JP2014217252A - カスコード接続パワーデバイス - Google Patents

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達夫 小濱
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Yutaro Yamaguchi
裕太郎 山口
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浩志 大塚
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Toshiyuki Oishi
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Abstract

【課題】パワーデバイスのサイズを大きくしてオン抵抗を低くしても、スイッチング速度が速く、スイッチング損失が小さいカスコード接続パワーデバイスを得る。【解決手段】カスコード接続パワーデバイス1が高周波でスイッチング動作しているとき、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の、分圧比により決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくすることで、MOSFET3のミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くし、スイッチング損失を小さくすることができる。【選択図】図1

Description

この発明は、スイッチング素子を使用するパワーエレクトロニクス機器におけるディプレッション型半導体を用いた低損失なカスコード接続パワーデバイスに関する。
スイッチング素子を使用するパワーエレクトロニクス機器におけるディプレッション型半導体には、ゲート電圧喪失時に電源短絡を防止するため、ノーマリーオフ特性が求められている。
本来、ノーマリーオン特性であるディプレッション型半導体をノーマリーオフ特性にする方法として、エンハンスメント型半導体とカスコード接続にする方法がある。
従来、低損失なカスコード接続されたパワーデバイスとして、ディプレッション型半導体であるGaN HEMT(GaN High Electron Mobility Transistor)とエンハンスメント型半導体であるMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)をカスコード接続するカスコード接続パワーデバイスがあった(下記非特許文献1参照)。
Tim McDonald : IR's GaNpowIR and the Inherent Performance Advantages of GaN-based HEMTs : APEC2012 industry session, Feb 9 2012
従来の高周波スイッチング用のカスコード接続パワーデバイスでは、損失低減を目的として、オン抵抗を下げるために、パワーデバイスのサイズを大きくしていたが、オン抵抗を下げるためにサイズを大きくすると、寄生容量が増加し、スイッチング速度が遅くなり、スイッチング損失が増加してしまうという課題があった。
この発明は、前記のような課題を解決するためになされたもので、パワーデバイスのサイズを大きくしてオン抵抗を低くしても、スイッチング速度が速く、スイッチング損失が小さいカスコード接続パワーデバイスを得ることを目的とする。
この発明のカスコード接続パワーデバイスは、ゲートが接地されたGaN HEMTと、ドレインがGaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフするMOSFETと、GaN HEMTのドレイン、ソース間に接続された第一のキャパシタと、MOSFETのドレイン、ソース間に接続された第二のキャパシタとを備えたものである。
この発明によれば、第一のキャパシタと第二のキャパシタの静電容量を調整することで、スイッチング速度が速く、スイッチング損失の小さいカスコード接続パワーデバイスを得ることができる効果がある。
この発明の実施の形態1によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態2によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態3によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態4によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態5によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態6によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態7によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態8によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態9によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態10によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態11によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。 この発明の実施の形態12によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
以下、この発明をより詳細に説明するために、この発明を実施するための形態について、添付の図面に従って説明する。
実施の形態1.
