KR101642610B1 - 코일 부품 및 그 제조 방법 - Google Patents

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KR101642610B1 KR1020140193234A KR20140193234A KR101642610B1 KR 101642610 B1 KR101642610 B1 KR 101642610B1 KR 1020140193234 A KR1020140193234 A KR 1020140193234A KR 20140193234 A KR20140193234 A KR 20140193234A KR 101642610 B1 KR101642610 B1 KR 101642610B1
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Abstract

본 발명은, 코어부와, 상기 코어부재의 표면에 매립되도록 구비되는 코일도체, 그리고 상기 코일도체가 매립된 상기 코어부재의 표면에 접합하는 커버부재를 포함하는 코일 부품을 제시한다.

Description

코일 부품 이의 제조방법{COIL COMPONENT AND METHOD OF MANUFACTURING THE SAME}
본 발명은 코일 부품에 관한 것으로, 보다 상세하게는 방향성이 개선된 코일 부품 및 이의 제조방법에 관한 것이다.
최근들어 휴대전화, 가전제품, PC, PDA, LCD, 네비게이션 등과 같은 전자기기가 점차 디지털화되고 고속화되고 있다. 이러한 전자기기들은 외부로부터의 자극에 민감하여 외부로부터 작은 이상 전압과 고주파 노이즈가 전자기기의 내부 회로에 유입될 경우 회로가 파손되거나 신호가 왜곡되는 경우가 발생하고 있다.
이러한 이상 전압과 노이즈의 원인으로는 회로 내에서 발생하는 스위칭 전압, 전원 전압에 포함된 전원 노이즈, 불필요한 전자기 신호 또는 전자기 잡음 등이 있으며, 이러한 이상 전압과 고주파 노이즈가 회로로 유입되는 것을 방지하기 위한 수단으로서 코일 부품이 널리 사용되고 있다.
특히, USB 2.0, USB 3.0 및 고선명 멀티미디어 인터페이스(high-definition multimedia interface;HDMI) 등의 고속 인터페이스의 경우, 일반적인 단일-종단 (single-end) 송신 시스템과 달리 한 쌍의 신호 라인들을 사용하여 차동 신호(차동 모드 신호)를 송신하는 차동 신호 시스템을 채용하고 있고, 따라서, 이러한 차동 신호 전송 체계에서는 공통 모드 노이즈를 제거하기 위한 코일 부품으로서 공통 모드 필터(Common Mode Filter: CMF)가 사용되고 있다.
종래 일반적 구조의 CMF를 보면, 자성분말을 소결시킨 페라이트 기판 위에 코일층을 형성하고, 상기 코일층을 보호하며 자속 누설을 방지하기 위한 페라이트 수지 복합재를 코일층 위에 적층시킨 구조를 갖는다.
여기서, 페라이트 수지 복합재는 자성분말과 수지를 혼합하여 만든 것으로, 자성분말이 수지에 분산되어 있기 때문에 하부의 페라이트 기판과 편차가 큰 자기적 물성치를 갖는다.
이로 인해, 코일의 특성 예측이 어렵고, 소자의 연결 방향에 따라 특성이 심하게 변동하는 문제가 있다.
또한, 취성이 큰 세라믹 형태의 페라이트 기판 위에 코일이 내설된 절연층이 적층되어 있어 절연층과 하부의 페라이트 기판 사이에 디라미네이션(Delamination)이나 크랙(Crack) 등의 불량이 발생하는 문제가 있다.
일본 공개특허공보 제 2014-107435호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 코일도체가 내설된 몸체가 전체적으로 균일한 투자율을 갖는 등방적 구조로 형성함으로써 특성 변화가 적은 코일 부품 및 이의 제조방법을 제공하는 것을 발명의 목적으로 한다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 창안된 본 발명은, 자성수지 복합재로 이루어지는 코어부재와, 상기 코어부재의 표면에 매립되도록 구비되는 코일도체, 그리고 상기 코어부재와 동일한 자성수지 복합재로 이루어지며 상기 코일도체가 매립된 상기 코어부재의 표면에 접합하는 커버부재를 포함하는 코일 부품을 제공한다.
