JP7420927B2 - モノリシックシリコン光電子増倍管アレイ - Google Patents
モノリシックシリコン光電子増倍管アレイ Download PDFInfo
- Publication number
- JP7420927B2 JP7420927B2 JP2022516377A JP2022516377A JP7420927B2 JP 7420927 B2 JP7420927 B2 JP 7420927B2 JP 2022516377 A JP2022516377 A JP 2022516377A JP 2022516377 A JP2022516377 A JP 2022516377A JP 7420927 B2 JP7420927 B2 JP 7420927B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sipms
- sipm
- array
- optical system
- substrate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 20
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 72
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 53
- 238000002955 isolation Methods 0.000 claims description 51
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 31
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 26
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 17
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 15
- 239000012811 non-conductive material Substances 0.000 claims description 6
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 5
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 claims description 3
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 8
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 7
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 3
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 3
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N [Si].[Ge] Chemical compound [Si].[Ge] LEVVHYCKPQWKOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000010297 mechanical methods and process Methods 0.000 description 1
- 125000005375 organosiloxane group Chemical group 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/08—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors
- H01L31/10—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof in which radiation controls flow of current through the device, e.g. photoresistors characterised by potential barriers, e.g. phototransistors
- H01L31/101—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation
- H01L31/102—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier
- H01L31/107—Devices sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation characterised by only one potential barrier the potential barrier working in avalanche mode, e.g. avalanche photodiodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/1443—Devices controlled by radiation with at least one potential jump or surface barrier
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S17/00—Systems using the reflection or reradiation of electromagnetic waves other than radio waves, e.g. lidar systems
- G01S17/88—Lidar systems specially adapted for specific applications
- G01S17/89—Lidar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S17/894—3D imaging with simultaneous measurement of time-of-flight at a 2D array of receiver pixels, e.g. time-of-flight cameras or flash lidar
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S7/00—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00
- G01S7/48—Details of systems according to groups G01S13/00, G01S15/00, G01S17/00 of systems according to group G01S17/00
- G01S7/481—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements
- G01S7/4816—Constructional features, e.g. arrangements of optical elements of receivers alone
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/14—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation
- H01L27/144—Devices controlled by radiation
- H01L27/1446—Devices controlled by radiation in a repetitive configuration
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0232—Optical elements or arrangements associated with the device
- H01L31/02327—Optical elements or arrangements associated with the device the optical elements being integrated or being directly associated to the device, e.g. back reflectors