図1はこの発明の実施の形態1によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8から構成されている。
GaN HEMT2は、ゲートが接地され、ドレインがドレイン端子7に接続されている。
MOSFET3は、ゲートがゲート端子6に接続され、ドレインがGaN HEMT2のソースに接続され、ソースがソース端子8に接続されている。
キャパシタ4は、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されている。
キャパシタ5は、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されている。
ソース端子8は、接地されている。
ゲート抵抗9は、ゲート信号入力端子10とゲート端子6に接続されている。
次に動作について説明する。
オン信号がハイレベル、オフ信号がローレベルのPWM信号が、ゲート信号入力端子10に入力される。
ゲート信号入力端子10にオン信号が入力されると、ゲート抵抗9およびゲート端子6を介して、MOSFET3のゲート、ソース間にオン信号が入力され、MOSFET3のドレイン、ソース間がオンする。
MOSFET3のゲート、ソース間がオンされると、MOSFET3のドレイン電圧がMOSFET3のドレイン、ソース間、ソース端子8を介して接地される。
MOSFET3のドレインが接地されると、GaN HEMT2のソースが接地され、GaN HEMT2のドレイン、ソース間がオンする。
以上により、カスコード接続パワーデバイス1のドレイン端子7とソース端子8がオンする。
次にゲート信号入力端子10にオフ信号が入力されると、ゲート抵抗9およびゲート端子6を経由して、MOSFET3のゲート、ソース間にオフ信号が入力され、MOSFET3のドレイン、ソース間がオフする。
MOSFET3のゲート、ソース間がオフされると、MOSFET3のドレイン、ソース間がオフされるため、MOSFET3のドレイン電圧が上昇する。
MOSFET3のドレインが上昇し、GaN HEMT2のソース電圧が上昇して、GaN HEMT2のゲート、ソース間電圧がしきい値電圧より低くなると、GaN HEMT2のドレイン、ソース間はオフする。
以上により、カスコード接続パワーデバイス1のドレイン端子7とソース端子8がオフする。
カスコード接続パワーデバイス1は、前記のゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン、ソース間を高周波でスイッチング動作することができる。
カスコード接続パワーデバイス1が高周波でスイッチング動作しているとき、オフ期間のGaN HEMT2のソース電位でもあるMOSFET3のドレイン電位は、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まる。
このとき、ゲート信号入力端子10にオン信号を入力してから、MOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に充電するミラー期間を小さくすることで、カスコード接続パワーデバイス1のスイッチング時間を速くすることができ、スイッチング損失を小さくすることができる。
したがって、前記静電容量の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくすることで、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
このMOSFET3のドレイン電位を小さくするためのキャパシタ4とキャパシタ5の静電容量の設定法について、さらに、詳しく説明する。
従来では、キャパシタ4とキャパシタ5がないため、MOSFET3のドレイン電位は、MOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量CIMと、GaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量CIGによって、次式(1)のように表わされる。
Figure 2014217252
ここで、VMCは従来のMOSFET3のドレイン電位、VはGaN HEMT2のドレイン電位である。
この実施の形態1では、キャパシタ4とキャパシタ5を、図1のように接続する。
キャパシタ4の静電容量をCEG、キャパシタ5の静電容量をCEMと置くと、MOSFET3のドレイン電位VMPは、次式(2)のように表わされる。
Figure 2014217252
VMPがVMCより小さくなることで、MOSFET3のドレイン電位を小さくすることができる。
よって、VMP<VMCに、前記式(1)、(2)を代入すると、次式(3)のように表わされる。
Figure 2014217252
すなわち、前記式(3)となるように、キャパシタ4とキャパシタ5の静電容量を設定すれば良い。
この実施の形態1によれば、カスコード接続パワーデバイス1が高周波でスイッチング動作しているとき、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の、分圧比により決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくすることで、MOSFET3のミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くし、スイッチング損失を小さくすることができる。
なお、GaN HEMT2は、他のディプレッション型半導体を用いても同様の効果を有する。
また、MOSFET3は、Siを使って作成することが一般的であるが、他のエンハンスメント型半導体を用いても同様の効果を有する。
さらに、キャパシタ4は、MOSFET3のドレイン電位を設定できれば省略しても同様の効果を有する。
実施の形態2.
