JP2014503118A - 平面コイルを備えるコイルアセンブリ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、平面コイルまたは複数の平面コイルを有する表面実装可能なコイルアセンブリおよび変圧器、ならびにこれらの製造方法に関する。
例えば電力管理、信号調整および信号絶縁といった多くの用途では、コイルによって形成された高性能インダクタが必要である。平面コイルは、一般的には全てが(例えば平坦な螺旋の形で)同一の平面に位置しているか、または(例えば実質的に平行な平面の積層体に配置された複数の螺旋の形で)少数の平行な平面に位置している1巻きまたはそれ以上の巻きの導電性材料を備える。これらの巻きは、「タップ」と呼ばれるリード線によって外部に接続される。コイルの巻きと、タップと、コイルが作製される基板と、磁気コアとを備えるアセンブリは、コイルアセンブリと呼ばれる。平面コイルでは、アキシャルコイルと比較して高さが比較的低いという利点があり、その結果パッケージの高さが比較的低く、デバイス全体が小さい。
本発明の主な目的は、第1の磁気コアプレートにおけるトレンチに配置された複数の巻きを備える平面コイルまたは複数の平面コイルと、第2の磁気コアプレートとを有する表面実装可能なコイルアセンブリおよび変圧器であって、それによって第1の磁気コアプレートがコイルの個々の巻き同士の間に延在しており、第1の磁気コアプレートおよび第2の磁気コアプレートは、互いに直接接触しているか、または、厚みが50μm以下の電気絶縁絶縁体層によって切離されており、異なるプロセスステップによってもたらされるコイル端子部とタップとの間に界面がない、表面実装可能なコイルアセンブリおよび変圧器を提供することである。このような界面はいずれもデバイスの劣化を引起す恐れがある。当該目的は、コイルおよびタップが一体的に形成されるようにそれらを同一のプロセスステップにおいて形成することによって達成される。本発明の好ましい実施例においては、コイルおよびタップと同一のプロセスステップにおいて少なくとも1つのコンタクトパッドも形成され、その結果タップはコイルおよびコンタクトパッドと一体的に形成される。本発明の好ましい実施例においては、第1の磁気コアプレートは、トレンチの深さよりも大きな、好ましくは100μmよりも厚く4000μmまでの範囲の厚みを有する。それによって、インダクタンスがさらに増大する。本発明の好ましい実施例においては、第2の磁気コアプレートは、50μm〜4000μmの範囲の厚みを有する。
図面中の比は正確な縮尺に応じていない。それらの比は図面の読みやすさを促進するように適合されている。
いくつかの図面において同一の参照番号が含まれている場合、それは同一種類の特徴を示す。図1は、本発明に係るコイルアセンブリ1の側面図であり、当該コイルアセンブリ1は、例えばチタン(Ti)および銅(Cu)またはタングステンチタン(TiW)および銅(Cu)からなるシード層12上に堆積させたコイル導電性材料4、好ましくは銅(Cu)、例えばCuからなる平面コイル2を備え、当該平面コイル2は、第1の磁気コアプレート3におけるトレンチ10に位置する少なくとも1巻き15を備える。トレンチ10は、コイル2の形状に形成される。トレンチ10は、好ましくは100μm〜1000μmの範囲の深さHを有する。トレンチ10の巻き15の幅Wは、好ましくは50μm〜1000μmの範囲であり、より好ましくは200μm〜800μmの範囲である。トレンチ10の2つの隣接する巻き15の2つの隣接する端縁間の間隔Sは、好ましくは50μm〜1000μmの範囲である。トレンチ10の深さHに対するトレンチ10の各巻き15の幅Wの比率は、好ましくは1:1.2〜1:20であり、より好ましくは1:2〜1:5である。コイル2の高さhに対するコイル2の各巻き15の幅wの比率も、好ましくは1:1.2〜1:20であり、より好ましくは1:2〜1:5である。第1の磁気コアプレート3は、好ましくは100μmよりも厚く4000μmまでの範囲の、トレンチ10の深さHよりも大きな厚みT1を有する。トレンチ10の巻き15の断面形状は長方形に限定されず、V字形、U字形、半円、または丸みを帯びた角を有する形状などのその他の形状を有していてもよい。コイル2の巻き15の断面形状は長方形に限定されず、V字形、U字形、半円、または丸みを帯びた角を有する形状などのその他の形状を有していてもよく、トレンチ10の巻き15の断面形状とは異なっていてもよい。トレンチ10は、コイル導電性材料4で部分的に充填されてもよく、きっちりと充填されてもよく、または過充填されてもよい。コイル導電性材料4でトレンチ10を過充填する場合、コイル2の巻き15はマッシュルーム状の断面形状を得るであろう。コイル2の巻き15のコイル導電性材料4の高さhは、好ましくは100μmよりも高く1100μmまでの範囲であり、より好ましくは150μmよりも高く1100μmまでの範囲であり、さらに好ましくは200μmよりも高く1100μmまでの範囲である。第1の磁気コアプレート3は、磁性材料、例えばソフトフェライトを含む。コイル2と第1の磁気コアプレート3との間には、例えば化学蒸着されたポリ(p‐キシリレン)ポリマー(例えばパリレン(登録商標))からなる、厚みtが好ましくは1μm〜50μmの範囲の薄い電気絶縁絶縁体層5が設けられ、コイル2から第1の磁気コアプレート3に流れる電流を回避する。本発明のこの実施例においては、絶縁体層5は、トレンチ10が形成される第1の磁気コアプレート3の表面も覆う。しかし、その絶縁特性が不要な領域、例えば第1の磁気コアプレート3と第2の磁気コアプレート8(以下で説明)との間の接触領域、からこの絶縁体層を除去することも可能である。