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1804—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof comprising only elements of Group IV of the Periodic Table
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Light Receiving Elements (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
本出願は、2019年9月20日に出願された米国特許出願第16/577,035号の利益を主張し、その内容は参照により本明細書に組み込まれる。
光学システム(例えば、LIDARデバイス)は、複数の受信機チャネルを含むことができる。シナリオ例では、各受信機チャネルは、ディスクリートシリコン光電子増倍管(SiPM)上に位置合わせされたピンホールを含む。ピンホールは、周囲光の検出を低減させることができる。各SiPMは、互いに電気的に接続された(例えば、並列に接続された)複数の(例えば、2000を超える)単一光子アバランシェダイオード(SPAD)を含む。SPADは、ガイガーモードで動作するように設計された単一光子感応デバイスである。いくつかの実施形態では、光学システムは、200を超える受信機チャネル(各々100を超える受信機チャネルの2つのグループに配置される)を含むことができる。このような場合、複数の受信機チャネルの製造は、200を超える個別のSiPMを1つ以上のプリント回路基板(PCB)に取り付けることを含み得る。
図1は、例示的な実施形態による、光学システム100の概略的ブロック表示を例示する。場合によっては、光学システム100は、LIDARシステムの受信機サブシステムなどのLIDARシステムの一部として利用することができる。LIDARシステムは、車両に結合され、車両が自律もしくは半自律モードにあるとき、または車両が完全自律車両であるときなど、車両の動作に使用され得る。車両は、例えば、自動車、トラック、トラクタートレーラー、ブルドーザーなどの建設機械、自律型ドローン航空機、または歩道配達ロボットなどのロボットであり得る。このようなLIDARシステムは、所与の環境内の1つ以上のオブジェクト(例えば、場所、形状など)に関する情報(例えば、点群データ)を提供するように構成することができる。例示的な実施形態では、LIDARシステムは、点群情報、対象情報、地図情報、または他の情報を車両に提供することができる。本明細書では、他のタイプの車両およびLIDARシステムが想定されている。
図3A~図3Dは、1つ以上の例示的な実施形態による、製造方法の様々なステップを例示する。様々なステップのうちの少なくともいくつかは、本明細書において提示される順序とは異なる順序で実行されてもよいことが理解されよう。さらに、ステップは、追加、除外、入れ替え、および/または反復が行われてもよい。図3A~図3Dは、図4に関連して例示および説明されるような方法400に関連して説明されるステップまたはブロックのうちの少なくともいくつかに対する例示的な図示としての役割を果たし得る。さらに、図3A~図3Dのいくつかのステップは、それぞれ図1、図2Aおよび図2Bを参照して図示および説明されたような、光学システム100および/または光学システム200もしくは220を提供するように実行され得る。
Claims (18)
- 光学システムであって、
基板と、
前記基板とモノリシックに統合された複数のシリコン光電子増倍管(SiPM)であって、各SiPMが、複数の単一光子アバランシェダイオード(SPAD)を含む、複数のSiPMと、
複数のアパーチャを含むアパーチャアレイであって、前記複数のSiPMおよび前記アパーチャアレイが、複数の受信機チャネルを画定するように整列され、各受信機チャネルが、前記複数のアパーチャのそれぞれのアパーチャに光学的に結合された前記複数のSiPMのそれぞれのSiPMを含む、アパーチャアレイと、
バッフル構造であって、前記バッフル構造が、光学的に不透明な材料に複数の開口を含み、各受信機チャネルが、前記バッフル構造のそれぞれの開口を介して前記複数のアパーチャのそれぞれのアパーチャに光学的に結合された前記複数のSiPMのそれぞれのSiPMを含むように、前記バッフル構造が、前記アパーチャアレイと前記複数のSiPMとの間に、前記アパーチャアレイと物理的に結合するように配置されている、バッフル構造と、
を備える、光学システム。 - 前記基板が、シリコンウェーハ、リン化インジウムウェーハ、またはガリウムヒ素ウェーハを含む、請求項1に記載の光学システム。
- 前記複数のSiPMの各SiPMが、少なくとも1000個のSPADを含む、請求項1に記載の光学システム。
- 前記複数のSiPMが、六角形または正方形のアレイで前記基板に沿って配置されている、請求項1に記載の光学システム。
- 前記複数のSiPMが、1mm2当たり約0.4SiPMの密度で前記基板に沿って配置されている、請求項1に記載の光学システム。
- 複数の導電体が、貫通基板ビア(TSV)またはサイドルーティング構成のうちの少なくとも1つを介して前記複数のSiPMに結合されている、前記複数の導電体をさらに備える、請求項1に記載の光学システム。
- 前記基板内に少なくとも1つの分離トレンチをさらに含み、前記少なくとも1つの分離トレンチが、隣接するSiPMの間に配置されている、請求項1に記載の光学システム。
- 前記少なくとも1つの分離トレンチが、金属材料、光学的に不透明な材料、導電性材料、または非導電性材料のうちの少なくとも1つで少なくとも部分的に満たされている、請求項7に記載の光学システム。
- 前記少なくとも1つの分離トレンチが、前記隣接するSiPM間の電気的分離または光学的分離を提供する、請求項7に記載の光学システム。
- 複数の光導波路であって、各光導波路が、前記複数のSiPMのそれぞれのSiPMに光を結合するように構成されている、複数の光導波路をさらに備える、請求項1に記載の光学システム。
- 前記バッフル構造の断面が、前記バッフル構造の前記それぞれの開口によって分離された複数のひし形部材を含む、請求項1に記載の光学システム。
- 光学システムを製造する方法であって、
基板とモノリシックに統合された複数のシリコン光電子増倍管(SiPM)を含むモノリシックSiPMアレイを提供することであって、各SiPMが、複数の単一光子アバランシェダイオード(SPAD)を含むことと、
複数のアパーチャを含むアパーチャアレイを、複数の受信機チャネルを画定するように、前記モノリシックSiPMアレイと整列させることであって、各受信機チャネルが、前記複数のアパーチャのそれぞれのアパーチャに光学的に結合された前記複数のSiPMのそれぞれのSiPMを含むことと、
前記モノリシックSiPMアレイと前記アパーチャアレイとの間の光学的に不透明な材料に複数の開口を含むバッフル構造を、各受信機チャネルが、前記バッフル構造のそれぞれの開口を介して前記複数のアパーチャのそれぞれのアパーチャに光学的に結合された前記複数のSiPMのそれぞれのSiPMを含むように、位置づけることと、
前記バッフル構造を、前記アパーチャアレイと物理的に結合することと、を含む、方法。 - 前記モノリシックSiPMアレイ内の前記複数のSiPMが、六角形または正方形のアレイで配置されている、請求項12に記載の方法。
- 前記モノリシックSiPMアレイ内の前記複数のSiPMが、1mm2当たり約0.4SiPMの密度で配置されている、請求項12に記載の方法。
- 前記モノリシックSiPMアレイが、前記基板内に少なくとも1つの分離トレンチをさらに含み、前記少なくとも1つの分離トレンチが、隣接するSiPMの間に配置されている、請求項12に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの分離トレンチが、金属材料、光学的に不透明な材料、導電性材料、または非導電性材料のうちの少なくとも1つで少なくとも部分的に満たされている、請求項15に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの分離トレンチが、前記隣接するSiPM間の電気的分離を提供する、請求項15に記載の方法。
