JP2014510798A - 透明層形成性ポリマー - Google Patents

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Abstract

本発明による幾つかの態様は、種々のタイプのオプトエレクトロニクスディスプレイの製造において有用な層/フィルムを形成するためのポリマーを提供する。かかる態様はまた、形成された層/フィルムが可視光スペクトルにわたって高い透明度を有するかかる層/フィルムを形成するためのかかるポリマーの組成物も提供する。
【選択図】なし

Description

[0001]本出願は、2010年12月14日出願の「透明層形成性ポリマー」と題された出願番号61/422763を有する米国仮特許の権利を享有し、これに対する優先権を主張する。かかる仮特許はその全部を参照として本明細書中に包含する。
[0002]以下に開示する幾つかの態様は、概して、種々のタイプのディスプレイの製造において有用な層/フィルムを形成するためのポリマーに関し、より具体的には、可視光スペクトルにわたって高い透明度を有するかかる層/フィルムを形成するためのノルボルネンタイプのポリマー及びその組成物に関する。
[0003]液晶ディスプレイ、有機発光ダイオードディスプレイ、及び他のオプトエレクトロニクスデバイスの製造においては、複数の異なる透明な有機及び無機層を形成する必要がある。例えば、LCDは、通常はカラーフィルター層、偏光層、レベリング層、擦過傷防止層などを含む。かかるディスプレイに関する製造プロセスが進歩するにつれて、かかる層のために用いる材料も、しばしば上述の進歩から生起するより厳しい要求を満足するために進歩又は変化させなければならない。したがって、かかる進歩した要求を満足することができる透明層に対する必要性が存在する。
[0004]以下に与える実施例及び特許請求の範囲を参照して、本発明による代表的な幾つかの態様を記載する。本明細書に記載するかかる代表的な幾つかの態様の種々の修正、適合、又は変化は、開示されているように当業者に明らかにすることができる。本発明の教示に基づいており、それによってこれらの教示が技術を進歩させる全てかかる修正、適合、又は変化は、本発明の範囲及び精神の範囲内であると考えられることが理解されるであろう。
[0005]本明細書において用いる冠詞「a」、「an」、及び「the」は、明確に且つ明白に1つの指示物に限定していない限り複数の指示物を含む。
[0006]本明細書及び特許請求の範囲において用いる成分の量、反応条件等を指す全ての数、値、及び/又は表現は、他に示していない限りにおいて、かかる値を得る際に遭遇する測定の種々の不確かさに曝されており、全てのものは全ての場合において用語「約」によって修飾されているように理解される。
[0007]本明細書において用いる重量平均分子量(M)及び数平均分子量(M)のようなポリマーの分子量の値は、ポリスチレン標準試料を用いるゲル透過クロマトグラフィーによって求める。
[0008]本明細書において用いるポリマーのガラス転移温度(T)の値を与える場合には、これらは他に示さない限りにおいて、American Society for Testing and Materials (ASTM)法D3418にしたがって示差走査熱量測定法によって求めた。
[0009]本明細書において用いるポリマーの分解温度(T)を与える場合には、他に示さない限りにおいて、それらは窒素下における10℃/分の加熱速度での熱重量分析(ポリマーの具体的な重量パーセント(重量%)が分解(気化による損失)したことを求める)によって求められる温度であると理解される。Td1、Td5、Td50、及びTd95の用語は、ポリマーの1重量%、5重量%、50重量%、及び95重量%が分解した温度を示す。
[0010]本明細書において数値範囲が開示されている場合には、かかる範囲は連続的であり、範囲の最小値及び最大値の両方、並びにかかる最小値と最大値との間の全ての値を含む。更には、範囲が整数を指す場合には、かかる範囲の最小値と最大値との間の全ての整数が含まれる。更に、特性又は特徴を示すために複数の範囲が与えられている場合には、かかる範囲を組み合わせることができる。即ち、他に示していない限りにおいて、本明細書において開示されている全ての範囲はその中に含まれるありとあらゆる部分範囲を含むと理解すべきである。例えば、「1〜10」の規定されている範囲は、1の最小値と10の最大値との間のありとあらゆる部分範囲を含むと考えるべきである。1〜10の範囲の部分範囲の例としては、1〜6.1、3.5〜7.8、及び5.5〜10が挙げられるが、これらに限定されない。
[0011]本明細書において用いる「透明ポリマー」、「透明層」、又は「透明フィルム」という句は、400nm〜750nmの範囲(可視光範囲)の放射線に対して実質的に透明であるポリマー、層、又はフィルムを意味すると理解される。即ち、かかる透明ポリマー又は透明層は、上述の範囲内の可視光がそれを通過する少なくとも95%の透過率を可能にする。本明細書において全可視スペクトルにわたる透過率を言及する場合には、透過率(%)の実際の測定は、可視スペクトルの下端における光の透過率は一般により高い波長よりも問題があるので、400nmにおいて行う。
[0012]本明細書において用いる「ヒドロカルビル」とは、炭素及び水素のみを含む炭化水素基を指し、非限定的な例は、アルキル、シクロアルキル、アルケニル、シクロアルケニル、アルキニル、アリール、アラルキル、及びアルカリールである。
[0013]本明細書において用いる「アルキル」及び「シクロアルキル」という用語は、それぞれC〜C25の適当な炭素鎖の長さを有する非環式又は環式の飽和ヒドロカルビルを指す。好適なアルキル基の非限定的な例としては、−CH、−(CHCH、−(CHCH、−(CHCH、−(CHCH、−(CH23CH、シクロペンチル、メチルシクロペンチル、シクロヘキシル、及びメチルシクロヘキシルが挙げられるが、これらに限定されない。
[0014]本明細書において用いる「アルケニル」又は「シクロアルケニル」という用語は、それぞれ、少なくとも1つの炭素−炭素二重結合、及びC〜C25の適当な炭素鎖の長さを有する非環式又は環式の飽和炭化水素基を意味する。非限定的な例としては、中でも、ビニル基、並びにプロピレン、ブテン、シクロペンテン、シクロヘキサン、及びイソプロピルプレニルから誘導される基が挙げられる。
[0015]本明細書において用いる「アリール」という用語は、限定なしに、フェニル、ビフェニル、ベンジル、及びキシリルのような基などの芳香族ヒドロカルビルを指す。
