JP2014522093A - 検出装置 - Google Patents
検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014522093A JP2014522093A JP2014525445A JP2014525445A JP2014522093A JP 2014522093 A JP2014522093 A JP 2014522093A JP 2014525445 A JP2014525445 A JP 2014525445A JP 2014525445 A JP2014525445 A JP 2014525445A JP 2014522093 A JP2014522093 A JP 2014522093A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- detection device
- housing
- intermediate mechanism
- detector
- light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 90
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 78
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 46
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 128
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 39
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 18
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 claims description 17
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 12
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 11
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 9
- 239000012777 electrically insulating material Substances 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 7
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 claims description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 5
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 4
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000002918 waste heat Substances 0.000 claims description 4
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 claims description 3
- 230000004907 flux Effects 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000002985 plastic film Substances 0.000 claims description 3
- 229920006255 plastic film Polymers 0.000 claims description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 claims description 3
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- 239000002470 thermal conductor Substances 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 7
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 7
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 7
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 229920003223 poly(pyromellitimide-1,4-diphenyl ether) Polymers 0.000 description 2
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 230000001680 brushing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 239000002274 desiccant Substances 0.000 description 1
- 230000023077 detection of light stimulus Effects 0.000 description 1
- 238000007598 dipping method Methods 0.000 description 1
- 239000012772 electrical insulation material Substances 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000017525 heat dissipation Effects 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 1
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 238000007514 turning Methods 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/024—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J40/00—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas
- H01J40/02—Details
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J40/00—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas
- H01J40/16—Photoelectric discharge tubes not involving the ionisation of a gas having photo- emissive cathode, e.g. alkaline photoelectric cell
