JP2014515179A - 光ガイドピクセル - Google Patents

光ガイドピクセル Download PDF

Info

Publication number
JP2014515179A
JP2014515179A JP2013556906A JP2013556906A JP2014515179A JP 2014515179 A JP2014515179 A JP 2014515179A JP 2013556906 A JP2013556906 A JP 2013556906A JP 2013556906 A JP2013556906 A JP 2013556906A JP 2014515179 A JP2014515179 A JP 2014515179A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
light
guide
pixel
layer
light detection
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2013556906A
Other languages
English (en)
Inventor
スン ア イ
グォアン ツェン
ジュドクウィッツ ベンジャミン
シュオ パン
ジャン ウ
チャングェイ ヤン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
California Institute of Technology CalTech
Original Assignee
California Institute of Technology CalTech
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by California Institute of Technology CalTech filed Critical California Institute of Technology CalTech
Publication of JP2014515179A publication Critical patent/JP2014515179A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/14625Optical elements or arrangements associated with the device
    • H01L27/14629Reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/10Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings of the optical waveguide type
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N21/6456Spatial resolved fluorescence measurements; Imaging
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L27/00Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
    • H01L27/14Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
    • H01L27/144Devices controlled by radiation
    • H01L27/146Imager structures
    • H01L27/14601Structural or functional details thereof
    • H01L27/1462Coatings
    • H01L27/14621Colour filter arrangements
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/63Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light optically excited
    • G01N21/64Fluorescence; Phosphorescence
    • G01N21/645Specially adapted constructive features of fluorimeters
    • G01N2021/6463Optics
    • G01N2021/6471Special filters, filter wheel

Abstract

光ガイドピクセルは、ガイド層及び光検出層を有する。ガイド層は、光ガイドを有する。光検出層は、光ガイドによって向けられる光を受信する光検出素子を有する。光ガイドは、光検出素子へ発光を向けるフィルタを含むことができる。
【選択図】図2