[0016]「アルカリール」又は「アラルキル」という用語は、本明細書においては互換的に用いられ、少なくとも1つのアルキル、シクロアルキル、アルケニル、又はシクロアルケニル基で置換されている芳香族ヒドロカルビル、例えばトルエン、ブチルベンゼン、シクロヘキシルベンゼン、及び1,2−ジヒドロ−1,1’−ビフェニルから誘導される基を指す。
[0017]本明細書において用いる「ハロヒドロカルビル」とは、少なくとも1つの水素がハロゲンによって置き換えられている任意の上述のヒドロカルビル基を指し、「ペルハロカルビル」とは、全ての水素がハロゲンによって置き換えられているかかるヒドロカルビル基、例えばペンタフルオロベンゼンを指す。
[0018]本明細書において用いる「ヘテロヒドロカルビル」という用語は、少なくとも1つの炭素原子が、N、O、S、Si、又はPで置き換えられている任意の上述のヒドロカルビル基を指す。非限定的な例としては、ピロリル、フラニル、及びピリデニルのような複素環式芳香族基、並びにエポキシド、アルコール、エーテル、チオエーテル、及びシリルエーテルのような非芳香族基が挙げられる。
[0019]更に、「ヒドロカルビル」という用語は、より具体的な用語であるハロヒドロカルビル、ペルハロヒドロカルビル、及びヘテロヒドロカルビル基を含む包括的な用語であることが理解される。更に、任意のかかる基は、炭素原子の数、線状、分岐、又は環式の点で所望の場合には更に置換されていてもよいことが理解される。好適な置換基の非限定的な例としては、中でもヒドロキシル基、エポキシ基、ベンジル基、カルボン酸及びカルボン酸エステル基、アミド、及びイミドが挙げられる。更に、「ヒドロカルビレン」という用語は、任意の上述のヒドロカルビルから水素原子を除去することによって形成される二価の基を指すことが理解される。
[0020]「ノルボルネンタイプ」という用語は、本明細書においては、下記に示す構造1にしたがうモノマー、或いは少なくとも1種類のかかるノルボルネンタイプのモノマーから形成されたもので、したがってこれも下記に示す構造2にしたがう少なくとも1種類の繰り返し単位を有するポリマー材料を意味するように用いられる。
Figure 2014510798
[0021]種々の化合物がモノマー及び/又は重合性モノマーとして記載されている場合には、かかる化合物は上記の構造1に構造的に類似していると理解される。即ち、かかる化合物は上記の1において示される重合性二重結合を有する。また、かかるモノマーを重合すると、それらは上記の構造2に構造的に類似している「反復単位」又は「繰り返し単位」としてポリマー構造中に導入される。即ち、重合は構造2において示されるように構造1の二重結合を横切って起こり、得られるポリマーは一般にビニル付加ポリマーと呼ばれる。
[0022]更に、ノルボルネンタイプのモノマーという用語は、本明細書においては、ノルボルネンそれ自体に加えて、任意の1種類又は複数の置換ノルボルネン、又はその置換及び非置換のより高級の環式誘導体を意味するように用いられる。下記に示す式A1及びA2は、それぞれ、かかるノルボルネンタイプのモノマー、及びかかるモノマーから誘導されるノルボルネンタイプの繰り返し単位の代表例である。
Figure 2014510798
[0023]式中、mは、0、1、又は2であり、R、R、R、及びRのそれぞれは、独立して、水素、ヒドロカルビル、又は他の置換基を表す。式A1によって表されるモノマーから式A2によって表される繰り返し単位を誘導する際には、R、R、R、及びRのいずれの置換状態及び性質も変性しておらず;而して、本発明のポリマーの幾つかの態様の繰り返し単位は未変性の繰り返し単位であるということができることを留意すべきである。
[0024]本発明による幾つかの態様は、ノルボルネンタイプのポリマー、かかるポリマーを含む組成物、並びにかかるポリマー組成物を用いて、4H以上の鉛筆硬度を有し、空気中において280℃の温度に30分間曝露した後に400nmにおけるその初期透明度の少なくとも95%を維持し;空気中において280℃の温度に30分間曝露している間にフィルムの重量損失(%)が1%を超えない高度の熱安定性を示し、40℃のN−メチル−2−ピロリドン(NMP)中に10分間浸漬した後に(3μmのフィルムに関して)2%以下のフィルム厚さの変化を示す透明ポリマー層又はフィルムを形成する方法に関する。
[0025]上述のノルボルネンタイプのポリマーは、式A1にしたがう少なくとも2種類の別のタイプのモノマーを含むことが見出された。即ち、第1のタイプのノルボルネンタイプのモノマーは架橋性ヒドロカルビル懸垂基を含み、第2のタイプのノルボルネンタイプのモノマーは、中でも得られるポリマーに可視光スペクトルにわたる所望の高い透明度を与えるように選択されるヒドロカルビル基を含む。
[0026]第1のタイプのモノマーに関しては、R、R、R、及びRの少なくとも1つは、式B、C、又はD:
Figure 2014510798
の1つにしたがうヒドロカルビル基である。
[0027]式B及びCのそれぞれにおいて、nは1〜4の整数であり;Aは、存在する場合には、メチレン、又はC〜Cアルキレンから選択されるヒドロカルビル連結基であり;R及びRは、それぞれ独立して、水素、フッ素、メチル、ペルフルオロメチル、エチル、又はペルフルオロエチルから選択される。好適なヒドロカルビル連結基Aの非限定的な例としては、メチレン、エチレン、プロピレン、イソプロピレン、ブチレン、イソブチレン、及びヘキシレンが挙げられる。式Bにしたがう有効なグリシジルアルキルエーテル懸垂基の非限定的な例としては、グリシジルメチルエーテル、グリシジルエチルエーテル、グリシジルプロピルエーテル、グリシジルイソプロピルエーテル、グリシジルブチルエーテル、グリシジルイソブチルエーテル、グリシジルヘキシルエーテルが挙げられるが、これらに限定されない。式Cにしたがう有用なアルキルエポキシ懸垂基の非限定的な例としては、ブチルエポキシ、ペンチルエポキシ、ヘキシルエポキシ、及びオクチルエポキシが挙げられるが、これらに限定されない。
[0028]式Dに関して、Aは、存在する場合には、メチレン、或いはC〜Cアルキレン又はエーテルから選択される連結基であり、Rは、水素、メチル、C〜Cヒドロカルビル、ニトリル(CN)、C〜Cペルフルオロヒドロカルビル、又はハロゲン(F、Cl、Br)を表す。代表的なペルフルオロヒドロカルビルとしては、ペルフルオロメチル及びペルフルオロエチルが挙げられるが、これらに限定されない。
[0029]第2のタイプのモノマーに関しては、R、R、R、及びRの少なくとも1つは、式E、F、G、又はH:
Figure 2014510798
の1つにしたがうヒドロカルビル基である。
[0030]ここで、Aは、存在する場合には上記に定義した通りであり;nは1〜6の整数であり、nは0〜3の整数であり、それぞれのRは、独立して水素又はフッ素を表し、R及びRは、それぞれ独立して、水素、フッ素、メチル、ペルフルオロメチル、エチル、又はペルフルオロエチルから選択される。式Eにしたがう好適な懸垂基の非限定的な例としては、C〜C10アルキル及びペルフルオロアルキルヒドロカルビル基、例えば−A−C又は−A−C13が挙げられるが、これらに限定されない。式F及びGにしたがう好適な懸垂基の非限定的な例としては、それぞれC〜Cアセテート及びカルボキシレートが挙げられるが、これらに限定されず、ここで、Qは、存在する場合にはC〜Cアルキレンから選択され、Zは(C 2n+1)又は(CR (CROHの1つから選択される。代表的なアセテート及びカルボキシレートとしては、中でも−A−CH−C(O)OC、−A−C(CF−C(O)OC、−A−CH−OC(O)CH、又は−A−C(CF−OC(O)Cが挙げられる。式Hにしたがう好適な懸垂基の非限定的な例としては、C〜C10アルコール、アセタール、及びエーテル−アルコール、例えば−CH−O−CH−C(CF−OH(ここで、nは0であり、Aは−CH−O−CH−であり、R及びRのそれぞれはペルフルオロメチルである)、又は−CH−C(CF−OH(ここで、nは0であり、Aは−CH−であり、R及びRのそれぞれはペルフルオロメチルである)が挙げられるが、これらに限定されない。
[0031]本発明による代表的な第1のタイプのモノマーの幾つかの態様としては、
Figure 2014510798
が挙げられるが、これらに限定されない。
[0032]本発明による代表的な第2のタイプのモノマーの幾つかの態様としては、
Figure 2014510798
が挙げられるが、これらに限定されない。
[0033]理解を容易にするために、4種類の代表的な第1のタイプのモノマーの態様のそれぞれ、及び6種類の代表的な第2のタイプのモノマーのそれぞれに関する化学名及びそれに関する頭字語を以下に与える:2−(6−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イル)ヘキシル)オキシラン(EONB)、2−((2−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イル)メトキシ)メチル)オキシラン(MGENB)、2−(6−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イル)ブチル)オキシラン(EHNB)、2−((2−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イル)エトキシ)メチル)オキシラン(EGENB)、ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチルアセテート(MeAcONB)、2−((2−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イル)メトキシ)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロ−2−メチルプロパン−2−オール(MMHFPNB)、5−(ペルフルオロブチル)ビシクロ[2.2.1]ヘプト−2−エン(PFBNB)、2−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン−2−オール(HFANB)、エチル3−(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イル)プロパノエート(EPENB)、及び5,5,5−トリフルオロ−4−ヒドロキシ−4−(トリフルオロメチル)ペンタン−2−イルビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−カルボキシレート(secPrHFAEsNB)。
[0034]上述したように、本発明による幾つかの態様は、ノルボルネンタイプの層形成性ポリマー、かかるポリマーを含む組成物、及び透明ポリマー層を形成するためにかかるポリマー組成物を使用する方法に関する。したがって、かかるノルボルネンタイプの層形成性ポリマーの幾つかの態様は、本発明による幾つかのポリマーの態様の非限定的な例として下記に示す実施例1〜6によって例示されるように、少なくとも1種類の第1のタイプのモノマーと少なくとも1種類の第2のタイプのモノマーの2,3−連鎖結合によって形成されると理解される。
[0035]更に、本発明による層形成性組成物は、1種類以上の層形成性ポリマーの態様、キャスト溶媒、及び1種類以上の添加剤を含む。かかる層形成性組成物の幾つかの態様は、本発明による幾つかのポリマー組成物の態様の非限定的な例として下記に示す実施例7〜12によって例示される。
[0036]かかるポリマー組成物の幾つかの態様の上述のキャスト溶媒に関して、かかるキャスト溶媒としては、N−メチルピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトン(GBL)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、酢酸メチル、乳酸メチル、乳酸ブチル、メチルエチルケトン(MEK)、メチルアミルケトン(MAK)、シクロヘキサノン、及びこれらの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。
[0037]かかるポリマー組成物の幾つかの態様の上述の添加剤に関して、かかる添加剤としては、熱酸発生剤(TAG)、酸化防止剤、及び相乗剤が挙げられるが、これらに限定されず、ここで、代表的なTAGとしては、中でも、SANSHIN CHEMICAL INDUSTRY CO., LTD.によって製造されているSI-45L、SI-60L、SI-80L、SI-100L、SI-110L、SI-150L、SI-145L、150、及び160;並びに、ADEKA CORPORATIONによって製造されているADEKAOPTON CP-77及びCP-66が挙げられ;ここで、SI-150Lは(ジメチル−p−アセトキシスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)であり、SI-100Lは(ジベンジルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)であり、SI-60Lは(1−ナフチルメチルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)である。