여기서, 상기 코일도체는 상기 코어부재의 상부 표면에 매립되는 상부 코일도체와 하부 표면에 매립되는 하부 코일도체로 구성되고, 상기 상부 코일도체와 하부 코일도체는 가상의 수평 중심선(CL)을 기준으로 서로 대칭되며, 가상의 수평 중심선(CL) 쪽으로 갈수록 너비가 작아지는 사다리꼴의 단면 구조를 갖는 것을 특징으로 할 수 있다.
상기의 코일 부품을 제조하는 방법으로서 본 발명은, 캐리어층에 코일도체를 형성하는 단계와, 상기 코일도체가 상기 코어부재의 표면에 매립되도록 상기 캐리어층을 상기 코어부재에 압착시키는 단계와, 상기 캐리어층을 제거하는 단계, 그리고 상기 코일도체가 매립된 상기 코어부재의 표면에 커버부재를 접합하는 단계를 포함하는 코일 부품 제조방법을 제공한다.
또한, 본 발명은 상기 코일도체 형성 후 상기 코일도체의 최내측 배선 상에 비아를 형성하는 단계를 더 포함하고, 상기 코일도체가 매립되면 상기 코어부재를 소성을 통해 경화시키거나, 상기 커버부재 접합 후 상기 코어부재와 상기 커버부재를 함께 경화시키는 단계를 더 포함하는 코일 부품 제조방법을 제공한다.
본 발명에 따르면, 코일 부품의 몸체를 구성하는 코어부재와 커버부재가 동일 소재로 이루어지므로 소자 특성의 방향성이 개선된다. 이에 따라, 특성 예측이 쉽고, 코일 부품이 어느 방향으로 연결되더라도 특성 변화가 발생하지 않는 장점이 있다.
또한, 동일 소재의 코어부재와 커버부재가 일체로 형성됨으로써, 종래 디라미네이션(Delamination)이나 크랙(Crack) 등의 불량을 억제할 수 있고, 그 결과 제품의 신뢰성을 높일 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 코일 부품의 사시도
도 2는 도 1의 I-I'선의 종단면도
도 3은 도2의 Ⅱ-Ⅱ'선의 횡단면도
도 4는 도 2의 A부분의 확대도
도 5는 본 발명의 코일 부품 제조방법을 순서대로 나타낸 흐름도
도 6 내지 도 11은 도 5의 각 단계의 공정도
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 기술 등은 첨부되는 도면들과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시예를 참조하면 명확해질 것이다. 그러나 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있다. 본 실시예는 본 발명의 개시가 완전하도록 함과 더불어, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공될 수 있다.
본 명세서에서 사용된 용어들은 실시예를 설명하기 위한 것이며 본 발명을 제한하고자 하는 것은 아니다. 본 명세서에서, 단수형은 문구에서 특별히 언급하지 않는 한 다수형도 포함한다. 또한, 본 명세서에서 언급된 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자는 하나 이상의 다른 구성요소, 단계, 동작 및/또는 소자의 존재 또는 추가를 배제하지 않는다.
한편, 도면의 구성요소는 반드시 축척에 따라 그려진 것은 아니고, 예컨대, 본 발명의 이해를 돕기 위해 도면의 일부 구성요소의 크기는 다른 구성요소에 비해 과장될 수 있다. 또한, 각 도면에 걸쳐 표시된 동일 참조 부호는 동일 구성 요소를 지칭하며, 도시의 간략화 및 명료화를 위해, 도면은 일반적 구성 방식을 도시하고, 본 발명의 설명된 실시예의 논의를 불필요하게 불명료하도록 하는 것을 피하기 위해 공지된 특징 및 기술의 상세한 설명은 생략될 수 있다.
이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용효과를 더욱 상세하게 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 코일 부품의 사시도이고, 도 2는 도 1의 I-I'선의 종단면도, 그리고 도 3은 도2의 Ⅱ-Ⅱ'선의 횡단면도이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 본 발명의 코일 부품(100)은, 코어부재(110)와, 상기 코어부재(110)에 구비되는 코일도체(120), 그리고 코어부재(110)와 접합하는 커버부재(130)를 포함한다.