Description

関連出願の相互参照
この出願は、2011年3月3日に出願された、「Electronic petridish with bright field and fluorescence imaging capabilities for cell culture monitoring」というタイトルの米国仮特許出願番号第61/448,964号の優先権を主張する非仮出願である。この仮出願は、全ての目的のためにその全体を本明細書に参照として組み込むものとする。
この非仮出願は、以下の、同時継続中、且つ、本発明の譲受人に譲渡された特許出願である、2011年10月25日に出願された、「Scanning Projective Lensless Microscope System」というタイトルの米国特許出願番号第13/281,287号に関連し、全ての目的のためにその全体を本明細書に参照として組み込むものとする。
以下の非仮出願は、同日に出願され、全ての目的のためにその全体を本明細書に参照として組み込む:2012年3月2日に出願された「e−Petri Dishes, Devices,and Systems」というタイトルの米国特許出願番号第13/
本発明の実施形態は、一般的に、撮像素子及びセンサに関する。より具体的には、特定の実施形態は、明視野及び蛍光/リン光イメージング用の光ガイドピクセル、光ガイドピクセル装置、及び光ガイドピクセルシステムに関する。
明視野イメージングに加えて、蛍光/リン光イメージングは、生物医学及び生物学的科学における生物学的サンプルの構造的及び機能的な形態を研究あるいはモニタするのに重要である。例えば、蛍光/リン光イメージング技術は、生物学的サンプルのミクロ構造、サブミクロン構造、個々の分子さえも識別あるいは検出するのに用いることができる。
従来の蛍光顕微鏡は、生物学的問題を調査するのに蛍光イメージングを用いる一般的なツールである。典型的には、蛍光/リン光染料は、蛍光体で調査中の標本(例えば細胞)の一部にマーク又はタグを付けるために標本と混合させる。蛍光体は、一度励起されると分子に蛍光又はリン光をさせる分子のコンポーネントに関連する。蛍光体は、特定の波長の励起光からエネルギーを吸収することができ、異なる波長でエネルギーを再放出する。従来の蛍光顕微鏡は、サンプル内の蛍光体を活性化させる所定の波長(例えば青色光)の励起光でサンプルを照射する。それに応じて、蛍光体は、異なる波長(例えば緑色光)で蛍光/リン光発光を解き放つ。この発光は、通常、励起光よりずっと弱くて、各蛍光体から散乱する。
従来の殆どの蛍光顕微鏡は、サンプルと検出面との間にフィルタを有する。このフィルタは、励起光を吸収又は反射して、センサに異なる波長のより弱い蛍光/リン光発光を通過させる。従来の吸収性の染料を用いる場合、フィルタは減衰係数のため数マイクロメートル以上の厚さに設計することができる。
フィルタ内での弱い発光信号の回折、干渉、及び散乱は、蛍光イメージの解像度を低下させる。
本発明の実施形態は、明視野及び蛍光/リン光発光の検出及びイメージング用の光ガイドピクセル、光ガイドピクセル装置、及び光ガイドピクセルシステムに関する。光ガイドピクセル装置は、光検出層(例えばCMOSイメージセンサ)上の光ガイド(例えば金属グリッド)を有するガイド層を含む。各光ガイドは、光検出層における対応する光検出素子の方へ光を向ける。各光ガイドは、発光を光検出素子に向けるためのフィルタを含むことができる。光(例えば発光)を向けることにより、光信号の伝播を限定することによって解像度を向上させることができる。光ガイド間のピクセル間分離により、隣接する光検出素子間の信号の重なりを低減して解像度を向上させることができる。
一実施形態は、光を向けるための光ガイドを有するガイド層を含む光ガイドピクセルに関する。光ガイドピクセルは、光ガイドによって向けられた光を受信する光検出素子を有する光検出層も含む。
他の実施形態は、ガイド層及び光検出層を備える光ガイドピクセル装置に関する。ガイド層は、複数の光ガイドを有する。光検出層は、複数の光検出素子を有する。各光ガイドは、複数の光ガイドの対応する光ガイドによって向けられる光を受信するように構成される。
他の実施形態は、光ガイドピクセル装置及びプロセッサを備える光ガイドピクセルシステムに関する。光ガイドピクセル装置は、ガイド層及び光検出層を有する。ガイド層は、複数の光ガイドを有する。光検出層は、複数の光検出素子を有する。各光検出素子は、複数の光ガイドの対応する光ガイドによって向けられる光を受信するように構成される。プロセッサは、複数の光検出素子と通信する。プロセッサは、複数の光検出素子によって受信される光に基づいて、照明源とガイド層との間に位置する標本の1以上の投映像を生成するように構成される。
他の実施形態は、ガイド層、光検出層、光ガイドピクセルのアレイ、及びプロセッサを備える、光ガイドピクセルシステムに関する。ガイド層は、複数の光ガイドを有する。光検出層は、複数の光検出素子を有する。各光ガイドピクセルは、複数の光ガイドの光ガイド、及び、複数の光検出素子の対応する光検出素子を備える。光検出素子は、対応する光ガイドから向けられる光を受信するように構成される。プロセッサは、複数の光検出素子によって受信される光に基づいて、照明源とガイド層との間に位置する標本の1以上の投映像を生成するように構成される。
本発明のこれら及び他の実施形態は、以下においてさらに詳細に説明されている。
本発明の実施形態による、光ガイドピクセルシステムのブロック図である。 (a)は、一実施形態による光ガイドピクセルのアレイを有する光ガイドピクセル装置の斜視断面図、及び、単一の光ガイドピクセルの断面図である。(b)は、(a)に示す実施形態による光ガイドピクセル装置の透過斜視図である。 (a)〜(c)は、本発明の一実施形態による、例示的な明視野高解像度イメージング方式の中の光ガイドピクセル装置のコンポーネントの概略図である。 本発明の一実施形態による、例示的な低解像度蛍光イメージング方式の光ガイドピクセル装置のコンポーネントの概略図である。 本発明の一実施形態による、例示的な高解像度蛍光イメージング方式の光ガイドピクセル装置のコンポーネントの概略図である。 本発明の一実施形態による、リアルタイム分析用の同一方法によるその場(in−situ)イメージングを伴うオンチップ細胞培養プラットフォームにおけるオンチップ光ガイドピクセルシステムの概略図である。 本発明の一実施形態による、光ガイドピクセル装置の本体を製造するのに用いることのできるLIGAプロセスのステップの概略図である。 本発明の一実施形態による、光ガイドピクセル装置の本体を製造するのに用いることのできる反応性イオンエッチング(RIE)プロセスのステップの概略図である。 本発明の実施形態による、光ガイドピクセルシステムで用いられるコンピュータに存在することのできるサブシステムのブロック図である。
発明を実施するため形態
以下、本発明の実施形態について、添付の図面を参照して説明する。実施形態は、複数の光ガイドを有するガイド層及び複数の光検出素子(例えばイメージセンサピクセル)を有する光検出層を有する光ガイドピクセル装置に関する。各光ガイドは、光検出層における対応する光検出素子の方へ光を向ける。ある場合において、複数の光検出素子の各光検出素子は、単一の光ガイドからの光を受信する。光ガイドは、励起光を遮断し、且つ、発光を通過させるフィルタを含むこともできる。標本の近くの位置から光を向けることによって、光ガイドは散乱、回折、及び拡散を低減させ、これにより解像度を向上させることができる。光ガイド間のピクセル間分離は、各光ガイドから光を分離して、隣接する光検出素子の重なりを低減することによって、解像度をさらに向上させることができる。
動作において、照明源は、ガイド層の外側の標本に照明(例えば走査照明、焦点照明など)を提供する。標本は、光を変える。光ガイドは、対応する光検出素子に、変えられた光(例えば発光)及び変えられない光(例えば励起光)を向ける。複数の光検出素子は、複数の光ガイドを介して向けられる光を測定する。プロセッサは、光ガイドを介して向けられる光に基づいて、標本のイメージを生成することができる。ある場合において、照明源は、照明を多数の走査位置から運び去り、光検出器の表面上に連続したサブピクセルシフト投影像を生成する。この場合、プロセッサは、連続したサブシフト投影像に基づいて、標本の高解像度(すなわちサブピクセル解像度)イメージを生成することができる。他の場合において、照明源は、標本の上の励起光を提供する焦点アレイを走査して、蛍光体を局所的に励起する。この場合、プロセッサは、高解像度蛍光イメージを生成することができる。光ガイドを用いて、光ガイドピクセル装置は、焦点の合う平面を、検出器の表面からガイド層の外側面へとリレーする。このリレーによって、光ガイドピクセル装置は、標本と光検出器との間の追加の層(例えばフィルタ)有する標本の高解像度明視野イメージング及び/又は蛍光イメージングさえも達成することができる。
本発明の実施形態は、1以上の技術的な利点及び向上を提供する。利点は、イメージの解像度が向上することである。光ガイドは標本の近くの位置から光を向けて光信号の伝播を限定し、これにより解像度を向上させることができる。光ガイド間のピクセル間分離は、各光ガイドから光を分離したままに保ち、隣接する光検出素子の重なりを低減することによって、解像度をさらに向上させることができる。他の利点は、光ガイドピクセル装置をオンチップ装置とすることができることである。オンチップ光ガイドピクセル装置は、コンパクトなイメージングプラットフォームを生物学的サンプルの明視野及び蛍光高解像度イメージングの双方に提供することができ、それは生物学的及び医学的研究の強力なツールとなる。
I.光ガイドピクセルシステム
図1は、本発明の実施形態による光ガイドピクセルシステム10の図である。光ガイドピクセルシステム10は、ガイド層110(例えば金属グリッド)及び光検出層120を有する本体101を有する光ガイドピクセル装置100を含む。ガイド層110は、ピクセル間分離によって分離される8つの分離した光ガイド114を有する複数の光ガイド112を含む。光ガイド114は、光を向けることが可能な任意の適切な構造又は構造の組合せに関連することができる。図1において、各光ガイド114は、第1端部114(a)、第2端部114(b)、光透過領域(中心)114(c)、及び反射面114(d)を含む。この例では、各光ガイド114は、第2端部114(b)の方へ光を向けることができる。ガイド層110は、外側面116及び内側面118も含んでいる。光検出層120は、8つの分離した光検出素子124(例えばセンサピクセル)を有する複数の光検出素子122(例えばCMOSイメージセンサピクセル)を含む。光検出層120は、本実施形態におけるガイド層110の内側面118と一致する、検出面126を有する。
図1の光ガイドピクセル装置100は、x軸、y軸(図示せず)、及びz軸を含む。x軸及びy軸は、ガイド層110の外側面116での平面上にある。z軸は、この平面に対して垂直である。図示例の光ガイドピクセル装置100は、x方向の8つの光検出素子122に対応する8つの分離した光ガイド114をx方向に含んでいるが、他の実施形態では分離した光検出素子124及び/又は光ガイド114を任意の適切な数(例えば1、5、10、100、100など)、x方向及び/又はy方向に含むことができる。
光ガイドピクセルシステム10は、照明210を提供する照明源200も含む。加えて、光ガイドピクセルシステム10は、プロセッサ310、コンピュータ読み取り可能媒体(CRM)320、及びディスプレイ330を有するホストコンピュータ300を含む。ディスプレイ330及びCRM320は、プロセッサ310と通信する。プロセッサ310は、光ガイドピクセル装置100の光検出層120と通信する。図1では、単一の光ガイドピクセル装置100が示されているが、他の実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、多数の光ガイドピクセル装置100を含むことができる。多数の光ガイドピクセル装置100とプロセッサ310との間を通信する随意のリレーマルチプレクサを、多数の光ガイドピクセル装置100からプロセッサ310へ情報をリレーするのに用いることができる。
動作において、照明源200は、照明源200とガイド層110との間に位置する標本400に照明210を提供する。標本400は照明210を変え(例えば、活性化した蛍光体から励起光を吸収して再発光し)、これによりガイド層110の外側面116への投影を生成する。複数の光ガイド112は、変えられた、及び、変えられていない光を受信する。各光ガイド114は、光検出面126の方へ光を向ける。複数の光検出素子122は、複数の光ガイド112を介して受信する光を測定する。プロセッサ310は、複数の光ガイド112を介して測定された光に基づいて、標本400のイメージを生成することができる。ある方式において、照明源200は、照明210を多数の走査位置から運び去り、標本400の連続したサブピクセルシフト投影像を外側面116に生成することができる。この場合、プロセッサ310は、連続したサブピクセルシフト投影像に基づいて、標本400の高解像度(すなわちサブピクセル解像度)のイメージを生成することができる。他の方式において、照明源200は、各焦点の近くの標本400内の蛍光体を励起するための光焦点アレイの形態の照明210を提供することができる。焦点アレイは、標本400上で走査することができる。この方式において、プロセッサ310は、複数の光ガイド112を介して受信する光に基づいて、標本400の高解像度(すなわちサブピクセル解像度)の蛍光イメージを生成することができる。
図2(a)は、一実施形態による、光ガイドピクセル132のアレイを有する光ガイドピクセル装置100の斜視断面図、及び、単一の光ガイドピクセルの断面図である。図2(b)は、図2(a)の実施形態の光ガイドピクセル装置100の透過斜視図である。
図2(a)及び2(b)において、光ガイドピクセル装置100は、ガイド層110及び光検出層120を備える本体101を有する。ガイド層110は、24個の分離した光ガイド114の6×4のアレイの形態の複数の光ガイド112を含む。ガイド層110は、外側面116及び内側面118も含む。光検出層120は、24個の分離した光検出素子124の6×4のアレイの形態の複数の光検出素子122を含む。光検出層120は、本実施形態におけるガイド層110の内側面118と一致する検出面126を含む。光ガイドピクセル装置100は、x軸、y軸、及びz軸も含む。x軸及びy軸は、ガイド層110の外側面116での平面上にある。z軸は、この平面に対して垂直である。
図2(a)及び図2(b)において、光ガイドピクセル装置100の本体101は、分離した光ガイドピクセル130の二次元のアレイも含む。この二次元のアレイは、24個の分離した光ガイドピクセル132の6×4のアレイである。他の実施態様において、光ガイドピクセル装置100は、他の適切な寸法の二次元アレイを含むことができる(例えば10×100、100×100、1000×20、1000×1000など)。この光ガイドピクセル130のアレイは、隣接した光ガイドピクセル132間にピクセル間分離を有する。
光ガイドピクセル132は、単一の光ガイド114及び光ガイド114から向けられる光を受信するように構成される1以上の光検出素子124を含む構造、装置又はそれらの組合せに関連することができる。図2(a)及び2(b)において、各光ガイドピクセル132は、単一の光ガイド114を有するガイド層110を含む。各光ガイド114は、第1端部114(a)、第2端部114(b)、光透過領域(中心的)114(c)、及び円筒形の反射面114(d)を含む。光ガイド114は、第2端部114(b)の方へ光を向けることができる。この例では、光透過領域114(c)は、励起光を遮断し、且つ、照明源200とガイド層110と間の標本400(図示せず)内の活性化した蛍光体からの発光を通過させるフィルタ170を有する。
図2(a)及び図2(b)における、光ガイドピクセル装置100の蛍光/リン光イメージング方式において、ガイド層110の外側の照明源200は、照明源200とガイド層110との間に位置する標本400(図示せず)に励起光の照明210を提供する。標本400内の蛍光体は、励起光を吸収して異なる波長の光(発光)を再発光する。光ガイド112は、標本400によって変えられた、又は、変えられない光を受信する。光ガイド112のフィルタ170は、励起光を遮断し、且つ、発光を通過させる。複数の光検出素子122は、複数の光ガイド112を介して向けられる発光を測定する。プロセッサ310(図1に示される)は、複数の光検出素子122によって測定される発光に基づいて、標本400の蛍光イメージを生成することができる。