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/02—Tubes in which one or a few electrodes are secondary-electron emitting electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J43/00—Secondary-emission tubes; Electron-multiplier tubes
- H01J43/04—Electron multipliers
- H01J43/28—Vessels, e.g. wall of the tube; Windows; Screens; Suppressing undesired discharges or currents
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
- Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)
Abstract
Description
2 検出される光
3 電気出力部
4 ハウジング
5 検出器
6 光センサ
7 基板
8 光電陰極
9 入射光学系
10 アバランシェダイオード
11 冷却コンポーネント
12 中間要素
12a リブ構造
13 更なる冷却コンポーネント
14 ペルチェ素子
15 熱絶縁体
16 電気絶縁材料
17 半導体素子
18 中間機構
19 ガラスプレート;ガラスディスク
20 ガラスブロック
21 電気絶縁熱伝導要素;窒化アルミニウムリング
22 接着剤
23 ペルチェ素子
24 熱伝導要素;銅リング
25 残りの容積
26 入射開口部
27 突部
28 溝
29 弾性熱伝導リング
30 コネクタプラグ
35 エアギャップ
40 ダイノードカスケード
Claims (24)
- 受光し且つ電気信号を生成するように構成されている検出装置にして、ハウジングと該ハウジングに配置される検出器とを有する検出装置であって、前記検出器が、受光し且つ電子を放出するように構成されている光センサを備え、
前記光センサが、前記ハウジングより低い電位レベルであり、前記検出器が、電気絶縁中間機構を介して前記ハウジングと熱伝導的に接触し、前記ハウジング内の熱伝導方向が、検出される光の光伝搬方向と反対である、検出装置。 - a.前記光センサによって放出される電子が、もっぱら1つの単一加速ステージによって前記検出器内にて自由飛行方式で加速距離にわたって加速され、又は
b.前記光センサによって放出される電子が、1500V超、特に2000V超、特に4000V超、特に6000V超、特に約8000Vの加速電圧で、もっぱら1つの単一加速ステージによって前記検出器内にて自由飛行方式で加速距離にわたって加速され、又は
c.感光媒体から放出される電子が、複数の加速ステージにより倍増され、次に、そこから結果として生じる電流が測定される、請求項1に記載の検出装置。 - 前記加速ステージが、その下流に、自らの降伏電圧未満で動作されるアバランシェダイオードを有する、請求項2に記載の検出装置。
- 前記中間機構が、高電圧強度及び絶縁破壊強度を有するように構成される、請求項1〜3のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記光センサと前記ハウジングとの間の電位差が、1500V超、特に2000V超、特に4000V超、特に6000V超、特に約8000Vである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記中間機構が、前記光センサの光センサ平面と、前記ハウジングの入射開口部平面との間に配置され、その開口部平面に、検出される光のための入射開口部が存在する、請求項1〜5のいずれか一項に記載の検出装置。
- a.前記検出器が、専用の検出器ハウジングを備え、前記中間機構が、前記ハウジングと前記検出器ハウジングとの間に配置され、及び/又は
b.前記中間機構及び前記検出器ハウジングが、互いに機械的に係合し、及び/又は
c.前記検出器が、前記中間機構又は前記中間機構のコンポーネントの周方向溝に係合する周方向突部を有する専用の検出器ハウジングを備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の検出装置。 - 検出される光用に光路が画定され、その光路が、前記中間機構を通って延在するか又は中間機構を通り越して延在する、請求項1〜7のいずれか一項に記載の検出装置。
- a.検出される光用の前記光路が、前記ハウジング内にて、ガラス、特にガラスブロック、特に石英ガラスを特に完全に通って延在し、及び/又は
b.前記中間機構が、特に石英ガラスで作製された少なくとも1つのガラスブロックを備え、それを通って、検出される光用の前記光路が延在する、請求項8に記載の検出装置。 - 前記光路が、製作公差を補償するように働く、及び/又は熱絶縁要素として働くギャップによって中断される、請求項8又は9に記載の検出装置。
- 前記ギャップが、媒体、特にガス、及び/又は透明な熱及び電気絶縁液体、及び/又は透明で可撓性の熱絶縁固体で満たされている、請求項10に記載の検出装置。
- 前記中間機構が、前記光センサの光入射側で、前記光センサ及び/又は前記光センサを担持する基板と直接接触する、請求項1〜11のいずれか一項に記載の検出装置。
- a.前記中間機構が、層方式で積み重ねられる複数の冷却コンポーネントを備え、及び/又は
b.前記中間機構が、層方式で積み重ねられる複数の環状冷却コンポーネントを備え、及び/又は
c.前記中間機構は、層方式で積み重ねられる複数の冷却コンポーネントを備え、その積み重ね方向が、熱輸送方向と平行に延在し、及び/又は
d.前記中間機構が、層方式で積み重ねられる複数の環状冷却コンポーネントを備え、これら環状冷却コンポーネントが、検出される光用の前記光路が通って延在する、特に石英ガラスで作製されたガラスブロックを囲み、及び/又は
e.前記中間機構が、熱的に直列に配置される複数の冷却コンポーネントを備える、請求項1〜12のいずれか一項に記載の検出装置。 - a.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、熱伝導性の電気絶縁中間要素として構成され、及び/又は
b.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、熱流束が生じる受動冷却コンポーネントとして構成され、及び/又は
c.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、可撓性熱伝導材料で作製される、請求項13に記載の検出装置。 - 前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、能動冷却コンポーネントとして、特にペルチェ素子として、ヒートポンプとして、又はヒートパイプとして構成される、請求項13又は14に記載の検出装置。
- 前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが電気絶縁熱伝導材料で、特に窒化ホウ素、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、ダイヤモンド、人造ダイヤモンド、熱伝導ゴム、又はこれらの材料の組み合わせで、少なくとも部分的に作製される、請求項13〜15のいずれか一項に記載の検出装置。