상기 코어부재(110)는 상면과 이에 대향하는 하면을 갖는 판상의 기체로서, 고분자 수지에 자성분말이 혼합된 자성수지 복합재로 이루어진다.
따라서, 상기 코어부재(110)는 자속의 이동 통로로서 기능하며, 여기서 고투자율 확보를 위해 사용되는 자성분말로는 예컨대, Fe2O3 및 NiO를 주성분으로 하는 Ni계 페라이트 재료, Fe2O3, NiO 및 ZnO를 주성분으로 하는 Ni-Zn계 페라이트 재료, 또는 Fe2O3, NiO, ZnO 및 CuO를 주성분으로 하는 Ni-Zn-Cu계 페라이트 재료 등을 들 수 있다. 물론, 이에 한정되는 것은 아니고, 전술한 재료 외에 소정의 인덕턴스를 얻을 수 있는 자성 재료이면 제한없이 사용할 수 있다.
상기 코일도체(120)는 나선 형태로 주회하는 코일 패턴의 금속 배선으로, 전기전도성이 우수한 은(Ag), 팔라듐(Pd), 알루미늄(Al), 니켈(Ni), 티타늄(Ti), 금(Au), 구리(Cu) 또는 백금(Pt)으로 이루어지는 군에서 선택되는 적어도 1 종 이상의 금속으로 이루어질 수 있다.
상기 코일도체(120)는 코어부재(110)의 표면에 매립되는 구조로 형성되며, 코어부재(110)의 상부 표면에 매립되는 상부 코일도체(120a)와 하부 표면에 매립되는 하부 코일도체(120b)로 구성된다. 여기서, 표면에 매립되는 구조라 함은 코일도체(120)의 측면 및 하면은 코어부재(110)에 함입되고 상면만이 외부로 노출되도록 설치되는 것을 의미한다.
구체적으로, 상기 코일도체(120)는 1차 코일 배선과 2차 코일 배선이 한 층에 교번하여 배치되는 소위 동시 코일 구조로서 형성된다. 즉, 상기 상부 코일도체(120a)는 교번 배치된 1차 코일 배선과 2차 코일 배선의 집합으로 이루어지고, 상기 하부 코일도체(120b) 역시 교번 배치된 1차 코일 배선과 2차 코일 배선의 집합으로 이루어진다.
여기서, 상부 코일도체(120a)의 1차 코일 배선과 하부 코일도체(120b)의 1차 코일 배선은 비아(121)를 통해 서로 연결되어 1차 코일을 형성하고, 상부 코일도체(120a)의 2차 코일 배선과 하부 코일도체(120b)의 2차 코일 배선 역시 비아(121)를 통해 서로 연결되어 2차 코일을 형성한다.
근접하여 배치된 상기 1차 코일과 2차 코일은 서로 전자기적으로 결합하며, 따라서 본 발명의 코일 부품(100)은, 1,2차 코일에 같은 방향의 전류가 인가되면 자속이 서로 보강하여 커먼 모드 임피던스가 증가하고, 반대 방향의 전류가 흐르면 자속이 서로 상쇄되어 디퍼런셜 모드 임피던스가 감소하는 공통 모드 필터(CMF)로서 동작한다.
도 3에 도시된 것처럼, 상기 코일도체(120)의 단부, 구체적으로 상기 코일도체(120) 중 최외측에 위치하는 배선은 코어부재(110)의 측면까지 연장되어 외부로 노출되고, 이는 코어부재(110)와 커버부재(130)의 적층으로 이루어지는 몸체 측면에 형성된 외부단자(140)와 전기적으로 접속한다. 이러한 연결 구조를 통해 외부로부터 제공되는 전류는 상기 외부단자(140)를 거쳐 코일도체(120)로 인가된다.
여기서, 1차 코일의 입력단과 출력단으로서 기능하는 한 쌍의 외부단자(140)는 몸체의 우측면과 좌측면에 각각 구비되어 대향 배치되고, 2차 코일의 입력단과 출력단으로서 기능하는 다른 한 쌍의 외부단자(140) 역시 이와 같은 구조로 배치된다.