[0038]酸化防止剤/相乗剤に関して、代表的な材料の商品名としては、中でも、ADEKA STAB AO-20、ADEKA STAB AO-30、ADEKA STAB AO-40、ADEKA STAB AO-50、ADEKA STAB AO-60、ADEKA STAB AO-80、ADEKA STAB AO-330、Sumilizer GM、Sumilizer GS、Sumilizer GA-80、Sumilizer MDP-S、Sumilizer BBM-S、Sumilizer WX-R、IRGANOX 1010、IRGANOX 1035、IRGANOX 1076、IRGANOX 1098、IRGANOX 1135、IRGANOX 1330、IRGANOX 1726、IRGANOX 1425、IRGANOX 1520、IRGANOX 245、IRGANOX 259、IRGANOX 3114、IRGANOX 565、ADEKA STAB PEP-4C、ADEKA STAB PEP-8、ADEKA STAB PEP-8W、ADEKA STAB PEP-36、ADEKA STAB HP-10、ADEKA STAB 2112、ADEKA STAB 1178、ADEKA STAB 1500、ADEKA STAB C、ADEKA STAB 135A、ADEKA STAB 3010、IRGAFOS 12、IRGAFOS 38、Sumilizer TPL-R、Sumilizer TPM、Sumilizer TDS、Sumilizer TP-D、Sumilizer MB、ADEKA STAB AO-412S、ADEKA STAB AO-503、IRGANOX PS 800FD、又はIRGANOX PS 802FDが挙げられ、ここで、上記に列記したADEKA材料はADEKA Corporation,東京,日本の製品であり;上記に列記したSumilizer材料はSumitomo Chemical Co., Ltd.,東京,日本の製品であり;上記に列記したIRGANOX又はIRGAFOS材料はCiba Specialty Chemicals Corp.の製品である。上記の材料の化学構造、並びに別の商品名及び供給業者は、ここに添付するAppendix‘A'において見ることができる。
[0039]更には、実施例1〜12は非限定的な例であると理解される。即ち、これらは本発明による幾つかの態様が実際に実施化されたことを示すだけのために与えられる。上記に与えたノルボルネンタイプのモノマーの開示を考慮すれば、当業者は上述の実施例が本発明にしたがう可能性がある唯一の可能なポリマー及び/又は組成物の態様ではないことを知見するであろう。
[0040]本発明によるポリマー組成物の幾つかの態様を用いる方法に関して、かかる方法の幾つかの態様は、所望/適当なポリマー組成物を形成し、かかる組成物を基板の上方/上に適用又はキャストすることを含む。かかるキャストは、例えばスピンコート、スプレーコート、又はドクターブレード法によって基板上にポリマー組成物を適用する任意の適当な方法を含む。更に、本発明によるフィルム形成の幾つかの態様に関して、かかる態様は適用後焼成(PAB)及び硬化焼成を含み、後者はポリマー組成物中に存在する熱酸発生剤(TAG)を活性化するのに十分な温度において行い、かかるTAGの活性化によってポリマーの架橋が開始され、これは層/フィルムを硬化させるように働く。
[0041]更に、本発明による層/フィルムの幾つかの態様の使用に関しては米国特許7,361,931を参照されたい。ここでは、アクティブマトリクス液晶ディスプレイなどの従来公知のフラットパネルディスプレイが、スイッチングのための薄膜トランジスタ(TFT)が複数のディスプレイピクセルのそれぞれに与えられている構造を有することが記載されている‘931特許には更に、マスキング手段(光遮蔽手段)は光がTFTに侵入することを阻止するように与えなければならず、したがってかかるマスキング手段はその上に凹凸を有する基板を与えることが記載されている。当業者であれば、かかる凹凸を排除又は減少させることが望ましく、本発明による幾つかの態様はかかる望ましい結果を与えることができることを認識する。更に、本明細書において示されるように、かかるポリマー層又はフィルムの幾つかの態様は、可視光スペクトルにわたって高い透明度、優れた熱安定性、かかるディスプレイの製造に通常的な溶媒であるNMPに対する抵抗性、及び誘発されたフィルム又は層の欠陥の取扱いを回避又は最小にするのに十分な硬度の特性を示す。
実施例1:MeOAcNB/MGENB(80:20)のポリマーの合成:
[0042]MEOAcNB(ビシクロ[2.2.1]ヘプト−5−エン−2−イルメチルアセテート、7.87g、47.4ミリモル)及びMGENB(2.13g、11.8ミリモル)をトルエン(15.17g)及びMEK(1.17g)中に溶解し、反応容器に充填した。溶液に窒素を30分間散布して酸素を除去し、次に60℃に加熱した。その温度になったら、7.00gのトルエン中の(η−トルエン)Ni(C(0.164g、0.34ミリモル)(グローブボックス内で調製)を、シリンジによって反応容器に加えた。混合物を60℃において4.0時間撹拌した後、溶液を室温に冷却した。次に、50gのトルエンで希釈した反応混合物を、酢酸(2.65g、44.0ミリモル)及び濃度30%のH水溶液(5.02g、44.0ミリモル)で処理してNi残渣を除去し、次に水で洗浄した。溶媒をロータリーエバポレーターで蒸発させることによって除去して、明黄色の固体を与えた。黄色の固体をTHF中に再溶解し(50重量%)、ヘキサン(20倍過剰量)に加えて明黄色の粉末を与え、これを濾過し、40℃において真空によって16時間乾燥した。約8.6g(86%)のMEOAcNB/MGENBポリマーが単離された。MEOAcNBとMGENBとのモル比は、13C−NMRによって80:20であると求められた。
実施例2:HFANB/CNB/MGENB(60:20:20)のポリマーの合成:
[0043]HFANB(3.13g、11.4ミリモル)、CNB(1.19g、3.8ミリモル)、及びMGENB(0.68g、3.8ミリモル)をトルエン(8.85g)及びMEK(0.75g)中に溶解し、反応容器に充填した。溶液に窒素を30分間散布して酸素を除去し、次に60℃に加熱した。その温度になったら、5.40gのトルエン中の(η−トルエン)Ni(C(0.184g、0.38ミリモル)(グローブボックス内で調製)を、シリンジによって反応容器に加えた。混合物を60℃において14.0時間撹拌した後、溶液を室温に冷却した。次に、トルエン(20g)及びTHF(10g)で希釈した反応混合物を、酢酸(3.60g、60.0ミリモル)及び30%のH水溶液(6.81g、60.0ミリモル)で処理してNi残渣を除去し、次に水で洗浄した。溶媒をロータリーエバポレーターで蒸発させることによって除去して、明黄色の固体を与えた。黄色の固体をTHF中に再溶解し(50重量%)、ヘキサン(20倍過剰量)に加えて明黄色の粉末を与え、これを濾過し、40℃において真空によって16時間乾燥した。約3.48g(70%)のHFANB/CNB/MGENBポリマーが単離された。
実施例3:HFANB/CNB/MGENB(40:40:20)のポリマーの合成:
[0044]HFANB(2.08g、7.6ミリモル)、CNB(2.38g、7.6ミリモル)、及びMGENB(0.68g、3.8ミリモル)をトルエン(8.85g)及びMEK(0.75g)中に溶解し、反応容器に充填した。溶液に窒素を30分間散布して酸素を除去し、次に60℃に加熱した。その温度になったら、5.40gのトルエン中の(η−トルエン)Ni(C(0.184g、0.38ミリモル)(グローブボックス内で調製)を、シリンジによって反応容器に加えた。混合物を60℃において14.0時間撹拌した後、溶液を室温に冷却した。次に、トルエン(20g)及びTHF(10g)で希釈した反応混合物を、酢酸(3.60g、60.0ミリモル)及び30%のH水溶液(6.81g、60.0ミリモル)で処理してNi残渣を除去し、次に水で洗浄した。溶媒をロータリーエバポレーターで蒸発させることによって除去して、明黄色の固体を与えた。黄色の固体をTHF中に再溶解し(50重量%)、ヘキサン(20倍過剰量)に加えて明黄色の粉末を与え、これを濾過し、40℃において真空によって16時間乾燥した。約3.60g(70%)のポリマーが単離された。
実施例4:HFANB/MGENB(80:20)のポリマーの合成:
[0045]HFANB(4.30g、15.7ミリモル)、及びMGENB(0.70g、3.9ミリモル)をトルエン(9.25g)及びMEK(0.75g)中に溶解し、反応容器に充填した。溶液に窒素を30分間散布して酸素を除去し、次に60℃に加熱した。その温度になったら、5.00gのトルエン中の(η−トルエン)Ni(C(0.190g、0.39ミリモル)(グローブボックス内で調製)を、シリンジによって反応容器に加えた。混合物を60℃において7.0時間撹拌した後、溶液を室温に冷却した。次に、THF(20g)中の反応混合物を、酢酸(3.72g、62.0ミリモル)及び30%のH水溶液(7.03g、60.0ミリモル)で処理してNi残渣を除去し、次に水で洗浄した。溶媒をロータリーエバポレーターで蒸発させることによって除去して、明黄色の固体を与えた。黄色の固体をTHF中に再溶解し(50重量%)、ヘキサン(20倍過剰量)に加えて明黄色の粉末を与え、これを濾過し、40℃において真空によって16時間乾燥した。約3.25g(65%)のHFANB/MGENBポリマーが単離された。
実施例5:MeOAcNB/EONB(80:20)のポリマーの合成:
[0046]MeOAcNB(7.51g、45.2ミリモル)、及びEONB(2.49g、11.3ミリモル)をトルエン(16.00g)及びMEK(2.33g)中に溶解し、反応容器に充填した。溶液に窒素を30分間散布して酸素を除去し、次に60℃に加熱した。その温度になったら、5.00gのトルエン中の(η−トルエン)Ni(C(0.156g、0.32ミリモル)(グローブボックス内で調製)を、シリンジによって反応容器に加えた。混合物を60℃において4.0時間撹拌した後、溶液を室温に冷却した。次に、トルエン(30g)及びTHF(20g)中に希釈した反応混合物を、酢酸(3.06g、51.0ミリモル)及び30%のH水溶液(5.77g、51.0ミリモル)で処理してNi残渣を除去し、次に水で洗浄した。溶媒をロータリーエバポレーターで蒸発させることによって除去して、明黄色の固体を与えた。黄色の固体をTHF中に再溶解し(50重量%)、ヘキサン(20倍過剰量)に加えて明黄色の粉末を与え、これを濾過し、40℃において真空によって16時間乾燥した。約9.06g(91%)のMeOAcNB/EONBポリマーが単離された。
実施例6:EPENB/MGENB(80:20)のポリマーの合成:
[0047]EPENB(4.66g、24.0ミリモル)、及びMGENB(1.32g、6.0ミリモル)をトルエン(12.00g)及びMEK(0.9g)中に溶解し、反応容器に充填した。溶液に窒素を30分間散布して酸素を除去し、次に60℃に加熱した。その温度になったら、5.00gのトルエン中の(η−トルエン)Ni(C(0.073g、0.15ミリモル)(グローブボックス内で調製)を、シリンジによって反応容器に加えた。混合物を60℃において5.0時間撹拌した後、溶液を室温に冷却した。次に、トルエン(10g)及びTHF(6g)中に希釈した反応混合物を、酢酸(1.4g、23.3ミリモル)及び30%のH水溶液(2.7g、23.8ミリモル)で処理してNi残渣を除去し、次に水で洗浄した。溶媒をロータリーエバポレーターで蒸発させることによって除去して、明黄色の固体を与えた。黄色の固体をTHF中に再溶解し(50重量%)、ヘキサン(20倍過剰量)に加えて白色の粉末を与え、これを濾過し、40℃において真空によって16時間乾燥した。約4.1g(70%)のEPENB/MGENBポリマーが単離された(GPCによって、M=78,400、M=44,000)。
[0048]上記に与えた重合実施例のそれぞれに関する収率、M、及びMを下表1にまとめる。M及びMは、ポリスチレン標準試料を用いる標準的なGPC法によって求めた。
Figure 2014510798
[0049]以下の組成物実施例である実施例7〜12においては、3種類の具体的な酸化防止剤/相乗剤材料を用いた。それぞれの材料の製造及び材料の化学名は、下記の実施例においてそれぞれを用いた最初の時点で与え、その後は製造者の商品名のみを与えた。