実施形態において、本体101は、多層又はモノリシック構造に関連することができる。本体101は、任意の適切な装置(例えば光ガイド114、光検出素子124、フィルタ170など)、あるいは装置の組合せを含むことができる。図1における例のような図示例においては、本体101は、ガイド層110及び検出層120を備える多層構造である。これらの実施形態の多層の本体101の各層は、任意の適切な厚さを有することができ、任意の適切な副層を有することができる。実施形態によっては、光ガイドピクセル装置100は、特定の層を有する多層の本体101を有することができるが、他の実施形態では、1以上の層を集積し、省略し、又は、追加し、あるいは、1以上の層の位置を変えることができる。例えば、一実施形態の多層の本体101は、細胞用の生体親和性材料でできていて、他の標本400が取り付けられて良く成長することができる、外側面116上のコーティングを含むことができる。別の例として、一実施形態の多層の本体101は、光検出層120とガイド層110との間の追加の透過層を含むことができる。別の例として、一実施形態の多層の本体101は、ガイド層110の外側面116の外側で、追加の透過層180(図3、4及び5に示される)を含むことができる。半導体及び/又はマイクロ/ナノ製造手順を多層の本体110の1以上の層を位置決めするのに用いることができる。
ガイド層110は、1以上の光ガイド114を有する層に関連することができる。光ガイド114は、ガイド層110により区画されるか、または、含まれることができる。光ガイド114間のガイド層110の部分は、隣接した光ガイド114間の交差から光を遮断することができる任意の材料でできていてもよい。例えば、この材料は、反射金属又は他の不透明な反射材料、薄い反射金属層で被覆された材料、光透過領域114(c)(例えば光ファイバフェースプレート)の材料より低い屈折率を有する材料とすることができる。ガイド層110は、任意の適切な厚さを有することができる。ある場合において、ガイド層110は、バックグランド励起光を減衰させるのに十分大きく、且つ、発光信号を測定する光検出器用の十分高いシグナル−バックグランド比を提供する厚さとすることができる。
光ガイド114は、光を向けることが可能な任意の適切な構造又は構造の組合せを有することができる。実施形態において、光ガイド114は、第1端部114(a)、光検出層120に近接した第2端部114(b)、第1端部114(a)と第2端部114(b)との間の光透過領域(中心)114(c)、及び、光透過領域114(c)及び第1端部114(a)と第2端部114(b)との間に近接する1以上の反射面114(d)を含む。これらの実施形態では、光は、1以上の反射面114(d)から反射することによって、第2端部114(b)の方へ向けられる。
光透過領域114(c)は、任意の適切な材料でできていることができる。光透過領域114(c)は、空隙とすることができ、材料で部分的に満たされる部分的な空隙とすることもでき、又は、材料で完全に満たすこともできる。場合によっては、光透過領域114(c)は、1以上の反射面114(d)によって画定される空隙を含むことができる。他の場合には、光透過領域114(c)は、1以上の反射面114(d)間の材料を含むことができる。
光ガイド114は、1以上の反射面114(d)を含む。ある場合において、1以上の反射面114(d)は、反射材料でできているガイド層110において形成される1以上の面とすることができる。例えば、1以上の反射面114(d)は、金属ガイド層110において形成される円筒状の孔の単一の外側円筒面とすることができる。他の場合において、1以上の反射面114(d)は、ガイド層110において、ガイド層110に形成される1以上の面を被覆する反射コーティングの1以上の面とすることができる。他の場合において、1以上の反射面114(d)は、第1の誘電材料の光透過領域114(c)と、より低い屈折率を有する他の誘電材料からなる光ガイド114間のガイド層の部分との間の界面によって形成することができる。このような光ガイド114の例は、光ファイバである。
1以上の反射面114(d)は、任意の適切な形状及びサイズを有することができる。場合によっては、反射面114(d)は、一定の断面形状(例えば円形、矩形、三角形、卵形など)、及び、第1端部114(a)から第2端部114(b)までのサイズを有することができる。図1において、例えば、光ガイド114の反射面114(d)は、一定の直径を有する円筒状の面である。他の実施形態において、断面形状及び/又はサイズは、第1端部114(a)から第2端部114(b)まで変化させることができる。例えば、反射面114(d)は、円錐形とすることができる。実施形態の光ガイド114の反射面114(d)の寸法(例えば直径、幅など)は、任意の適切な値(例えば、0.50ミクロン、1ミクロン、3ミクロン、6ミクロン、10ミクロンなど)とすることができる。場合によっては、光ガイド114は、対応する光検出素子124(例えば1〜10ミクロン)の一部分の寸法(例えばピクセルサイズ)にサイズを合わせて、隣接する光検出素子124との重なりを低減することができる。
実施形態の光ガイド114は、対応する光検出素子と関連した任意の適切な位置及び任意の適切な方向(例えば、z方向又は傾斜した方向)とすることができる。図1において、各光ガイド114は、z方向に方向付けられ、単一の光検出素子122の中央の周りに中心を置いている。この位置及び方向によって、光ガイド114は、光を第2端部114(b)の外へ向け、通常は、対応する単一の光検出素子122の中心へ向ける。他の実施態様において、光ガイド114は、2以上の光検出素子122の中心の周りに中心を置くことができる。他の実施態様において、所定の角度で光を向けるために、光ガイド114をz軸から所定の角度で方向付けることができる。
実施形態によっては、光ガイド114の断面形状は、真っ直ぐな柱状、傾斜した柱状、及び切頭体(切断した円錐又は角錐)から変えることができる。また、光ガイド114の配置は、多くの異なる形状の間で変えることができ、製造工程の間に用いるフォトマスクパターンで決定される。照明210の種類及び光ガイドピクセル132の高さに応じて、異なる形状により、蛍光発光の異なる集光効率及び/又は励起光の高い遮断率をもたらすことができる。
実施形態において、光ガイドピクセル装置100の1以上の光ガイド114は、(図2(a)に示すように)フィルタ170を含むことができる。フィルタ170は、照明源200からの特定の波長(すなわち励起光)の光を選択的に遮断する(例えば、吸収する又は反射する)ことができ、且つ、他の波長(例えば、発光を含む光)の光を、光ガイド114を介して向けることができる、任意の適切な光学フィルタ材料(例えば吸収性の色染料、多数の誘電層)に関連することができる。実施形態において、フィルタ170は、照明源200によって提供される狭いバンド幅を有する励起光の照明210を遮断することができ、励起光によって活性化する標本400内の蛍光体からの発光を含む他の波長の光を通過させることができる材料とすることができる。例えば、照明源200は、青色の励起光の照明210を提供して標本400の蛍光体を励起することができる。蛍光体は、それに応答して緑色の光を発することができる。光ガイド114のフィルタ170によって、照明源200の青色の励起光を遮断して、且つ、緑色の発光を光検出素子124に通過させることができる、緑色のフィルタとすることができる。例示的な実施形態では、光ガイド114に単一のフィルタ170を含んでいるが、他の実施形態では、光ガイド114に多数のフィルタを含むことができる。
図1に示すような実施形態において、ガイド層110は、複数の光ガイド112を含む。複数の光ガイド112は、任意の適切な数(例えば1、3、6、8、10、100など)の光ガイド114を有し、任意の適切な配置(一次元アレイ、二次元アレイ、一次元アレイと二次元アレイとの組み合わせ)とすることができる。複数の光ガイド112は、ガイド層110において、任意の適切な方向に方向付けることができる。図1において、複数の光ガイド112は、x方向に方向付けられている。複数の光ガイド112は、ピクセル間分離を有し、それは複数の光ガイド112の2つの隣接した光ガイド114の中心軸間の、x−y平面における距離として定義される。
光検出層120は、光を受信して、その受信した光に基づいて光データを有する信号を生成することができる、装置(例えば光検出素子124)、構造(例えば材料の副層)、又はそれらの組み合わせを含む層に関連することができる。信号は、光電効果から電流の形態であってもよい。実施形態によっては、光検出層120は、複数の副層(例えば、パッシベーション副層、マイクロレンズ副層、フィルタ副層、活性化した感光性の副層、外側の保護副層など)を備えることができる。例えば、光検出層120は、外側のパッシベーション副層、内側のマイクロレンズ副層、及び内部の活性化した感光性の副層を含むことができる。別の例として、光検出層120は、活性化した感光層のみを含むことができる。この例では、光検出層120は、予め製造されたイメージセンサからカラーフィルタ及びマイクロレンズ副層を除去することにより製造することができる。カラーフィルタ及びマイクロレンズ副層は、予め製造したイメージセンサを一定の間(例えば80Wで10分間)酸素プラズマの下で処理することによって除去することができる。
実施形態において、光検出層120は、1以上の分離した光検出素子124を含む。光検出素子124は、単一の光検出素子124、光検出素子124の一次元アレイ、光検出素子124の二次元アレイ、又は光検出素子124の多数の一次元アレイ及び/又は二次元アレイのような任意の適切な形態に配置することができる。適切な配置のいくつかの例は、相補型金属酸化物半導体(CMOS)アレイ、アバランシェフォトダイオード(APD)アレイ、電荷結合素子(CCD)アレイ、フォトダイオード(PD)アレイ、光電子増倍管(PMT)アレイ、及び他の適切なアレイを含む。これら及び他のアレイは、市販されている。光検出素子124は、モノクロの検出器又はカラー検出器(例えばRGB検出器)とすることができる。光検出素子124は、任意の適切なサイズ(例えば1〜10ミクロン)及び任意の適切な形状(例えば円形、矩形、正方形など)とすることができる。例えば、CMOS又はCCDアレイの光検出素子124は、1〜10ミクロンとすることができ、APD又はPMTアレイの光検出素子124は、1〜4mmと同じ大きさとすることができる。
光データは、光検出素子124によって受信される光に関連した任意の適切な情報に関連する。光データは、例えば、光の強度、光の波長、光の周波数、光の分極、光の位相、光の回転角運動量、及び/又は光検出素子124によって受信される光と関連する他の光特性のような、検出される光の特性に関する情報を含む。光のデータは、光を受信して特定の信号を生成する光検出素子120(a)の位置も含むことができる。光データは、光が特定の光検出素子124によって検出された時間も含むことができる。光データは、単一の(サンプル)時間に基づくか、多数の(サンプル)時間に基づくか、又は、時間変化ベースに基づくことができる。場合によっては、光データは、1つ以上の光検出素子124によって受信される発光に関連した光データである、発光データを含むことができる。
実施形態において、光検出層120(例えば光センサ)は、ガイド層110における複数の光ガイド112を介して向けられる光を受信するための複数の分離した光検出素子122(例えばセンサピクセル)を含む。複数の光検出素子122は、任意の適切な数(1、2、4、10、16、100、1000など)の光検出素子124を含むことができる。複数の光検出素子122は、光検出層120における光検出素子124の部分又は二次元アレイとすることができる。図2(a)及び2(b)において、光検出層120は、光検出素子124の二次元アレイ全体である複数の光検出素子122を含む。一実施形態において、複数の光検出素子122は、光検出素子124の二次元アレイの一部とすることができ、光検出素子の2次元アレイの他の部分を、ガイド層110で被覆して光ガイド114間のピクセル間分離を拡大することができる。
図1及び他の実施形態において、複数の光検出素子122における各光検出素子124は、一意的に単一の光ガイド114に対応する。これらの例において、各光検出素子124は、通常、対応する単一の光ガイド114から向けられる光のみを受信する。他の実施形態において、複数の光検出素子122の多数の光検出素子124は、単一の光ガイド114に対応する。これらの実施形態では、多数の光検出素子124は、通常、対応する光ガイド114からの光のみを受信する。
図1及び他の実施形態において、光ガイドピクセル装置100によって検査される(例えば、撮像される)標本400は、ガイド層110の外側面116にある単一の物体(例えば、細胞)とすることができる。図示の実施形態では、単一の物体が示されているが、他の実施形態では、検査される標本400は、任意の適切な数(例えば1、2、10、100、1000など)の物体を含むことができる。実施形態の光ガイドピクセル装置100によって検査される標本400には、例えば、生物学的又は無機のエンティティのような、任意の適切な種類の物体を含むことができる。生物学的エンティティの例は、細胞、細胞コンポーネント(例えばタンパク質)、バクテリア又はウイルスのような微生物などを含む。
図1において、光ガイドピクセルシステム10は、照明源200を含む。他の実施態様において、照明源200は、光ガイドピクセルシステム10と分離することができる。照明源200は、標本400に照明210を提供することができる、任意の適切な装置/構造、装置/構造の組合せ、又は他の適切な光源(例えば環境照明、熱源など)に関連することができる。適切な装置及び構造は、自然に利用でき、及び/又は、市販されているものとすることができる。適切な構造のいくつかの例は、アパーチャ、アパーチャアレイ、焦点を生成するホログラフィプレート、焦点アレイ発生器、及び他の適切な構造を含む。例えば、照明源200は、アパーチャを介して、標本400の局所的領域に光を提供することができる。他の例では、照明源200は、図7に示すように、サンプルの局所的領域に光を提供する金属プローブを含むことができる。他の例では、照明源200は、集束ビームアレイを生成する集束ビームアレイ発生器を含むことができる。他の例では、照明源200は、焦点アレイを生成するホログラフィプレートを含むことができる。適切な装置のいくつかの例は、熱源、LED、連続波レーザ、パルスレーザなどを含むことができる。照明源200は、任意の適切な位置に配置することができ、及び/又は、必要に応じて標本400に照明200を向けるのに適切なコンポーネント(例えば、反射面、レンズ、アパーチャアレイなど)を含むことができる。
照明源200は、所望のイメージング方式に適した特性(例えば波長、強度、分極、位相など)を有する照明210を提供する。照明210は、連続的、又は、例えばパルスレーザ(例えば、モードロックレーザ、Qスイッチレーザなど)のような時間ゲートとすることができる。照明210は、任意の適切な形態(例えば、1以上のビーム、焦点アレイ、明視野、多数のコヒーレント光源によって発生する干渉パターンなど)とすることができる。
蛍光イメージング方式において、照明源200は、励起光を有する照明210を提供することができる。励起光は、検査される標本400内の蛍光体を活性化させることができる、特定の波長又は狭いバンド幅の波長を有する光に関連することができる。特定の波長又は狭いバンド幅の波長は、用いる蛍光染料の励起スペクトルに基づくものとすることができる。蛍光イメージング方式において用いることができる適切な照明源のいくつかの例は、レーザ、LEDなどを含む。場合によっては、ホログラフィプレート又は他の適切な構造を用いて、照明210を提供するための焦点アレイを生成することができる。
一実施形態において、照明源200は、異なる時間に異なる走査位置から照明210を提供することができる走査型照明源とすることができる。走査は、例えば、走査ステージ又はミラー、LEDアレイ、フラットパネルディスプレイスクリーン、又は他の適切な装置を含む、様々な方法を用いて達成することができる。一例として、照明源200は、異なる時間(t=t、t、tなど)に異なる走査位置から照明210を提供するために、ディスプレイ全体の異なる走査位置に並進(シフト)することができる光要素(例えば、1以上のディスプレイピクセルのセット)を有するディスプレイ(例えばLCD)を有する装置(例えばスマートフォン)とすることができる。シフトする光要素は、外側面116上の標本400のシフトした投影を生成するために異なる時間に異なる照明角度から標本400に照明210を提供することができる。別の例として、照明源200は、ホログラフィプレート、又は差動光学エレメント、又は焦点アレイを生成することができる他の構造を含むことができる。この例では、照明源200は、時間変動ベースで標本400上の異なる照明スポットに照明210を提供する、標本400全体の焦点アレイを走査する、走査機構(例えばラスタスキャナ)を含むことができる。
図1の光ガイドピクセルシステム10は、光検出120と通信するように連結されたホストコンピュータ300を含む。ホストコンピュータ300は、CRM320及びディスプレイ330と通信するように連結されたプロセッサ310を備えている。あるいは、ホストコンピュータ300は、光ガイドピクセルシステム10とは別個の装置とすることができる。ホストコンピュータ300は、例えば、スマートフォン、タブレットなどのような任意の適切なコンピュータとすることができる。
図1において、プロセッサ310(例えばマイクロプロセッサ)は、複数の光検出素子122によって受信される光に関連した光検出器120からの光データ(例えば発光データ)を有する信号を受信する。プロセッサ310は、光データを分析することができる。場合によっては、プロセッサ310は、光検出器120から受け取った光データに基づいて、標本400に関連したイメージデータを生成することができる。イメージデータは、ディスプレイ330又は他の適切な出力装置上に、標本400の一部のイメージを生成するのに用いることができる任意の適切なデータに関連する。
実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、標本400又は標本400の一部の明視野及び/又は蛍光イメージを生成することができる。例えば、実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、明視野及び多物体の標本400の単一の物体(例えば細胞又は細胞コンポーネント)の蛍光イメージを生成することができる。実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、高解像度イメージ(例えばサブピクセル解像度イメージ)及び/又は低解像度イメージを生成することができる。実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、カラー及び/又は白黒のイメージを生成することができる。
プロセッサ310は、光ガイドピクセルシステム10のいくつかの機能を実行するためのCRM320に格納されるコードを実行する。光ガイドピクセルシステム10の適切な機能は、発光データ及び他の光データを読み取ること、発光データ及び他の光データの分析を実行すること、発光データを用いて蛍光イメージデータを生成すること、他の光データを用いて明視野イメージデータを生成すること、連続したサブピクセルシフト投影像に基づいて高解像度イメージを生成することなどを含む。
CRM320(例えばメモリ)光ガイドピクセルシステム10のいくつかの機能を実行するためのコードを格納している。コードは、プロセッサ310によって実行可能である。実施形態において、CRM320は、a)光検出器120から受け取った発光データ及び他の光データを読み取るためのコード、b)発光データを用いて標本400の蛍光イメージデータを生成するためのコード、b)光データに基づいて標本400の明視野イメージデータを生成するためのコード、c)イメージデータに基づいてディスプレイ330上にイメージを生成するためのコード、d)標本400の連続したサブピクセルシフト投影像に基づいて標本400の高解像度イメージを生成するためのコード、及び/又は、f)光ガイドピクセルシステム10の機能を実行するための他の任意の適切なコードを備えることができる。CRM320は、信号処理又は当業者によって作成されることができる他のソフトウェア関連機能のいずれかを実行するためのコードを含むことができる。コードはC、C++、Pascalなどを含む、任意の適切なプログラミング言語とすることができる。
光ガイドピクセルシステム10は、プロセッサ310と通信するように連結されるディスプレイ330を含む。任意の適切なディスプレイを用いることができる。一実施形態において、ディスプレイは、DEDD100の一部とすることができる。ディスプレイ330は、光ガイドピクセルシステム10のユーザに、検査された分析結果(例えば、標本400の物体の蛍光イメージ)を提供することができる。
一実施形態において、光ガイドピクセル装置100は、第1の複数の光ガイド及び第2の複数の光ガイドを有するガイド層を有することができる。光ガイドの第1の複数及び第2の複数の光ガイドは、互いに散在していてもよい。第1の複数の光ガイドの光ガイド114は、フィルタを備えており、第2の複数の光ガイドの光ガイド114は、フィルタを備えていない。光ガイドピクセル装置100は、第1の複数の光ガイド112によって向けられる光を受信する第1の複数の光検出素子122及び第2の複数の光ガイド112によって向けられる光を受信する第2の複数の光検出素子122を有する光検出層120を備えることができる。第1の複数の光検出素子122は、標本の明視野イメージを出すためにプロセッサによって用いられる光を受信することができる。同時に、光検出素子122の第2のセットは、標本の蛍光/リン光イメージを生成するために用いる光を受信することができる。
本開示の範囲内において、光ガイドピクセルシステム10に修正、追加、又は省略をなすことができる。加えて、光ガイドピクセルシステム10のコンポーネントは、特定のニーズに応じて、集積又は分離することができる。例えば、プロセッサ310又は他の適切なプロセッサは、複数の光検出素子124に組み込むことができる。別の例として、プロセッサ310及びCRM320は、光ガイドピクセルシステム10とは別個の、光ガイドピクセルシステム10と通信するコンピュータ(例えばクラウドコンピュータ)のコンポーネントとすることができる。別の例として、実施形態の光ガイドピクセル装置100は、標本400が検査される間、標本400を保つためのステージ又は他の容器を含むことができる。
II.イメージング方式
明視野及び/又は蛍光イメージングの双方を、図2(a)及び図2(b)の光ガイドピクセル装置100を用いる光ガイドピクセルシステム10により達成することができる。明視野イメージング用に、照明光200は、異なる走査時間に複数の走査位置で照明210を走査(例えばラスタスキャン)することができる。複数の走査位置は、ガイド層110の外側面116上の標本400の連続したサブピクセルシフト投影像を生成するように構成することができる。連続したサブピクセルシフト投影像において、隣接した投影像は、光検出素子124(例えばセンサピクセル)の寸法より小さい距離離れた位置にある。プロセッサ310は、複数の光検出素子124によって受信された光に基づいて、標本の連続したサブピクセルシフト投影像を生成することができる。超解像度アルゴリズムにより、プロセッサ310は、連続したサブピクセルシフト投影像に基づいて、標本400の高解像度イメージを得ることができる。光ガイド構造は、ガイド層を介してピクセル間分離を導入し、これにより光ガイド114がフィルタ170を有する場合の解像度さえも向上させることができる。蛍光/リン光イメージング用に、標本400は、例えばレーザ又はLEDのような照明源200からの励起光を有する照明210によって照射されることができる。励起光は、標本400内の蛍光体を励起する。励起光は、蛍光/リン光信号のみが検出されるように、ガイド層110のフィルタによって減衰される。プロセッサ310は、複数の光検出素子124によって受け取られる発光に基づいて、標本400の蛍光/リン光イメージを生成することができる。
A.明視野高解像度イメージング方式
高解像度明視野イメージングは、ピクセル超解像度アルゴリズムを用いた、フィルタ170を有する光ガイド114を有する光ガイドピクセル装置100により達成することができる。ピクセル超解像度アルゴリズムの適切な例は、Sung Choel, P., P. Min Kyu, and K. Moon Gi,による、「Super−resolution image reconstruction: a technical overview」(Signal Processing Magazine, IEEE, 20(3), pp.21−26(2003))において見つけることができ、すべての目的でその全体を参照として本明細書に組み込むものとする。サブピクセルシフトイメージは、光検出層120上の標本400の異なる投影を生成するために照明源200を走査することによってキャプチャすることができる。光ガイド114間のガイド層110の部分は、光が隣接した光検出素子124に交差するのを防止するようにし、ガイド層110内のフィルタ170による解像度を維持する。
照明源200を走査するのは、例えば、走査ステージ又はミラー、LEDアレイ、フラットパネルディスプレイスクリーン、又は他の適切な装置を含む、任意の様々な方法用いて達成することができる。例えば、走査型照明源200は、光要素(例えば、1以上のディスプレイピクセルのセット)を有するディスプレイ(例えばLCD)を有する装置(例えばスマートフォン)とすることができる。走査型照明源200は、異なるスキャン時間で複数の走査位置に光要素を走査するか又は並進させることができる。ある場合において、走査型照明源200は、走査パターンに応じて特定の走査時間に様々な走査位置に光要素を走査するか又は並進させることができる。異なる走査位置での光要素からの照明210は、検出面126上に標本400のシフト投影像を生成する。走査中、複数の光検出素子124は、1以上の連続したサブピクセルシフト投影像をキャプチャする。プロセッサ310は、連続した光投影のデータを受信する。プロセッサ310は、連続したサブピクセルシフト光投影用のデータからサブピクセルシフト投像の運動ベクトルを突き止める。プロセッサ310は、少なくとも1つの標本400の連続したサブピクセルシフト投影像及び/又は突き止めた運動ベクトルからのデータとともに、適切な超解像度アルゴリズムを用いて、標本400の1以上の高解像度明視野イメージを構築する。
複数の走査位置は、任意の適切な配置(例えば、アレイ、円形、正方形、三角形など)とすることができる。例えば、走査位置は、走査位置のアレイ(例えば、一次元アレイ、二次元アレイ、又は一次元アレイと二次元アレイとの組み合わせ)の形態とすることができる。各アレイは、任意の適切な寸法(例えば2×1、2×1、100×200、100×100など)を有することができる。ある場合において、走査位置は、n×mの走査位置(xi=1〜n、yj=1〜m)の二次元の(n×m)アレイに配置することができる。
図3(a)、図3(b)、及び図3(c)は、本発明の一実施形態による例示的な明視野高解像度イメージング方式の中の光ガイドピクセル装置100のコンポーネントの概略図である。図3(a)、図3(b)、及び図3(c)において、光ガイドピクセル装置100は、複数の光ガイド112を有するガイド層110及び複数の光検出素子122を有する光検出層120を有する本体101を含む。各光ガイド114は、フィルタ170を含む。ガイド層110は、外側面116及び内側面118も有する。本体101は、適切な厚みを有する適切な材料のガイド層110の外側面116の外側に透過層180も含む。例えば、外側層180は、取り付けて成長させるための、細胞及び他の標本400用の生体親和性材料でできている。図示例では、2つの細胞を有する標本400は、外側層180の外面に位置する。
図示例では、照明源200(図示せず)は、それぞれ図3(a)、図3(b)、及び図3(c)における走査時間t=ta、tb、及びtcでの3つの走査位置から照明210を提供する。3つの走査位置からの照明210は、ガイド層110の外側面116上に標本400の連続した3つのサブピクセルシフト投影像を生成する。連続した3つのサブピクセルシフト投影像は、2以上のサブピクセルシフト投影像に関連することができ、連続してキャプチャされる投影は、互いに光検出素子のサイズ(例えばピクセルサイズ)より小さい離間距離にある。複数の光検出素子124は、連続したサブピクセルシフト投影像の光を測定することができる。図示例では、3つの走査位置が示され、3つの対応するサブピクセルシフト投影像が生成されているが、イメージング手順は、他の実施形態において、サブピクセルシフト投影像の適切な数を生成するための任意の適切な数(例えば2、3、5、10、100など)の走査位置を含むことができる。プロセッサ310は、連続したサブピクセルシフト投影像からの光データに基づいて、サブピクセルシフト投影像の運動ベクトルを突き止めることができる。適切な超解像度アルゴリズムを用いて、プロセッサ310は、複数の光検出素子124によってキャプチャされるにつれて、連続したサブピクセルシフト投影像の光データから標本400の高解像度イメージを構築することができる。
B.低解像度蛍光イメージング方式
蛍光標本は、励起光の照明210で一時に、標本400全体を照射することによって、光ガイドピクセル装置100を用いて低解像度で撮像することができる。光ガイド114内のフィルタ170は、励起光が光検出層120(例えばフォトセンサ)に達するのを遮断し、蛍光信号が光検出層120内の光検出素子124によって検出されるようにすることができる。フィルタ170のフィルタ材料は、蛍光染料及び利用できる励起照明源の励起及び発光スペクトルに応じて選定することができる。励起用に、レーザ又はLEDのような狭いバンド幅の照光源を用いることができる。この方式によって生成される蛍光イメージの解像度は、複数の光検出素子124の光検出素子(例えばセンサピクセル)の寸法(例えば直径)に基づく。
図4は、本発明の一実施形態による、例示的な低解像度蛍光イメージングの中の光ガイドピクセル装置100のコンポーネントの概略図である。図4において、光ガイドピクセル装置100は、複数の光ガイド112を有するガイド層110及び複数の光検出素子122を有する光検出層120を有する本体101を含む。ガイド層110は、外側面116及び内側面118も有する。本体101は、ガイド層110の外側面116の外側に透過層180も含む。透明層180は、適切な厚さの任意の適切な材料とすることができる。例えば、透明層180は、取り付けて成長させるための、細胞及び他の標本用の生体親和性材料でできている。各光ガイド114は、励起光を遮断して、透過層180の外面の外に位置する標本400内の活性化した蛍光体からの発光を通過させるフィルタ170を含む。図示例では、標本400は、2つの細胞を含む。図4における光ガイドピクセル装置100のボディ101は、8つの分離した光ガイドピクセル132を含む。各光ガイドピクセル132は、単一の光ガイド114、単一の光検出素子124を有する光検出層120、及び透明層180の一部を有するガイド層110を含む。
図4において、照明源200(図示せず)は、標本400全体に励起光を有する照明210を提供する。レーザ又はLEDのような、励起光の狭いバンド幅の照明を提供することができる任意の適切な照明源200を用いることができる。励起光は、標本400内の蛍光体を活性化させる。蛍光体及び励起光からの発光190は、ガイド層110の光ガイド114によって受信される。光ガイド114は、光を光検出層120に向ける。光ガイド114のフィルタ170は、励起光を遮断して、発光190を通過させる。複数の光検出素子124は、発光190を測定する。プロセッサ310は、発光190に関連した光データを有する1つ又は複数の信号を受信して、標本400から低解像度蛍光イメージを構築する。標本400の解像度は、光検出層120の光検出素子124の寸法で決定される。
C.高解像度蛍光イメージング方式
蛍光イメージングの解像度を高めるために、光ガイドピクセル装置100は、高解像度蛍光イメージング方式において焦点アレイ照明を用いることができる。焦点アレイ照明の例は、Wu,J.らによる「Wide field−of−view microscope based on holographic focus grid illumination」(Opt.Lett.35(13),pp.2188−2190(2010))において見つけることができ、全ての目的のためにその全体を本明細書に組み込むものとする。光焦点アレイは、通常、光焦点の近くの蛍光体のみを励起する。場合によっては、光焦点間隔は、光検出素子132のサイズに等しいか、又は大きくすることができる。これらの場合、各光検出素子132によって検出される蛍光信号は、単一の光焦点と関連する標本400上の照射スポットの位置に対応する。
光焦点アレイを走査して(例えばラスタスキャン)、時間変動ベースで標本400の異なる部分の蛍光体を励起することができる。焦点アレイが標本400全体にわたり走査されるにつれ、光検出素子124は、時間変動光データ(例えば線走査)を測定する。プロセッサ310は、時間変動発光データを含む時間変動光データをコンパイルしてサブピクセル解像度を有する1以上の蛍光イメージを生成することができる。この方式における解像度は、焦点のサイズに基づく。
高解像度蛍光イメージング方式において、焦点アレイは、マイクロレンズアレイ、フレネルゾーンプレートアレイ、及び他の回折光学要素を含む様々な方法、ホログラフィプレート、及びアパーチャのアレイからのタルボー(talbot)効果によってつくることができる。照明源200は、焦点アレイを生成するための適切な構造及び装置を含むことができる。例えば、照明源200は、ホログラフィック要素(例えばホログラフィプレート)、又は、回折光学要素(例えばフレネルゾーンプレート(FZP)、回折格子、光子篩など)、及び、ビーム発生器(例えばレーザ)を含むことができる。ホログラフィック要素又は回折光学要素は、ビーム発生器から焦点アレイへと波面を変換することができる。
焦点アレイは、一次元アレイ、二次元アレイ、又は、一次元アレイ及び/又は二次元アレイの組合せとすることができる。各焦点は、任意の適切なサイズの直径を有することができる。適切なサイズのいくつかの例は、0.4ミクロン、0.6ミクロン、0.8ミクロン、1ミクロンなどである。焦点間は、適切な間隔(例えば5ミクロン、10ミクロン、15ミクロンなど)を用いることができる。