- 前記少なくとも1つの分離トレンチが、前記隣接するSiPM間の光学的分離を提供する、請求項15に記載の方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US16/577,035 US11145778B2 (en) | 2019-09-20 | 2019-09-20 | Monolithic silicon photomultiplier array |
US16/577,035 | 2019-09-20 | ||
PCT/US2020/051370 WO2021055663A1 (en) | 2019-09-20 | 2020-09-18 | Monolithic silicon photomultiplier array |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2022548093A JP2022548093A (ja) | 2022-11-16 |
JP7420927B2 true JP7420927B2 (ja) | 2024-01-23 |
Family
ID=74881244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2022516377A Active JP7420927B2 (ja) | 2019-09-20 | 2020-09-18 | モノリシックシリコン光電子増倍管アレイ |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US11145778B2 (ja) |
EP (1) | EP4014253A4 (ja) |
JP (1) | JP7420927B2 (ja) |
CN (1) | CN114424347A (ja) |
IL (1) | IL291442A (ja) |
WO (1) | WO2021055663A1 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11177397B2 (en) * | 2020-01-09 | 2021-11-16 | Vanguard International Semiconductor Corporation | Semiconductor devices and methods for forming the same |
US11729790B2 (en) | 2020-08-06 | 2023-08-15 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Mobile communications methods for monitoring and scheduling |
US11870000B2 (en) * | 2020-11-17 | 2024-01-09 | Semiconductor Components Industries, Llc | Semiconductor packages with single-photon avalanche diodes and prisms |
CN115372950B (zh) * | 2022-10-24 | 2023-01-20 | 北醒(北京)光子科技有限公司 | 硅光电倍增管标定装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110248175A1 (en) | 2008-12-15 | 2011-10-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Temperature compensation circuit for silicon photomultipliers and other single photon counters |
US20120112083A1 (en) | 2010-11-10 | 2012-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft | High Density, Proportional-Mode, APD Arrays for Individual Scintillator Readout in PET Applications |
WO2012168218A2 (de) | 2011-06-07 | 2012-12-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Strahlungsdetektor und bildgebendes system |
JP2014515179A (ja) | 2011-03-03 | 2014-06-26 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 光ガイドピクセル |
JP2016027694A (ja) | 2014-05-16 | 2016-02-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置、監視装置、及び電子機器 |
JP2017033962A (ja) | 2015-07-28 | 2017-02-09 | 株式会社東芝 | 光検出器およびこれを用いたライダー装置 |
WO2018213200A1 (en) | 2017-05-15 | 2018-11-22 | Ouster, Inc. | Optical imaging transmitter with brightness enhancement |
US20190072649A1 (en) | 2017-09-05 | 2019-03-07 | Waymo Llc | LIDAR with Co-Aligned Transmit and Receive Paths |
WO2019138923A1 (ja) | 2018-01-11 | 2019-07-18 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置、電子機器 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
ITTO20080046A1 (it) | 2008-01-18 | 2009-07-19 | St Microelectronics Srl | Schiera di fotodiodi operanti in modalita' geiger reciprocamente isolati e relativo procedimento di fabbricazione |
US8476571B2 (en) * | 2009-12-22 | 2013-07-02 | Siemens Aktiengesellschaft | SiPM photosensor with early signal digitization |
GB201014843D0 (en) | 2010-09-08 | 2010-10-20 | Univ Edinburgh | Single photon avalanche diode for CMOS circuits |
ITTO20110298A1 (it) | 2011-04-01 | 2012-10-02 | St Microelectronics Srl | Rilevatore ottico confocale, schiera di rilevatori e relativo procedimento di fabbricazione |
WO2013066959A1 (en) | 2011-10-31 | 2013-05-10 | The Trustees Of Columbia University In The City Of New York | Systems and methods for imaging using single photon avalanche diodes |
EP3024029B1 (en) | 2014-11-19 | 2020-04-22 | ams AG | Method of producing a semiconductor device comprising an aperture array |
US10698088B2 (en) * | 2017-08-01 | 2020-06-30 | Waymo Llc | LIDAR receiver using a waveguide and an aperture |