図2はこの発明の実施の形態2によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード11,18、トランス12、補助スイッチ1用MOSFET13、補助スイッチ1用ゲート端子16、補助スイッチ1用ソース端子17、回生用出力1端子19から構成されている。
ダイオード11は、アノードがMOSFET3のドレインに接続されている。
キャパシタ5は、ダイオード11のカソードとMOSFET3のソース間に接続されている。
トランス12は、一次巻線の一方がダイオード11のカソードに接続され、二次巻線の一方が接地されている。
補助スイッチ1用MOSFET13は、ゲートが補助スイッチ1用ゲート端子16に接続され、ドレインがトランス12の一次巻線の他方に接続され、ソースが補助スイッチ1用ソース端子17に接続されている。
ダイオード18は、アノードがトランス12の二次巻線の他方に接続され、カソードが回生用出力1端子19に接続されている。
ゲート抵抗15は、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14と補助スイッチ1用ゲート端子16に接続されている。
補助スイッチ1用ソース端子17は、接地されている。
電源20は、負極が接地され、正極が回生用出力1端子19に接続されるとともに、負荷抵抗21を介してドレイン端子7に接続されている。
その他の構成については、図1と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード11でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、MOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオン信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオンし、キャパシタ5の蓄積エネルギーをトランス12に移動させる。
トランス12に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオフ信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオフし、ドランス12の蓄積エネルギーを、トランス12の二次巻線からダイオード18、回生用出力1端子19を介して電源20に回生させる。
この実施の形態2によれば、前記実施の形態1の効果に加え、MOSFET3のオフ期間に、キャパシタ5に蓄積されたエネルギーを、MOSFET3のオン期間に、トランス12、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
なお、補助スイッチ1用MOSFET13は、他の種類のスイッチング素子を用いても同様の効果を有する。
また、ダイオード11,18は、別の整流手段を用いても同様の効果を有する。
さらに、負荷抵抗21は、抵抗以外の容量性、誘導性の負荷や、スイッチング電源等でも同様の効果を有する。
実施の形態3.
図3はこの発明の実施の形態3によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード11,18、トランス12、補助スイッチ1用MOSFET13、補助スイッチ1用ゲート端子16、補助スイッチ1用ソース端子17、回生用出力1端子19から構成されている。
補助スイッチ1用MOSFET13は、ゲートが補助スイッチ1用ゲート端子16に接続され、ソースがダイオード11のアノードに接続されている。
トランス12は、一次巻線の一方がダイオード11のカソードに接続され、一次巻線の他方が補助スイッチ1用MOSFET13のドレインに接続され、二次巻線の一方が接地されている。
その他の構成については、図2と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード11でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、MOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオン信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオンし、キャパシタ5の蓄積エネルギーをトランス12に移動させる。
トランス12に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオフ信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオフし、ドランス12の蓄積エネルギーを、トランス12の二次巻線からダイオード18、回生用出力1端子19を介して電源20に回生させる。
この実施の形態3によれば、前記実施の形態1の効果に加え、MOSFET3のオフ期間に、キャパシタ5に蓄積されたエネルギーを、MOSFET3のオン期間に、トランス12、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態4.
図4はこの発明の実施の形態4によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード11,18、補助スイッチ1用MOSFET13、補助スイッチ1用ゲート端子16、補助スイッチ1用ソース端子17、回生用出力1端子19、インダクタ22から構成されている。
インダクタ22は、一方がダイオード11のカソードに接続されている。
補助スイッチ1用MOSFET13は、ゲートが補助スイッチ1用ゲート端子16に接続され、ドレインがインダクタ22の他方に接続され、ソースが補助スイッチ1用ソース端子17に接続されている。
ダイオード18は、アノードがインダクタ22の二次巻線の他方に接続され、カソードが回生用出力1端子19に接続されている。
その他の構成については、図2と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード11でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、MOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオン信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオンし、キャパシタ5の蓄積エネルギーをインダクタ22に移動させる。
インダクタ22に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオフ信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオフし、インダクタ22の蓄積エネルギーを、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して電源20に回生させる。
この実施の形態4によれば、前記実施の形態1の効果に加え、MOSFET3のオフ期間に、キャパシタ5に蓄積されたエネルギーを、MOSFET3のオン期間に、インダクタ22、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態5.