図5は、本発明の一実施形態による、例示的な高解像度蛍光イメージング方式の中の光ガイドピクセル装置100のコンポーネントの概略図である。図5において、光ガイドピクセル装置100は、複数の光ガイド112を有するガイド層110及び複数の光検出素子122を有する光検出層120を有する本体101を含む。各光ガイド114は、フィルタ170を含む。ガイド層110は、外側面116及び内側面118も有する。本体101は、ガイド層110の外側面116の外側に透過層180も含む。透過層180は、適切な厚さの任意の適切な材料でできていてもよい。例えば、透過層180は、取り付けて成長させるための、細胞及び他の標本用の生体親和性材料でできている。図示例では、2つの細胞を有する標本400は、外側層180の外面に位置する。図5における光ガイドピクセル装置100は、x軸、y軸(図示せず)、及びz軸を含む。x軸及びy軸は、ガイド層110の外側面116での平面上にある。z軸は、この平面に対して垂直である。
図5において、照明源200(図示せず)は、焦点230のアレイの形態で励起光の照明210を提供する。照明210は、収束する球面状の波面のアレイを含む。球面状の波面のアレイは、光焦点230の焦点アレイを形成する。各体積は砂時計形であり、焦点面にて焦点232に収束し、展開体積(spreading volume)における焦点面から展開する焦点円錐を形成する。標本400の焦点の位置の蛍光体は、励起光によって活性化されて発光190を生成する。
照明源200が標本全体にわたる焦点230のアレイを走査するにつれて、標本の異なる位置の蛍光体が時間変動ベースで活性化する。焦点230のアレイが標本400全体にわたり走査されるにつれて、光検出層120の光検出素子124は、光(例えば発光)を受信して、受信した光に基づいて時間変動光データ(例えば線走査)を生成することができる。プロセッサ310は、時間変動光データを結合して、標本400の1以上の蛍光/リン光を生成するか、あるいは、標本400を分析することができる。
III. オンチップアプリケーション
顕微鏡検査は、生物学的科学の研究における不可欠なツールである。イメージングシステムの小型化の近年の進歩により、生物学研究室に大顕微鏡の安価な代替品を提供することができ、これにより多数のサンプルの同一の方法でのイメージングが可能となる。イメージングシステムを小型化することの近年の進歩のいくつかの例は、Cui, X.らによる「Lensless high−resolution on−chip optofluidic microscopes for Caenorhabditis elegans and cell imaging」(Natinal Academy of Sciencesの議事録、105(31),p.10670(2008))、Seo, S.らによる「Lensfree holographic imaging for on−chip cytometry and diagnostics」(Lab on a Chip 9(6),pp.777−787(2009))、Breslauer, D.らによる「Moble phone based clinical microscopy for global health applications(2009)」、及び、Zheng,G.らによる「Sub−pixel resolving optofluidic microscope for on−chip cell imaging」(Lab on a Chip 10(22), pp.3125−3129(2010))において見つけることができ、全ての目的において、それらの内容を本明細書に組み込むものとする。
低コスト及び小サイズのオンチップイメージングシステムは、オンチップ細胞培養プラットフォームとして用いることができ、時間全体にわたって細胞を同一の方法で撮像することができる。自動イメージングシステムの例は、Levin−Reisman,I.らによる「Automated imaging with ScanLag reveals previously undetectable bacterial growth phenotypes」(Nat Meth,7(9),pp.737−739(2010))において見つけることができ、全ての目的においてその内容を本明細書に組み込むものとする。従来の培養器ベースの細胞培養と結合されて、オンチップ顕微鏡は、従来の大顕微鏡又はプレートリーダのような、その場及び同じ方法で個々の細胞を計数し追跡することが困難である、システム生物学細胞成長、及び生体外薬スクリーニングにおける、時間分解された情報を調査することができる。
オンチップイメージングシステムベースのCMOSイメージセンサは、近年、ピクセル超解像度アルゴリズム及びLCDスクリーン照明を用いて開発された。超解像度アルゴリズムの例は、Sung Choel, P.,P. Min Kyu、及びK. Moon Giによる「Super−resolution image reconstruction: a technical overview」(Signal Processing Magazine, IEEE, 20(3), pp.21−36(2003))において見つけることができる。このシステムにおいて、標本は、センサの表面に配置され、照明としてLCDスクリーン上の明るいピクセルをラスタ走査して得られた各フレームを有する連続したピクセル化された低解像度イメージとして撮像される。次いで、これらのイメージは、ピクセル超解像度アルゴリズムを用いた単一の高解像度イメージに処理される。このシステムにおいて、従来の20x−40x対物顕微鏡によって得られるのと同等の解像度を達成することができる。最高解像度は、センサの表面上で達成される。
実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、1以上のオンチップ光ガイドピクセル装置100を有するオンチップレンズレスイメージングシステムとして機能することができる。各オンチップ光ガイドピクセル装置100は、ピクセル超解像度アルゴリズムを用い、生物学的サンプルの明視野及び蛍光高解像度イメージングの双方用のコンパクトイメージングプラットフォームを提供するために光ガイド114を含むことができ、これにより、生物学及び医学研究の強力なツールとなる。
1つのオンチップ光ガイドピクセルシステム10において、1以上のオンチップ光ガイドピクセル装置100を、撮像能力を有するオンチップ細胞培養プラットフォームにおいて用いることができる。このシステムのコンパクトで低コストな性質により、ユーザが、例えば成長追跡、スクリーニング、及び細胞計数のような、培養のその場分析を実行することが可能となる。
図6は、本発明の一実施形態による、リアルタイム分析用の同一方法のその場イメージングを有するオンチップ細胞培養プラットフォームのオンチップ光ガイドピクセルシステム10の概略図である。図6において、オンチップ光ガイドピクセルシステム10は、7台のオンチップ光ガイドピクセル装置100を含む。オンチップ光ガイドピクセルシステム10は、ホストコンピュータ300、培養器400、及びリレー500を含む。オンチップ光ガイドピクセル装置100は、リレー500によってホストコンピュータ300と通信する。オンチップ光ガイドピクセル装置100は、培養器400の範囲内に位置する。7台の光ガイドピクセル装置100が示されているが、任意の適切な数(例えば1、2、4、5、6、10、100など)を含むことができる。
光ガイドピクセルシステム10は、プロセッサ310、コンピュータ読み取り可能媒体(CRM)320、及びディスプレイ330を有するホストコンピュータ300を含む。ディスプレイ330及びCRM320は、プロセッサ310と通信する。プロセッサ310は、光ガイドピクセル装置100の光検出層120と通信する。図1には、単一の光ガイドピクセル装置100が示されているが、他の実施形態の光ガイドピクセルシステム10は、多数の光ガイドピクセル装置100を含むことができる。リレー500(例えばリレーマルチプレクサ)は、ホストコンピュータ300におけるプロセッサ210(図示せず)に、多数の光ガイドピクセル装置100からの信号による情報をリレーすることができる。
このオンチップ多モードイメージングシステムは、低コスト且つコンパクトな方法で製造することができ、細胞を成長させる能力を有する。ユーザが明視野及び蛍光の双方において細胞を撮像することができるように、イメージングシステム全体を培養器内に置くことができる。細胞及び培養媒体を貯蔵する簡単なチャンバデザインをチップに置くことができる。チャンバ又は複合した流体ネットワークの多数のアレイは、化学的及び機械的環境の制御を提供するように構成することができる。このシステムは、生物学研究室において、ペトリ皿及びウェルプレートに戻すことができる。
IV.光ガイドを有するガイド層の製造
光ガイドピクセル装置100は、適切な従来の方法を用いて製造することができる。光ガイドピクセル装置100の実施形態の多層の本体101の層は、添加及びエッチングプロセスにより作ることができる。また、実施形態のガイド層110は、別個に作ることができ、次いで、光検出層120の複数の光検出素子122に整列させることができ、あるいは、光検出層120に直接製造することができる。適切な添加プロセスには、所定のロッドアレイ上の電解又は無電解めっきが含まれる。一実施形態において、アパーチャの形態の複数の光ガイド112を有するガイド層110は、例えば薄い金属シート、シリコン基板、又はポリマーフィルムのようなバルク材料を介したエッチングによって作ることができる。
光ガイド114間のガイド層110の部分は、光を隣接した光ガイド114の交差から遮断することができる任意の適切な材料でできている。例えば、それは反射金属とすることができ、光ファイバのフェースプレートにおける光ガイドコアと比較して薄い反射金属層又は低屈折率材料で被覆される他の材料とすることができる。
光ガイドピクセル装置100及び他の高アスペクト比の金属構造の本体101を製造する1つの方法は、標準のリソグラフィ、電解めっき、形成(LIGA)プロセスを用いることができる。図7は、本発明の実施形態による、光ガイドピクセル装置100のボディ101を作るのに用いることができるLIGAプロセスのステップの概略図である。この方法では、図7(a)に示すように、薄い導電性のシード層510は、光検出層120(例えばCMOSイメージセンサ)又はシリコン基板の検出面126に堆積される。図7(b)に示す他のステップにおいて、高いロッドアレイ520を、例えばSU8のような高アスペクト比のフォトレジストを用いて作ることができる。この高いロッドアレイ520は、図7(c)に示す電気めっきステップの用のモールドとして作用することができる。一度、金属530(例えばNi)が電気めっき又は堆積を経て成長すると、図7(d)に示すように、フォトレジストによって除去することができる。残りのアパーチャ540は、スピンコーティング又は超音波処理によって染料材料(フィルタ材料)で満たして、ガイド層110を完成させるためのフィルタ170を形成することができる。一度、光ガイド114がフィルタ170を形成するフィルタ材料で満たされると、パシベーション層180(図示せず)を、任意の生物学的イメージング及び分析を実行する前にガイド層110の上に配置することができる。
光ガイドピクセル装置100のボディ101を製造する別の方法は、フィルタ材料(吸収性のカラーフィルタ、干渉フィルタなど)でできた高いロッドアレイ520を製造するプロセスに反応性イオンエッチング(RIE)プロセス又は深堀りRIEを用いることによる。この方法では、フィルタ材料(すなわちフィルタ170を有する光ガイド114)でできた高いロッドアレイ520を光ガイド114間の電気メッキ金属用のモールドとして用いて、ガイド層114を形成することができる。反応性イオンエッチング(RIE)又は深堀りRIEプロセスは、フィルタ材料(吸収性のカラーフィルタ、干渉フィルタなど)を有する高いロッドアレイ520を製造するのに用いることができる。染料の種類によっては、高いロッドアレイ520の染料は、電気めっきプロセスの間、形状を維持するために、フォトレジスト又は他の化学製品と混合する必要がある。
図8は、本発明の一実施形態による、光導ガイドピクセル装置100のボディ101を製造するのに用いることのできる反応性イオンエッチング(RIE)プロセスのステップの概略図である。この方法では、図8(a)に示すように、薄い導電性のシード層510を、光検出層120(例えばCMOSイメージセンサ)又はシリコン基板の検出面126に堆積する。図8(b)において、フィルタ材料のスピンコートフィルタ層550を、薄い導電性のシード層に堆積する。フォトレジスト材料でできているパターン560は、図8(c)に示すスピンコートフィルタ層550上に加えられる。図8(d)において、反応性イオンエッチング(RIE)又は深堀りRIEプロセスを、フィルタ170の高いロッドアレイ520に残存している材料を除去するために用いる。高いロッドアレイ520は、図8(e)に示す電気めっきステップ用のモールドとして作用する。場合によっては、パシベーション層180(図示せず)を、任意の生物学的イメージングも及び分析を実行する前に、ガイド層110の頂部に配置することができる。
V.コンピュータ装置
図9は、本発明の実施形態による、光ガイドピクセルシステム10において用いられるコンピュータ装置に存在することのできるサブシステムのブロック図を示している。例えば、光ガイドピクセル装置100と通信するコンピュータ200は、図9のコンポーネントの任意の適切な組合せを有することができる。
以前の図に記載されている様々なコンポーネントは、本明細書において記載されている機能を促進するために1以上のコンピュータ装置を用いて操作することができる。図の要素の全ては、本明細書において記載されている機能を促進するために、任意の適当な数のサブシステムを用いることができる。このようなサブシステム又はコンポーネントの例は、図9に示される。図9に示すサブシステムは、システムバス725を介して相互接続する。例えば、プリンタ730、キーボード732、固定ディスク734(又はコンピュータ読み取り可能媒体を備える他のメモリ)、ディスプレイアダプタ738に結合されるディスプレイ330、及び他のもののような追加のサブシステムが示されている。I/Oコントローラ740に結合する周辺機器及び入出力(I/O)装置は、例えばシリアルポート742のような、既知の任意の数の手段によって、コンピュータシステムに接続することができる。例えば、シリアルポート742又は外部インタフェース744は、コンピュータ装置を、例えばインターネット、マウス入力デバイス、又はスキャナのような、ワイドエリアネットワークに接続するのに用いることができる。システムバスを介した相互接続によって、中央プロセッサ310が各サブシステムと通信し、サブシステム間の情報を交換しつつ、システムメモリ746又は固定ディスク734からの命令の実行を制御することができる。システムメモリ746及び/又は固定ディスク734は、コンピュータ読み取り可能媒体320を具体化したものである。これらの要素のいずれも、先に述べた特徴に存在することができる。本発明の一実施形態によるコンピュータ読み取り可能媒体320は、上述の機能のいずれかを実行するためのコードを含むことができる。
実施形態によっては、プリンタ730又は光ガイドピクセルシステム10のディスプレイ330のような出力装置は、様々な形態のデータを出力することができる。例えば、光ガイドピクセルシステム10は、標本400の蛍光/リン光イメージ又は分析の他の結果を出力することができる。
上述の本発明がモジュラ又は統合型の方法におけるコンピュータソフトウェアを用いた制御ロジックの形で実行することができることが理解されよう。本明細書において提供される開示及び教示に基づいて、当業者は、ハードウェア及びハードウェア及びソフトウェアの組合せを用いて本発明を実装する他の方法及び/又は手法を知り、理解するであろう。
本出願に記載されているソフトウェアコンポーネント又は機能のいずれも、従来又はオブジェクト指向の技術を用いた、例えば、Java、C++、又はPerlのような任意の適切なコンピュータ言語を用いたプロセッサによって実行されるソフトウェアコードとして実装することができる。ソフトウェアコードは、例えば、ランダムアクセスメモリ(RAM)、読出し専用メモリ(ROM)、例えばハードディスク又はフロッピーディスクのような磁気媒体、又は例えばCD−ROMのような光媒体といった、コンピュータ読み取り可能媒体上の一連の指示又は命令として格納されることができる。このようなコンピュータ読み取り可能媒体のいずれも、単一のコンピュータ装置上又は範囲内にあることができ、システム又はネットワーク内で異なるコンピュータ装置上又は範囲内にあってもよい。
上記の説明は、例示的であり、制限的ではない。開示の多くの変形例が、開示の検討に応じて、当業者にとって明らかになる。従って、開示の範囲は、上記説明によって決定されてはならず、代わりにそれらの完全な範囲又は等価物とともに係属した請求項によって決定されなければならない。
任意の実施形態からの1以上の特徴は、開示の範囲内において、他の任意の実施形態の1つ以上の特徴と組み合わせることができる。さらに、開示の範囲内において、任意の実施形態に修正、追加、又は省略をなすことができる。任意の実施形態のコンポーネントは、開示の範囲内において、特定のニーズに応じて、集積又は分離することができる。
全ての特許、特許出願、刊行物、及び前述の説明は、全ての目的のためのそれらの全体を本明細書に組み込むものとする。いずれも、従来技術であるとは認められない。

Claims (21)

  1. 光ガイドを有するガイド層と、
    前記光ガイドによって向けられる光を受信するように構成される光検出素子を有する光検出層と、を備える光ガイドピクセル。
  2. 前記光ガイドは、
    前記ガイド層を通る光透過領域と、
    反射壁と、を含む、請求項1に記載の光ガイドピクセル。
  3. 前記光透過領域は、フィルタを含む、請求項2に記載の光ガイドピクセル。
  4. 前記ガイド層と前記光検出層との間に、透過層をさらに備える、請求項1に記載の光ガイドピクセル。
  5. 複数の光ガイドを有するガイド層と、
    複数の光検出素子を有する光検出層であって、各光検出素子が前記複数の光ガイドによって向けられる光を受信するように構成された、光検出層と、を備える、光ガイドピクセル装置。
  6. 前記光ガイドは、
    前記ガイド層を通る光透過領域と、
    反射層と、を含む、請求項5に記載の光ガイドピクセル装置。
  7. 1つ以上の前記光ガイドは、フィルタを含む、請求項5に記載の光ガイドピクセル装置。
  8. 前記ガイド層と前記光検出層との間に、透過層をさらに備える、請求項5に記載の光ガイドピクセル装置。
  9. 複数の光検出素子によって受信される光に基づいて、照明源と前記ガイド層との間に位置する標本の投影像を生成するように構成されたプロセッサをさらに備える、請求項5に記載の光ガイドピクセル装置。
  10. 前記光検出層が、前記プロセッサを含む、請求項9に記載の光ガイドピクセル装置。
  11. 前記光検出層は、前記複数の光検出素子を含む、光検出素子の二次元アレイを備える、請求項5に記載の光ガイドピクセル装置。
  12. 走査照射源と前記ガイド層との間に位置する標本の連続したサブピクセルシフト投影像を生成するように構成されたプロセッサをさらに備え、前記連続したサブピクセルシフト投影像は、前記照明源の複数の走査位置に対応し、前記プロセッサは、前記連続したサブピクセルシフト投影像に基づいて、前記標本のサブピクセル解像度イメージを生成するようにさらに構成された、請求項5に記載の光ガイドピクセル装置。
  13. 前記光検出層が、前記プロセッサを含む、請求項12に記載の光ガイドピクセル装置。
  14. 複数の光ガイドを有するガイド層と、複数の光検出素子を有する光検出層であって、各光検出素子が前記複数の光ガイドによって向けられる光を受信するように構成された、光検出層と、を備える光ガイドピクセル装置と、
    前記複数の光検出素子と通信するプロセッサであって、該プロセッサが前記複数の光検出素子によって受信した光に基づいて、照明源と前記ガイド層との間に位置する標本の1以上の投影像を生成するように構成された、プロセッサと、を備える、光ガイドピクセルシステム。
  15. 各光ガイドは、
    前記ガイド層を通る光透過領域と、
    反射層と、を含む、請求項14に記載の光ガイドピクセルシステム。
  16. 1以上の前記光ガイドは、フィルタを含む、請求項14に記載の光ガイドピクセルシステム。
  17. 前記ガイド層と前記光検出層との間に、透過層をさらに備える、請求項14に記載の光ガイドピクセルシステム。
  18. 前記照明源は、異なる走査時間にて複数の走査位置から照明を提供し、
    前記1以上の投影像は、前記複数の走査位置に対応する連続したサブピクセルシフト投影像であり、
    前記プロセッサは、前記連続した投影像に基づいて、前記標本のサブピクセル解像度イメージを生成するように構成された、請求項14に記載の光ガイドピクセルシステム。
  19. 複数の光ガイドを有するガイド層と、
    複数の光検出素子を有する光検出層と、
    光ガイドピクセルのアレイであって、各光ガイドピクセルが、前記複数の光ガイドの光ガイド及び、前記複数の光検出素子の対応する光検出素子を備え、前記光検出素子は、前記対応する光ガイドから向けられた光を受信するように構成された、光ガイドピクセルのアレイと、
    前記複数の光検出素子によって受信された光に基づいて、照明源と前記ガイド層との間に位置する標本の1以上の投影像を生成するように構成されたプロセッサと、を備える、光ガイドピクセルシステム。
  20. 1以上の前記光ガイドは、フィルタを含む、請求項19に記載の光ガイドピクセルシステム。
  21. 前記照明源は、異なる走査時間にて複数の走査位置から照明を提供し、
    前記1以上の投影像は、前記複数の走査位置に対応する連続したサブピクセルシフト投影像であり、
    前記プロセッサは、前記連続した投影像に基づいて、前記標本のサブピクセル解像度イメージを生成するように構成された、請求項19に記載の光ガイドピクセルシステム。
JP2013556906A 2011-03-03 2012-03-02 光ガイドピクセル Pending JP2014515179A (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US201161448964P 2011-03-03 2011-03-03
US61/448,964 2011-03-03
PCT/US2012/027522 WO2012119094A2 (en) 2011-03-03 2012-03-02 Light guided pixel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2014515179A true JP2014515179A (ja) 2014-06-26

Family

ID=46752726

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013556906A Pending JP2014515179A (ja) 2011-03-03 2012-03-02 光ガイドピクセル

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9343494B2 (ja)
EP (1) EP2681601A4 (ja)
JP (1) JP2014515179A (ja)
KR (1) KR20140027113A (ja)
CN (1) CN103534627A (ja)
WO (1) WO2012119094A2 (ja)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014511183A (ja) * 2011-03-03 2014-05-15 カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー Eペトリ皿、eペトリ装置及びeペトリシステム
US9343494B2 (en) 2011-03-03 2016-05-17 California Institute Of Technology Light guided pixel configured for emissions detection and comprising a guide layer with a wavelength selective filter material and a light detector layer
US9426429B2 (en) 2010-10-26 2016-08-23 California Institute Of Technology Scanning projective lensless microscope system
US9569664B2 (en) 2010-10-26 2017-02-14 California Institute Of Technology Methods for rapid distinction between debris and growing cells
US9643184B2 (en) 2010-10-26 2017-05-09 California Institute Of Technology e-Petri dishes, devices, and systems having a light detector for sampling a sequence of sub-pixel shifted projection images
US9743020B2 (en) 2010-03-23 2017-08-22 California Institute Of Technology Super resolution optofluidic microscopes for 2D and 3D imaging
WO2020184485A1 (ja) * 2019-03-14 2020-09-17 株式会社 東芝 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
US11592385B2 (en) 2019-03-14 2023-02-28 Cytoronix Inc. Monitoring device and monitoring system
JP7420927B2 (ja) 2019-09-20 2024-01-23 ウェイモ エルエルシー モノリシックシリコン光電子増倍管アレイ

Families Citing this family (21)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8466437B2 (en) * 2011-04-28 2013-06-18 Aptina Imaging Corporation High resolution fluorescence detection system
US9356061B2 (en) 2013-08-05 2016-05-31 Apple Inc. Image sensor with buried light shield and vertical gate
US11468557B2 (en) 2014-03-13 2022-10-11 California Institute Of Technology Free orientation fourier camera
US10170516B2 (en) 2014-07-23 2019-01-01 Visera Technologies Company Limited Image sensing device and method for fabricating the same
CN104459971B (zh) * 2014-12-24 2016-01-13 中国科学院半导体研究所 一种基于集成光子芯片的结构光照明显微成像系统
EP3043336B1 (en) * 2015-01-08 2021-06-23 Nokia Technologies Oy A light conversion element
EP3344976A4 (en) * 2015-08-18 2019-03-20 Agency For Science, Technology And Research OPTICAL STRUCTURE AND OPTICAL LIGHT DETECTION SYSTEM
CN105158921B (zh) * 2015-10-26 2017-08-08 山东师范大学 一种基于互补随机抽样的无透镜衍射成像方法
CN105758859A (zh) * 2016-04-29 2016-07-13 李少军 多功能生物细胞液测试盒
CN107645625B (zh) * 2016-07-22 2020-10-09 松下知识产权经营株式会社 图像生成装置以及图像生成方法
US11378544B2 (en) 2018-01-08 2022-07-05 Illumina, Inc. High-throughput sequencing with semiconductor-based detection
NL2020621B1 (en) * 2018-01-08 2019-07-15 Illumina Inc Multiplexing of an active sensor detector using structured illumination
EP3913358B1 (en) 2018-01-08 2023-09-06 Illumina Inc High-throughput sequencing with semiconductor-based detection
WO2019170757A2 (en) * 2018-03-07 2019-09-12 LIFE TECHNOLOGIES GmbH Imaging apparatuses, systems and methods
US10169852B1 (en) 2018-07-03 2019-01-01 Nanotronics Imaging, Inc. Systems, devices, and methods for providing feedback on and improving the accuracy of super-resolution imaging
TWI777080B (zh) * 2018-08-10 2022-09-11 日商双葉電子工業股份有限公司 列印頭
CN109141825B (zh) * 2018-09-13 2019-07-02 西华大学 亚波长光学成像器件焦距测量装置及其测量方法
TWI664450B (zh) * 2018-09-14 2019-07-01 世界先進積體電路股份有限公司 光學感應器及其形成方法
US10935805B2 (en) 2019-01-31 2021-03-02 Vanguard International Semiconductor Corporation Optical sensor and method for forming the same
TWI728885B (zh) * 2020-07-30 2021-05-21 思創影像科技股份有限公司 導光模組與應用此導光模組之生物檢測設備
CN112086474A (zh) * 2020-08-28 2020-12-15 清华大学深圳国际研究生院 荧光探测用图像传感器件

Family Cites Families (109)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3736432A (en) 1971-03-22 1973-05-29 Varian Associates Bacterial colony counting method and apparatus
FR2602241A1 (fr) 1986-07-30 1988-02-05 Jouan Boite pour l'observation au microscope de cultures cellulaires vivantes
US5225057A (en) 1988-02-08 1993-07-06 Optical Coating Laboratory, Inc. Process for depositing optical films on both planar and non-planar substrates
GB8927754D0 (en) 1989-12-08 1990-02-14 Image Research Ltd Improvements in and relating to light transfer systems and improved cell investigation techniques arising therefrom
US6058209A (en) 1991-09-27 2000-05-02 E. I. Du Pont De Nemours And Company Method for resolving redundant identifications of an object
US5495337A (en) 1991-11-06 1996-02-27 Machine Vision Products, Inc. Method of visualizing minute particles
WO1994005770A1 (es) 1992-08-27 1994-03-17 Iul, S.A. Camara de contraste para realzar colonias bacterianas respecto a la base de cultivo de las mismas
US5420959A (en) * 1992-12-17 1995-05-30 Nanoptics Incorporated High efficiency, high resolution, real-time radiographic imaging system
EP0627643B1 (en) 1993-06-03 1999-05-06 Hamamatsu Photonics K.K. Laser scanning optical system using axicon
US5349191A (en) * 1993-11-03 1994-09-20 Triumf Gamma ray detector for three-dimensional position encoding
GB9418981D0 (en) 1994-09-21 1994-11-09 Univ Glasgow Apparatus and method for carrying out analysis of samples
JPH0943439A (ja) * 1995-07-26 1997-02-14 Hamamatsu Photonics Kk ファイバー光学プレート
EP0910790A1 (en) * 1996-07-10 1999-04-28 Cambridge Imaging Limited Improvements in and relating to imaging
JPH11166935A (ja) * 1997-09-25 1999-06-22 Canon Inc 光検出または照射用の光プローブと該プローブを備えた近視野光学顕微鏡、及該光プローブの製造方法とその製造に用いる基板
US6147798A (en) 1997-10-24 2000-11-14 Atto Instruments, Llc. Microscope attachment for high precision and efficient imaging
US7097974B1 (en) 1998-08-28 2006-08-29 Febit Biotech Gmbh Support for a method for determining an analyte and a method for producing the support
US6194718B1 (en) 1998-09-23 2001-02-27 Applied Materials, Inc. Method for reducing aliasing effects in scanning beam microscopy
EP1147398B1 (en) 1999-01-29 2004-06-09 June Iris Medford Optical coherence microscope and method for rapid 3d-in-vivo visualization of biological functions
JP3688160B2 (ja) 1999-09-17 2005-08-24 株式会社日立製作所 走査電子顕微鏡
US7142296B2 (en) 2000-10-30 2006-11-28 Sru Biosystems, Inc. Method and apparatus for detecting biomolecular interactions
US6937323B2 (en) 2000-11-08 2005-08-30 Burstein Technologies, Inc. Interactive system for analyzing biological samples and processing related information and the use thereof
US7418118B2 (en) 2000-11-10 2008-08-26 Furnas Steven J Method and apparatus for diagnosing pathogenic or allergenic microorganisms or microparticles at a remote location
JP2002196248A (ja) 2000-12-27 2002-07-12 Runakkusu Kk テレビ撮像装置
US6944322B2 (en) 2001-03-28 2005-09-13 Visiongate, Inc. Optical tomography of small objects using parallel ray illumination and post-specimen optical magnification
US6519313B2 (en) * 2001-05-30 2003-02-11 General Electric Company High-Z cast reflector compositions and method of manufacture
JP2003018604A (ja) 2001-07-04 2003-01-17 Matsushita Electric Ind Co Ltd 画像信号符号化方法、画像信号符号化装置および記録媒体
DE20214835U1 (de) 2002-07-30 2003-01-02 Leica Microsystems Trägervorrichtung für ein biologisches, mittels Laser-Mikrodissektion schneidbares Präparat
DE10235914B4 (de) 2002-08-06 2020-12-31 Leica Microsystems Cms Gmbh Lichtquelle zur Beleuchtung mikroskopischer Objekte und Scanmikroskopsystem
DE10240720A1 (de) 2002-09-04 2004-03-25 Carl Zeiss Jena Gmbh Kamera-Adapter für optische Geräte, insbesondere Mikroskope
GB0224067D0 (en) 2002-10-16 2002-11-27 Perkinelmer Uk Ltd Improvements in and relating to imaging
JP2004191087A (ja) * 2002-12-09 2004-07-08 Nidec Copal Corp 光学式エンコーダ
US20040146965A1 (en) 2003-01-29 2004-07-29 Hach Company Petri dish
US7369234B2 (en) 2003-02-03 2008-05-06 Rudolph Technologies, Inc. Method of performing optical measurement on a sample
US6943881B2 (en) 2003-06-04 2005-09-13 Tomophase Corporation Measurements of optical inhomogeneity and other properties in substances using propagation modes of light
US6998600B2 (en) 2003-06-30 2006-02-14 The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration Multifrequency ultra-high resolution miniature scanning microscope using microchannel and solid-state sensor technologies and method for scanning samples
US7477775B2 (en) 2003-07-18 2009-01-13 Olympus Corporation Microscope system
US7323681B1 (en) * 2003-09-11 2008-01-29 Applera Corporation Image enhancement by sub-pixel imaging
DE10347326B4 (de) 2003-10-11 2022-08-04 Leica Microsystems Cms Gmbh Anordnung mit einem Mikroskop und einem Modul
US8066955B2 (en) 2003-10-17 2011-11-29 James M. Pinchot Processing apparatus fabrication
US7250598B2 (en) 2004-01-02 2007-07-31 Hollingsworth Russell E Plasmon enhanced near-field optical probes
US7751048B2 (en) 2004-06-04 2010-07-06 California Institute Of Technology Optofluidic microscope device
JP2006023221A (ja) 2004-07-09 2006-01-26 Tokyo Seimitsu Co Ltd 外観検査装置及び投影方法
CN1271444C (zh) * 2004-09-29 2006-08-23 清华大学 基于超声马达的微型光学传输和扫描装置
US8498681B2 (en) 2004-10-05 2013-07-30 Tomophase Corporation Cross-sectional mapping of spectral absorbance features
US7253947B2 (en) 2004-10-07 2007-08-07 New York University Portable automated confocal microscope
US20060092503A1 (en) 2004-10-26 2006-05-04 University Of Maryland, Baltimore Portable microscope with detachable portion
US8073233B2 (en) 2005-01-31 2011-12-06 Olympus Corporation Image processor, microscope system, and area specifying program
CN102156346B (zh) 2005-02-21 2012-07-18 奥林巴斯株式会社 微弱光标本摄像单元及微弱光标本摄像装置
US7830561B2 (en) 2005-03-16 2010-11-09 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Lensless imaging with controllable apertures
US7986824B2 (en) 2005-03-30 2011-07-26 Olympus Corporation Predetermined site luminescence measuring method, predetermined site luminescence measuring apparatus, expression amount measuring method, and measuring apparatus
US7643952B2 (en) 2005-04-05 2010-01-05 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Optical image processing using minimum phase functions
US20060227328A1 (en) 2005-04-08 2006-10-12 Vanwiggeren Gregory D Light-sensing system that uses light guides
US20070046924A1 (en) 2005-08-30 2007-03-01 Chang Nelson L A Projecting light patterns encoding correspondence information
US7304731B2 (en) 2005-09-02 2007-12-04 Kla-Tencor Technologies Corp. Systems and methods for providing illumination of a specimen for inspection
JP2008052227A (ja) 2005-09-15 2008-03-06 Olympus Corp 観察装置
US8081378B2 (en) 2005-10-13 2011-12-20 Nikon Corporation Microscope
KR20080075123A (ko) 2005-11-30 2008-08-14 가부시키가이샤 니콘 관찰장치
US7463369B2 (en) 2006-03-29 2008-12-09 Kla-Tencor Technologies Corp. Systems and methods for measuring one or more characteristics of patterned features on a specimen
JP4999046B2 (ja) 2006-04-05 2012-08-15 Hoya株式会社 共焦点内視鏡システム
JP5307539B2 (ja) 2006-05-31 2013-10-02 オリンパス株式会社 生体試料撮像方法および生体試料撮像装置
US7705331B1 (en) 2006-06-29 2010-04-27 Kla-Tencor Technologies Corp. Methods and systems for providing illumination of a specimen for a process performed on the specimen
WO2008048612A2 (en) 2006-10-17 2008-04-24 Hnuphotonics Miniature microscope camera
US7719685B2 (en) 2006-11-30 2010-05-18 Chian Chiu Li Near-field optical apparatus and method using photodetector array
JP4893275B2 (ja) 2006-11-30 2012-03-07 株式会社ニコン 顕微鏡装置
US20080174862A1 (en) 2007-01-22 2008-07-24 Focht Daniel C Specimen Holder For Microscopy
EP2267403A3 (de) 2007-02-21 2011-04-20 Agfa HealthCare N.V. System und Verfahren zur optischen Kohärenztomographie
ES2525113T3 (es) 2007-02-21 2014-12-18 Agfa Healthcare N.V. Sistema para tomografía de coherencia óptica
US7633631B2 (en) 2007-04-04 2009-12-15 Nikon Corporation Three-dimensional microscope and method for obtaining three-dimensional image
DE102007018048A1 (de) 2007-04-13 2008-10-16 Michael Schwertner Verfahren und Anordnung zur optischen Abbildung mit Tiefendiskriminierung
US8964020B2 (en) 2007-04-25 2015-02-24 Stc.Unm Solid-state microscope for selectively imaging a sample
US8194124B2 (en) 2007-10-09 2012-06-05 Nanyang Technological University In-line digital holographic microscope and a method of in-line digital holographic microscopy
JP4997334B2 (ja) 2007-11-02 2012-08-08 ウェイヴフロント アナリシス インコーポレイテッド 超解像を達成するための新規なデジタル方法を有する光学顕微鏡
JP5298507B2 (ja) 2007-11-12 2013-09-25 セイコーエプソン株式会社 画像表示装置及び画像表示方法
US7816641B2 (en) 2007-12-28 2010-10-19 Candela Microsystems (S) Pte. Ltd. Light guide array for an image sensor
JP5090188B2 (ja) 2008-01-10 2012-12-05 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
US20090225309A1 (en) 2008-03-04 2009-09-10 Demou Zoe N Time-lapse analysis chamber for laser capture microdissection applications
WO2009111577A1 (en) 2008-03-04 2009-09-11 California Institute Of Technology Methods of using optofluidic microscope devices
TW200940684A (en) 2008-03-10 2009-10-01 Nikon Corp Fluorescent film, film-forming method therefor, multilayer dielectric film, optical element, optical system, imaging unit, instrument for measuring optical characteristics, method of measuring optical characteristics, exposure apparatus, exposure met
EP2257845B1 (en) 2008-03-26 2019-01-16 Yale University Optical system that selectively provides either of a collimated light beam or a convergent light beam
US8039776B2 (en) 2008-05-05 2011-10-18 California Institute Of Technology Quantitative differential interference contrast (DIC) microscopy and photography based on wavefront sensors
JP2010020151A (ja) 2008-07-11 2010-01-28 Nikon Corp 観察装置
NL2003263A (en) 2008-08-20 2010-03-10 Asml Holding Nv Particle detection on an object surface.
JP5692068B2 (ja) 2009-05-27 2015-04-01 株式会社ニコン 顕微鏡システム
US8416400B2 (en) * 2009-06-03 2013-04-09 California Institute Of Technology Wavefront imaging sensor
US7923799B2 (en) 2009-06-09 2011-04-12 Aptina Imaging Corporation Image sensors with light guides
CN102802529B (zh) 2009-06-16 2015-09-16 皇家飞利浦电子股份有限公司 用于微分相衬成像的校正方法
JP5385028B2 (ja) 2009-07-06 2014-01-08 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
EP2470886A4 (en) 2009-08-26 2016-11-02 Tomophase Inc TISSUE OPTICAL IMAGING BASED ON OPTICAL IMAGING IN THE FIELD OF FREQUENCIES
JP5439096B2 (ja) 2009-09-08 2014-03-12 株式会社日立ハイテクノロジーズ 細菌分類装置および細菌検査前処理装置
US9007433B2 (en) 2009-10-20 2015-04-14 The Regents Of The University Of California Incoherent lensfree cell holography and microscopy on a chip
EP2315065B1 (en) 2009-10-26 2015-05-13 Olympus Corporation Microscope
US20110098950A1 (en) 2009-10-28 2011-04-28 Symphony Acoustics, Inc. Infrasound Sensor
EP2497823B1 (en) 2009-11-05 2017-08-16 Hitachi High-Technologies Corporation Device for harvesting bacterial colony and method therefor
JP5638793B2 (ja) 2009-12-03 2014-12-10 オリンパス株式会社 顕微鏡装置
WO2011106324A2 (en) 2010-02-23 2011-09-01 California Institute Of Technology Nondiffracting beam detection devices for three-dimensional imaging
US20110266181A1 (en) 2010-03-04 2011-11-03 Sloan-Kettering Institute For Cancer Research Microscope slide holder and method of use
CN102792151B (zh) 2010-03-23 2015-11-25 加州理工学院 用于2d和3d成像的超分辨率光流体显微镜
CA2797566A1 (en) 2010-05-03 2011-11-10 The Regents Of The University Of California Wide-field lensless fluorescent imaging on a chip
US9569664B2 (en) 2010-10-26 2017-02-14 California Institute Of Technology Methods for rapid distinction between debris and growing cells
US9426429B2 (en) 2010-10-26 2016-08-23 California Institute Of Technology Scanning projective lensless microscope system
US9643184B2 (en) 2010-10-26 2017-05-09 California Institute Of Technology e-Petri dishes, devices, and systems having a light detector for sampling a sequence of sub-pixel shifted projection images
US20120157160A1 (en) 2010-12-21 2012-06-21 The Regents Of The University Of California Compact wide-field fluorescent imaging on a mobile device
EP2661603A4 (en) 2011-01-06 2014-07-23 Univ California Lensless Tomographic Imaging Devices and Methods
CN103262203B (zh) 2011-03-03 2016-01-20 加州理工学院 E-petri培养皿、设备和系统
CN103534627A (zh) 2011-03-03 2014-01-22 加州理工学院 光导像素
US9086536B2 (en) 2011-03-09 2015-07-21 California Institute Of Technology Talbot imaging devices and systems
US8866063B2 (en) 2011-03-31 2014-10-21 The Regents Of The University Of California Lens-free wide-field super-resolution imaging device
US8946619B2 (en) 2011-04-20 2015-02-03 California Institute Of Technology Talbot-illuminated imaging devices, systems, and methods for focal plane tuning
US8837045B2 (en) 2012-09-21 2014-09-16 The Board Of Trustees Of The University Of Illinois Diffraction phase microscopy with white light