[0050]実施例7〜12のそれぞれのポリマー組成物は同じ3種類の酸化防止剤/相乗剤成分を含んでいるが、かかる実施例は非限定的であるので、これらの具体的な成分の使用は例示のみのものであると理解すべきであり、本発明のフィルムの幾つかの態様によって示される熱及び光安定性のタイプに関して、1つより多いタイプの酸化防止剤/相乗剤の使用が有利であり、かかるタイプの酸化防止剤/相乗剤は、フェノール類、ホスファイト類、チオエーテル類、及びこれらの混合物を含むことを示すためだけのものであると理解すべきである。
[0051]しかしながら、かかる具体的な酸化防止剤/相乗剤成分の選択は、表2の実験マトリクス表において示される結果に基づいて行った。それぞれの組成物1〜22に関しては、基ポリマーはMeOAcNBホモポリマーであり、これをガラスウエハ上にキャストして、110℃において100秒間の適用後焼成(PAB)の後に測定して3μmのフィルムを形成した。22種類の3μmのフィルム、19種類の試料組成物(示されている添加剤を有する)、及び3種類の対照組成物(添加剤なし)の透明度(%)の測定を、それぞれのフィルムを280℃において30分間加熱し、具体的な3種類の添加剤パッケージの選択を行った後に、400nmにおいて行った。
Figure 2014510798
[0052]勿論、当業者には、下記の実施例7〜12のそれぞれにおいて用いる具体的な添加剤パッケージは例示の目的のみのために与えられることが理解される。即ち、小型の実験デザインに基づいて成功したパッケージの選択は、過度の実験の必要なしに他の酸化防止剤/相乗剤添加剤パッケージを容易に決定することができることを示すものである。任意のかかる別のパッケージは本明細書に与える教示の結果であるが、これらは本発明の幾つかの態様の範囲内であると理解される。
実施例7〜12:熱硬化性組成物の製造:
[0053]実施例7〜12のそれぞれに関しては、それぞれ実施例1〜6から得た2.0gのポリマーを用いて、PGMEA中の17重量%のポリマー溶液を調製した。次に、それぞれ示されている量の下記に列記する配合添加剤を、ポリマー溶液に加えてその中に溶解したが、実施例12に関しては、その後に溶液を1ミクロンのシリンジフィルターを通して濾過した。
[0054]それぞれの実施例に関して、SI-150L(SI-150Lは(ジメチル−p−アセトキシスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)に関するSanshin Chemical Industry CO., LTD.の商品名である)を、0.08gの50重量%GBL溶液として加えた。酸化防止剤/相乗剤添加剤のそれぞれに関して、それぞれの添加剤に関する加えた量(g)を下表3に示す。用いた添加剤は、ADK STAB AO-60((ペンタエリトリトールテトラキス{3−(3,5−ジ−tert−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート})に関するADEKA CORPORATIONの商品名));ADK STAB PEP-36((3,9−ビス(2,6−tert−ブチル−4−メチルフェノキシ)−2,4,8,10−テトラオキサ−3,9−ジホスファスピロ(5.5)ウンデカンに関するADEKA CORPORATIONの商品名);及びADEKA SATB AO-412S((2,2−ビス[[3−(ドデシルチオ)−1−オキソプロポキシ]メチル]プロパン−1,3−ジイルビス[3−(ドデシルチオ)プロピオネート])に関するADEKA CORPORATIONの商品名)であった。
Figure 2014510798
硬化材料に関する評価手順:
[0055]上記に例示した熱硬化性組成物のそれぞれを、透明度、熱安定性、鉛筆硬度、及びNMP耐性に関して評価した。それぞれの評価試験に関する基本手順を下記に与え、評価試験結果を表4に与える。
透明度:
[0056]それぞれの配合溶液をガラスウエハ上にスピンキャストして、3μmのフィルムを形成した。キャストの後、フィルムに、110℃において100秒間の適用後焼成(PAB)を行った。空気中280℃における30分間の熱処理の前及び後において、400nmにおける透明度を測定した。
熱安定性:
[0057]それぞれの配合溶液を4インチのシリコンウエハ上にスピンキャストして、3μmのフィルムを形成した。キャストの後、フィルムに、110℃において100秒間の適用後焼成(PAB)を行い、その後に空気中250℃において硬化焼成を30分間行った。硬化したフィルムの一部をシリコンウエハから削り取り、それに関してTG/DTA分析を行った。測定条件は、N流下で10℃/分の温度上昇であった。結果を、1重量%の損失が観察された温度として与える。
鉛筆硬度:
[0058]それぞれの配合溶液を4インチのシリコンウエハ上にスピンキャストして、3μmのフィルムを形成した。キャストの後、フィルムに、110℃において100秒間の適用後焼成(PAB)を行い、その後に空気中250℃において硬化焼成を30分間行った。硬化焼成の後、ASTM−D3363の手順を用いて鉛筆硬度試験を行った。但し、具体的な温度及び湿度の制御は行わず、雰囲気(試験時)の温度及び湿度制御を用いた。
NMP(N−メチルピロリドン)耐性:
[0059]それぞれの配合溶液を4インチのシリコンウエハ上にスピンキャストして、3μmのフィルムを形成した。キャストの後、フィルムに、110℃において100秒間の適用後焼成(PAB)を行い、その後に空気中250℃において硬化焼成を30分間行った。硬化焼成の後、フィルム厚さを測定し、フィルムを40℃のNMP中に10分間浸漬し、フィルム厚さを再測定した。フィルム厚さの差をフィルム厚さ損失(%)として記録した。
Figure 2014510798
[0060]ここまでで、記載したポリマー、ポリマー組成物、及びポリマー層の幾つかの態様は、液晶ディスプレイ、有機発光ダイオードディスプレイ、及び他のオプトエレクトロニクスデバイスの製造において用いる透明層に関する要求を満足することができる層を形成するために有用であることが認識される。

Claims (22)

  1. それぞれ式Aによって表され、式A1によって表されるノルボルネンタイプのモノマーから誘導される第1のタイプのノルボルネンタイプの繰り返し単位及び第2のタイプのノルボルネンタイプの繰り返し単位:
    Figure 2014510798
    (式中、mは、0、1、又は2であり、第1のタイプの繰り返し単位に関するR、R、R、及びRの少なくとも1つは架橋性ヒドロカルビル懸垂基であり、第2のタイプの繰り返し単位に関するR、R、R、及びRの少なくとも1つは、第1のタイプの繰り返し単位とは異なり、可視光スペクトルにおいて高い透明度を有するヒドロカルビル懸垂基である)
    を含む層形成性ポリマー。
