手段】 それぞれに搭載部2aを含む第1および第2主面を有しており、少なくとも一方の第1主面において搭載部2aを含む凹部2を有一対の絶縁基板1と、第1絶縁基板1(1A)において搭載部2aから第1主面にかけて設けられた第1配線導体3と、第2絶縁基板1(1B)において搭載部2aから第2主面にかけて設けられた第2配線導体4と、第2絶縁基板1(1B)において第1主面から第2主面にかけて設けられた第3配線導体5とを備えており、一対の絶縁基板1が、それぞれの第1主面の搭載部2aを囲む部分同士が対向し合うとともに、第1配線導体3と第3配線導体5とが互いに接続されるように接合される電子部品収納用パッケージである。
【選択図】 図1
Description
本発明は、複数の電子部品を収容するための電子部品収納用パッケージ、および電子部品収納用パッケージに電子部品が収容されてなる電子装置に関するものである。
半導体素子や容量素子等の電子部品が収容される電子部品収納用パッケージとして、上面に電子部品収納用の凹部が設けられた絶縁基板と、この絶縁基板の凹部内から下面等の外表面にかけて設けられた配線導体とを含むものが多用されている。凹部内に電子部品が収容され、蓋体等の封止材で凹部が塞がれて電子装置が形成される。このような電子部品収納用パッケージ等において、平面視における小型化のために、複数の電子部品収納用パッケージが上下方向に積層される場合がある。
この場合、例えば、少なくとも下側に積層される電子部品収納用パッケージ等において、あらかじめ絶縁基板の上面から下面にかけて接続用の導体が形成される。上側の絶縁基板の下面に位置する配線導体と、下側の絶縁基板の上面に位置する接続導体とが互いに対向し合って接続される。これにより、上側に積層された電子部品収納用パッケージ等の配線導体と、下側の電子部品収納用パッケージ等の接続導体とが互いに電気的に接続されている。下側の絶縁基板の下面に位置する接続導体が外部電気回路に電気的に接続されれば、上側の電子部品収納用パッケージ等の配線導体と外部電気回路とが接続導体を介して電気的に接続される。
なお、下側の電子部品収納用パッケージについては、その凹部が上側の電子部品収納用パッケージ(絶縁基板)によって塞がれる場合がある。上側の絶縁基板の凹部は蓋体によって塞がれる。
しかしながら、上記従来技術の電子部品収納用パッケージ等においては、電子部品の作動−停止に伴う昇温および降温が繰り返されたときに、絶縁基板と蓋体との熱膨張率の差により熱応力が生じ、この熱応力によって絶縁基板および蓋体にひずみが生じる可能性があるという問題点があった。絶縁基板等にひずみが生じると、気密封止の信頼性、および絶縁基板と外部電気回路との接続信頼性等の信頼性の低下が生じる可能性が高くなる。
特に、複数の電子部品収納用パッケージ等が上下に積層された場合には、上記の信頼性が低下する可能性が高い。この場合には、上下の電子部品収納用パッケージにおいて生じる熱応力が、上下の絶縁基体同士の接合部分、または下側の電子部品収納用パッケージと外部電気回路との接合部分に集中して作用する。そのため、信頼性が低下する可能性が高くなる。
本発明の一つの態様の電子部品収納用パッケージは、第1絶縁基板および第2絶縁基板からなり、それぞれに搭載部を含む第1主面および該第1主面と反対側の第2主面を有し
ており、前記第1絶縁基板および前記第2絶縁基板の少なくとも一方の前記第1主面において前記搭載部を含む凹部を有する一対の絶縁基板と、前記第1絶縁基板において前記搭載部から前記第1主面の前記搭載部を囲む部分にかけて設けられた第1配線導体と、前記第2絶縁基板において前記搭載部から前記第2主面の前記搭載部を囲む部分にかけて設けられた第2配線導体と、前記第2絶縁基板において前記第1主面から前記第2主面にかけて設けられた第3配線導体とを含んでいる。また、前記一対の絶縁基板が、それぞれの前記第1主面の平面視で前記搭載部を囲む部分同士が対向し合うとともに、前記第1配線導体と前記第3配線導体とが互いに接続されるように接合される。
ており、前記第1絶縁基板および前記第2絶縁基板の少なくとも一方の前記第1主面において前記搭載部を含む凹部を有する一対の絶縁基板と、前記第1絶縁基板において前記搭載部から前記第1主面の前記搭載部を囲む部分にかけて設けられた第1配線導体と、前記第2絶縁基板において前記搭載部から前記第2主面の前記搭載部を囲む部分にかけて設けられた第2配線導体と、前記第2絶縁基板において前記第1主面から前記第2主面にかけて設けられた第3配線導体とを含んでいる。また、前記一対の絶縁基板が、それぞれの前記第1主面の平面視で前記搭載部を囲む部分同士が対向し合うとともに、前記第1配線導体と前記第3配線導体とが互いに接続されるように接合される。
