JP2014232129A - 偏光イメージングフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】透過性が高く、可視光の全波長帯域で有効に機能する偏光イメージングフィルタおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】偏光子アレイ2を備えた偏光イメージングフィルタ1であって、上記偏光子アレイ2が、透過軸方向4の異なる複数の偏光子ユニット3を二次元に2行2列で配列してなるものであり、上記偏光子アレイ2において配列された複数の偏光子ユニット3の透過軸方向4が、規則的であり、上記偏光子ユニット3が、高屈折率部11および低屈折率部12の周期構造を有し、上記周期構造が、カバーガラスに酸素過剰および酸素欠陥で形成された屈折率変化領域である。
【選択図】図2
【解決手段】偏光子アレイ2を備えた偏光イメージングフィルタ1であって、上記偏光子アレイ2が、透過軸方向4の異なる複数の偏光子ユニット3を二次元に2行2列で配列してなるものであり、上記偏光子アレイ2において配列された複数の偏光子ユニット3の透過軸方向4が、規則的であり、上記偏光子ユニット3が、高屈折率部11および低屈折率部12の周期構造を有し、上記周期構造が、カバーガラスに酸素過剰および酸素欠陥で形成された屈折率変化領域である。
【選択図】図2
Description
本発明は、偏光イメージングフィルタおよびその製造方法に関するものである。
偏光イメージングフィルタは、偏光イメージングセンサに用いられて、当該偏光イメージングセンサへの入力光から、所定方向の偏光のみを透過させるものである。これにより、偏光イメージングセンサは、入力光の偏光の情報を取得することができる。このため、偏光イメージングフィルタには、入力光から不要な偏光を透過させないための偏光子アレイが備えられる。このような偏光子アレイとして、自己クローニング法により作製されたフォトニック結晶偏光子を使用したものが開示されている(例えば、特許文献1参照)。
上記フォトニック結晶偏光子は、特許文献2の図4および非特許文献1の図4(本願の図18)に示されるように、特定の波長において、TM偏光を透過させるものの、TE偏光を透過させないことが明らかである。すなわち、このフォトニック結晶偏光子は、上記特定の波長の入力光に対して偏光子として動作する。
川上彰二郎ら「フォトニック結晶偏光子を用いた偏光イメージングカメラの開発」電子情報通信学会論文誌 一般社団法人電子情報通信学会 2007年1月1日 J90−C(1) p.17−24
しかしながら、上記特許文献1および2並びに非特許文献1のフォトニック結晶偏光子は、言い換えれば、上記特定の波長以外の入力光に対しては偏光子として動作しない。具体的に説明すると、図18に示すように、上記フォトニック結晶偏光子は、550nm程度〜700nm以下の波長(符号T)において、TE偏光およびTM偏光のいずれも透過させてしまう。
ここで、可視光の波長は400nm〜800nmであるので、上記フォトニック結晶偏光子は、可視光の全波長帯域で偏光子として動作するわけではない。このため、非特許文献1に「550nm以上の光は両偏光とも透過するので、偏光子の裏面に多層膜フィルターを形成し、その波長域の光はカットしている」と記載されているように、上記フォトニック結晶偏光子を備えた偏光イメージングフィルタは、可視光のうち限られた波長帯域にのみ機能するものである。
また、上記フォトニック結晶偏光子、すなわち、自己クローニング法により作製されたフォトニック結晶偏光子は、その構造や材料を調整すれば、偏光子として動作する波長帯域を変化させることも可能である。しかしながら、可視光の全波長帯域で偏光子として動作させるには、上記構造や材料を最適化しなければならず、製造が簡単でないという問題がある。
一方で、ワイヤーグリッド型の偏光子は、可視光の全波長帯域で偏光子として動作させることも可能である(例えば、特許文献3参照)。しかしながら、ワイヤーグリッド型の偏光子は、金属(透過性を有しない)により作製されるので、透過性が低いという問題がある。
また、ガラスにフェムト秒レーザを照射して形成される光学用構造体が特許文献4に開示されている。しかし、この特許文献4には、上記光学用構造体が可視光の全波長帯域で偏光子として動作するかは開示されていない。
そこで、本発明は、透過性が高く、可視光の全波長帯域で有効に機能する偏光イメージングフィルタおよびその製造方法を提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明の請求項1に係る偏光イメージングフィルタは、偏光子アレイを備えた偏光イメージングフィルタであって、
上記偏光子アレイが、透過軸方向の異なる複数の偏光子ユニットを二次元に配列してなるものであり、
上記偏光子アレイにおいて配列された複数の偏光子ユニットの透過軸方向が、規則的であり、
上記偏光子ユニットが、高屈折率部および低屈折率部の周期構造を有し、
上記周期構造が、レーザ光を透過する基材に酸素過剰および酸素欠陥で形成された屈折率変化領域であるものである。
上記偏光子アレイが、透過軸方向の異なる複数の偏光子ユニットを二次元に配列してなるものであり、
上記偏光子アレイにおいて配列された複数の偏光子ユニットの透過軸方向が、規則的であり、
上記偏光子ユニットが、高屈折率部および低屈折率部の周期構造を有し、
上記周期構造が、レーザ光を透過する基材に酸素過剰および酸素欠陥で形成された屈折率変化領域であるものである。
また、本発明の請求項2に係る偏光イメージングフィルタは、請求項1に記載の偏光イメージングフィルタにおいて、レーザ光を透過する基材が、偏光イメージングセンサのカバーガラスであるものである。
さらに、本発明の請求項3に係る偏光イメージングフィルタの製造方法は、請求項1または2に記載の偏光イメージングフィルタの製造方法であって、
レーザ光を透過する基材にフェムト秒レーザを照射することにより、当該フェムト秒レーザの集光位置に屈折率変化領域を形成する工程を具備するものである。
レーザ光を透過する基材にフェムト秒レーザを照射することにより、当該フェムト秒レーザの集光位置に屈折率変化領域を形成する工程を具備するものである。
また、本発明の請求項4に係る偏光イメージングフィルタの製造方法は、請求項3に記載の偏光イメージングフィルタの製造方法であって、
偏光イメージングフィルタにおける所望の位相差に応じて、フェムト秒レーザのパラメータを調整するとともに、偏光子アレイを積層するものである。
偏光イメージングフィルタにおける所望の位相差に応じて、フェムト秒レーザのパラメータを調整するとともに、偏光子アレイを積層するものである。
上記偏光イメージングフィルタおよびその製造方法によると、透過性が高く、可視光の全波長帯域で有効に機能することができる。
以下、本発明の実施の形態に係る偏光イメージングフィルタについて図面に基づき説明する。
まず、上記偏光イメージングフィルタが用いられた偏光イメージングセンサの概略について説明する。
まず、上記偏光イメージングフィルタが用いられた偏光イメージングセンサの概略について説明する。
図1に示すように、この偏光イメージングセンサSは、可視光Vが入力されるとともに透過軸方向(図1の両矢印4で示す)の偏光を透過させる偏光イメージングフィルタ1と、この偏光イメージングフィルタ1を透過した偏光を受ける受光モジュールRと、この偏光を受けた受光モジュールRからの情報を処理する情報処理部Iとを具備する。この情報処理部Iは、画像処理および演算を行うとともに、必要に応じて上記情報を記憶する公知の構成部品からなる。なお、上記受光モジュールRの画素Pは、二次元に多数行多数列で配列されるが、本実施の形態では説明および図面を簡単にするため、6行6列で配列されたものとする。また、以下では、上記偏光イメージングフィルタ1において、可視光Vの進行方向(図1での白抜き矢印の方向)を厚み方向とし、この厚み方向に直交する方向を幅方向として説明する。さらに、可視光には様々な定義があるが、本実施の形態における可視光Vとは、その波長が400nm〜800nmの光を指すものとする。