상기 커버부재(130)는 코어부재(110)와 같이 고분자 수지에 자성분말이 혼합된 자성수지 복합재로 이루어지는 자성 기체로서, 코일도체(120)가 매립된 코어부재(110)의 표면에 접하도록 구비된다. 이처럼, 상기 커버부재(130)는 코일 부품의 최외부를 형성하는 구성이 되며, 상기 코일도체(120)를 복개하여 외부로부터 코일도체(120)를 보호하는 역할을 한다.
이와 동시에 상기 커버부재(130)는 코어부재(110)와 함께 자속의 이동 통로로서 기능한다. 즉, 전류 인가시 발생하는 자속은 코일 부품의 상부와 하부 쪽에서는 커버부재(130)를 경유하고, 중심부 쪽에서는 코어부재(110)를 경유하여 폐자로를 형성한다. 여기서, 상기 커버부재(130)에 포함된 자성분말의 함량비는 코어부재(110)에 포함된 자성분말의 함량비와 동일한 값으로 설정될 수 있다.
이와 같이 본 발명의코일 부품(100)은, 제품의 몸체를 구성하는 코어부재(110)와 커버부재(130)가 동일한 자성분말의 함량비를 갖는 자성수지 복합재로 이루어짐에 따라 소자 특성의 방향성을 개선시킬 수 있다.
예컨대, 종래 코일 부품은 서로 다른 자기적 물성치를 갖는 구성으로 이루어져 있어 공진(Resonance)이나 임피던스 등과 같은 코일 특성을 예측하기 힘들고, 소자의 연결 방향에 따라 코일 특성이 달라지게 되나, 본 발명의 코일 부품(100)은 전체적으로 균일한 투자율을 갖는 등방적 구조로 형성되므로, 시뮬레이션을 통한 코일 특성의 예측이 쉽고, 어느 방향으로 연결되더라도 특성 변화가 발생하지 않는다.
도 4는 도 2의 A부분의 확대도로서 이를 참조하면, 상기 상부 코일도체(120a)와 하부 코일도체(120b)는 각각 사다리꼴의 단면 구조를 가지며, 가상의 수평 중심선(CL)을 기준으로 서로 대칭되도록 배치된다. 여기서, 수평 중심선(CL)은 코어부재(110)의 중심을 수평 방향으로 지나는 가상의 선을 가리킨다.
상기 상부 코일도체(120a) 및 하부 코일도체(120b)는 수평 중심선(CL) 쪽으로 갈수록 너비가 점점 작아지도록 형성된다. 즉, 사다리꼴의 단면 구조에서 길이가 짧은 평행 변이 수평 중심선(CL)에 가깝게 배치된다.
따라서, 수평 중심선(CL)을 향해 매립되는 상부 코일도체(120a) 및 하부 코일도체(120b)는 매립 방향에 대해 역사다리꼴로 매립되며, 그 결과, 외부 응력에 대한 코어부재(110와의 밀착력이 향상된다.
이러한 코일도체(120)의 구조는 제조 공정에 의한 것으로, 이하에서는 본 발명의 코일 부품 제조방법에 대해 살펴보기로 한다.
도 5는 본 발명의 코일 부품 제조방법을 순서대로 나타낸 흐름도이고, 도 6 내지 도 11은 도 5의 각 단계의 공정도이다.
본 발명의 코일 부품을 제조하기 위한 첫번째 단계로서 먼저, 도 6와 같이 캐리어층(10) 상에 코일도체(120)를 형성하는 단계를 진행한다(S100).
상기 캐리어층(10)은 코일도체(120)를 지지 후 후속 공정에서 제거되는 임시 부재로서 상기 코일도체(120)와는 이형의 금속재 예를 들어, 상기 코일도체(120)가 구리(Cu)로 형성되는 경우 상기 캐리어층(10)은 니켈(Ni)로 형성될 수 있다.
여기서, 상기 코일도체(120)는 당업계에 공지된 통상의 도금 공정 예컨대, SAP(Semi-Additive Process), MSAP(Modified Semi-Additive Process) 또는 서브트랙티브법(Subtractive) 등을 사용하여 형성할 수 있으나, 보다 바람직하게는 감광성 금속 페이스트를 이용한 포토리소 공정을 사용할 수 있다.
상기 금속 페이스트는 감광성 바인더와 광중합 개시제, 기타 용매 등을 조성물로 이루어지는 유기물(vehicle)에 도전성 금속분말이 혼합된 것으로, 빛을 받은 부분에서 광반응이 일어나 현상 시 남게되는 네거티브 타입(negative type)과, 빛을 받은 부분이 현상 시 제거되는 포지티브 타입(positive type) 등을 모두 사용할 수 있다.
이러한 감광성 금속 페이스트를 이용한 포토리소 공정을 자세히 살펴 보면 먼저, 감광성 금속 페이스트를 스크린 프린팅법이나 스프레이 코팅법, 롤 코팅법 등을 통해 캐리어층(10)에 도포한다. 그 다음, 소정의 패턴을 갖는 마스크를 정렬시킨 후 빛을 조사하고 현상 공정을 진행하면 불필요한 부분은 제거되어 원하는 패턴의 코일도체(120)가 형성된다. 이때, 코팅된 금속 페이스트의 높이에 따라 광 흡수량이 차이가 나므로, 현상 후 완성되는 코일도체(120)는 사다리꼴의 단면 구조를 갖게 된다.
상기 코일도체(120)가 형성되면, 도 7과 같이 코일도체(120)의 층간 연결을 위해 소정의 위치 예컨대, 코일도체(120) 중 최내측 배선 상부에 금속 페이스트를 도포하여 비아(121)를 형성한다(S110).
그 다음, 자성수지 복합재로 형성되는 코어부재(110)를 준비하고, 상기 코일도체(120)가 코어부재(110)를 향하도록 배치한 후, 도 8과 같이 캐리어층(10)이 코어부재(110)에 압착되도록 힘을 가하여 코일도체(120)를 코어부재(110)의 표면에 매립시키는 단계를 진행한다(S120).
상기 코어부재(110)는 유동성을 가지는 B-스테이지의 반경화 상태로 준비될 수 있으며, 이에 따라, 열압착 시 상기 코일도체(120)는 코어부재(110) 내부로 쉽게 함입된다.
상기 코일도체(120)가 코어부재(110)에 완전히 매립되면 코어부재(110)를 소성을 통해 경화시켜 코일도체(120)를 고정시킨다. 또는, 후속 공정 후 코어부재(110)에 접합되는 커버부재(130)와 함께 경화시킬 수 있다. 이 경우, 코어부재(110)와 커버부재(130) 사이의 고분자 수지가 서로 융화되어 경화됨으로써 코어부재(110)와 커버부재(130) 사이의 접합력이 보다 강화될 수 있으며, 도면 상에 도시된 것과 달리 코어부재(110)와 커버부재(130)는 그 사이의 경계면이 구분되지 않을 정도로 일체화될 수 있다.
그 다음, 도 9와 같이 에칭 공정을 통해 상기 캐리어층(10)을 제거하는 단계를 진행한다(S130). 전술한대로, 상기 코일도체(120)는 캐리어층(10)과 이형의 금속재로 이루어지므로 상기 에칭 공정에서 식각되지 않으며, 따라서 언더컷(Under Cut) 등의 패턴 불량이 발생하지 않는다.
상기 캐리어층(10)이 제거되면, 도 10과 같이 상기 코일도체(120)가 매립된 코어부재(110)의 표면에 커버부재(130)를 접합하는 단계를 진행한다(S140).
상기 커버부재(130)는 코어부재(110)와 동일한 자성수지 복합재로 이루어지고, 반경화 상태로 접합된 후 소성에 의해 경화된다.
연결 방향에 따른 특성 변화가 발생하지 않도록 설계하기 위해, 상기 코어부재(110)의 상부에 접합되는 커버부재(130)와 하부에 접합되는 커버부재(130)는 서로 동일한 두께를 갖는 것으로 준비될 수 있으며, 각 커버부재(130)의 두께는 제품의 전체 두께를 고려하여 결정할 수 있다. 예컨대, 상기 상,하부 커버부재(130)의 두께의 합은 제품의 전체 두께에서 코어부재(110)의 두께를 뺀 값으로 결정할 수 있다.