  2. 第1のタイプの繰り返し単位に関して、R、R、R、及びRの1つが、式B、C、又はD:
    Figure 2014510798
    (ここで、式B及びCに関して、nは1〜4の整数であり、Aは、メチレン、C〜Cアルキレンから選択される随意的な連結基であり、R及びRは、それぞれ独立して、H、メチル、又はエチルから選択され;式Dに関して、Aは、メチレン、C〜Cアルキレン、又はC〜Cエーテルから選択される随意的な連結基であり、Rは、水素、C〜Cヒドロカルビル、ニトリル(CN)、C〜Cペルフルオロヒドロカルビル、又はF、Cl、若しくはBrを表す)の1つによって表される架橋性ヒドロカルビル懸垂基である、請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  3. 架橋性懸垂基が、式B又は式C:
    Figure 2014510798
    によって表される、請求項2に記載の層形成性ポリマー。
  4. 第2のタイプの繰り返し単位に関して、R、R、R、及びRの1つが、式E、F、G、又はH:
    Figure 2014510798
    (式中、Aは、存在する場合には、メチレン、C〜Cアルキレン、又はC〜Cエーテルから選択される連結基であり、それぞれのRは、独立して水素又はフッ素を表し、R及びRは、それぞれ独立して、水素、フッ素、メチル、ペルフルオロメチル、エチル、又はペルフルオロエチルから選択され、nは1〜6の整数であり、nは0〜3の整数であり、Zは、(C 2n+1)、(CR、(CR (CROHの1つから選択され、Qは、存在する場合にはC〜Cアルキレンから選択される)
    の1つによって表されるヒドロカルビル懸垂基であり、R、R、R、及びRの他のものが水素である、請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  5. ヒドロカルビル懸垂基が式E:
    Figure 2014510798
    (式中、R、R、及びRのそれぞれはフッ素である)
    によって表される、請求項4に記載の層形成性ポリマー。
  6. ヒドロカルビル懸垂基が式H:
    Figure 2014510798
    (式中、nは1、2、又は3であり、R及びRはそれぞれ−CFであり、それぞれのRは水素である)
    によって表される、請求項4に記載の層形成性ポリマー。
  7. 架橋性懸垂基が式1によって表され、高い透明度を有する懸垂基が式2によって表される:
    Figure 2014510798
    請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  8. 架橋性懸垂基が式1によって表され、高い透明度を有する懸垂基が式3によって表される:
    Figure 2014510798
    請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  9. 架橋性懸垂基が式1によって表され、高い透明度を有する懸垂基が式4によって表される:
    Figure 2014510798
    請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  10. 架橋性懸垂基が式1によって表され、高い透明度を有する懸垂基が式5によって表される:
    Figure 2014510798
    請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  11. 架橋性懸垂基が式6又は式7:
    Figure 2014510798
    によって表される、請求項7、8、9、又は10のいずれかに記載の層形成性ポリマー。
  12. 式1、6、又は7:
    Figure 2014510798
    によって表される基から選択される架橋性懸垂基を有する第1のタイプの繰り返し単位;
    式2、3、4、又は5:
    Figure 2014510798
    によって表される基から選択される懸垂基を有する第2のタイプの繰り返し単位:
    を含み;
    第2のタイプの繰り返し単位とは異なり、これも式2、3、4、又は5によって表される基から選択される懸垂基を有する第3のタイプの繰り返し単位を更に含む、請求項1に記載の層形成性ポリマー。
  13. キャスト溶媒を更に含む、請求項1〜12のいずれかに記載の層形成性組成物。
  14. キャスト溶媒が、N−メチルピロリドン(NMP)、γ−ブチロラクトン(GBL)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMA)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル(PGME)、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PGMEA)、乳酸メチル、乳酸エチル、乳酸ブチル、メチルエチルケトン、又はシクロヘキサノンの1以上から選択される、請求項13に記載の層形成性組成物。
  15. 熱酸発生剤(TAG)、及び酸化防止剤/相乗添加剤を更に含む、請求項13に記載の層形成性組成物。
  16. TAGが、SI-150L(ジメチル−p−アセトキシスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)、SI-100L(ジベンジルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)、又はSI-60L(1−ナフチルメチルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)から選択される、請求項11に記載の層形成性組成物。