- a.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、電気絶縁体及び熱導体の両方であり、及び/又は
b.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、複合材料で少なくとも部分的に作製され、及び/又は
c.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、電気絶縁体、特に電気絶縁膜、例えばプラスチック膜によって少なくとも部分的に囲まれた熱伝導材料、例えばアルミニウムで作製されたコアを備え、及び/又は
d. 前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、熱伝導方向の観点からコアより薄い電気絶縁体によって少なくとも部分的に囲まれた熱伝導材料、特にアルミニウムで作製されたコアを備える、請求項13〜16のいずれか一項に記載の検出装置(1)。 - 前記中間機構、又は前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、1W/mKより大きい、特に10W/mKより大きい、特に100W/mKより大きい、非常に特別に500W/mKより大きい熱伝導率を有する、請求項1〜16のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記中間機構、又は前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、10−7S/mより低い、特に10−8S/mより低い電気伝導率を有する、請求項1〜18のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記中間機構、又は前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、外面における漏れ電流強度を増加させるために、迷路によって、及び/又はリブによって、及び/又は少なくとも1つの溝によって、及び/又は少なくとも1つの突部によって延長された漏れ経路を備える、請求項1〜19のいずれか一項に記載の検出装置。
- a.前記中間機構のキャビティが、電気絶縁材料で満たされ、及び/又は
b.前記中間機構のキャビティが、電気及び熱絶縁材料で満たされ、及び/又は
c.前記冷却コンポーネント及び/又は前記更なる冷却コンポーネントが、熱電変換器として、特にペルチェ素子として構成され、そのキャビティが、電気絶縁材料で満たされ、及び/又は
d.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、熱電変換器として、特にペルチェ素子として構成され、そのキャビティが、電気及び熱絶縁材料で満たされ、及び/又は
e.前記冷却コンポーネントの少なくとも1つが、熱電変換器として、特にペルチェ素子として構成され、そのキャビティが、エポキシ樹脂又はシリコンで満たされる、請求項1〜20のいずれか一項に記載の検出装置。 - 前記ハウジングがガス密であり、及び/又は真空が前記ハウジングに存在する、請求項1〜21のいずれか一項に記載の検出装置。
- 前記検出器及び/又は(特に活動中の)冷却コンポーネントの廃熱が、前記ハウジングの少なくとも1つの入射窓及び/又は前記ハウジングの1つの入射光学系を加熱するように、前記中間機構が配置されている、請求項1〜22のいずれか一項に記載の検出装置。
- 請求項1〜23のいずれか一項に記載の検出装置を少なくとも1つ有する光学装置、特に顕微鏡、走査顕微鏡、又は共焦点走査顕微鏡。
Applications Claiming Priority (7)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102011052738.9 | 2011-08-16 | ||
DE201110052738 DE102011052738A1 (de) | 2011-08-16 | 2011-08-16 | Detektorvorrichtung |
DE102012101679.8 | 2012-02-29 | ||
DE102012101679A DE102012101679A1 (de) | 2011-08-16 | 2012-02-29 | Detektorvorrichtung |
DE102012101675A DE102012101675A1 (de) | 2011-08-16 | 2012-02-29 | Detektorvorrichtung |
DE102012101675.5 | 2012-02-29 | ||
PCT/EP2012/065967 WO2013024123A1 (de) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | Detektorvorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014522093A true JP2014522093A (ja) | 2014-08-28 |
JP6159723B2 JP6159723B2 (ja) | 2017-07-05 |
Family
ID=47076062
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012180130A Pending JP2013040939A (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
JP2014525445A Active JP6159723B2 (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
JP2012180129A Pending JP2013040938A (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
JP2012180131A Active JP6244085B2 (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012180130A Pending JP2013040939A (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
Family Applications After (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012180129A Pending JP2013040938A (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
JP2012180131A Active JP6244085B2 (ja) | 2011-08-16 | 2012-08-15 | 検出装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US8791402B2 (ja) |
EP (2) | EP2615621B1 (ja) |
JP (4) | JP2013040939A (ja) |
CN (4) | CN103890900B (ja) |
DE (1) | DE102011052738A1 (ja) |
WO (1) | WO2013024123A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022014111A1 (ja) * | 2020-07-17 | 2022-01-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管、電子管モジュール、及び光学装置 |