ところで、通常の偏光イメージングセンサは、偏光イメージングフィルタの他に、受光モジュールを保護するための別途のカバーガラスを具備する。しかし、本実施の形態に係る偏光イメージングセンサSは、上記偏光イメージングフィルタ1がカバーガラスも兼ねているので、正確には、カバーガラスに偏光イメージングフィルタの機能を持たせているので、別途のカバーガラスを必要としない。
以下、上記偏光イメージングフィルタ1について詳細に説明する。
この偏光イメージングフィルタ1は、図2(a)に示すように、偏光子ユニット3を二次元に6行6列(現実には多数行多数列)で配列してなるものである。偏光子ユニット3の1つ1つは、上記受光モジュールRの画素Pの1つ1つに対応する(図1参照)。図2(a)の破線部に示すように、二次元に2行2列の偏光子ユニット3により、1つの偏光子アレイ2が構成される。すなわち、偏光子アレイ2は、偏光子ユニット3を二次元に2行2列で配列してなるものである。また、図2(a)に示すように、1つの偏光子ユニット3は、その透過軸4が一方向となるように構成されている。そして、1つの偏光子アレイ2において配列された4つ(2行2列)の偏光子ユニット3の透過軸方向4は、規則的にされている。具体的には、図11に示すように、各偏光子アレイ2において、行および列で隣り合う偏光子ユニット3の透過軸4が互いに45°をなしている。このように透過軸方向4を規則的にするのは、偏光の方向の情報を受光モジュールRに与えるためである。具体的には、偏光子アレイ2に偏光が入力すると、入力された偏光の方向に近い透過軸方向4の偏光子ユニット3が偏光を十分に透過させ、入力された偏光の方向に遠い透過軸方向4の偏光子ユニット3が偏光を十分に透過させない。このため、偏光子アレイ2を透過した偏光から、入力された偏光の方向が明らかになる。
この偏光イメージングフィルタ1は、図2(a)に示すように、偏光子ユニット3を二次元に6行6列(現実には多数行多数列)で配列してなるものである。偏光子ユニット3の1つ1つは、上記受光モジュールRの画素Pの1つ1つに対応する(図1参照)。図2(a)の破線部に示すように、二次元に2行2列の偏光子ユニット3により、1つの偏光子アレイ2が構成される。すなわち、偏光子アレイ2は、偏光子ユニット3を二次元に2行2列で配列してなるものである。また、図2(a)に示すように、1つの偏光子ユニット3は、その透過軸4が一方向となるように構成されている。そして、1つの偏光子アレイ2において配列された4つ(2行2列)の偏光子ユニット3の透過軸方向4は、規則的にされている。具体的には、図11に示すように、各偏光子アレイ2において、行および列で隣り合う偏光子ユニット3の透過軸4が互いに45°をなしている。このように透過軸方向4を規則的にするのは、偏光の方向の情報を受光モジュールRに与えるためである。具体的には、偏光子アレイ2に偏光が入力すると、入力された偏光の方向に近い透過軸方向4の偏光子ユニット3が偏光を十分に透過させ、入力された偏光の方向に遠い透過軸方向4の偏光子ユニット3が偏光を十分に透過させない。このため、偏光子アレイ2を透過した偏光から、入力された偏光の方向が明らかになる。
図2(a)は、上記偏光イメージングフィルタ1の透過軸4を両矢印で模式的に示した図であるが、実際の透過軸4は、カバーガラスに形成された屈折率変化領域(高屈折率部および低屈折率部からなる)の作用により定められる。高屈折率部を線で表すと、図2(b)に示すように、各偏光子ユニット3に平行線11が見られる。すなわち、この平行線11が、酸素過剰により屈折率が高くなった高屈折率部である。一方で、上記平行線以外12が、酸素欠陥により屈折率が低くなった低屈折率部である。上記高屈折率部11および低屈折率部12からなる屈折率変化領域は、高屈折率部11および低屈折率部12が交互に現れているので、周期構造であるといえる。また、図2(a)と図2(b)との比較から明らかなように、上記透過軸4の方向は、上記高屈折率部11の平行線と直交する方向である。
次に、1つの偏光子アレイ2に着目して説明する。