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9743020B2 (en) 2010-03-23 2017-08-22 California Institute Of Technology Super resolution optofluidic microscopes for 2D and 3D imaging
US9426429B2 (en) 2010-10-26 2016-08-23 California Institute Of Technology Scanning projective lensless microscope system
US9569664B2 (en) 2010-10-26 2017-02-14 California Institute Of Technology Methods for rapid distinction between debris and growing cells
US9643184B2 (en) 2010-10-26 2017-05-09 California Institute Of Technology e-Petri dishes, devices, and systems having a light detector for sampling a sequence of sub-pixel shifted projection images
JP2014511183A (ja) * 2011-03-03 2014-05-15 カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー Eペトリ皿、eペトリ装置及びeペトリシステム
US9343494B2 (en) 2011-03-03 2016-05-17 California Institute Of Technology Light guided pixel configured for emissions detection and comprising a guide layer with a wavelength selective filter material and a light detector layer
JP2022009411A (ja) * 2019-03-14 2022-01-14 サイトロニクス株式会社 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
JPWO2020184485A1 (ja) * 2019-03-14 2021-03-18 株式会社東芝 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
WO2020184485A1 (ja) * 2019-03-14 2020-09-17 株式会社 東芝 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
JP2022023903A (ja) * 2019-03-14 2022-02-08 サイトロニクス株式会社 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
JP7039071B2 (ja) 2019-03-14 2022-03-22 サイトロニクス株式会社 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
JP7148185B2 (ja) 2019-03-14 2022-10-05 サイトロニクス株式会社 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
US11592385B2 (en) 2019-03-14 2023-02-28 Cytoronix Inc. Monitoring device and monitoring system
JP7313720B2 (ja) 2019-03-14 2023-07-25 サイトロニクス株式会社 モニタリング装置、及びモニタリングシステム
US11841312B2 (en) 2019-03-14 2023-12-12 Cytoronix Inc. Monitoring device and monitoring system
JP7420927B2 (ja) 2019-09-20 2024-01-23 ウェイモ エルエルシー モノリシックシリコン光電子増倍管アレイ

Also Published As

Publication number Publication date
KR20140027113A (ko) 2014-03-06
WO2012119094A2 (en) 2012-09-07
EP2681601A2 (en) 2014-01-08
US9343494B2 (en) 2016-05-17
WO2012119094A3 (en) 2012-11-08
EP2681601A4 (en) 2014-07-23
US20120223214A1 (en) 2012-09-06
CN103534627A (zh) 2014-01-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9343494B2 (en) Light guided pixel configured for emissions detection and comprising a guide layer with a wavelength selective filter material and a light detector layer
EP2881728B1 (en) System and method for dense-stochastic-sampling imaging
US7738945B2 (en) Method and apparatus for pseudo-projection formation for optical tomography
Inoué Foundations of confocal scanned imaging in light microscopy
Vonesch et al. The colored revolution of bioimaging
CN105765690B (zh) 可变照明傅立叶重叠关联成像设备、系统以及方法
CN101228428B (zh) 荧光纳米显微方法
US9885859B2 (en) Structured illumination microscopy apparatus and method
US9041938B2 (en) Surface wave assisted structures and systems
US20120228475A1 (en) Talbot Imaging Devices and Systems
US8633432B2 (en) Reflective focusing and transmissive projection device
CN108956561A (zh) 基于扫描振镜的共聚焦与环形全内反射双模式显微镜系统
CN106066315A (zh) 用于表征和量化微粒样本的图像细胞仪
CN107209110B (zh) 高吞吐量生化筛查
US8964183B2 (en) Systems and methods for screening of biological samples
CN108700520B (zh) 用于高吞吐量成像的方法和设备
Gong et al. A fully water coupled oblique light-sheet microscope
US20110186754A1 (en) Device for the Optical Imaging of a Sample
Dean Confocal microscopy: principles and practices
Isbaner Extending resolution in all directions: image scanning microscopy and metal-induced energy transfer
US20230341328A1 (en) Device, method and use for optically determining at least one property of a sample positioned on a sample stage
Freeman Spinning Disk Microscopy
CN114813564A (zh) 一种高保真的超分辨显微成像方法和系统
Freeman Spinning Disk Microscopy 11
Stowe et al. Direct Contact Fiberoptic Plates for the Detection of Luminescent Cells