JP7360975B2 (ja) | 2020-03-10 | 2023-10-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器 |
Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9228983B2 (en) * | 2013-03-14 | 2016-01-05 | Rosemount Analytical Inc. | Process analytic device with improved thermal stability |
LU92584B1 (de) * | 2014-10-22 | 2016-04-25 | Leica Microsystems | Verfahren zum betreiben eines detektors |
LU92583B1 (de) * | 2014-10-22 | 2016-04-25 | Leica Microsystems | Detektorvorrichtung |
DE102014115417B4 (de) | 2014-10-22 | 2021-11-11 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Verfahren zum Betreiben eines Detektors sowie Detektorvorrichtung und optische Vorrichtung |
US9892893B2 (en) * | 2015-03-23 | 2018-02-13 | Molecular Devices, Llc | Cooled photomultiplier tube based light detector with reduced condensation, and related apparatuses and methods |
KR20180075628A (ko) * | 2015-10-28 | 2018-07-04 | 어플라이드 머티어리얼스, 인코포레이티드 | 기판 상의 재료의 프로세싱을 위한 장치, 프로세싱 장치를 위한 냉각 어레인지먼트, 그리고 기판 상에서 프로세싱되는 재료의 특성들을 측정하기 위한 방법 |
CA3010845C (en) | 2016-01-07 | 2023-09-19 | Amirhossein Goldan | Selenium photomultiplier and method for fabrication thereof |
RU2661887C2 (ru) * | 2016-05-18 | 2018-07-20 | Борис Федорович Санталов | Фотоэлектронный умножитель |
JP6508140B2 (ja) * | 2016-06-30 | 2019-05-08 | 東亜ディーケーケー株式会社 | 光電子増倍管、測定装置、製造用治具 |
US10520789B2 (en) * | 2016-08-25 | 2019-12-31 | Coherent Kaiserslautern GmbH | Modular ultraviolet pulsed laser-source |
JP7151068B2 (ja) * | 2016-12-26 | 2022-10-12 | 三菱マテリアル株式会社 | ケース付熱電変換モジュール |
US10753805B2 (en) * | 2017-04-05 | 2020-08-25 | Kaiser Optical Systems Inc. | Radiation shield for near-infrared detectors |
US10197441B1 (en) * | 2018-01-30 | 2019-02-05 | Applied Materials Israel Ltd. | Light detector and a method for detecting light |
US11037770B2 (en) * | 2018-07-02 | 2021-06-15 | Photonis Scientific, Inc. | Differential coating of high aspect ratio objects through methods of reduced flow and dosing variations |
CN109283172B (zh) * | 2018-11-23 | 2021-05-11 | 大连航创科技有限公司 | 一种小型化no气体检测装置 |
DE102019201031A1 (de) * | 2019-01-28 | 2020-07-30 | lbeo Automotive Systems GmbH | Kühlvorrichtung für einen Objekterkennungssensor |
US11268849B2 (en) | 2019-04-22 | 2022-03-08 | Applied Materials Israel Ltd. | Sensing unit having photon to electron converter and a method |
US11587776B1 (en) * | 2019-05-30 | 2023-02-21 | El-Mul Technologies Ltd | Ion detection systems |
JP7161622B2 (ja) * | 2019-07-18 | 2022-10-26 | 株式会社日立ハイテク | 撮像機構並びに撮像機構を備えた試料分析装置 |
NL2026789B1 (nl) * | 2020-10-29 | 2022-06-21 | Ultimaker Bv | Flow control in an extruder head |
JP2023161105A (ja) * | 2022-04-25 | 2023-11-07 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 冷蔵庫 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688747A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-03-29 | Omron Corp | 冷却式光検出装置 |
JPH11329338A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-30 | Hamamatsu Photonics Kk | 電子管装置 |
JP2004163272A (ja) * | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Hamamatsu Photonics Kk | 冷却式光検出装置 |
JP3884616B2 (ja) * | 1997-11-19 | 2007-02-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置およびこれを用いた撮像装置 |
