JP2014531759A - 薄いガラス基板用のキャリアおよびその使用方法 - Google Patents
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- 基板処理チャンバ内において、大面積ガラス基板(101)、特に少なくとも0.174m2の面積を有する大面積ガラス基板(101)を支持するキャリア(100)であって、
前記ガラス基板の上側で前記基板を保持するように構成され、前記基板を処理する間、前記基板の重量の少なくとも60%を支えるように構成された少なくとも1つの固定要素(122;422、522)と、
前記基板を処理する間、前記基板を本質的に垂直な配向で保持するように適合された少なくとも1つの支持部分(110)と
を備えるキャリア(100)。 - 前記少なくとも1つの固定要素(122;422、522)が、基板エリア内において本質的に吊り下げられている前記基板を提供するように構成された、請求項1に記載のキャリア。
- 前記少なくとも1つの固定要素が、ローラおよび斜面クランプ要素(122)、ばねクランプ要素(422)およびニーレバークランプ要素(522)からなる群から選択される少なくとも1つの要素を含む、請求項1または2に記載のキャリア。
- 前記少なくとも1つの固定要素が、前記基板エリアの上側の長さの少なくとも50%にわたって伸びる長さを有する少なくとも1つのローラおよび斜面クランプ要素を含む、請求項3に記載のキャリア。
- 前記少なくとも1つの固定要素が、前記基板エリアの上側の長さの少なくとも50%にわたって伸びる長さにわたって分配された複数のローラおよび斜面クランプ要素を含む、請求項3または4に記載のキャリア。
- 前記少なくとも1つの固定要素が、少なくとも1つのばねクランプ要素、典型的には2重ばねクランプ要素を含む、請求項3ないし5のいずれか一項に記載のキャリア。
- 前記垂直な配向で前記基板の重力に対して本質的に直角の力を受けるように構成された1つまたは複数の側部固定要素(124)をさらに備える、請求項1ないし6のいずれか一項に記載のキャリア。
- 前記少なくとも1つの固定要素が、0.1mmから1.8mmの厚さを有する前記基板を固定するように構成された、請求項1ないし7のいずれか一項に記載のキャリア。
- 基板エリアで前記基板を配置するように構成されており、前記支持部分が、少なくとも前記基板の周縁と接触するように適合された表面を有する、請求項1ないし8のいずれか一項に記載のキャリア。
- 前記支持部分が、前記基板の1つの側だけで、前記基板と接触するように構成された、請求項1ないし9のいずれか一項に記載のキャリア。
- 前記少なくとも1つの固定要素が、前記基板表面上への粒子の発生を低減させる、または、除去するように構成された、請求項1ないし10のいずれか一項に記載のキャリア。
- 大面積ガラス基板上に層を堆積させる装置(600)であって、
その中で層を堆積させるように適合された真空チャンバ(612)と、
請求項1ないし11のいずれか一項に記載のキャリアであって、特に前記本質的に垂直な配向が前記処理チャンバに対して提供される、キャリアを輸送するように適合された輸送システム(620)と、
前記層を形成する材料を堆積させる堆積源(630)と
を備える装置(600)。 - 大面積ガラス基板を処理する方法であって、
前記大面積ガラス基板、特に0.174m2以上のサイズを有する前記大面積ガラス基板をキャリア上に装着すること、
前記キャリアを前記基板とともに処理チャンバ内に移送することであって、前記基板が本質的に垂直な配向であり、前記基板が前記キャリアで吊り下げられている、移送すること、および
前記基板を処理すること
を含む方法。 - 前記キャリアが、請求項1ないし11のいずれか一項に記載のキャリアである、請求項13に記載の方法。
- 処理が非定常の処理であり、および/または、前記基板が前記移送の運動を停止させることなく、前記処理チャンバ内へ移送され、前記処理チャンバを通して移送され、前記処理チャンバの外へ移送される、請求項13または14に記載の方法。
- 前記基板の上縁の位置を固定する前記上部固定要素によって、前記吊り下げが提供される、請求項13ないし15のいずれか一項に記載の方法。
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