図5はこの発明の実施の形態5によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード23,30、トランス24、補助スイッチ2用MOSFET25、補助スイッチ2用ゲート端子28、補助スイッチ2用ソース端子29、回生用出力2端子31から構成されている。
ダイオード23は、アノードがGaN HEMT2のドレインに接続されている。
キャパシタ4は、ダイオード23のカソードとGaN HEMT2のソース間に接続されている。
トランス24は、一次巻線の一方がダイオード23のカソードに接続され、二次巻線の一方が接地されている。
補助スイッチ2用MOSFET25は、ゲートが補助スイッチ2用ゲート端子28に接続され、ドレインがトランス24の一次巻線の他方に接続され、ソースが補助スイッチ2用ソース端子29に接続されている。
ダイオード30は、アノードがトランス24の二次巻線の他方に接続され、カソードが回生用出力2端子31に接続されている。
ゲート抵抗27は、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26と補助スイッチ2用ゲート端子28に接続されている。
補助スイッチ2用ソース端子29は、接地されている。
電源20は、負極が接地され、正極が回生用出力2端子31に接続されるとともに、負荷抵抗21を介してドレイン端子7に接続されている。
その他の構成については、図1と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード23でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2がオンしている期間に補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオン信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオンし、キャパシタ4の蓄積エネルギーをトランス24に移動させる。
トランス24に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオフ信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオフし、ドランス24の蓄積エネルギーを、トランス24の二次巻線からダイオード30、回生用出力2端子31を介して電源20に回生させる。
この実施の形態5によれば、前記実施の形態1の効果に加え、GaN HEMT2のオフ期間に、キャパシタ4に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2のオン期間に、トランス24、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
なお、補助スイッチ2用MOSFET25は、他の種類のスイッチング素子を用いても同様の効果を有する。
また、ダイオード23,30は、別の整流手段を用いても同様の効果を有する。
実施の形態6.
図6はこの発明の実施の形態6によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード23,30、トランス24、補助スイッチ2用MOSFET25、補助スイッチ2用ゲート端子28、補助スイッチ2用ソース端子29、回生用出力2端子31から構成されている。
補助スイッチ2用MOSFET25は、ゲートが補助スイッチ2用ゲート端子28に接続され、ソースがダイオード23のアノードに接続されている。
トランス24は、一次巻線の一方がダイオード23のカソードに接続され、一次巻線の他方が補助スイッチ2用MOSFET25のドレインに接続され、二次巻線の一方が接地されている。
その他の構成については、図5と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード23でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2がオンしている期間に補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオン信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオンし、キャパシタ4の蓄積エネルギーをトランス24に移動させる。
トランス24に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオフ信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオフし、ドランス24の蓄積エネルギーを、トランス24の二次巻線からダイオード30、回生用出力2端子31を介して電源20に回生させる。
この実施の形態6によれば、前記実施の形態1の効果に加え、GaN HEMT2のオフ期間に、キャパシタ4に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2のオン期間に、トランス24、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態7.
図7はこの発明の実施の形態7によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード23,30、補助スイッチ2用MOSFET25、補助スイッチ2用ゲート端子28、補助スイッチ2用ソース端子29、回生用出力2端子31、インダクタ32から構成されている。
インダクタ32は、一方がダイオード23のカソードに接続されている。
補助スイッチ2用MOSFET25は、ゲートが補助スイッチ2用ゲート端子28に接続され、ドレインがインダクタ32の他方に接続され、ソースが補助スイッチ2用ソース端子29に接続されている。
ダイオード30は、アノードがインダクタ32の他方に接続され、カソードが回生用出力2端子31に接続されている。
その他の構成については、図5と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード23でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2がオンしている期間に補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオン信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオンし、キャパシタ4の蓄積エネルギーをインダクタ32に移動させる。
インダクタ32に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオフ信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオフし、インダクタ32の蓄積エネルギーを、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して電源20に回生させる。
この実施の形態7によれば、前記実施の形態1の効果に加え、GaN HEMT2のオフ期間に、キャパシタ4に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2のオン期間に、インダクタ32、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態8.
図8はこの発明の実施の形態8によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード11,18,23,30、トランス12,24、補助スイッチ1用MOSFET13、補助スイッチ1用ゲート端子16、補助スイッチ1用ソース端子17、回生用出力1端子19,補助スイッチ2用MOSFET25、補助スイッチ2用ゲート端子28、補助スイッチ2用ソース端子29、回生用出力2端子31から構成されている。
MOSFET3の周辺に関する構成は、図2と同様なので、重複する説明を省略する。
GaN HEMT2の周辺に関する構成は、図5と同様なので、重複する説明を省略する。
その他の構成については、図2と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード11でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、MOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオン信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオンし、キャパシタ5の蓄積エネルギーをトランス12に移動させる。
トランス12に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオフ信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオフし、ドランス12の蓄積エネルギーを、トランス12の二次巻線からダイオード18、回生用出力1端子19を介して電源20に回生させる。
また、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード23でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2がオンしている期間に補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオン信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオンし、キャパシタ4の蓄積エネルギーをトランス24に移動させる。
トランス24に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオフ信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオフし、ドランス24の蓄積エネルギーを、トランス24の二次巻線からダイオード30、回生用出力2端子31を介して電源20に回生させる。
この実施の形態8によれば、前記実施の形態1の効果に加え、MOSFET3のオフ期間に、キャパシタ5に蓄積されたエネルギーを、MOSFET3のオン期間に、トランス12、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
また、GaN HEMT2のオフ期間に、キャパシタ4に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2のオン期間に、トランス24、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態9.
図9はこの発明の実施の形態9によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード11,18,23,30、トランス12,24、補助スイッチ1用MOSFET13、補助スイッチ1用ゲート端子16、補助スイッチ1用ソース端子17、回生用出力1端子19,補助スイッチ2用MOSFET25、補助スイッチ2用ゲート端子28、補助スイッチ2用ソース端子29、回生用出力2端子31から構成されている。
MOSFET3の周辺に関する構成は、図3と同様なので、重複する説明を省略する。
GaN HEMT2の周辺に関する構成は、図6と同様なので、重複する説明を省略する。
その他の構成については、図2と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード11でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、MOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオン信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオンし、キャパシタ5の蓄積エネルギーをトランス12に移動させる。
トランス12に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオフ信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオフし、ドランス12の蓄積エネルギーを、トランス12の二次巻線からダイオード18、回生用出力1端子19を介して電源20に回生させる。
また、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード23でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2がオンしている期間に補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオン信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオンし、キャパシタ4の蓄積エネルギーをトランス24に移動させる。
トランス24に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオフ信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオフし、ドランス24の蓄積エネルギーを、トランス24の二次巻線からダイオード30、回生用出力2端子31を介して電源20に回生させる。
この実施の形態9によれば、前記実施の形態1の効果に加え、MOSFET3のオフ期間に、キャパシタ5に蓄積されたエネルギーを、MOSFET3のオン期間に、トランス12、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
また、GaN HEMT2のオフ期間に、キャパシタ4に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2のオン期間に、トランス24、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態10.
図10はこの発明の実施の形態10によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード11,18,23,30、インダクタ22,32、補助スイッチ1用MOSFET13、補助スイッチ1用ゲート端子16、補助スイッチ1用ソース端子17、回生用出力1端子19,補助スイッチ2用MOSFET25、補助スイッチ2用ゲート端子28、補助スイッチ2用ソース端子29、回生用出力2端子31から構成されている。
MOSFET3の周辺に関する構成は、図4と同様なので、重複する説明を省略する。
GaN HEMT2の周辺に関する構成は、図7と同様なので、重複する説明を省略する。
その他の構成については、図2と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード11でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、MOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオン信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオンし、キャパシタ5の蓄積エネルギーをインダクタ22に移動させる。
インダクタ22に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ1用ゲート信号入力端子14からオフ信号を入力し、ゲート抵抗15、補助スイッチ1用ゲート端子16を介して補助スイッチ1用MOSFET13をオフし、インダクタ22の蓄積エネルギーを、トダイオード18、回生用出力1端子19を介して電源20に回生させる。
また、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード23でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2がオンしている期間に補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオン信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオンし、キャパシタ4の蓄積エネルギーをインダクタ32に移動させる。
インダクタ32に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ2用ゲート信号入力端子26からオフ信号を入力し、ゲート抵抗27、補助スイッチ2用ゲート端子28を介して補助スイッチ2用MOSFET25をオフし、インダクタ32の蓄積エネルギーを、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して電源20に回生させる。
この実施の形態10によれば、前記実施の形態1の効果に加え、MOSFET3のオフ期間に、キャパシタ5に蓄積されたエネルギーを、MOSFET3のオン期間に、インダクタ22、ダイオード18、回生用出力1端子19を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
また、GaN HEMT2のオフ期間に、キャパシタ4に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2のオン期間に、インダクタ32、ダイオード30、回生用出力2端子31を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
実施の形態11.