図3(a)は1つの偏光子アレイ2を模式的に示した斜視図であり、図3(b)は図3(a)の偏光子アレイ2を実際に示した斜視図である。この偏光子アレイ2は、図3(b)に示すように、複数の円柱状の屈折率変化領域(以下では単に円柱領域5という)が同一平面上で並列に(つまり筏状に)形成されたものである。各円柱領域5は、球状の屈折率変化領域が直線状に連なってなるものである。この球状の屈折率変化領域は、カバーガラス(レーザ光を透過する基材の一例)にフェムト秒レーザ(パルス幅が10−12秒〜10−15秒のパルス光レーザ)を照射することにより、当該フェムト秒レーザの集光位置に形成される。したがって、上記各円柱領域5は、上記カバーガラスにフェムト秒レーザを照射するとともに、上記カバーガラスとフェムト秒レーザとを一方向に相対移動させることにより、当該フェムト秒レーザの集光位置の軌跡に形成される。また、各円柱領域5における高屈折率部11の平行線は、上記フェムト秒レーザの磁場方向と同一方向に形成される。
図3(a)は1つの偏光子アレイ2を模式的に示した斜視図であり、図3(b)は図3(a)の偏光子アレイ2を実際に示した斜視図である。この偏光子アレイ2は、図3(b)に示すように、複数の円柱状の屈折率変化領域(以下では単に円柱領域5という)が同一平面上で並列に(つまり筏状に)形成されたものである。各円柱領域5は、球状の屈折率変化領域が直線状に連なってなるものである。この球状の屈折率変化領域は、カバーガラス(レーザ光を透過する基材の一例)にフェムト秒レーザ(パルス幅が10−12秒〜10−15秒のパルス光レーザ)を照射することにより、当該フェムト秒レーザの集光位置に形成される。したがって、上記各円柱領域5は、上記カバーガラスにフェムト秒レーザを照射するとともに、上記カバーガラスとフェムト秒レーザとを一方向に相対移動させることにより、当該フェムト秒レーザの集光位置の軌跡に形成される。また、各円柱領域5における高屈折率部11の平行線は、上記フェムト秒レーザの磁場方向と同一方向に形成される。
ところで、図3ではカバーガラスに形成された偏光子アレイ2が1層の例について示したが、偏光子アレイ2の位相差が不十分であれば(所望の位相差に満たなければ)、図4に示すように、当該偏光子アレイ2を複数層にしてもよい(図4では3層の例を示す)。偏光子アレイ2を複数層にすることにより、これら複数層の偏光子アレイ2を備えた偏光イメージングフィルタ1の位相差は、各偏光子アレイ2の位相差を層数で乗じたものとなる。例えば、図5のグラフに示すように、偏光子アレイ2の位相差が0.3πrad程度の場合、1層であれば0.3πrad程度、2層であれば0.3πrad×2程度、3層であれば0.3πrad×3程度の位相差が得られることを、実験的に確認した。すなわち、上記偏光イメージングフィルタ1は、積層する偏光子アレイ2の位相差について加成性があるといえる。なお、1層の偏光子アレイ2の位相差は、照射するフェムト秒レーザのパラメータを変化させることにより、0〜0.367πrad(100nm)で変化し得る。
以下、上記偏光イメージングフィルタ1の作用について説明する。
可視光Vが偏光イメージングフィルタ1に入力されると、その各偏光子ユニット3の透過軸方向4と同一方向の偏光が透過し、透過した偏光が受光モジュールRの対応する各画素Pで受けられる。また、偏光子アレイ2において配列された4つの偏光子ユニット3の透過軸方向4が規則的にされていることにより、偏光の方向の情報が受光モジュールRに与えられるので、透過させる偏光の精度が向上する。なお、これら偏光を受けた受光モジュールRは、偏光の方向、明るさおよび色彩などの情報を情報処理部Iに送信する。
可視光Vが偏光イメージングフィルタ1に入力されると、その各偏光子ユニット3の透過軸方向4と同一方向の偏光が透過し、透過した偏光が受光モジュールRの対応する各画素Pで受けられる。また、偏光子アレイ2において配列された4つの偏光子ユニット3の透過軸方向4が規則的にされていることにより、偏光の方向の情報が受光モジュールRに与えられるので、透過させる偏光の精度が向上する。なお、これら偏光を受けた受光モジュールRは、偏光の方向、明るさおよび色彩などの情報を情報処理部Iに送信する。