本発明の一つの態様の電子装置は、上記構成の電子部品収納用パッケージと、前記一対の絶縁基板のそれぞれの前記搭載部に搭載された電子部品とを有しており、一対の絶縁基板が、それぞれの前記第1主面の平面視で前記搭載部を囲む部分同士が対向し合うとともに、前記第1配線導体と前記第3配線導体とが互いに接続されるように接合されている。
本発明の一つの態様の電子部品収納用パッケージによれば、それぞれに搭載部を有し、少なくとも一方において搭載部を含む凹部を有する一対の絶縁基板が、それぞれの搭載部を囲む部分同士が互いに対向し合うようにして接合されて各搭載部の封止が行われることから、互いに熱膨張率が近似した一対の絶縁基板同士の間で電子部品が気密封止される。そのため、それぞれの絶縁基板内に生じる応力が低減されている。したがって、気密封止の信頼性等の信頼性の向上が容易な電子部品収納用パッケージを提供することができる。
また、上記電子部品収納用パッケージによれば、一対の絶縁基板が互いに接合されて凹部を塞ぐため、蓋体が不要であり、低背化および生産性の点においても有利である。
本発明の一つの態様の電子装置によれば、上記構成の電子部品収納用パッケージの搭載部に電子部品が搭載されているとともに、一対の絶縁基板が互いに接合されて凹部内に電子部品が気密封止されていることから、気密封止の信頼性等の信頼性が高い電子装置を提供することができる。
本発明の実施形態の電子部品収納用パッケージおよび電子装置を、添付の図面を参照して説明する。図1は本発明の実施形態の電子部品収納用パッケージを示す断面図であり、図2は本発明の実施形態の電子装置を示す断面図である。図1および図2において同様の
部位には同様の符号を付している。
部位には同様の符号を付している。
実施形態の電子部品収納用パッケージは、それぞれに搭載部2aを含む凹部2が設けられた第1主面、および第1主面と反対側の第2主面を有する一対の絶縁基板1を含んでいる。凹部2の底面に搭載部2aが含まれている。これらの一対の絶縁基板1のうち一方の絶縁基板である第1絶縁基板1Aにおいて、凹部2内の搭載部2aから第1主面にかけて第1配線導体3が設けられている。また、一対の絶縁基板1のうち他方の絶縁基板である第2絶縁基板1Bにおいて、凹部2内の搭載部2aから第2主面にかけて第2配線導体4が設けられているとともに、第1主面から第2主面にかけて第3配線導体5が設けられている。
この電子部品収納用パッケージは、一対の絶縁基板のうち第1絶縁基板1Aが、その第1主面が第2絶縁基板1Bの第1主面に対向するようにひっくり返されて、第2絶縁基板1Bに接合される。すなわち、図2に示すように、これらの一対の絶縁基板1は、それぞれの凹部2同士が対向し合うとともに、第1配線導体3と第3配線導体5とが互いに接続されるように接合される。これらの一対の絶縁基板1が互いに接合されるときに凹部2内に電子部品6が気密に収容されて、電子装置20が形成される。
このような電子部品収納用パッケージおよびによれば、一対の絶縁基板1の間で熱膨張率が互いに近似し合い、応力が低減されている。したがって、絶縁基板1等においてひずみが生じる可能性が低減され、気密封止の信頼性および外部接続の信頼性等の信頼性の向上が可能な電子部品収納用パッケージを提供することができる。
また、上記電子部品収納用パッケージに電子部品6が収容されてなる電子装置20は、一対の絶縁基板1のいずれにおいてもひずみが発生する可能性が低減されているため、気密封止の信頼性が高い。
一対の絶縁基板1のそれぞれは、例えば、四角板状(直方体状)であり、上酸化アルミニウム質焼結体、ガラスセラミック焼結体、ムライト質焼結体またはチッ化アルミニウム質焼結体等のセラミック材料、もしくはエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂または液晶ポリマー等の有機樹脂材料等の絶縁材料によって形成されている。
この実施形態の例において、一対の絶縁基板1は、それぞれ複数の絶縁層が積層されて形成されている。積層された複数の絶縁層を含む絶縁基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、次のようにして作製される。すなわち、酸化アルミニウムを主成分とし、酸化ケイ素、酸化カルシウムおよび酸化マグネシウム等を含む原料の粉末を、有機溶剤およびバインダ等とともにシート状に成形して複数のセラミックグリーンシートを作製し、これらのセラミックグリーンシートを積層して焼成することによって、作製することができる。複数のセラミックグリーンシートが、焼成されて複数の絶縁層になる。