US10838043B2 (en) | 2017-11-15 | 2020-11-17 | Veoneer Us, Inc. | Scanning LiDAR system and method with spatial filtering for reduction of ambient light |
-
2019
- 2019-09-20 US US16/577,035 patent/US11145778B2/en active Active
-
2020
- 2020-09-18 CN CN202080065868.3A patent/CN114424347A/zh active Pending
- 2020-09-18 EP EP20866546.3A patent/EP4014253A4/en active Pending
- 2020-09-18 JP JP2022516377A patent/JP7420927B2/ja active Active
- 2020-09-18 WO PCT/US2020/051370 patent/WO2021055663A1/en unknown
-
2021
- 2021-09-14 US US17/475,010 patent/US20220052217A1/en active Pending
-
2022
- 2022-03-16 IL IL291442A patent/IL291442A/en unknown
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20110248175A1 (en) | 2008-12-15 | 2011-10-13 | Koninklijke Philips Electronics N.V. | Temperature compensation circuit for silicon photomultipliers and other single photon counters |
US20120112083A1 (en) | 2010-11-10 | 2012-05-10 | Siemens Aktiengesellschaft | High Density, Proportional-Mode, APD Arrays for Individual Scintillator Readout in PET Applications |
JP2014515179A (ja) | 2011-03-03 | 2014-06-26 | カリフォルニア インスティチュート オブ テクノロジー | 光ガイドピクセル |
WO2012168218A2 (de) | 2011-06-07 | 2012-12-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Strahlungsdetektor und bildgebendes system |
JP2016027694A (ja) | 2014-05-16 | 2016-02-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 撮像装置、監視装置、及び電子機器 |
JP2017033962A (ja) | 2015-07-28 | 2017-02-09 | 株式会社東芝 | 光検出器およびこれを用いたライダー装置 |
WO2018213200A1 (en) | 2017-05-15 | 2018-11-22 | Ouster, Inc. | Optical imaging transmitter with brightness enhancement |
US20190072649A1 (en) | 2017-09-05 | 2019-03-07 | Waymo Llc | LIDAR with Co-Aligned Transmit and Receive Paths |
WO2019138923A1 (ja) | 2018-01-11 | 2019-07-18 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像装置、電子機器 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2021055663A1 (en) | 2021-03-25 |
EP4014253A1 (en) | 2022-06-22 |
EP4014253A4 (en) | 2023-08-16 |
JP2022548093A (ja) | 2022-11-16 |
US20220052217A1 (en) | 2022-02-17 |
US11145778B2 (en) | 2021-10-12 |
CN114424347A (zh) | 2022-04-29 |
US20210091251A1 (en) | 2021-03-25 |
IL291442A (en) | 2022-05-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7420927B2 (ja) | モノリシックシリコン光電子増倍管アレイ | |
JP7080238B2 (ja) | 光検出器アレイのデジタルフロントエンドとのハイブリッド統合 | |
US11056525B2 (en) | Semiconductor photomultiplier | |
US10468543B2 (en) | Microstructure enhanced absorption photosensitive devices | |
CN109716525B (zh) | 堆叠式背面照明spad阵列 | |
US9659980B2 (en) | Semiconductor photomultiplier | |
US10455213B2 (en) | Device having a 2D image sensor and depth sensor | |
JP5791461B2 (ja) | 光検出装置 | |
TW201916338A (zh) | 單光子崩潰二極體影像感測器以及相關製造方法 | |
TWI704686B (zh) | 光檢測裝置 | |
US11088127B2 (en) | Multichannel monostatic rangefinder | |
US20240094358A1 (en) | SiPM with Cells of Different Sizes | |
CN110100310B (zh) | 接收器阵列包装 | |
JP5911629B2 (ja) | 光検出装置 | |
CN213366608U (zh) | 集成电路 | |
JP7466493B2 (ja) | 光検出器、光検出システム、ライダー装置、及び移動体 | |
EP3745102B1 (en) | Photodetector device | |
US20240094349A1 (en) | Light detector, light detection system, and lidar device | |
JP6282307B2 (ja) | 半導体光検出素子 | |
JP6244403B2 (ja) | 半導体光検出素子 | |
JP6116728B2 (ja) | 半導体光検出素子 | |
JP5989872B2 (ja) | 光検出装置の接続構造 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20220509 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20230627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20230628 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20230921 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20231215 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20240111 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7420927 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |