JP2013007672A - センサ付き転がり軸受装置 - Google Patents

Abstract

【課題】内部でノイズ磁場が発生する場合でも、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能なセンサ付き転がり軸受装置を提供する。
【解決手段】深溝玉軸受１０は、回転輪である内輪１の回転状態を測定するセンサ２０を備えている。センサ２０は、内輪１と一体に回転可能に内輪１に取り付けられた環状磁石であるエンコーダ２２と、エンコーダ２２とセンサギャップを空けて対向するように固定輪である外輪２に取り付けられた磁気検出素子２４と、環状磁石であるエンコーダ２２から生じる磁場のうちノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断する磁気シールド２８と、を備えている。磁気シールド２８は、磁気検出素子２４の周方向両側に隙間を空けて対向するように設けられている。
【選択図】図３

Description

本発明は、軌道輪の回転状態を測定するセンサを備える転がり軸受装置に関する。

従来、回転輪の回転状態（例えば回転速度、回転方向、回転角度）を測定する磁気センサを備えた転がり軸受が知られている。このようなセンサ付き転がり軸受においては、検出すべき磁場以外の磁場（以下「ノイズ磁場」と記すこともある）を磁気センサが検出してしまい、回転輪の回転状態の測定結果に誤差が生じるおそれがあった。そのため、ノイズ磁場を磁気センサから遮断して、磁気センサへの悪影響を低減するセンサ付き転がり軸受が提案されている。
例えば特許文献１には、磁気経路を形成する磁性リングを備えたセンサ付き転がり軸受が開示されている。モータ等から発生する漏洩磁場は、最も磁気抵抗の小さい磁性リングを流れることになるため、この漏洩磁場が磁気センサに与える悪影響が抑制される。

特開２００２−１７４２５８号公報

しかしながら、特許文献１に開示のセンサ付き転がり軸受は、外部磁場を遮断するものであるため、センサ付き転がり軸受の内部でノイズ磁場が発生する場合には、十分な効果が得られないおそれがあった。
例えば、回転輪に取り付けられた環状磁石と、固定輪（非回転輪）に取り付けられた磁気検出素子とをセンサギャップを空けて対向させて磁気センサを構成したセンサ付き転がり軸受においては、環状磁石のＳ極とＮ極との境界部分又はその近傍に磁気検出素子が位置している際には、磁気検出素子がノイズ磁場を検出してしまうおそれがあった。

すなわち、環状磁石のＳ極とＮ極との境界部分には、図６に示すように、環状磁石の周方向に沿う検出方向磁場と、環状磁石の径方向外方側に弓状に延びるラジアル方向磁場とが発生している。よって、磁気検出素子の位置が前記境界部分に近いほど、ノイズ磁場であるラジアル方向磁場を検出しやすいので、回転輪の回転状態の測定結果に誤差が生じるおそれがあった。例えば、磁気検出素子がパルス信号を出力する場合はピッチ、デューティ比等、アナログ信号を出力する場合はピッチ、振幅、オフセット等に誤差が生じるおそれがあった。
そこで、本発明は上記のような従来技術が有する問題点を解決し、内部でノイズ磁場が発生する場合でも、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能なセンサ付き転がり軸受装置を提供することを課題とする。

前記課題を解決するため、本発明の態様は次のような構成からなる。すなわち、本発明の一態様に係るセンサ付き転がり軸受装置は、回転可能な回転輪と、前記回転輪を回転可能に支持する固定輪と、前記回転輪が有する軌道面と前記固定輪が有する軌道面との間に転動自在に配された複数の転動体と、前記回転輪の回転状態を測定するセンサと、を備え、以下の４つの条件を満足する。

条件Ａ：前記センサは、前記回転輪と一体に回転可能に前記回転輪に取り付けられた被検出部と、前記被検出部とセンサギャップを空けて対向するように前記固定輪に取り付けられた検出部と、を有し、前記回転輪の回転に伴う前記被検出部の回転状態を前記検出部によって測定するようになっている。
条件Ｂ：前記被検出部は環状磁石である。
条件Ｃ：前記検出部は、磁気検出素子、又は、磁気検出素子及び該磁気検出素子からの出力信号を増幅する増幅器を備える磁気検出器である。
条件Ｄ：前記環状磁石から生じる磁場のうち、前記環状磁石の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場を前記検出部から遮断する磁気シールドを、前記検出部の周方向両側の少なくとも一方に対向するように設けた。

このようなセンサ付き転がり軸受装置においては、複数個の前記検出部を周方向間隔を空けて前記固定輪に配することができる。そして、２個の前記検出部を周方向に並べて隣接させ、これら２個の前記検出部の間に前記磁気シールドを設けてもよいし、２個の前記検出部を電気角９０°又は１８０°の位相差を設けて前記固定輪に配してもよい。
また、磁気シールドは軟磁性体で構成することが好ましい。軟磁性体としてはパーマロイ、電磁軟鉄、又はケイ素鋼が好ましい。

さらに、前記磁気検出素子は磁気抵抗効果素子又はホール素子とすることができる。さらに、前記磁気検出素子は、前記回転状態を示すパルス信号を出力するものでもよいし、前記回転状態を示すアナログ信号を出力するものでもよい。
さらに、前記検出部と前記被検出部とをセンサギャップを空けてアキシアル対向させてもよいし、ラジアル対向させてもよい。
さらに、前記環状磁石は、周方向にＳ極とＮ極の２極に着磁した２極着磁としてもよいし、周方向にＳ極とＮ極を交互に４極以上着磁した多極着磁としてもよい。

本発明のセンサ付き転がり軸受装置は、環状磁石から生じる磁場のうち、環状磁石の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場を検出部から遮断する磁気シールドを、検出部の周方向両側の少なくとも一方に対向するように設けたので、内部でノイズ磁場が発生する場合でも、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能である。

本発明に係るセンサ付き転がり軸受装置の一実施形態の構造を示す斜視図である。 図１のセンサ付き転がり軸受装置の分解斜視図である。 磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。 本実施形態の変形例を示す、磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。 本実施形態の別の変形例を示す、磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。 環状磁石から生じるノイズ磁場を説明する図である。

本発明に係るセンサ付き転がり軸受装置の実施の形態を、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明に係るセンサ付き転がり軸受装置の一実施形態の構造を示す斜視図であり、図２は、図１のセンサ付き転がり軸受装置の分解斜視図である。また、図３は、図１のセンサ付き転がり軸受装置に備えられた磁気検出素子と磁気シールドの配置を説明する図である。

本実施形態の深溝玉軸受１０は、外周面に軌道面を有する内輪１と、内輪１の軌道面に対向する軌道面を内周面に有する外輪２と、内輪１の軌道面と外輪２の軌道面との間に転動自在に配された複数の転動体（玉）３と、内輪１及び外輪２の間に転動体３を保持する保持器（図示せず）と、を備えている。なお、保持器は備えていなくてもよい。また、内輪１の外周面及び外輪２の内周面の間に形成された軸受内部空間に、潤滑剤（例えば潤滑油，グリース）を封入してもよい。

この深溝玉軸受１０は、内輪１の内周面を例えば回転シャフト（図示せず）に嵌合して回転可能な回転輪とし、外輪２の外周面を例えば軸受ハウジング（図示せず）に固定して、回転輪である内輪１を回転可能に支持する固定輪（すなわち非回転輪）とすることができる。すなわち、深溝玉軸受１０を、図示しない回転シャフトと軸受ハウジングとの間に介装すれば、軸受ハウジングに対して回転シャフトを回転可能に支持することができる。ただし、これとは逆に、内輪１を固定輪とし、外輪２を回転輪としてもよいことは勿論である。

そして、内輪１及び外輪２の間の隙間の開口を覆う図示しない密封装置（接触式、非接触式いずれでもよく、例えば鋼製のシールドやゴムシールがあげられる）が、深溝玉軸受１０の軸方向（軸受中心軸方向）の一方の端部のみに備えられており、他方の端部には、回転輪である内輪１の回転の状態（例えば回転速度、回転方向、回転角度）を測定するセンサ２０が取り付けられている。

次に、センサ２０の構成について説明する。センサ２０は、回転輪である内輪１と一体に回転可能に内輪１に取り付けられた被検出部２２と、被検出部２２とセンサギャップを空けて対向するように固定輪である外輪２に取り付けられた検出部２４と、を有している。そして、内輪１の回転に伴って内輪１と同一の回転状態で回転する被検出部２２の回転の状態を、検出部２４によって測定できるようになっている。

センサ２０としては、磁気状態の変化（磁場の強弱や向き（具体的には、磁束密度の変動）など）を検知する磁気センサが使用されている。そして、この磁気センサの被検出部２２として、２極以上に着磁された環状の磁石（以下、「エンコーダ２２」と記す）を適用するとともに、検出部２４として、磁気状態の変化（例えば磁束密度の変動）を検出する磁気検出素子（以下、「磁気検出素子２４」と記す）を適用している。
ここで、磁気検出素子２４とエンコーダ２２について、さらに説明する。本実施形態においては、センサ２０は２個の磁気検出素子２４を備えている。そして、図３に示すように、２個の磁気検出素子２４は、エンコーダ２２の周方向に間隔を空けて並べて隣接されている。

磁気検出素子としては、例えば、ホール素子、磁気抵抗効果素子（ＭＲ素子）、巨大磁気抵抗効果素子（ＧＭＲ素子）等が使用可能である。これらの中でもホール素子は安価であるため、センサ付き転がり軸受装置を低コストで製造することができる。また、磁気抵抗効果素子は高感度であるので、高感度のセンサ付き転がり軸受装置を得ることができる。

ただし、磁気検出素子２４の代わりに磁気検出器を用いてもよい。磁気検出器は、磁気検出素子と、該磁気検出素子からの出力信号を増幅する増幅器と、を備えている。磁気検出素子からの出力信号の磁束に対する変化量は小さいので、磁気検出器は磁気検出素子からの出力信号を増幅器で増幅し、増幅された信号を出力するようになっている。増幅器としては、例えばオペアンプ（operational amplifier ）が使用される。

一方、エンコーダ２２に着磁させる磁極数は、内輪１の回転速度や磁気検出素子２４の検出精度などに応じて任意に設定すればよく、例えば、エンコーダ２２の周方向半分の円周面がＳ極に着磁され、残り半分の円周面がＮ極に着磁された２極着磁としてもよい。２極着磁とすることにより、回転輪の絶対回転角度をセンサ２０で測定することが可能である。

ただし、着磁させた磁極数が多いほど磁気検出素子２４において磁気状態の変化を検出し易くなり、深溝玉軸受１０の回転状態（例えば回転速度、回転方向、回転角度）の測定精度を高めることができるため、周方向にＳ極とＮ極を交互に４極以上着磁した多極着磁とすることが好ましい。例えば、エンコーダ２２は、その円周面（磁極面）に、Ｎ極とＳ極とを交互に５０個ずつ一定のピッチで周方向に着磁させた合計１００極の磁極を有する環状磁石とすることができる。多極着磁とした場合は、多周期のパルス信号やアナログ信号を得ることができる。また、多極着磁とした場合は、絶対回転角度位置を算出することはできないが、相対回転角度位置を正確に算出することができる。

さらに、センサ２０には、所定の回路が配線された基板３０（以下、「回路基板３０」と記す) が設けられており、回路基板３０によって磁気検出素子２４に所定の電源装置（図示せず) から電力が供給されるとともに、磁気検出素子２４から出力された信号（エンコーダ２２の回転状態を示す電気信号) が所定の信号処理部（図示せず) に送信されるセンサ構造となっている。

この場合、磁気検出素子２４や信号処理部は、回路基板３０に直接接続させてもよいし、信号ケーブル（図示せず) などを介して接続させてもよい。本実施形態においては、円環状の回路基板３０に磁気検出素子２４が直接接続されている。図２においては磁気検出素子２４は図示されていないが、回路基板３０の軸方向両端面のうちエンコーダ２２に対向する側の端面（図２においては、下方を向く面）に、磁気検出素子２４が接続されている。

さらに、センサ２０は磁気シールド２８を備えている。前述したように、環状磁石のＳ極とＮ極との境界部分には、環状磁石の周方向に沿う検出方向磁場と、環状磁石の径方向外方側に弓状に延びるラジアル方向磁場とが発生している。この磁気シールド２８は、環状磁石であるエンコーダ２２から生じる磁場のうち、エンコーダ２２の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場、すなわちノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断するためのものである。

この磁気シールド２８は略板状をなしており、回路基板３０から軸方向に突出している。そして、磁気シールド２８は、図３に示すように、磁気検出素子２４の周方向両側に隙間を空けて対向するように設けられていて（すなわち、磁気検出素子２４は周方向両側を磁気シールド２８で挟まれている）、磁気検出素子２４の周方向側面は磁気シールド２８の板面で囲まれている。本実施形態においては、図３に示すように、２個の磁気検出素子２４が周方向に間隔を空けて並べて隣接されているので、これら２個の磁気検出素子２４の間には、１個の磁気シールド２８を配すれば十分であり、この１個の磁気シールド２８により、２個の磁気検出素子２４の周方向片側面が囲まれている。

本実施形態の深溝玉軸受１０において、エンコーダ２２は、内輪１に固定されて、内輪１とともに回転している。図２に示す構成においては、一例として、エンコーダ２２が、磁性材料製の磁石ホルダ３２に、例えば接着、溶接等の慣用の固着手段により固定されており、この磁石ホルダ３２を内輪１に取り付けることにより、エンコーダ２２が内輪１に対して固定されている。

なお、磁石ホルダ３２は円環状をなし、外輪２、転動体３、保持器、及び後述するセンサカバー２６と接触しないように、その内径部が内輪１に固定されている。これにより、エンコーダ２２は、磁気検出素子２４と対向した状態で、外輪２、転動体３、及び保持器のいずれとも接触することなく、内輪１と同一の回転状態で内輪１とともに回転することができる。

一方、磁気検出素子２４は、軸方向のセンサギャップを空けてエンコーダ２２と対向するように、回路基板３０と接続された状態で略環状のセンサカバー２６に保持されており、センサカバー２６を外輪２の軸方向端部に取り付けることで、外輪２に対して固定されている。センサカバー２６は、その外径部が外輪２に固定され、深溝玉軸受１０が回転シャフトに取り付けられた際にはセンサカバー２６の内径部の先端と回転シャフトの外周面との間に所定の隙間が生じるように構成されている。

なお、図１，２に示す例では、磁気検出素子２４の軸方向端面とエンコーダ２２の軸方向端面（磁極面) とが軸方向のセンサギャップを空けてアキシアル対向するように、磁気検出素子２４がエンコーダ２２に対して位置付けられている。アキシアル対向とすることにより、センサ付き転がり軸受装置の径方向の寸法を小さくすることができる。ただし、磁気検出素子２４とエンコーダ２２の相対的な位置関係は、磁気検出素子２４の素子配設面とエンコーダ２２の磁極面とが対向していれば、図１に示す相対位置に限定されるものではない。

例えば、磁気検出素子２４の径方向内方の面とエンコーダ２２の外周面とを径方向のセンサギャップを空けてラジアル対向させてもよいし、磁気検出素子２４の径方向外方の面とエンコーダ２２の内周面とを径方向のセンサギャップを空けてラジアル対向させてもよい。これらの場合には、相互の対向面である磁気検出素子２４の径方向内方の面又は径方向外方の面を素子配設面として構成するとともに、エンコーダ２２の外周面又は内周面を磁極面として構成すればよい。ラジアル対向とすることにより、センサ付き転がり軸受装置の軸方向の寸法を小さくすることができる。

エンコーダ２２と磁気検出素子２４を、前述したように内輪１及び外輪２に対して位置付けることで、エンコーダ２２が磁気検出素子２４と対向した状態、具体的には、エンコーダ２２の軸方向端面（磁極面) が磁気検出素子２４の軸方向端面（素子配設面) と対向した状態で、内輪１とともに回転する構造とすることができる。
すなわち、深溝玉軸受１０において、内輪１が回転すると、これとともに磁石ホルダ３０及びエンコーダ２２も回転し、磁気検出素子２４に対する磁極（Ｎ極及びＳ極) の位置が交互に連続して変化する。このとき、磁気検出素子２４を通過する磁束（より具体的には、磁束の磁束密度や磁束の向き) が連続的に変化し、かかる変化を磁気検出素子２４により検出することで、エンコーダ２２の位置や角度などの情報を得ることができる。

そして、磁気検出素子２４によって検出された磁束の変化を回路基板３０で電気信 号に変換するとともに、当該電気信号（データ) を信号処理部（図示せず) に送信し、当該信号処理部において、単位時間当たりのエンコーダ２２の位置や角度などの変動量を演算処理することで、深溝玉軸受１０（具体的には、エンコーダ２２が固定された内輪１) の回転状態を測定することが可能となる。

このような本実施形態の深溝玉軸受１０は、磁気シールド２８を備えているので、エンコーダ２２から生じる磁場のうち、エンコーダ２２の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場、すなわちノイズ磁場であるラジアル方向磁場が磁気検出素子２４から遮断される。その結果、エンコーダ２２の周方向に沿う検出方向磁場が磁気検出素子２４によって検出され、ラジアル方向磁場が磁気検出素子２４に検出されることはほとんどない。よって、センサ２０の内部でノイズ磁場が発生しても、ノイズ磁場の悪影響を受けにくく、磁気検出素子２４の検出感度が高まるとともに、出力信号の誤差が小さくなる。したがって、回転輪の回転状態を高精度で測定することが可能である。

磁気シールド２８の形状、大きさ、厚さ等は、ノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断することが可能であれば特に限定されるものではないが、形状は板状が好ましく、大きさは磁気検出素子２４の周方向側面と同一又は周方向側面よりも大きいことが好ましい。
また、磁気検出素子２４の周方向片側に磁気シールド２８を設ければ、ノイズ磁場を磁気検出素子２４から遮断することが可能であるが、磁気検出素子２４の周方向両側に磁気シールド２８を設ける方が、すなわち、磁気検出素子２４を周方向両側から磁気シールド２８で挟んだ方が、ノイズ磁場であるラジアル方向磁場を磁気検出素子２４から遮断する効果が高い。

さらに、磁気シールド２８の材質は、ノイズ磁場を磁気検出素子２４から遮断することが可能であれば特に限定されるものではないが、ヒステリシスが小さくノイズ磁場を遮断する効果が高いことから、パーマロイ、電磁軟鉄、ケイ素鋼等の軟磁性体が好ましい。そして、上記の軟磁性体の中では、ヒステリシスが特に小さいことから、パーマロイがより好ましい。

なお、本実施形態は本発明の一例を示したものであって、本発明は本実施形態に限定されるものではない。例えば、本実施形態においては、磁気検出素子２４の数が２個である場合を例示して説明したが、センサ２０に設ける磁気検出素子２４の数は、深溝玉軸受１０の回転状態の測定に対して要求される精度などに応じて任意に設定すればよい。すなわち、センサ２０は、１個の磁気検出素子２４で深溝玉軸受１０の回転状態を測定する構成であってもよいし、２個以上の磁気検出素子２４で深溝玉軸受１０の回転状態を測定する構成であってもよい。

センサ２０に設ける磁気検出素子２４の数が２個以上である場合は、その周方向位置を考慮することが望ましい。例えば、２個の磁気検出素子２４をセンサ２０に設けた場合は、前述したように、２個の磁気検出素子２４を周方向に並べて隣接させてもよいが（すなわち、小さな周方向間隔を空けて配してもよいが）、大きな周方向間隔を空けて配してもよい。例えば、２個の磁気検出素子２４は、磁気状態の変化を検出するタイミングにおいて、その電気角（信号正弦波の１周期を３６０°とした場合の位相) を例えば９０°又は１８０°ずらして（９０°又は１８０°の位相差を設けて) 位置付けられるように、回路基板３０に対して接続してもよい。

図４に示すように、電気角９０°の位相差を設けると、磁気検出素子２４がアナログ信号を出力する場合には、２個の磁気検出素子２４からの出力信号が９０°の位相差で得られるので、回転輪の回転角度を算出することができる。また、図５に示すように、電気角１８０°の位相差を設けると、差動出力が得られるので、ノイズに強い出力信号を得ることができる。

また、例えば、３個の磁気検出素子２４をセンサ２０に設けた場合は、当該３個の磁気検出素子２４は、その電気角を例えば１２０°ずらして（１２０°の位相差を設けて) 位置付けられるように、回路基板３０に対して接続してもよい。さらに、例えば、４個の磁気検出素子２４をセンサ２０に設けた場合は、当該４個の磁気検出素子２４は、その電気角を例えば９０°ずらして（９０°の位相差を設けて) 位置付けられるように、回路基板３０に対して接続してもよい。

これにより、かかる位相差を考慮して各磁気検出素子２４における磁気変化の検出結果を比較することで、より正確に深溝玉軸受１０（具体的には、内輪１及びエンコーダ２２) の回転状態を測定することができる。
さらに、磁気検出素子２４は、パルス信号を出力するタイプのものでもよいし、アナログ信号を出力するタイプのものでもよい。パルス信号を出力するタイプの場合は、エンコーダとして適用することができる。また、アナログ信号を出力するタイプの場合は、回転輪の回転角度を測定することができる。

さらに、本実施形態においては、センサカバー２６の材質について特段の説明はしなかったが、エンコーダ２２が回転する際に生じる磁気状態の変化に影響を及ぼすことのない材料（例えば、樹脂等の非金属材料や、非磁性の金属材料や、磁性材を非磁性材でコーティングしたもの等) で構成することが好ましい。また、センサカバー２６の材質を磁性の金属材料とすれば、センサカバー２６が磁気シールドとしての機能を有することとなる。その結果、センサ２０の外部の磁場を遮断し、センサ２０が外部磁場の影響を受けることを抑制することができる。すなわち、エンコーダ２２の回転以外の要因により磁気状態が変化することを抑制し、エンコーダ２２の回転による磁気状態の変化のみを磁気検出素子２４で検出することができる。その結果、磁気検出素子２４において磁気状態の変化を正確且つ確実に検出し易くなり、内輪２の回転状態の計測精度を高めることができる。

さらに、本実施形態においては、転がり軸受の例として深溝玉軸受をあげて説明したが、本発明は、他の種類の様々な転がり軸受に対して適用することができる。例えば、アンギュラ玉軸受，自動調心玉軸受，自動調心ころ軸受，円筒ころ軸受，円すいころ軸受，針状ころ軸受等のラジアル形の転がり軸受や、スラスト玉軸受，スラストころ軸受等のスラスト形の転がり軸受である。

１ 内輪
２ 外輪
３ 転動体
１０ 深溝玉軸受
２０ センサ
２２ エンコーダ
２４ 磁気検出素子
２６ センサカバー
２８ 磁気シールド
３２ 磁石ホルダ

Claims (14)

1. 回転可能な回転輪と、前記回転輪を回転可能に支持する固定輪と、前記回転輪が有する軌道面と前記固定輪が有する軌道面との間に転動自在に配された複数の転動体と、前記回転輪の回転状態を測定するセンサと、を備え、以下の４つの条件を満足することを特徴とするセンサ付き転がり軸受装置。
   条件Ａ：前記センサは、前記回転輪と一体に回転可能に前記回転輪に取り付けられた被検出部と、前記被検出部とセンサギャップを空けて対向するように前記固定輪に取り付けられた検出部と、を有し、前記回転輪の回転に伴う前記被検出部の回転状態を前記検出部によって測定するようになっている。
   条件Ｂ：前記被検出部は環状磁石である。
   条件Ｃ：前記検出部は、磁気検出素子、又は、磁気検出素子及び該磁気検出素子からの出力信号を増幅する増幅器を備える磁気検出器である。
   条件Ｄ：前記環状磁石から生じる磁場のうち、前記環状磁石の周方向に沿う方向の磁場以外の磁場を前記検出部から遮断する磁気シールドを、前記検出部の周方向両側の少なくとも一方に対向するように設けた。
2. 複数個の前記検出部を周方向間隔を空けて前記固定輪に配したことを特徴とする請求項１に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
3. ２個の前記検出部を周方向に並べて隣接させ、これら２個の前記検出部の間に前記磁気シールドを設けたことを特徴とする請求項２に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
4. ２個の前記検出部を電気角９０°又は１８０°の位相差を設けて前記固定輪に配したことを特徴とする請求項２に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
5. 前記磁気シールドを軟磁性体で構成したことを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
6. 前記軟磁性体がパーマロイ、電磁軟鉄、又はケイ素鋼であることを特徴とする請求項５に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
7. 前記磁気検出素子が磁気抵抗効果素子であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
8. 前記磁気検出素子がホール素子であることを特徴とする請求項１〜６のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
9. 前記磁気検出素子は、前記回転状態を示すパルス信号を出力することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
10. 前記磁気検出素子は、前記回転状態を示すアナログ信号を出力することを特徴とする請求項１〜８のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
11. 前記検出部と前記被検出部とをセンサギャップを空けてアキシアル対向させたことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
12. 前記検出部と前記被検出部とをセンサギャップを空けてラジアル対向させたことを特徴とする請求項１〜１０のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
13. 前記環状磁石は、周方向にＳ極とＮ極の２極に着磁した２極着磁であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。
14. 前記環状磁石は、周方向にＳ極とＮ極を交互に４極以上着磁した多極着磁であることを特徴とする請求項１〜１２のいずれか一項に記載のセンサ付き転がり軸受装置。

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