JP4408261B2 (ja) * | 2002-08-01 | 2010-02-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3139733A (en) * | 1962-01-15 | 1964-07-07 | Transitron Electronic Corp | Thermoelectric cooling device for heat conductive light transparent surfaces |
US3814964A (en) * | 1973-01-19 | 1974-06-04 | Ace Sophisticates Inc | External photodetector cooling techniques |
CN85101204A (zh) | 1985-04-01 | 1987-01-24 | 株式会社岛津制作所 | 光电检测装置 |
US4926227A (en) | 1986-08-01 | 1990-05-15 | Nanometrics Inc. | Sensor devices with internal packaged coolers |
US4833889A (en) * | 1988-06-17 | 1989-05-30 | Microluminetics | Thermoelectric refrigeration apparatus |
FR2638023B1 (fr) | 1988-10-13 | 1992-07-31 | Telecommunications Sa | Dispositif cryostatique pour detecteur de rayonnements |
JPH0626926A (ja) * | 1992-05-12 | 1994-02-04 | Fujitsu Ltd | 赤外線検知器 |
US5311044A (en) | 1992-06-02 | 1994-05-10 | Advanced Photonix, Inc. | Avalanche photomultiplier tube |
JP3276418B2 (ja) * | 1992-09-24 | 2002-04-22 | 浜松ホトニクス株式会社 | イメージ管装置 |
JP3310404B2 (ja) * | 1993-07-23 | 2002-08-05 | 浜松ホトニクス株式会社 | 冷却型固体撮像装置 |
US5596228A (en) * | 1994-03-10 | 1997-01-21 | Oec Medical Systems, Inc. | Apparatus for cooling charge coupled device imaging systems |
US5796109A (en) * | 1996-05-03 | 1998-08-18 | Frederick Energy Products | Unitized radiation detector assembly |
JPH10281864A (ja) | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Nikon Corp | 熱型赤外線カメラ |
JP3398300B2 (ja) * | 1997-05-28 | 2003-04-21 | 京セラ株式会社 | 電子装置 |
US6705388B1 (en) * | 1997-11-10 | 2004-03-16 | Parker-Hannifin Corporation | Non-electrically conductive thermal dissipator for electronic components |
JP2003258323A (ja) * | 2002-03-07 | 2003-09-12 | Citizen Watch Co Ltd | 熱電素子 |
WO2004038461A2 (en) * | 2002-10-22 | 2004-05-06 | William Marsh Rice University | Random access high-speed confocal microscope |
US7157706B2 (en) * | 2003-05-28 | 2007-01-02 | Opto-Knowledge Systems, Inc. | Cryogenically cooled adjustable apertures for infrared cameras |
JP2005353846A (ja) | 2004-06-10 | 2005-12-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 光学デバイス及びその製造方法 |
JP4689234B2 (ja) * | 2004-10-29 | 2011-05-25 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光電子増倍管及び放射線検出装置 |
JP4932613B2 (ja) * | 2007-06-20 | 2012-05-16 | 株式会社堀場製作所 | 放射温度計 |
US8153981B2 (en) | 2009-02-04 | 2012-04-10 | General Electric Company | Radiation detector assembly |
DE102009036066A1 (de) | 2009-08-04 | 2011-02-10 | Carl Zeiss Microimaging Gmbh | Optoelektronischer Detektor und Betriebsverfahren für einen solchen |
DE102009036006B3 (de) | 2009-08-04 | 2010-12-30 | Modine Manufacturing Co., Racine | Herstellungsverfahren für Rohre, Walzenstraße, Abreißvorrichtung |
-
2011
- 2011-08-16 DE DE201110052738 patent/DE102011052738A1/de not_active Ceased
- 2011-12-14 US US13/325,087 patent/US8791402B2/en active Active
-
2012
- 2012-08-06 EP EP12179411.9A patent/EP2615621B1/de active Active
- 2012-08-06 EP EP12179402.8A patent/EP2560188B1/de active Active
- 2012-08-15 WO PCT/EP2012/065967 patent/WO2013024123A1/de active Application Filing
- 2012-08-15 JP JP2012180130A patent/JP2013040939A/ja active Pending
- 2012-08-15 JP JP2014525445A patent/JP6159723B2/ja active Active
- 2012-08-15 US US14/238,849 patent/US9450118B2/en active Active
- 2012-08-15 US US13/585,991 patent/US9130079B2/en active Active