  17. 酸化防止剤/相乗添加剤が、ADEKA STAB AO-20、ADEKA STAB AO-30、ADEKA STAB AO-40、ADEKA STAB AO-50、ADEKA STAB AO-60、ADEKA STAB AO-80、ADEKA STAB AO-330、Sumilizer GM、Sumilizer GS、Sumilizer GA-80、Sumilizer MDP-S、Sumilizer BBM-S、Sumilizer WX-R、IRGANOX 1010、IRGANOX 1035、IRGANOX 1076、IRGANOX 1098、IRGANOX 1135、IRGANOX 1330、IRGANOX 1726、IRGANOX 1425、IRGANOX 1520、IRGANOX 245、IRGANOX 259、IRGANOX 3114、IRGANOX 565、ADEKA STAB PEP-4C、ADEKA STAB PEP-8、ADEKA STAB PEP-8W、ADEKA STAB PEP-36、ADEKA STAB HP-10、ADEKA STAB 2112、ADEKA STAB 1178、ADEKA STAB 1500、ADEKA STAB C、ADEKA STAB 135A、ADEKA STAB 3010、IRGAFOS 12、IRGAFOS 38、Sumilizer TPL-R、Sumilizer TPM、Sumilizer TDS、Sumilizer TP-D、Sumilizer MB、ADEKA STAB AO-412S、ADEKA STAB AO-503、IRGANOX PS 800FD、又はIRGANOX PS 802FDの1以上から選択される、請求項12に記載の層形成性組成物。
  18. ノルボルネンタイプのポリマー、熱酸発生剤、環式ネオペンタンテトライルビス(2,6−ジ−t−ブチル−4−メチルフェニルホスファイト)、テトラキス[メチレン 3−(3’,5’−ジ−t−ブチル−4−ヒドロキシフェニル)プロピオネート]メタン、及びペンタエリトリチルテトラ(β−ラウリルチオプロピオネート)を含む層形成性組成物。
  19. ノルボルネンタイプのポリマーが、
    Figure 2014510798
    から誘導される繰り返し単位を含み;
    熱酸発生剤が、SI-150L(ジメチル−p−アセトキシスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)、SI-100L(ジベンジルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)、又はSI-60L(1−ナフチルメチルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)から選択される、請求項18に記載の層形成性組成物。
  20. 熱酸発生剤がSI-150Lであり、層形成性組成物が、ADEKA STAB AO-60、ADEKA STAB AO-412S、及びADEKA STAB PEP-36を更に含む、請求項19に記載の層形成性組成物。
  21. ノルボルネンタイプのポリマーが、
    Figure 2014510798
    から誘導される繰り返し単位を含み;
    熱酸発生剤が、SI-150L(ジメチル−p−アセトキシスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)、SI-100L(ジベンジルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)、又はSI-60L(1−ナフチルメチルメチル−p−ヒドロキシフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート)から選択される、請求項18に記載の層形成性組成物。
  22. 熱酸発生剤がSI-150Lであり、層形成性組成物が、ADEKA STAB AO-60、ADEKA STAB AO-412S、及びADEKA STAB PEP-36を更に含む、請求項21に記載の層形成性組成物。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005531680A (ja) * 2002-07-03 2005-10-20 住友ベークライト株式会社 多環式コポリマーに基づく感光性組成物
JP2008506010A (ja) * 2004-07-07 2008-02-28 プロメラス, エルエルシー 絶縁樹脂組成物及びその使用
WO2008143003A1 (ja) * 2007-05-24 2008-11-27 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. 透明複合シート
JP2009126942A (ja) * 2007-11-22 2009-06-11 Jsr Corp 硬化性樹脂組成物、保護膜および保護膜の形成方法

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6800875B1 (en) 1995-11-17 2004-10-05 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Active matrix electro-luminescent display device with an organic leveling layer
JP5218713B2 (ja) 2000-07-28 2013-06-26 住友ベークライト株式会社 光学導波管を形成するためのポリマー組成物;それらから形成される光学導波管;およびそれを作製するための方法
US20060020068A1 (en) * 2004-07-07 2006-01-26 Edmund Elce Photosensitive compositions based on polycyclic polymers for low stress, high temperature films
TWI359288B (en) 2003-11-21 2012-03-01 Sumitomo Bakelite Co Photo-induced thermally developable film

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005531680A (ja) * 2002-07-03 2005-10-20 住友ベークライト株式会社 多環式コポリマーに基づく感光性組成物
JP2008506010A (ja) * 2004-07-07 2008-02-28 プロメラス, エルエルシー 絶縁樹脂組成物及びその使用
WO2008143003A1 (ja) * 2007-05-24 2008-11-27 Sumitomo Bakelite Co., Ltd. 透明複合シート
JP2009126942A (ja) * 2007-11-22 2009-06-11 Jsr Corp 硬化性樹脂組成物、保護膜および保護膜の形成方法

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