ここで、可視光Vの全波長帯域に対する偏光子ユニット3の特性を知るために、上記可視光Vの波長を様々に変化させて試料に入力し、試料から出力される光から、ミュラー行列のマトリクス成分を計測した。この計測に使用した装置は分光ポラリメーターPoxi−spectra(東京インスツルメンツ社製)であり、上記試料は2mm角の石英ガラスに屈折率変化領域を形成したものである。この屈折率変化領域は、直線状で線幅1.5μmの高屈折率部が2.0μmのピッチで形成され、これら高屈折率部の間に低屈折率部が形成された周期構造である。すなわち、上記試料を上記偏光子ユニット3と同一の構成とした。また、上記波長の変化は、具体的に説明すると、400nm〜800nmである。なぜなら、本実施の形態に係る可視光Vにおいて、400nmは最も短い波長(色彩は紫)で、800nmは最も長い波長(色彩は赤)であり、可視光Vの全波長帯域に対する偏光子ユニット3の特性を知り得るからである。この結果、上記偏光子ユニット3のミュラー行列のマトリクス成分が図6左側に示す16個のグラフの通りとなった。一方、これらを数式で表した理論式が図6右側に示す行列式の通りである。ここで、図6におけるθは上記試料の透過軸方向であり、δは上記試料の位相差である。また、図6におけるE=0°(Eは電場方向である)は透過軸に平行な直線偏光(TM偏光といわれる)であり、E=90°は透過軸に垂直な直線偏光(TE偏光といわれる)である。この図6に示すように、M23およびM32では、波長400nm〜800nmにおいて、E=0°とE=90°とでマトリクス成分が大きく異なる。具体的に説明すると、E23では、波長400nm〜800nmにおいて、E=0°のマトリクス成分が1.0〜0.5であり、E=90°のマトリクス成分が−1.0〜−0.5である。また、E32では、波長400nm〜800nmにおいて、E=0°のマトリクス成分が−1.0〜−0.5であり、E=90°のマトリクス成分が1.0〜0.5である。このため、上記M23のマトリクス成分、つまり円偏光を45°偏光に変換する成分により、波長400nm〜800nmにおいて、透過軸方向と平行な偏光(TM偏光)はそのまま透過されるものの、透過軸方向と垂直な偏光(TE偏光)は逆転して透過される。言い換えれば、M23のマトリクス成分により、TM偏光は45°で透過され、TE偏光は−45°で透過される。また、上記M32のマトリクス成分、つまり45°偏光を円偏光に変換する成分により、波長400nm〜800nmにおいて、透過軸方向と平行な偏光(TM偏光)は逆転して透過されるものの、透過軸方向と垂直な偏光(TE偏光)はそのまま透過される。言い換えれば、M32のマトリクス成分により、TM偏光は時計回りで透過され、TE偏光は反時計回りで透過される。すなわち、波長400nm〜800nmにおいて、TM偏光とTE偏光とで試料から出力された偏光状態が異なる。これにより、上記偏光子ユニット3が波長板として動作していることが分かる。
ここで、TE偏光(透過軸方向4と垂直な偏光)の上記偏光子ユニット3から出力された分を遮蔽することにより、上記偏光子ユニット3は偏光子として動作する。なぜなら、TM偏光とTE偏光とで試料から出力された偏光状態が異なるので、上記偏光子ユニット3から出力されたTE偏光分を遮蔽してもTM偏光分を遮蔽することにならず、すなわち、TM偏光(透過軸方向4と平行な偏光)を透過させるとともに、TE偏光(透過軸方向4と垂直な偏光)を透過させないからである。また、偏光子ユニット3から出力されたTE偏光(透過軸方向4と垂直な偏光)分を遮蔽するためには、つまり消光比を所望値まで上げるためには、上記偏光子アレイ2の層数を増やすか、別途の波長板をカバーガラス30に取り付けることが必要である。こうすることにより、偏光イメージングフィルタ1は、可視光Vの全波長帯域において、透過軸方向4の偏光を透過させるとともに、透過軸方向4でない偏光を透過させないようになる。以上により、上記偏光イメージングフィルタ1は、可視光Vの全波長帯域(400nm〜800nm)で偏光子として動作するといえる。
消光比を所望値まで上げた偏光子ユニット3が偏光子として動作するかについて、実際に実験を行った。この実験では、上記偏光子ユニット3を二次元に2行2列で配列してなる偏光子アレイ2、すなわち、図7(a)に示す偏光子アレイ2に、4通りの偏光をそれぞれ入力させたものを撮影し、透過した偏光の強度を目視で確認した。これら撮影したそれぞれの写真を図7(b)〜(e)に示す。図7(b)に示すように、入力させた偏光が0°方向(E=0°)であれば、この偏光の方向と同一方向の透過軸4を有する偏光子ユニット3、つまり図7(b)の偏光子アレイ2における左下の偏光子ユニット3が、最も明るくなった。同様に、図7(c)に示すように、入力させた偏光が45°方向(E=45°)であれば、この偏光子アレイ2において、左上の偏光子ユニット3が最も明るくなった。同様に、図7(d)に示すように、入力させた偏光が90°方向(E=90°)であれば、この偏光子アレイ2において、右上の偏光子ユニット3が最も明るくなった。同様に、図7(e)に示すように、入力させた偏光が135°方向(E=135°)であれば、この偏光子アレイ2において、右下の偏光子ユニット3が最も明るくなった。これらの結果から、消光比を上げた偏光子ユニット3は、透過軸方向4の偏光を透過させるとともに、透過軸方向4でない偏光が透過させないことが明らかである。すなわち、消光比を所望値まで上げることで、偏光子ユニット3は偏光子として動作するといえる。
以下、上記偏光イメージングフィルタ1の製造方法について図面に基づき説明する。
まず、上記製造方法に使用する製造装置について説明する。
この製造装置は、図8(a)に示すように、フェムト秒レーザ20を出力する出力器21と、この出力器21から出力されたフェムト秒レーザ20における所定の直線偏光のみを透過させる直線偏光板22と、この直線偏光板22を透過したフェムト秒レーザ20をカバーガラス30に向けて反射させるミラー23と、このミラー23で反射されたフェムト秒レーザ20を集光するレンズ24とを具備する。
まず、上記製造方法に使用する製造装置について説明する。
この製造装置は、図8(a)に示すように、フェムト秒レーザ20を出力する出力器21と、この出力器21から出力されたフェムト秒レーザ20における所定の直線偏光のみを透過させる直線偏光板22と、この直線偏光板22を透過したフェムト秒レーザ20をカバーガラス30に向けて反射させるミラー23と、このミラー23で反射されたフェムト秒レーザ20を集光するレンズ24とを具備する。
次に、この製造装置21〜24を使用した上記製造方法について説明する。
図8(a)に示すように、予め、上記フェムト秒レーザ20が集光する位置、すなわち、偏光子アレイ2を形成したい位置に、カバーガラス30を設置しておく。そして、出力器21にフェムト秒レーザ20を出力させると、図8(a)および(b)に示すように、当該フェムト秒レーザ20がカバーガラス30の内部に集光する。ここで、フェムト秒レーザ20のパラメータ、すなわち、波長、パルス数およびエネルギーなどは、形成したい周期構造に応じて変化させる。これらパラメータを変化させると、周期構造において、高屈折率部11および低屈折率部12の間隔、高屈折率部11および低屈折率部12の屈折率差、形成される円柱領域5の横断面直径、並びにこれら円柱領域5から構成される偏光子アレイ2の位相差(0〜100nm)などが変化する。
図8(a)に示すように、予め、上記フェムト秒レーザ20が集光する位置、すなわち、偏光子アレイ2を形成したい位置に、カバーガラス30を設置しておく。そして、出力器21にフェムト秒レーザ20を出力させると、図8(a)および(b)に示すように、当該フェムト秒レーザ20がカバーガラス30の内部に集光する。ここで、フェムト秒レーザ20のパラメータ、すなわち、波長、パルス数およびエネルギーなどは、形成したい周期構造に応じて変化させる。これらパラメータを変化させると、周期構造において、高屈折率部11および低屈折率部12の間隔、高屈折率部11および低屈折率部12の屈折率差、形成される円柱領域5の横断面直径、並びにこれら円柱領域5から構成される偏光子アレイ2の位相差(0〜100nm)などが変化する。