・好ましくは厚みT1が200μmよりも厚く5000μmまでの第1の磁気コアプレート3を設けるステップ(図11a参照)。
・例えば糊付け、機械的クランプまたははんだ付けを用いて、第1の磁気コアプレート3上に第2の磁気コアプレート8を取付けるステップ。
Claims (24)
- 第1の磁気コアプレート(3)におけるトレンチ(10)に配置された複数の巻き(15)を備える平面コイル(2)と、第2の磁気コアプレート(8)とを備える表面実装可能なコイルアセンブリ(1)であって、前記第1の磁気コアプレート(3)および第2の磁気コアプレート(8)は、互いに直接接触しているか、または、厚み(t)が50μm以下の電気絶縁絶縁体層(5)によって切離されており、それぞれのビアホール(11)内の前記コイル(2)から前記第1の磁気コアプレート(3)を通ってそれぞれのコンタクトパッド(7)に至るまで少なくとも1つのタップ(6)が延在しており、前記コイル(2)および前記タップ(6)は一体的に形成されていることを特徴とする、コイルアセンブリ。
- 前記少なくとも1つのタップ(6)は、そのそれぞれのコンタクトパッド(7)と一体的に形成されていることを特徴とする、請求項1に記載のコイルアセンブリ。
- 前記コイル(2)の巻き(15)の高さ(h)は、100μmより高く1100μmまでの範囲であることを特徴とする、請求項1または2に記載のコイルアセンブリ。
- 前記コイル(2)の巻き(15)の高さ(h)は、150μmより高く1100μmまでの範囲であることを特徴とする、請求項1または2に記載のコイルアセンブリ。
- 前記コイル(2)の巻き(15)の高さ(h)は、200μmより高く1100μmまでの範囲であることを特徴とする、請求項1または2に記載のコイルアセンブリ。
- 前記トレンチ(10)の前記巻き(15)の幅(W)は、50μm〜1000μmの範囲であることを特徴とする、請求項1から5のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記トレンチ(10)の前記巻き(15)の幅(W)は、200μm〜800μmの範囲であることを特徴とする、請求項1から6のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記トレンチ(10)の前記巻き(15)同士の間の間隔(S)は、50μm〜1000μmの範囲であることを特徴とする、請求項1から7のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記第1の磁気コアプレート(3)の厚み(T1)は、100μmより厚く4000μmまでの範囲であって、前記トレンチ(10)の深さ(H)よりも大きいことを特徴とする、請求項1から8のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記コイル(2)は、少なくとも2巻きを含む第1のコイル部材(414,514)と、少なくとも2巻きを含む第2のコイル部材(415,515)とを備え、第2の磁気コアプレート(408,508)は、前記第2のコイル部材(415,515)の前記巻き同士の間に延在しており、前記第2のコイル部材(415,515)は、間に前記第1の磁気コアプレート(3)が延在している第1のコイル部材(414,514)の前記巻きに電気的に接続されることを特徴とする、請求項1から9のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 少なくとも前記第1の磁気コアプレート(3)または前記第2の磁気コアプレート(8)は、前記コイル(2)に対してスペースをもたらす凹部を有することを特徴とする、請求項1から10のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記第1の磁気コアプレート(303)と前記第2の磁気コアプレート(308)との間の前記平面コイル(302)の中央に空隙(313)が存在することを特徴とする、請求項1から11のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記それぞれのビアホール(11)は、前記トレンチ(10)が存在する前記第1の磁気コアプレート(3)の側(m1)から前記第1の磁気コアプレート(3)の反対側(m2)まで前記ビアホール(11)の長さにわたってさまざまな断面を有することを特徴とする、請求項1から12のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記それぞれのビアホール(11)は、前記トレンチ(10)が存在する前記第1の磁気コアプレート(3)の側(m1)に向かって、および、前記第1の磁気コアプレート(3)の反対側(m2)に向かって、前記ビアホールの内部よりも幅が広いことを特徴とする、請求項1から13のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 前記トレンチ(10)は、傾斜した側壁を有することを特徴とする、請求項1から14のいずれか1項に記載のコイルアセンブリ。
- 複数の巻き(15)を備える平面コイル(2)が配置されたトレンチ(10)を備える磁気コアプレートであって、それぞれのビアホール(11)内の前記コイル(2)から前記磁気コアプレート(3)を通ってそれぞれのコンタクトパッド(7)に至るまで少なくとも1つのタップ(6)が延在しており、前記コイル(2)および前記タップ(6)は一体的に形成されていることを特徴とする、磁気コアプレート。
- 請求項1から16のいずれか1項に記載の少なくとも1つのコイルアセンブリを備えることを特徴とする、変圧器。
- 前記第1の磁気コアプレート(603,803)に2つの平面コイル(618,818,619,819)を備えることを特徴とする、請求項17に記載の変圧器。
- 前記平面コイル(618,619)は、交互配置のパターンで配置されることを特徴とする、請求項18に記載の変圧器。
- 前記平面コイル(818,819)は、径方向に連続的なパターンで配置されることを特徴とする、請求項18に記載の変圧器。
- 前記第1の磁気コアプレート(903,1003)は第1の平面コイル(918,1018)を備え、前記第2の磁気コアプレート(908,1008)は第2の平面コイル(919,1019)を備えることを特徴とする、請求項17に記載の変圧器。
- 請求項1から21のいずれか1項に記載のデバイスの製造方法であって、
・好ましくは厚み(T1)が200μmより厚く5000μmまでの第1の磁気コアプレート(3)を設けるステップと、
・例えばミリング、サンドブラスティング、水噴射によって、トレンチ(10)を巻き(15)パターンの形状で前記第1の磁気コアプレート(3)に設け、トレンチ深さ(H)は好ましくは100μm〜1000μmの範囲であり、トレンチ(10)の巻き(15)の幅(W)は好ましくは50μm〜1000μmの範囲であり、より好ましくは200μm〜800μmの範囲であり、トレンチ(10)の巻き(15)同士の間の間隔(S)は好ましくは50μm〜1000μmの範囲であり、前記第1の磁気コアプレート(3)を貫通するビアホール(11)を設けるステップとを備え、前記トレンチ(10)の深さ(H)に対する前記トレンチ(10)の前記巻き(15)の幅(W)の比率は、1:1.2〜1:20であり、より好ましくは1:2〜1:5であり、前記第1の磁気コアプレート(3)の厚み(T1)は、好ましくは100μmより厚く4000μmまでの範囲であり、前記トレンチ(10)の深さ(H)よりも厚く、前記方法はさらに、
・少なくともトレンチ(10)の底部、前記トレンチ(10)の側壁のかなりの部分および各ビアホール(11)の側壁を覆う絶縁体層(5)を設けるステップを備え、好ましくは、前記絶縁体層(5)は、例えばポリ(p−キシリレン)ポリマー(例えばパリレン(登録商標))の化学蒸着を用いて全表面上に共形的に堆積され、前記絶縁体層(5)の好ましい厚み(t)は、1μm〜50μmの範囲であり、前記方法はさらに、
・好ましくはTi−Cu、TiW−Cuからなっているが他の種類の金属であってもよく、全厚みが好ましくは100nm〜700nmの範囲のシード層(12)を前記トレンチに設けるステップと、
・電気めっきによってコイル導電性材料(4)、好ましくはCuを設けて、同一の段階において前記トレンチ(10)および前記ビアホール(11)を充填するステップとを備え、前記コイル(2)の前記巻きのコイル導電性材料(4)の高さ(h)は、好ましくは100μmより高く1100μmまでの範囲であり、より好ましくは150μmより高く1100μmまでの範囲であり、さらに好ましくは200μmより高く1100μmまでの範囲であり、前記方法はさらに、
・厚み(T2)が好ましくは50μm〜4000μmの範囲の第2の磁気コアプレート(8)を設けるステップと、
・前記第2の磁気コアプレートに凹部(9)を設けるステップと、
・例えば糊付け、機械的クランプまたははんだ付けを用いて、前記第1の磁気コアプレート(3)上に前記第2の磁気コアプレート(8)を取付けるステップとを備える、方法。 - コイル導電性材料(4)は、前記トレンチ(10)が存在する前記第1の磁気コアプレート(3)の側(m1)とは反対側にある前記第1の磁気コアプレート(3)の側(m2)上にも設けられることを特徴とする、請求項22に記載の方法。
- 前記シード層(12)は、シャドーマスクを介して堆積されることを特徴とする、請求項22または23に記載の方法。
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