一対の絶縁基板1は、それぞれの第1主面に凹部2を有している。また、一対の絶縁基板1のうち第1絶縁基板1Aは、凹部2内の搭載部2aから第1主面にかけて第1配線導体3が設けられている。第2絶縁基板1Bは、凹部2内の搭載部2aから第2主面にかけて第2配線導体4が設けられ、第1主面から第2主面にかけて第4配線導体5が設けられている。
凹部2は、例えば複数の絶縁層のうち第1主面側に位置するものの中央部に貫通孔が設けられて形成されている。言い換えれば、複数の絶縁層のうち第1主面側に位置するものが枠状であることによって、絶縁基板1の第1主面に凹部2が設けられている。枠状の絶
縁層は、絶縁層となるセラミックグリーンシートの中央部に機械的な打ち抜き加工等の加工を施して貫通孔を設けることによって形成することができる。
縁層は、絶縁層となるセラミックグリーンシートの中央部に機械的な打ち抜き加工等の加工を施して貫通孔を設けることによって形成することができる。
また、絶縁基板1がエポキシ樹脂(熱硬化性)等の有機樹脂材料からなる場合(図示せず)であれば、未硬化のエポキシ樹脂を絶縁基板の形状および寸法に成型し、これを加熱して硬化させることによって、絶縁基板を作製することができる。
凹部2内に収容される電子部品6としては、半導体集積回路素子および光半導体素子等の半導体素子、センサ素子、容量素子、圧電素子および抵抗器等が挙げられる。半導体素子およびセンサ素子としては、半導体基板の主面に微細な電子機械機構が設けられてなる素子(いわゆるMEMS素子)等も含まれる。
第1配線導体3は、第1絶縁基板1(1A)の凹部2内に収容される電子部品6を第1絶縁基板1(1A)の第1主面に電気的に導出するための部分である。第1絶縁基板1(1A)の凹部2内に収容される電子部品6が、第1配線導体3のうち凹部2内に位置する部分にボンディングワイヤ7等の導電性接続材を介して電気的に接続される。これにより、この電子部品6が第1絶縁基板1(1A)の第1主面に電気的に導出される。
第2配線導体4は、第2絶縁基板1(1B)の凹部2内に収容される電子部品6を第2絶縁基板1(1B)の第2主面に電気的に導出するための部分である。第2絶縁基板1(1B)の凹部2内に収容される電子部品6が、第2配線導体4のうち凹部2内に位置する部分にボンディングワイヤ7等の導電性接続材を介して電気的に接続される。これにより、この電子部品6が第2絶縁基板1(1B)の第2主面に電気的に導出される。
第3配線導体5は、第2絶縁基板1(1B)の第1主面と第2主面との間を導通するための部分である。一対の絶縁基板1が、互いに凹部2同士が対向し合うように接合され、第1絶縁基板1(1A)の第1配線導体3と、第2絶縁基板1(1B)の第3配線導体5とが互いに電気的に接続されて、第1配線導体3が第2絶縁基板1(1B)の第2主面に電気的に導出される。
図3に、第2絶縁基板1(1B)の平面図を示している。図3(a)は、図1に示す電子部品収納用パッケージにおける第2絶縁基板1(1B)の第1主面を示す平面図であり、図3(b)はその第2主面を示す平面図である。図3において図1と同様の部位には同様の符号を付している。第2絶縁基板1(1B)の第2主面に、複数の第2配線導体4および複数の第3配線導体5が配列されて設けられている。第3配線導体5は第2絶縁基板1(1B)の上面から下面にかけて直線状に貫通しているが、第2配線導体4は、第2絶縁基板1(1B)の内部で横方向等に引き回されて、凹部2内の搭載部2aから第2主面にかけて設けられている。
第2絶縁基板1(1B)の第2主面は、一対の絶縁基板1を含む電子部品収納用パッケージ全体としての、外部電気回路に対向して実装される実装面になっている。この第2絶縁基板1(1B)の第2主面に導出されている第2配線導体4および第3配線導体5が外部電気回路に接続されれば、第1〜第3配線導体3〜5と電気的に接続される電子部品6が外部電気回路に電気的に接続される。
なお、第1絶縁基板1(1A)の第2主面には、第2絶縁基板1(1B)の第1主面における第3配線導体5の位置と対向する位置において、第1配線導体3が設けられている。
実施形態の一対の絶縁基板1の第1主面同士が互いに対向し合って接合されたときに、
凹部2内の気密性の確保のために、図4に示すような封止材8が設けられていてもよい。図4(a)および(b)は、それぞれ図2に示す電子装置20のA部分の一例を拡大して示す断面図である。図4において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。
凹部2内の気密性の確保のために、図4に示すような封止材8が設けられていてもよい。図4(a)および(b)は、それぞれ図2に示す電子装置20のA部分の一例を拡大して示す断面図である。図4において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。
図4(a)の例は、第1配線導体3と第3配線導体5とがはんだ等(図示せず)によって電気的に接続されているとともに、一対の絶縁基板1の第1主面同士の間の隙間が、樹脂材料等の絶縁材料からなる封止材8(8A)で充填された例である。
この場合には、例えば封止材8(8A)の種類および量等の選択の自由度がより大きい。そのため、例えば、電子装置20において求められる気密封止の信頼性、生産性等に応じて封止材8(8A)の設定を行なうことが容易である。
図4(b)の例は、異方導電性接着剤からなる封止材8(8B)によって一対の絶縁基板1の第1主面同士の間の隙間が充填されているとともに、封止材8(B)によって第1配線導体3と第3配線導体5とが互いに電気的に接続されている例である。この場合には、一対の絶縁基板1の間の気密封止と電気的な接続とを同時に行なうことができる。そのため、電子装置20としての生産性の向上においては有利である。
一対の絶縁基板1同士が互いに接合されて、凹部2内に収容された電子部品6の作動−−停止が繰り返されたときに、一対の絶縁基板1において発生する熱応力を低減する上では、例えば本実施形態のように、一対の絶縁基板1が、互いに同じ形状および寸法を有していることが好ましい。なお、この場合、一対の絶縁基板1において、両者の凹部2も、互いに同じ深さであり、平面視において同じ形状および寸法である。
一対の絶縁基板1の形状および寸法が互いに同じであれば、互いに接合された一対の絶縁基板1における膨張−収縮の挙動がより近似するため、両者の接合面に沿って生じる応力がさらに低減される。したがって、より一層気密封止の信頼性が高い電子装置を作製することが可能な電子部品収納用パッケージを提供することができる。また、より一層気密封止の信頼性が高い電子装置を提供することができる。
このように一対の絶縁基板1の形状および寸法が互いに同じであるときに、これらの絶縁基板1が、互いに同じ材料からなることがより一層好ましい。この場合には、一対の絶縁基板1同士の熱による膨張および収縮の挙動がさらに近似し合うため、より一層熱応力が低減され、電子部品収納用パッケージに電子部品が気密封止されたときの封止の信頼性がさらに向上する。
図5は、図1および図2に示す電子部品収納用パッケージおよび電子装置の変形例を示す断面図である。図5において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。
図5の例の電子部品収納用パッケージおよび電子装置において、第1絶縁基板1(1A)は、その第1主面から第2主面にかけて設けられた第4配線導体9をさらに有している。第4配線導体9は、例えば第2絶縁基板1(1B)に設けられた第3配線導体5と電気的に接続される。これにより、第1絶縁基板1(1A)の第1主面から第2絶縁基板1(1B)の第2主面にかけて貫通する導電路が形成される。この場合には、例えばこのような電子装置を複数個積層したときに、この導電路を介して、上側の電子装置(図示せず)を外部電気回路に電気的に接続させることもできる。
第4配線導体9の第3配線導体5との電気的な接続は、例えば、第4配線導体9のうち
第1絶縁基板1(1A)の第2主面に設けられた部分と、第3配線導体5のうち第2絶縁基板1(1B)の第1主面に設けられた部分とが互いに対向し合い、はんだ等の導電性接続材を介して互いに接合されることにより行なわれる。
第1絶縁基板1(1A)の第2主面に設けられた部分と、第3配線導体5のうち第2絶縁基板1(1B)の第1主面に設けられた部分とが互いに対向し合い、はんだ等の導電性接続材を介して互いに接合されることにより行なわれる。
図6は、図1および図2に示す電子部品収納用パッケージおよび電子装置の他の変形例を示す断面図である。図6において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。
図6の例の電子部品収納用パッケージおよび電子装置において、第2絶縁基板1(1B)は、その凹部2内の搭載部2aから第1主面にかけて設けられた第5配線導体10をさらに有している。また、第1絶縁基板1(1A)は、その第1主面から第2主面にかけて設けられた第4配線導体9を有している。
この場合、例えば、第5配線導体10のうち第2絶縁基板1(1B)の第1主面に設けられた部分が第4配線導体9と電気的に接続される。これにより、第2絶縁基板1(1B)の凹部2内に収容される電子部品6を第1絶縁基板1(1A)の第1主面に電気的に導出して、この第1主面側で外部電気回路または上側に積層される他の電子装置(図示せず)に電気的に接続することもできる。この場合には、電子装置としての電気的な接続の範囲がより大きくなり、例えば、複数の電子装置が上下に配置されるようなときの配置形態の自由度等が向上する。
なお、本発明の電子部品収納用パッケージおよび電子装置は、以上の実施の形態の例に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲であれば種々の変更は可能である。 例えば、図7に示すように、一対の絶縁基板1の互いに対向し合う第1主面の一部に凹凸部分が設けられていてもよい。なお、図7は、図1および図2に示す電子部品収納用パッケージおよび電子装置の他の変形例における要部を拡大して示す断面図である。図7において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。図7の例においては、第1絶縁基板1(1A)の第2主面の外周部に設けられたくぼみ部1aと、第2絶縁基板1(1B)の第1主面の外周部に設けられた突出部1bとがかみ合うようになっている。この場合には、一対の絶縁基板1同士の位置合わせの容易性、および接合強度の点においてより有利になる。
くぼみ部1aおよび突出部1bは、例えば絶縁基板1となるセラミックグリーンシートの表面(第1主面)の一部に、加圧または切削等の加工を施したり、セラミックペーストを塗布したりすることで、その表面に部分的に凹凸を設けることにより形成することができる。
また、くぼみ部1aおよび突出部1bの角部分が円弧状に成形(面取り)されていてもよい。これにより、角部分を起点とした絶縁基板1におけるクラック等の機械的な破壊の可能性がより効果的に低減される。くぼみ部1aおよび突出部1bの角部分の成形は、例えば機械的な研磨、研削または切断等の加工によって行なうことができる。
また、以上の説明では、一対の絶縁基板1の両方(第1および第2絶縁基板1A、1B)が、それぞれの第1主面において凹部2を有する形態を例に挙げて説明したが、いずれか一方の絶縁基板1が凹部2を有する形態であってもよい。図8は、図1および図2の電子部品収納用パッケージおよび電子装置の他の変形例を示す断面図である。図8に示す例では、第2絶縁基板1(1B)のみが凹部2を有している。図8において図1および図2と同様の部位には同様の符号を付している。なお、以下の効果等は、第2絶縁基板1(1B)のみが凹部2を有している形態(図示せず)においても同様である。
図8の例においても、第1および第2絶縁基板1、2は、それぞれの第1主面の搭載部2aを囲む部分同士が対向し合って互いに接合されている。この第2絶縁基板1(1B)の凹部2と第1絶縁基板1(1A)との間に形成される容器内に、第1および第2絶縁基板1(1A、1B)にそれぞれ搭載された二つの電子部品2が収容され、気密封止される。
このような場合には、電子部品収納用パッケージおよび電子装置としての、より一層の低背化および生産性の向上の点においてより有効である。また、従来技術における、蓋体が一つの絶縁基板の凹部を塞いで接合される電子部品収納用パッケージ(図示せず)および電子装置(図示せず)の場合に比べて、絶縁基板1内に生じる応力が低減され、気密封止の信頼性等の信頼性向上の効果を得ることができる。ただし、応力の低減による信頼性の向上の点においては、例えば図1および図2の例にように一対の絶縁基板1の両方が凹部2を有する形態の方が好ましい。
1・・・絶縁基板
1a・・・くぼみ部
1b・・・突出部
2・・・凹部
2a・・・搭載部
3・・・第1配線導体
4・・・第2配線導体
5・・・第3配線導体
6・・・電子部品
7・・・ボンディングワイヤ
8・・・封止材
9・・・第4配線導体
10・・・第5配線導体
20・・・電子装置
1a・・・くぼみ部
1b・・・突出部
2・・・凹部
2a・・・搭載部
3・・・第1配線導体
4・・・第2配線導体
5・・・第3配線導体
6・・・電子部品
7・・・ボンディングワイヤ
8・・・封止材
9・・・第4配線導体
10・・・第5配線導体
20・・・電子装置
Claims (7)
- 第1絶縁基板および第2絶縁基板からなり、それぞれに搭載部を含む第1主面および該第1主面と反対側の第2主面を有しており、前記第1絶縁基板および前記第2絶縁基板の少なくとも一方の前記第1主面において前記搭載部を含む凹部を有する一対の絶縁基板と、前記第1絶縁基板において前記搭載部から前記第1主面の前記搭載部を平面視で囲む部分にかけて設けられた第1配線導体と、
第2絶縁基板において前記搭載部から前記第2主面の前記搭載部を平面視で囲む部分にかけて設けられた第2配線導体と、
前記第2絶縁基板において前記第1主面から前記第2主面にかけて設けられた第3配線導体とを備えており、前記一対の絶縁基板が、それぞれの前記第1主面の前記搭載部を平面視で囲む部分同士が対向し合うとともに、前記第1配線導体と前記第3配線導体とが互いに接続されるように接合されることを特徴とする電子部品収納用パッケージ。 - 前記一対の絶縁基板が、それぞれの前記第1主面において前記搭載部を含む前記凹部を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記一対の絶縁基板は、それぞれの外形が互いに同じ形状および寸法を有していることを特徴とする請求項2記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記一対の絶縁基板が、互いに同じ材料からなることを特徴とする請求項3記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第1絶縁基板において前記第1主面から前記第2主面にかけて設けられた第4配線導体をさらに備えていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の電子部品収納用パッケージ。
- 前記第2絶縁基板において前記搭載部から前記第1主面にかけて設けられた第5配線導体をさらに備えていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の電子部品収納用パッケージ。
- 請求項1〜請求項6のいずれかに記載の電子部品収納用パッケージと、
前記一対の絶縁基板のそれぞれの前記搭載部に搭載された電子部品とを備えており、
前記一対の絶縁基板が、それぞれの前記第1主面の前記搭載部を平面視で囲む部分同士が対向し合うとともに、前記第1配線導体と前記第3配線導体とが互いに接続されるように接合されていることを特徴とする電子装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017117833A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 京セラ株式会社 | 配線基板および電子装置 |
CN111566808A (zh) * | 2018-01-24 | 2020-08-21 | 京瓷株式会社 | 布线基板、电子装置以及电子模块 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4995580A (ja) * | 1973-01-12 | 1974-09-10 | ||
JPS60121650U (ja) * | 1984-01-27 | 1985-08-16 | 日本電気株式会社 | チツプキヤリア |
JP2009135353A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-18 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造に使用する樹脂接着材 |
JP2010177252A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Kyocera Corp | 電子部品搭載用基板および電子装置ならびに電子部品搭載用基板の製造方法 |
-
2013
- 2013-06-27 JP JP2013135188A patent/JP2015012077A/ja active Pending
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4995580A (ja) * | 1973-01-12 | 1974-09-10 | ||
JPS60121650U (ja) * | 1984-01-27 | 1985-08-16 | 日本電気株式会社 | チツプキヤリア |
JP2009135353A (ja) * | 2007-12-03 | 2009-06-18 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造に使用する樹脂接着材 |
JP2010177252A (ja) * | 2009-01-27 | 2010-08-12 | Kyocera Corp | 電子部品搭載用基板および電子装置ならびに電子部品搭載用基板の製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017117833A (ja) * | 2015-12-21 | 2017-06-29 | 京セラ株式会社 | 配線基板および電子装置 |
CN111566808A (zh) * | 2018-01-24 | 2020-08-21 | 京瓷株式会社 | 布线基板、电子装置以及电子模块 |
CN111566808B (zh) * | 2018-01-24 | 2023-08-22 | 京瓷株式会社 | 布线基板、电子装置以及电子模块 |
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