出力器21にフェムト秒レーザ20を出力させた後は、図9での白抜き矢印で示すように、フェムト秒レーザ20とカバーガラス30とを一方向に相対移動させる。この相対移動させる方向は、円柱領域5を形成したい方向、つまりカバーガラス30の幅方向とする。そして、円柱領域5に形成される高屈折率部11の平行線の方向は、図9(b)に詳しく示すように、フェムト秒レーザ20の磁場方向と同一になる。
円柱領域5が所望の長さだけ得られると、図10での白抜き矢印で示すように、直線偏光板22を45°回転させることにより、カバーガラス30に達するフェムト秒レーザ20の磁場方向を45°回転させる。このとき、円柱領域5における高屈折率部11の平行線も45°回転する。そして、図11での白抜き矢印で示すように、上記相対移動を同一方向に続けることにより、高屈折率部11の平行線が45°回転した状態の円柱領域5が形成される。高屈折率部11の平行線が45°回転した状態の円柱領域5が所望の長さだけ得られると、偏光子アレイ2を構成する円柱領域5が1本形成される。
上述した工程を繰り返すことにより、図2(b)に示すように、偏光子ユニット3が二次元で6行6列に配列されて、すなわち、偏光子アレイ2が二次元で3行3列に配列されて、偏光イメージングフィルタ1が製造される。
また、配列された1層の偏光子アレイ2の位相差が不十分であれば、所望の位相差を満たすまで、別層の偏光子アレイ2を形成する。なお、新たに形成する別層の偏光子アレイ2は、既に形成した偏光子アレイ2の上側(フェムト秒レーザ20の到達側)とする。
このように、上記偏光イメージングフィルタ1によると、カバーガラス30(レーザ光を透過する基材)の酸素過剰および酸素欠陥により構成されるので、透過性が高く、また可視光Vの全波長帯域で偏光子として動作するので、当該全波長帯域で有効に機能することができる。
さらに、偏光子アレイ2において配列された複数の偏光子ユニット3の透過軸方向4が規則的であるから、透過させる偏光の精度が向上し、より有効に機能することができる。
また、カバーガラス30に偏光イメージングフィルタ1の機能を持たせるので、偏光イメージングセンサSに用いる際に、別途のカバーガラス30を不要とすることができる。
また、カバーガラス30に偏光イメージングフィルタ1の機能を持たせるので、偏光イメージングセンサSに用いる際に、別途のカバーガラス30を不要とすることができる。
また、上記偏光イメージングフィルタ1の製造方法によると、上記効果を奏する偏光イメージングフィルタ1を簡単に製造することができる。特に、通常のイメージングセンサに用いられる既存のカバーガラス30に、偏光イメージングフィルタ1の機能を簡単に持たせることで、上記イメージングセンサを容易に偏光イメージングセンサSに改造することができる。
また、フェムト秒レーザ20のパラメータを調整するとともに、偏光子アレイ2を積層するという簡単な工程により、偏光イメージングフィルタ1の位相差を容易に所望の位相差にすることができる。
以下、上記実施の形態をより具体的に示した実施例に係る偏光イメージングフィルタ1について説明する。
まず、既存のCCDカメラ(カバーガラス30、受光モジュールRおよび情報処理部Iを具備する)からカバーガラス30を取り外し、このカバーガラス30を上記実施の形態に係る製造装置21〜24に設置した。
まず、既存のCCDカメラ(カバーガラス30、受光モジュールRおよび情報処理部Iを具備する)からカバーガラス30を取り外し、このカバーガラス30を上記実施の形態に係る製造装置21〜24に設置した。
そして、フェムト秒レーザ20のパラメータを調整し、形成される円柱領域5の横断面直径が2μmになるようにした。また、上記製造装置21〜24におけるミラー23とレンズ24との間に空間位相調整器(図示省略)を配置し、フェムト秒レーザ20を複数本に分けてカバーガラス30に到達させた。
その後、複数本のフェムト秒レーザ20とカバーガラス30とを相対移動させて、同時に複数本の円柱領域5を形成し、偏光イメージングフィルタ1を製造した。なお、この相対移動の速度は2mm/secとした。
この偏光子イメージングフィルタは、偏光子ユニット3が二次元で648行488列に配列してなるものとし、各偏光子ユニット3を7.4μm角の正方形とした。また、1つの偏光子ユニット3として、横断面直径が2μmの円柱領域5を同一平面上で並列に隣接して形成した。
