JP2014224738A - 回転角度検出器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】磁気センサ4を基点として磁石2と反対側にバイメタル10を設ける。このバイメタル10の磁気センサ4を挟んで磁石2の一方の面2aに平行に対向する面の中央部に、磁性体プレート11を設ける。これにより、周囲温度変化による磁石2の磁束密度の変化分を相殺するように、磁石2と磁性体プレート10のギャップ量lが変化し、磁気センサ4に作用する磁束密度を一定化させて、周囲温度の変化による回転角度の検出精度の低下を防ぐことができるようになる。
【選択図】 図1
Description
(2)磁気センサ4を磁石2と磁性体6とで挟むことにより、磁気収束効果により磁気センサ4の周辺部の磁束密度が高められ、その結果、磁気センサ4の出力のS/N比が向上し、回転角度の検出精度が高められる。
また、本実施の形態の回転角度検出器100では、バイメタル10の中央部の位置が周囲温度変化に応じて機械的に変位する。図4に周囲温度〔℃〕とバイメタル10の中央部の位置の機械的変位量〔mm〕との関係を示す。この関係に示されるように、20℃の時の機械的変位量を0mmとした場合、バイメタル10の中央部の位置は、温度が上昇するにつれ、磁石2から離れる方向に変位する。同様に、バイメタル10の中央部の位置は、温度が下降するにつれ、磁石2に近づく方向に変位する。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (6)
- 回転軸と、この回転軸の軸心を中心として回転する径方向に着磁された磁石と、この磁石の径方向に対して直交する方向をその磁石の厚み方向とし,この磁石の厚み方向の一方の面にその感磁面を平行に対向させて,かつその感磁面の中心を前記磁石の回転中心と一致させるようにして配置され,前記感磁面に作用する磁束密度の変化を検出する磁気センサとを備え、前記磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器において、
前記磁気センサを基点として前記磁石と反対側に設けられ、前記磁気センサを挟んで前記磁石の一方の面に対向する面の中央部の位置が、周囲温度変化によって機械的に変位する構造体と、
前記構造体の前記磁石の一方の面に対向する面の中央部に取り付けられた磁性体とを備え、
前記磁性体は、
前記磁石の一方の面との間の距離が、前記構造体の周囲温度変化による前記磁石の一方の面に対向する面の中央部の位置の変位により、前記磁石の一方の面と平行な位置関係を保ちつつ、周囲温度変化に追従して変化する
ことを特徴とする回転角度検出器。 - 請求項1に記載された回転角度検出器において、
前記磁性体は、
前記磁石の一方の面との間の距離が、周囲温度が上昇するにつれ、前記磁石から離れる方向に変化する
ことを特徴とする回転角度検出器。 - 請求項2に記載された回転角度検出器において、
前記構造体は、バイメタルで構成されている
ことを特徴とする回転角度検出器。 - 請求項2に記載された回転角度検出器において、
前記構造体は、中空のダイアフラムで構成されている
ことを特徴とする回転角度検出器。 - 請求項2に記載された回転角度検出器において、
前記構造体は、ベローズで構成されている
ことを特徴とする回転角度検出器。 - 請求項2に記載された回転角度検出器において、
前記構造体は、形状記憶合金製のバネで構成されている
ことを特徴とする回転角度検出器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013103757A JP6306827B2 (ja) | 2013-05-16 | 2013-05-16 | 回転角度検出器 |
KR1020140054616A KR101537902B1 (ko) | 2013-05-16 | 2014-05-08 | 회전 각도 검출기 |
CN201410205713.1A CN104165577B (zh) | 2013-05-16 | 2014-05-15 | 旋转角度检测器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013103757A JP6306827B2 (ja) | 2013-05-16 | 2013-05-16 | 回転角度検出器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014224738A true JP2014224738A (ja) | 2014-12-04 |
JP6306827B2 JP6306827B2 (ja) | 2018-04-04 |
Family
ID=51909504
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013103757A Expired - Fee Related JP6306827B2 (ja) | 2013-05-16 | 2013-05-16 | 回転角度検出器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6306827B2 (ja) |
KR (1) | KR101537902B1 (ja) |
CN (1) | CN104165577B (ja) |
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2013
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-
2014
- 2014-05-08 KR KR1020140054616A patent/KR101537902B1/ko active IP Right Grant
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