JP2014228319A - ドロップレット生成装置 - Google Patents
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Abstract
Description
ドロップレット生成装置の要部500は、基板501の一面501aに、流体の流路として機能する第一凹部502と、第一凹部の側壁502aに連結した微細孔503とを備えてなる。このような構成により、基板の一面501aにキャップ(不図示)を重ねた上で、第一凹部502、微細孔503に、それぞれ同時に第一流体L1、第二流体L2を流すことができる。そして、微細孔503から第一凹部502に第二流体L2を流出させることにより、流出した第二流体L2が、第一流体の流れf1による圧力を受けて切断され、ドロップレットDが形成される。
[ドロップレット生成装置の構成]
本発明の第一実施形態に係るドロップレット生成装置10(10A、10B)の構成について、図1(a)、(b)を用いて説明する。図1(a)、(b)は、それぞれ、ドロップレット生成装置10A、10Bの構成を模式的に示す図である。
図1に示した、第一実施形態に係るドロップレット生成装置10の変形例1〜7について、図5〜10を用いて説明する。
図4は、変形例1に係るドロップレット生成装置100の構成を模式的に示す図である。図4に示すように、ドロップレット生成装置100は、基板101と、基板101の内部または表面に形成された、第一流体L1を流す第一流路112と、第二流体L2を流す第二流路113と、を少なくとも備えている。
図5は、変形例2に係るドロップレット生成装置110の構成を、模式的に示す図である。図5に示すように、ドロップレット生成装置110は、基板111と、基板111の内部または表面に形成された、第一流体L1の流路をなす第一流路112と、第二流体L2の流路をなす第二流路113と、を少なくとも備えている。
図6は、変形例3に係るドロップレット生成装置120の構成を、模式的に示す図である。図6に示すように、ドロップレット生成装置120は、基板121と、基板121の内部または表面に形成された、第一流体L1の流路をなす第一流路122と、第二流体L2の流路をなす第二流路123と、を少なくとも備えている。
図7は、変形例4に係るドロップレット生成装置130の構成を、模式的に示す図である。図7に示すように、ドロップレット生成装置130は、基板131と、基板131の内部または表面に形成された、第一流体L1の流路をなす第一流路132と、第二流体L2の流路をなす第二流路133と、を少なくとも備えている。
図8は、変形例5に係るドロップレット生成装置140の構成を、模式的に示す図である。図8に示すように、ドロップレット生成装置140は、基板141と、基板141の内部または表面に形成された、第一流体L1の流路をなす第一流路142と、第二流体L2の流路をなす第二流路143と、を少なくとも備えている。
図9は、変形例6に係るドロップレット生成装置150の構成を、模式的に示す図である。図9に示すように、ドロップレット生成装置150は、基板151と、基板151の内部または表面に形成された、第一流体L1の流路をなす第一流路152と、第二流体L2の流路をなす第二流路153と、を少なくとも備えている。開口部から見た上流側において、変形例1〜5のドロップレット生成装置では、第二流体の流入方向に対して垂直な横方向の流れと斜めの方向の流れが混在していたのに対し、変形例6のドロップレット生成装置では、全て第二流体の流入方向に対して斜めの方向の流れが支配的である。
図10は、変形例7に係るドロップレット生成装置160の構成を、模式的に示す図である。図10に示すように、ドロップレット生成装置160は、基板161と、基板161の内部または表面に形成された、第一流体L1の流路をなす第一流路162と、第二流体L2の流路をなす第二流路163と、を少なくとも備えている。第一流路において、変形例1〜5のドロップレット生成装置では、第二流体の流入方向に対して垂直な横方向の流れと斜めの方向の流れが混在していたのに対し、変形例7のドロップレット生成装置では、全て第二流体の流入方向に対して斜めの方向の流れが支配的である。
図11(a)は、第一実施形態に係るドロップレット生成装置を含んだ、ドロップレット形成用のデバイス200の構成例を模式的に示す図である。図11(b)は、図11(a)のA−A線において、デバイス200を切断した際の断面図である。
図14(a)は、第一実施形態に係るドロップレット生成装置を含んだ、ドロップレット形成用のデバイス300の構成例を模式的に示す図である。図14(b)は、図14(a)のB−B線において、デバイス300を切断した際の断面図である。
上述した製造方法の他にも、半導体分野におけるフォトリソグラフィ技術およびエッチング技術を用いることで、本発明のドロップレット生成装置を製造することができる。
先ず、基板の一面上にレジスト層を形成する。レジスト層は、第一流路および第二流路が形成される領域が開口されており、この開口部においては基板が露出している。この基板をエッチング処理すると、基板に第一流路及び第二流路が形成される。第一流路と第二流路とを一括して形成してもよいし、各々を個別に形成してもよい。第一流路と第二流路とを形成した後、基板からレジスト層を除去する。そして、基板上にキャップ基板を被せることで、第一流路および第二流路を備えたドロップレット生成装置を形成することができる。
12・・・第一流路、12a、12b・・・側壁面、12A・・・部位、
13、13A、13B・・・第二流路、13a、13b・・・開口部、C・・・連通部、D・・・ドロップレット、f1、f2、f3・・・流れ、L1・・・第一流体、
L2、L3・・・第二流体、θa、θb・・・角度。
Claims (4)
- 基板に、第一流路と、第二流路と、を少なくとも備え、
前記第一流路の側壁面に開口部が設けられており、該開口部に前記第二流路の一端が接続され、
前記開口部側から見た前記第一流路の上流側の側壁面と下流側の側壁面とのなす角が、180度未満であることを特徴とするドロップレット生成装置。 - 前記上流側の側壁面と前記下流側の側壁面とが、90度以上の角度をなしていることを特徴とする請求項1に記載のドロップレット生成装置。
- 前記開口部は、前記上流側の側壁面と前記下流側の側壁面との交差部から前記下流側に広がっていることを特徴とする請求項1または2に記載のドロップレット生成装置。
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