JP2014224736A - 回転角度検出器 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれの許容範囲を広くし、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度を高める。
【解決手段】磁石2の磁気センサ4の感磁面4aに平行に対向する面2aの中央部に穴2bを形成する。これにより、磁気センサ4の感磁面4aに作用する磁石2Aからの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサ4の感磁面4aに作用するX方向およびY方向の磁束密度が均一となり、磁気センサ4と磁石2との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。
【選択図】 図1
【解決手段】磁石2の磁気センサ4の感磁面4aに平行に対向する面2aの中央部に穴2bを形成する。これにより、磁気センサ4の感磁面4aに作用する磁石2Aからの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサ4の感磁面4aに作用するX方向およびY方向の磁束密度が均一となり、磁気センサ4と磁石2との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器に関するものである。
従来より、この種の回転角度検出器として、N極とS極の磁石を有する回転体と、磁束密度の変化を検出する磁気センサとを組み合わせ、回転体を磁気センサに対して回転させることにより、磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出するという構成のものが数多く提案されている。
図10に従来の回転角度検出器の一例を示す。同図において、1は回転軸、2はこの回転軸1の先端に取り付けられた磁石である。磁石2は、その平面形状が円形とされ、径方向に着磁されている。回転軸1にはギア3が嵌合固定されており、検出対象の回転に伴ってギア3が回転し、このギア3と一体となって回転軸1が回転する。すなわち、検出対象の回転に伴って回転軸1が軸心O1を中心として回転し、この回転軸1と一体となって磁石2が回転する。磁石2は、その回転中心が回転軸1の軸心O1と一致するように、回転軸1の先端に取り付けられている。
4は磁束密度の変化を検出する磁気センサである。磁気センサ4は、磁石2の径方向に対して直交する方向を磁石2の厚み方向とし、この磁石2の厚み方向の一方の面(上面)2aにその感磁面4aを平行に対向させて、かつその感磁面4aの中心(磁気センサ4の中心)を磁石2の回転中心と一致させるようにして、プリント基板5上に配置されている。6は磁気センサ4を基点として磁石2と反対側に配置された円板状の磁性体である。
プリント基板5および磁性体6は金属製のホルダ7に保持されている。ホルダ7はケース本体8に取り付けられている。回転軸1の先端はその外周面がすり鉢状とされており、このすり鉢状とされた回転軸1の外周面とホルダ7との間には、軸受9が設けられている。この軸受9は、回転軸1の先端のすり鉢状の外周面に合わせ、このすり鉢状の外周面を軸支すべく、変形ベアリングとされている。なお、変形ベアリングを用いた回転角度検出器については、特許文献1にも示されている。
この回転角度検出器200では、検出対象の回転に伴ってギア3が回転し、このギア3と一体となって回転軸1が回転し、この回転軸1の軸心O1を中心として磁石2が回転する。すなわち、磁石2のN極からS極に戻る磁束の方向が回転する。これにより、磁気センサ4の感磁面4aに作用する磁束密度が変化し、この磁気センサ4が検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度が検出される。
なお、図10において、磁気センサ4としては、ホール素子を用いた磁気センサ、MR素子(磁気抵抗効果素子)を用いた磁気センサなどが用いられる。ホール素子を用いた磁気センサ4では、その磁気センサ4の感磁面4aに作用するX方向およびY方向(図11参照)への磁束密度の変化を検出する。
この回転角度検出器200では、磁気センサ4を基点として磁石2と反対側に円板状の磁性体6を設けていることにより、次のような2つの効果が得られる。
(1)磁性体6と磁石2との間の吸引力により、回転軸1が磁石2とともに磁性体6に引きつけられ、回転軸1の先端のすり鉢状の外周面が軸受9(変形ベアリング)の内周面に押し付けられる。これにより、回転軸1の軸心O1と磁石2の回転中心とが一致し、回転軸1の横方向(X,Y方向)への軸ずれが生じにくくなり、回転角度の検出精度が高められる。
(2)磁気センサ4を磁石2と磁性体6とで挟むことにより、磁気収束効果により磁気センサ4の周辺部の磁束密度が高められ、その結果、磁気センサ4の出力のS/N比が向上し、回転角度の検出精度が高められる。
(2)磁気センサ4を磁石2と磁性体6とで挟むことにより、磁気収束効果により磁気センサ4の周辺部の磁束密度が高められ、その結果、磁気センサ4の出力のS/N比が向上し、回転角度の検出精度が高められる。
しかしながら、上述した従来の回転角度検出器200では、回転軸1の横方向への軸ずれを生じにくくさせるために軸受9として変形ベアリングを用いており、回転軸1の先端もすり鉢状としなけらばならず、その構成が複雑化し、高価となる。また、吸引力で回転軸1の先端のすり鉢状の外周面を軸受9(変形ベアリング)に押し付けるので、軸受の摩耗が激しい。また、組み付け時の誤差などによって磁気センサ4の感磁面4aの中心と磁石2の回転中心との間に軸ずれが発生すると(以下、磁気センサ4と磁石2との間の横方向の軸ずれという)、磁気センサ4を通過する磁束密度が変化してしまい、所定の磁束密度が得られず、回転角度の検出精度が悪化するなどの問題がある。
本発明は、このような課題を解決するためになされたもので、その目的とするところは、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれの許容範囲を広くし、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度を高めることができる、回転角度検出器を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、回転軸と、この回転軸の軸心を中心として回転する径方向に着磁された磁石と、この磁石の径方向に対して直交する方向をその磁石の厚み方向とし,この磁石の厚み方向の一方の面にその感磁面を平行に対向させて,かつその感磁面の中心を磁石の回転中心と一致させるようにして配置され,感磁面に作用する磁束密度の変化を検出する磁気センサとを備え、磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器において、磁石は、磁気センサの感磁面に対向する面の中央部に穴を有することを特徴とする。
この発明によれば、磁石の磁気センサの感磁面に対向する面の中央部に穴を設けることにより、磁気センサの感磁面に作用する磁石からの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。
本発明において、磁石の磁気センサの感磁面に対向する面の中央部に設ける穴は、貫通していても、貫通していなくてもよいが、この磁石に設ける穴は、その穴径が磁石の径の1/6、かつ、その穴の深さが1〜2mmであることが好ましい。このようにすると、磁束密度の変動を最も小さくすることが可能となり、回転角度の検出精度の悪化を最小限に抑えることが可能となる。
本発明によれば、磁石の磁気センサの感磁面に平行に対向する面の中央部に穴を設けるようにしたので、磁気センサの感磁面に作用する磁石からの磁束の流れが比較的水平とされ、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられるものとなる、これにより、磁気センサと磁石との間の横方向への軸ずれの許容範囲が広くなり、変形ベアリングに代えて通常の軸受を使用することが可能となり、また磁気センサを基点とする磁石と反対側への磁性体の配置を不要とし、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度を高めることができるようになる。また、軸受の摩耗も少なく、振動にも強くなる。
以下、本発明を図面に基づいて詳細に説明する。図1は本発明に係る回転角度検出器の一実施の形態の要部を示す側断面図である。同図において、図10と同一符号は図10を参照して説明した構成要素と同一或いは同等の構成要素を示し、その説明は省略する。
この回転角度検出器100の従来の回転角度検出器200と最も異なる点は、磁石2の磁気センサ4の感磁面4aに平行に対向する面2aの中央部に穴2bを形成すると共に、磁気センサ4を基点として磁石2と反対側に配置されていた磁性体6をなくしたことにある。以下、従来の回転角度検出器200における磁石2と区別するために、本実施の形態の回転角度検出器100における磁石2を2Aとし、従来の回転角度検出器200における磁石2を2Bとする。なお、図1では、穴2bを底面を有する段差穴として示しているが、その形状や寸法などは後述するように種々考えられる。
また、本実施の形態の回転角度検出器100では、回転軸1の先端の外周面はすり鉢状とされておらず、同径の平坦面とされている。以下、従来の回転角度検出器200における回転軸1と区別するために、本実施の形態の回転角度検出器100における回転軸1を1Aとし、従来の回転角度検出器200における回転軸1を1Bとする。
また、本実施の形態の回転角度検出器100では、軸受9として変形ベアリングではなく、通常の軸受を用いている。以下、従来の回転角度検出器200における軸受9と区別するために、本実施の形態の回転角度検出器100における軸受9(通常の軸受)を9Aとし、従来の回転角度検出器200における軸受9(変形ベアリング)を9Bとする。
なお、本実施の形態において、磁石2としてはネオジウム磁石、サマコバ磁石、アルニコ磁石などが用いられており、磁性体6Aとしては炭素鋼(S45C)、圧延鋼板(SPCC)、一般構造用圧延鋼材(SS400)などが用いられている。
この回転角度検出器100では、磁石2Aの磁気センサ4の感磁面4aに平行に対向する面2aの中央部に穴2bを設けているので、磁気センサ4の感磁面4aに作用する磁石2Aからの磁束の流れが比較的水平とされる。
図3に穴2bを有する磁石2Aと穴2bを有さない磁石2Bを用いた場合の磁束の流れを比較して示す。図3(a)は穴2bを有する磁石2Aを用いた場合の磁束の流れを示し、図3(b)は穴2bを有さない磁石2Bを用いた場合の磁束の流れを示す。穴2bを有さない磁石2Bでは、磁気センサ4が配置される位置付近の磁束の流れは水平にならないが(近づけても同じ)、穴2bを有する磁石2Aでは、磁気センサ4が配置される位置付近の磁束の流れは比較的水平となる。
このように、本実施の形態の回転角度検出器100では、磁気センサ4の感磁面4aに作用する磁石2Aからの磁束の流れが磁石2Aの穴2bによって比較的水平とされるので、磁気センサ4の感磁面4aに作用するX方向およびY方向(図2参照)の磁束密度が均一となり、磁気センサ4と磁石2との間の横方向への軸ずれによる磁束密度の変動が小さくなり、回転角度の検出精度の悪化が抑えられる。
また、この回転角度検出器100では、磁気センサ4と磁石2との間の横方向への軸ずれの許容範囲が広がるので、軸受9として変形ベアリングに代えて通常の軸受を使用することができている。また、磁石2Aに穴6bを設けるのみで、磁気センサ4の感磁面4aに作用する磁束の流れを比較的水平とすることができるので、磁気センサ4を基点とする磁石2Aと反対側への磁性体(図10に示された磁性体6)の配置をなくすことができている。これにより、簡単な構成で、安価に、回転角度の検出精度が高められる。また、軸受の摩耗も少なく、振動にも強くなる。
〔穴2bの形状、寸法など〕
図1に示した回転角度検出器100では、磁石2Aの穴2bを底面を有する段差穴としている。この磁石2の穴2bは、段差穴に限られるものではなく、貫通した穴としてもよい。また、穴2bの径、深さも色々なパターンが考えられる。
図1に示した回転角度検出器100では、磁石2Aの穴2bを底面を有する段差穴としている。この磁石2の穴2bは、段差穴に限られるものではなく、貫通した穴としてもよい。また、穴2bの径、深さも色々なパターンが考えられる。
本願の発明者は、穴2bの径を磁石2Aの径の1/6、かつ、穴2bの深さを1〜2mmとすると、磁束密度の変動を最も小さくすることができることを実験によって確認した。
〔穴2bの径の違いによる磁束密度の影響(X方向,Y方向)〕
図4に磁石2Aの穴2bの径を変えた場合のX方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。図5に磁石2Aの穴2bの径を変えた場合のY方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。なお、図4,図5において、穴2bの深さ(穴深さ)はa〔mm〕、穴2bの径(穴径)はb〔mm〕とする。
図4に磁石2Aの穴2bの径を変えた場合のX方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。図5に磁石2Aの穴2bの径を変えた場合のY方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。なお、図4,図5において、穴2bの深さ(穴深さ)はa〔mm〕、穴2bの径(穴径)はb〔mm〕とする。
図4において、(a)はa=0,b=0とした場合、(b)はa=1,b=1.5とした場合、(c)はa=1,b=4.5とした場合の磁気センサ4の中心のX方向軸ずれ量と磁束密度との関係を示している。図5において、(a)はa=0,b=0とした場合、(b)はa=1,b=1.5とした場合、(c)はa=1,b=4.5とした場合の磁気センサ4の中心のY方向軸ずれ量と磁束密度との関係を示している。
なお、図4,図5において、磁石2Aは外径9mmのネオジウム磁石(グレードS36SH)を使用している。また、磁石2Aの面2aから磁気センサ4までの距離は2.2mm固定としている。
〔穴2bの深さの違いによる磁束密度の影響(X方向,Y方向)〕
図6に磁石2Aの穴2bの深さを変えた場合のX方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。図7に磁石2Aの穴2bの深さを変えた場合のY方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。なお、図6,図7において、穴2bの深さ(穴深さ)はa〔mm〕、穴2bの径(穴径)はb〔mm〕とする。
図6に磁石2Aの穴2bの深さを変えた場合のX方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。図7に磁石2Aの穴2bの深さを変えた場合のY方向への軸ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。なお、図6,図7において、穴2bの深さ(穴深さ)はa〔mm〕、穴2bの径(穴径)はb〔mm〕とする。
図6において、(a)はa=0,b=1.5とした場合、(b)はa=1,b=1.5とした場合、(c)はa=2,b=1.5とした場合、(d)はa=貫通,b=1.5とした場合の磁気センサ4の中心のX方向軸ずれ量と磁束密度との関係を示している。図7において、(a)はa=0,b=1.5とした場合、(b)はa=1,b=1.5とした場合、(c)はa=2,b=1.5とした場合、(d)はa=貫通,b=1.5とした場合の磁気センサ4の中心のY方向軸ずれ量と磁束密度との関係を示している。
なお、図6,図7において、磁石2Aは外径9mmのネオジウム磁石(グレードS36SH)を使用している。また、磁石2Aの面2aから磁気センサ4までの距離は2.2mm固定としている。
〔穴2bの形状による磁束密度分布の影響(Z方向)〕
図8に磁石2Aの穴2bの形状を変えた場合のZ方向(軸方向)への位置ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。なお、図8にいて、穴2bの深さ(穴深さ)はa〔mm〕、穴2bの径(穴径)はb〔mm〕とし、穴2bの形状としてこの穴深さaと穴径bを変えるものとする。
図8に磁石2Aの穴2bの形状を変えた場合のZ方向(軸方向)への位置ずれ時の磁気センサ4の中心の磁束密度変化を示す。なお、図8にいて、穴2bの深さ(穴深さ)はa〔mm〕、穴2bの径(穴径)はb〔mm〕とし、穴2bの形状としてこの穴深さaと穴径bを変えるものとする。
図8において、特性Iはa=0,b=0とした場合、特性IIはa=1,b=4.5とした場合、特性IIIはa=1,b=3とした場合、特性IVはa=1,b=1.5とした場合、特性Vはa=貫通,b=1.5とした場合の磁気センサ4の中心の磁石2Aの上端からの距離〔mm〕と磁束密度〔mT〕との関係を示している。なお、図8において、磁石2Aは外径9mmのネオジウム磁石(グレードS36SH)を使用している。
図4〜図8に示された磁束密度変化から、磁石2に設ける穴2bは、その穴深さa〔mm〕および穴径b〔mm〕がa=1,b=1.5である場合に高い効果が得られることが分かる。本願の発明者は、穴2bの穴径が磁石2Aの径の1/6、かつ、その穴の深さが1〜2mmである場合に最も高い効果が得られることを確認した。このようにすると、磁束密度の変動を最も小さくすることが可能となり、回転角度の検出精度の悪化を最小限に抑えることが可能となる。
また、本実施の形態の回転角度検出器100では、磁石2に設ける穴2bの形状、寸法などを変更することで、磁石2の上端からの任意の位置(Z方向(軸方向)))での磁束密度の均一化をコントロールすることができるものとなる。これは、Z方向への位置ずれに対しても強く、磁気センサ6の配置に関して、設計の自由度が高まることを意味している。
なお、この回転角度検出器100では、磁石2Aに設ける穴2bを深さ方向に径が等しい丸穴としているが、図9(a)に示すように円錐状としたり、図9(b)に示すように底面を曲面とするなどしてもよい。このような形状の穴2bでも、図9(a),(b)に示すように、穴2bの穴深さa、穴径bが定められる。
〔実施の形態の拡張〕
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
バルブ・アクチュエータの開発において新規技術開発すべき内容に、アクチュエータの回転角度の検出の高精度化(経年変化低減を含む)が挙げられる。アクチュエータの回転角度の検出精度を上げることで、制御するバルブの流量精度を向上させることができ、今後拡大して行くことが予想されるエネルギー管理や省エネルギー要求を満たすことができる。また、非接触の磁気センシング方式により、エネルギー管理を実施する上で長期信頼性を確保することができる。本発明の回転角度検出器は、アクチュエータに限らず、ポジショナへの展開も可能である。
1A…回転軸、2A…磁石、2a…磁石の一方の面、2b…穴、3…ギア、4…磁気センサ、4a…感磁面、5…プリント基板、7…ホルダ、8…ケース本体、9A…軸受、100…回転角度検出器。
Claims (2)
- 回転軸と、この回転軸の軸心を中心として回転する径方向に着磁された磁石と、この磁石の径方向に対して直交する方向をその磁石の厚み方向とし,この磁石の厚み方向の一方の面にその感磁面を平行に対向させて,かつその感磁面の中心を前記磁石の回転中心と一致させるようにして配置され,前記感磁面に作用する磁束密度の変化を検出する磁気センサとを備え、前記磁気センサが検出する磁束密度の変化から検出対象の回転角度を検出する回転角度検出器において、
前記磁石は、前記磁気センサの感磁面に対向する面の中央部に穴を有する
ことを特徴とする回転角度検出器。 - 請求項1に記載された回転角度検出器において、
前記磁石に設けられた穴は、その穴径が前記磁石の径の1/6、かつ、その穴の深さが1〜2mmである
ことを特徴とする回転角度検出器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013103754A JP2014224736A (ja) | 2013-05-16 | 2013-05-16 | 回転角度検出器 |
KR20140055476A KR20140135623A (ko) | 2013-05-16 | 2014-05-09 | 회전 각도 검출기 |
CN201410206366.4A CN104165578A (zh) | 2013-05-16 | 2014-05-15 | 旋转角度检测器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013103754A JP2014224736A (ja) | 2013-05-16 | 2013-05-16 | 回転角度検出器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014224736A true JP2014224736A (ja) | 2014-12-04 |
Family
ID=51909505
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013103754A Pending JP2014224736A (ja) | 2013-05-16 | 2013-05-16 | 回転角度検出器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014224736A (ja) |
KR (1) | KR20140135623A (ja) |
CN (1) | CN104165578A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017082150A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | アズビル株式会社 | 接着方法 |
CN106994417A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-08-01 | 蚌埠抒阳自动化设备制造有限公司 | 一种喷漆用限位组件 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6882112B2 (ja) * | 2017-08-04 | 2021-06-02 | マブチモーター株式会社 | センサマグネットおよびモータ |
-
2013
- 2013-05-16 JP JP2013103754A patent/JP2014224736A/ja active Pending
-
2014
- 2014-05-09 KR KR20140055476A patent/KR20140135623A/ko not_active Application Discontinuation
- 2014-05-15 CN CN201410206366.4A patent/CN104165578A/zh active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017082150A (ja) * | 2015-10-30 | 2017-05-18 | アズビル株式会社 | 接着方法 |
CN106994417A (zh) * | 2017-06-16 | 2017-08-01 | 蚌埠抒阳自动化设备制造有限公司 | 一种喷漆用限位组件 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN104165578A (zh) | 2014-11-26 |
KR20140135623A (ko) | 2014-11-26 |
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