- 2012-08-15 JP JP2012180129A patent/JP2013040938A/ja active Pending
- 2012-08-15 CN CN201280050606.5A patent/CN103890900B/zh active Active
- 2012-08-15 JP JP2012180131A patent/JP6244085B2/ja active Active
- 2012-08-15 US US13/586,019 patent/US9117947B2/en active Active
- 2012-08-16 CN CN201210292673.XA patent/CN102954809B/zh active Active
- 2012-08-16 CN CN201210292647.7A patent/CN102956721B/zh active Active
- 2012-08-16 CN CN201210292665.5A patent/CN102954837B/zh active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0688747A (ja) * | 1992-09-08 | 1994-03-29 | Omron Corp | 冷却式光検出装置 |
JP3884616B2 (ja) * | 1997-11-19 | 2007-02-21 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置およびこれを用いた撮像装置 |
JPH11329338A (ja) * | 1998-05-13 | 1999-11-30 | Hamamatsu Photonics Kk | 電子管装置 |
JP4408261B2 (ja) * | 2002-08-01 | 2010-02-03 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出装置 |
JP2004163272A (ja) * | 2002-11-13 | 2004-06-10 | Hamamatsu Photonics Kk | 冷却式光検出装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7360975B2 (ja) | 2020-03-10 | 2023-10-13 | 浜松ホトニクス株式会社 | 光検出器 |
WO2022014111A1 (ja) * | 2020-07-17 | 2022-01-20 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管、電子管モジュール、及び光学装置 |
JP7369675B2 (ja) | 2020-07-17 | 2023-10-26 | 浜松ホトニクス株式会社 | 電子管、電子管モジュール、及び光学装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103890900B (zh) | 2016-09-14 |
JP6244085B2 (ja) | 2017-12-06 |
DE102011052738A1 (de) | 2013-02-21 |
CN102954809B (zh) | 2016-10-19 |
US8791402B2 (en) | 2014-07-29 |
JP2013040940A (ja) | 2013-02-28 |
CN102954809A (zh) | 2013-03-06 |
JP2013040939A (ja) | 2013-02-28 |
CN103890900A (zh) | 2014-06-25 |
US20140306098A1 (en) | 2014-10-16 |
JP6159723B2 (ja) | 2017-07-05 |
CN102954837A (zh) | 2013-03-06 |
CN102954837B (zh) | 2017-04-26 |
EP2560188A1 (de) | 2013-02-20 |
US20130043378A1 (en) | 2013-02-21 |
US9130079B2 (en) | 2015-09-08 |
WO2013024123A1 (de) | 2013-02-21 |
US20130043376A1 (en) | 2013-02-21 |
EP2560188B1 (de) | 2020-04-22 |
EP2615621A1 (de) | 2013-07-17 |
US9117947B2 (en) | 2015-08-25 |
US20130043377A1 (en) | 2013-02-21 |
JP2013040938A (ja) | 2013-02-28 |
CN102956721A (zh) | 2013-03-06 |
EP2615621B1 (de) | 2020-06-17 |
CN102956721B (zh) | 2017-03-01 |
US9450118B2 (en) | 2016-09-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6159723B2 (ja) | 検出装置 | |
JP6047301B2 (ja) | 粒子光学鏡筒用の鏡筒内検出器 | |
KR102495284B1 (ko) | 전자관 | |
KR20010032273A (ko) | 광 검출 장치 및 이것을 사용한 촬상 장치 | |
JP4471608B2 (ja) | 電子管 | |
JP2006059575A (ja) | 光電陰極板及び電子管 | |
JP4424950B2 (ja) | 電子線検出装置及び電子管 | |
IL271432B2 (en) | photocathode and transmitting electron tube | |
JP4646316B2 (ja) | 電子管 | |
JP7360975B2 (ja) | 光検出器 | |
DE102012107480A1 (de) | Detektorvorrichtung | |
JP4471609B2 (ja) | 電子管 | |
JP2009217996A (ja) | 光電陰極、電子管及びイメージインテンシファイア | |
JP4471610B2 (ja) | 電子管 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150812 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160608 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160614 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20160913 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20161111 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161212 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170516 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6159723 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |