JP2015005567A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置は、基板Wを保持して回転させる基板保持部71,72,73,74,75と、基板Wの固有振動数を決定する固有振動数決定部41と、基板Wの固有振動数に基づいて、基板Wの回転速度を制御する処理制御部43とを備えたことを特徴とする。固有振動数決定部41は、所定の式を用いて算出されるか、または基板Wの振動を測定することによって決定される。
【選択図】図2
Description
本発明の好ましい態様は、前記固有振動数決定部は、前記基板に固有の諸元から該基板の固有振動数を算出することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板に固有の諸元は、前記基板の厚さ、直径、密度、ヤング率、ポアソン比を少なくとも含むことを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記固有振動数決定部は、音波の周波数を変えながら前記基板に前記音波を当て、前記基板から反射した音波の振幅を計測し、前記振幅が最も大きくなるときの音波の周波数から前記基板の固有振動数を決定することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記固有振動数決定部は、音波の周波数を変えながら前記基板に前記音波を当てて前記基板を振動させ、前記基板の振動の振幅を計測し、前記振幅が最も大きくなるときの音波の周波数から前記基板の固有振動数を決定することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記振動周波数計測器は、前記基板の表面の変位を測定する変位センサを備えており、前記変位の変動から前記振動周波数を決定することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記振動周波数計測器は、前記基板の表面に光を照射し、該基板からの反射光を受光し、該反射光の強度の変動から前記振動周波数を決定することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記基板の表面に流体を供給する流体供給機構と、前記流体の流量を調整する流量調整弁とをさらに備え、前記処理制御部は、前記基板の回転速度に従って前記流量調整弁を介して前記流体の流量を制御することを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記固有振動数決定部は、回転している前記基板の振動の振幅を測定し、前記処理制御部は、前記基板の振動の振幅が所定のしきい値よりも大きいときには、前記基板の回転を停止させることを特徴とする。
12 ロードポート
14a〜14d 研磨ユニット
16 第1洗浄ユニット(基板洗浄装置)
18 第2洗浄ユニット
20 乾燥ユニット
22 第1基板搬送ロボット
24 基板搬送ユニット
26 第2基板搬送ロボット
28 第3基板搬送ロボット
30 動作制御部
41 固有振動数決定部
43 処理制御部
44 入力装置
46 音波発生器
47 音波解析部
48 振動測定部
49 振動周波数計測器
51 変位センサ
52 振動解析部
53 光照射部
54 振動解析部
61〜64 流量調整弁
71〜74 保持ローラ
75 基板回転機構
77,78 ロールスポンジ
80,81 洗浄具回転機構
82 昇降駆動機構
85,86 リンス液供給ノズル
87,88 洗浄液供給ノズル
89 ガイドレール
91 基板保持部
92 ペンスポンジ
94 アーム
95 チャック
96 リンス液供給ノズル
97 洗浄液供給ノズル
98 モータ
100 旋回軸
101 モータ
103 振動計
Claims (13)
- 基板を保持して回転させる基板保持部と、
前記基板の固有振動数を決定する固有振動数決定部と、
前記基板の固有振動数に基づいて、前記基板の回転速度を制御する処理制御部とを備えたことを特徴とする基板処理装置。 - 前記処理制御部は、前記基板の固有振動数に対応する回転速度とは異なる回転速度で前記基板が回転するように、前記基板の回転速度を制御することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記固有振動数決定部は、前記基板に固有の諸元から該基板の固有振動数を算出することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基板に固有の諸元は、前記基板の厚さ、直径、密度、ヤング率、ポアソン比を少なくとも含むことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記固有振動数決定部は、前記基板保持部に保持された前記基板の固有振動数を測定することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記固有振動数決定部は、音波の周波数を変えながら前記基板に前記音波を当て、前記基板から反射した音波の振幅を計測し、前記振幅が最も大きくなるときの音波の周波数から前記基板の固有振動数を決定することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記固有振動数決定部は、音波の周波数を変えながら前記基板に前記音波を当てて前記基板を振動させ、前記基板の振動の振幅を計測し、前記振幅が最も大きくなるときの音波の周波数から前記基板の固有振動数を決定することを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 回転している前記基板の表面の振動周波数を計測する振動周波数計測器をさらに備え、
前記処理制御部は、前記基板の固有振動数および前記振動周波数に対応する回転速度とは異なる回転速度で前記基板が回転するように、前記基板の回転速度を制御することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記振動周波数計測器は、前記基板の表面の変位を測定する変位センサを備えており、前記変位の変動から前記振動周波数を決定することを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記振動周波数計測器は、前記基板の表面に光を照射し、該基板からの反射光を受光し、該反射光の強度の変動から前記振動周波数を決定することを特徴とする請求項8に記載の基板処理装置。
- 前記処理制御部は、前記基板の回転速度に従って前記基板の処理時間を変化させることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記基板の表面に流体を供給する流体供給機構と、
前記流体の流量を調整する流量調整弁とをさらに備え、
前記処理制御部は、前記基板の回転速度に従って前記流量調整弁を介して前記流体の流量を制御することを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 前記固有振動数決定部は、回転している前記基板の振動の振幅を測定し、前記処理制御部は、前記基板の振動の振幅が所定のしきい値よりも大きいときには、前記基板の回転を停止させることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか一項に記載の基板処理装置。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018150709A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び振動検出方法 |
WO2021117493A1 (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理方法及び基板液処理装置 |
CN114290156A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-08 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 硅片抛光过程中的测厚方法、系统及抛光装置 |
CN114396772A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-04-26 | 佛山市天劲新能源科技有限公司 | 一种具有在线检测含水率功能的锂电池烘干装置及方法 |
JP7471671B2 (ja) | 2022-04-12 | 2024-04-22 | Aiメカテック株式会社 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101542231B1 (ko) | 2015-04-10 | 2015-08-07 | (주)에스티글로벌 | 진동감지센서를 포함하는 웨이퍼 가공장치 |
JP6545396B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2019-07-17 | 株式会社Kokusai Electric | 基板処理装置、振動検出システム及びプログラム |
US11948811B2 (en) * | 2019-12-26 | 2024-04-02 | Ebara Corporation | Cleaning apparatus and polishing apparatus |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012513684A (ja) * | 2008-12-23 | 2012-06-14 | シン マテリアルズ アクチェンゲゼルシャフト | ウェーハを含む層システムを分離する方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000100771A (ja) | 1998-09-28 | 2000-04-07 | Ebara Corp | 吊下式基板洗浄乾燥装置 |
US6403322B1 (en) * | 2001-03-27 | 2002-06-11 | Lam Research Corporation | Acoustic detection of dechucking and apparatus therefor |
US8042211B2 (en) * | 2005-08-16 | 2011-10-25 | Whirlpool Corporation | Method of detecting an off-balance condition of a clothes load in a washing machine |
US20070221125A1 (en) * | 2006-03-24 | 2007-09-27 | Tokyo Electron Limited | Semiconductor processing system with wireless sensor network monitoring system incorporated therewith |
JP4767767B2 (ja) * | 2006-06-19 | 2011-09-07 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理方法および基板処理装置 |
JP4989370B2 (ja) * | 2006-10-13 | 2012-08-01 | 大日本スクリーン製造株式会社 | ノズルおよびそれを備える基板処理装置 |
JP5539154B2 (ja) * | 2010-10-27 | 2014-07-02 | キヤノン株式会社 | アライメント方法、アライメント装置、及び有機el素子製造装置 |
-
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- 2013-06-19 JP JP2013128711A patent/JP6180811B2/ja active Active
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2014
- 2014-06-16 US US14/305,309 patent/US10032656B2/en active Active
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012513684A (ja) * | 2008-12-23 | 2012-06-14 | シン マテリアルズ アクチェンゲゼルシャフト | ウェーハを含む層システムを分離する方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018150709A1 (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び振動検出方法 |
JP2018133515A (ja) * | 2017-02-17 | 2018-08-23 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理装置及び振動検出方法 |
WO2021117493A1 (ja) * | 2019-12-09 | 2021-06-17 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板液処理方法及び基板液処理装置 |
CN114290156A (zh) * | 2021-11-30 | 2022-04-08 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 硅片抛光过程中的测厚方法、系统及抛光装置 |
CN114290156B (zh) * | 2021-11-30 | 2023-05-09 | 浙江晶盛机电股份有限公司 | 硅片抛光过程中的测厚方法、系统及抛光装置 |
CN114396772A (zh) * | 2022-01-24 | 2022-04-26 | 佛山市天劲新能源科技有限公司 | 一种具有在线检测含水率功能的锂电池烘干装置及方法 |
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