이처럼, 본 발명은 커버부재(130)의 두께를 조절함으로써 요구되는 크기에 맞게 제품을 제조할 수 있으므로 공정 수율이 개선될 수 있으며, 제품의 경박단소화 구현에 유리하다.
상기 커버부재(130)가 접합되면, 마지막으로 몸체 측면에 노출된 코일도체(120)의 단부와 대응되는 위치에 외부단자(140)를 형성함으로써 본 발명의 코일 부품(100)을 최종 완성할 수 있다(S150, 도 11).
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나타내고 설명하는 것에 불과하며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉, 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 전술한 실시예들은 본 발명을 실시하는데 있어 최선의 상태를 설명하기 위한 것이며, 본 발명과 같은 다른 발명을 이용하는데 당업계에 알려진 다른 상태로의 실시, 그리고 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서, 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
100: 본 발명에 따른 코일 부품
110: 코어부재
120: 코일도체
121: 비아
130: 커버부재
140: 외부단자

Claims (15)

  1. 코어부재;
    상기 코어부재의 표면에 매립되도록 구비되는 코일도체; 및
    상기 코일도체가 매립된 상기 코어부재의 표면에 접합하는 커버부재;를 포함하며,
    상기 코일도체는 상기 코어부재의 상부 표면에 매립되는 상부 코일도체와 하부 표면에 매립되는 하부 코일도체로 구성되고, 상기 상부 코일도체와 하부 코일도체는 가상의 수평 중심선을 기준으로 서로 대칭되는 코일 부품.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 코어부재와 커버부재는 자성수지 복합재로 이루어지는, 코일 부품.
  3. 제1 항에 있어서,
    상기 코어부재에 포함된 자성분말의 함량비와 상기 커버부재에 포함된 자성분말의 함량비는 서로 동일한, 코일 부품.
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 상부 코일도체 및 하부 코일도체는 가상의 수평 중심선 쪽으로 갈수록 너비가 작아지는 사다리꼴의 단면 구조를 갖는, 코일 부품.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 상부 코일도체와 하부 코일도체를 연결하는 비아를 더 포함하는, 코일 부품.
  7. 제1 항에 있어서,
    상기 코일도체는 전자기적 결합을 이루는 1차 코일과 2차 코일로 구성되는, 코일 부품.
  8. 제1 항에 있어서,
    외부로 노출된 상기 코일도체의 단부와 전기적으로 연결되는 외부단자를 더 포함하는, 코일 부품.
  9. 캐리어층에 코일도체를 형성하는 단계;
    코어부재를 준비하는 단계;
    상기 코일도체가 상기 코어부재의 표면에 매립되도록 상기 캐리어층을 상기 코어부재에 압착시키는 단계;
    상기 캐리어층을 제거하는 단계; 및
    상기 코일도체가 매립된 상기 코어부재의 표면에 커버부재를 접합하는 단계;를 포함하는, 코일 부품 제조방법.
  10. 제9 항에 있어서,
    상기 코일도체 형성 후 상기 코일도체의 최내측 배선 상에 비아를 형성하는 단계를 더 포함하는, 코일 부품 제조방법.
  11. 제9 항에 있어서,
    상기 코일도체가 매립되면 상기 코어부재를 경화시키는 단계를 더 포함하는, 코일 부품 제조방법.
  12. 제9 항에 있어서,
    상기 커버부재 접합 후 상기 코어부재와 상기 커버부재를 함께 경화시키는 단계를 더 포함하는, 코일 부품 제조방법.
  13. 제9 항에 있어서,
    상기 코일도체를 형성하는 단계에서 상기 코일도체을 사다리꼴의 단면 구조로 형성하는, 코일 부품 제조방법.
  14. 제9 항에 있어서,
    상기 커버부재 접합 후 외부로 노출된 상기 코일도체의 단부와 연결되는 외부단자를 형성하는 단계를 더 포함하는, 코일 부품 제조방법.
  15. 제9 항에 있어서,
    상기 코일도체를 형성하는 단계는, 감광성 금속 페이스트를 이용한 포토리소 공정을 통해 이루어지는, 코일 부품 제조방법.
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