このように、本実施例に係る偏光イメージングフィルタ1およびその製造方法によると、上記実施の形態に係るものと同一の効果を奏する。
さらに、本実施例に係る製造方法によると、同時に複数本の円柱領域5を形成するので、偏光イメージングフィルタ1の製造時間を短縮することができた。
さらに、本実施例に係る製造方法によると、同時に複数本の円柱領域5を形成するので、偏光イメージングフィルタ1の製造時間を短縮することができた。
ところで、上記実施の形態および実施例では、各偏光子アレイ2において、図12に示すように、行および列で隣り合う偏光子ユニット3の透過軸4が互いに45°をなしている例について説明したが、図13に示すように、30°または60°であってもよく、規則的であればよい。
また、上記実施の形態および実施例では、カバーガラス30に偏光イメージングフィルタ1の機能を容易に持たせる例について説明したが、別途の新たなガラスに偏光イメージングフィルタ1の機能を容易に持たせるようにしてもよい。
さらに、上記実施の形態および実施例では、偏光イメージングセンサSに用いられる偏光イメージングフィルタ1について説明したが、偏光イメージングセンサSに限られず、偏光メガネなど他の用途のものであってもよい。
また、上記実施の形態および実施例で説明した円柱領域5を形成する方法は一例に過ぎず、図14に示すように、同一方向の平行線11を有する部分ごとに円柱領域5を形成してもよい。
また、上記実施の形態および実施例では、円柱領域5をカバーガラス30の幅方向に形成する例について説明したが、図15に示すように、カバーガラス30の厚み方向に形成してもよい。
また、上記実施の形態における図4では、同一の偏光子アレイ2を積層したものについて説明したが、図16に示すように、層ごとに透過軸方向4の配列が異なる偏光子アレイ2にしてもよい。
また、上記実施の形態および実施例では、偏光子アレイ2の積層について詳細に説明しなかったが、図17に示すように、平面視で異なる場所の偏光子アレイ2ごとに積層する数が異なるようにしてもよい。
S 偏光イメージングセンサ
R 受光モジュール
I 情報処理部
1 偏光イメージングフィルタ
2 偏光子アレイ
3 偏光子ユニット
4 透過軸
5 円柱領域
11 高屈折率部
12 低屈折率部
20 フェムト秒レーザ
21 出力器
22 直線偏光板
23 ミラー
24 レンズ
30 カバーガラス
R 受光モジュール
I 情報処理部
1 偏光イメージングフィルタ
2 偏光子アレイ
3 偏光子ユニット
4 透過軸
5 円柱領域
11 高屈折率部
12 低屈折率部
20 フェムト秒レーザ
21 出力器
22 直線偏光板
23 ミラー
24 レンズ
30 カバーガラス
Claims (4)
- 偏光子アレイを備えた偏光イメージングフィルタであって、
上記偏光子アレイが、透過軸方向の異なる複数の偏光子ユニットを二次元に配列してなるものであり、
上記偏光子アレイにおいて配列された複数の偏光子ユニットの透過軸方向が、規則的であり、
上記偏光子ユニットが、高屈折率部および低屈折率部の周期構造を有し、
上記周期構造が、レーザ光を透過する基材に酸素過剰および酸素欠陥で形成された屈折率変化領域であることを特徴とする偏光イメージングフィルタ。 - レーザ光を透過する基材が、偏光イメージングセンサのカバーガラスであることを特徴とする請求項1に記載の偏光イメージングフィルタ。
- 請求項1または2に記載の偏光イメージングフィルタの製造方法であって、
レーザ光を透過する基材にフェムト秒レーザを照射することにより、当該フェムト秒レーザの集光位置に屈折率変化領域を形成する工程を具備することを特徴とする偏光イメージングフィルタの製造方法。 - 偏光イメージングフィルタにおける所望の位相差に応じて、フェムト秒レーザのパラメータを調整するとともに、偏光子アレイを積層することを特徴とする請求項3に記載の偏光イメージングフィルタの製造方法。
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