図11はこの発明の実施の形態11によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード33,34,41、トランス35、補助スイッチ3用MOSFET36、補助スイッチ3用ゲート端子39、補助スイッチ3用ソース端子40、回生用出力3端子42から構成されている。
ダイオード33は、アノードがGaN HEMT2のドレインに接続されている。
キャパシタ4は、ダイオード33のカソードとGaN HEMT2のソース間に接続されている。
ダイオード34は、カソードがMOSFET3のソースに接続されている。
キャパシタ5は、ダイオード34のアノードとMOSFET3のドレイン間に接続されている。
トランス35は、一次巻線の一方がダイオード33のカソードに接続され、二次巻線の一方が接地されている。
補助スイッチ3用MOSFET36は、ゲートが補助スイッチ3用ゲート端子39に接続され、ドレインがトランス35の一次巻線の他方に接続され、ソースがダイオード34のアノードに接続されるとともに、補助スイッチ3用ソース端子40に接続されている。
ダイオード41は、アノードがトランス35の二次巻線の他方に接続され、カソードが回生用出力3端子42に接続されている。
ゲート抵抗38は、補助スイッチ3用ゲート信号入力端子37と補助スイッチ3用ゲート端子39に接続されている。
電源20は、負極が接地され、正極が回生用出力3端子42に接続されるとともに、負荷抵抗21を介してドレイン端子7に接続されている。
その他の構成については、図1と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード33でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、また、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード34でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2およびMOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ3用ゲート信号入力端子37からオン信号を入力し、ゲート抵抗38、補助スイッチ3用ゲート端子39を介して補助スイッチ3用MOSFET36をオンし、キャパシタ4,5の蓄積エネルギーをトランス35に移動させる。
トランス35に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ3用ゲート信号入力端子37からオフ信号を入力し、ゲート抵抗38、補助スイッチ3用ゲート端子39を介して補助スイッチ3用MOSFET36をオフし、ドランス35の蓄積エネルギーを、トランス35の二次巻線からダイオード41、回生用出力3端子42を介して電源20に回生させる。
この実施の形態11によれば、前記実施の形態1の効果に加え、GaN HEMT2およびMOSFET3のオフ期間に、キャパシタ4,5に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2およびMOSFET3のオン期間に、トランス35、ダイオード41、回生用出力3端子42を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
なお、補助スイッチ3用MOSFET36は、他の種類のスイッチング素子を用いても同様の効果を有する。
また、ダイオード33,34,41は、別の整流手段を用いても同様の効果を有する。
実施の形態12.
図12はこの発明の実施の形態12によるカスコード接続パワーデバイスを示す構成図である。
図において、カスコード接続パワーデバイス1は、GaN HEMT2、MOSFET3、キャパシタ4,5、ゲート端子6、ドレイン端子7、ソース端子8、ダイオード33,34,41、補助スイッチ3用MOSFET36、補助スイッチ3用ゲート端子39、補助スイッチ3用ソース端子40、回生用出力3端子42、インダクタ43から構成されている。
インダクタ43は、一方がダイオード33のカソードに接続されている。
補助スイッチ3用MOSFET36は、ゲートが補助スイッチ3用ゲート端子39に接続され、ドレインがインダクタ43の他方に接続され、ソースがダイオード34のアノードに接続されるとともに、補助スイッチ3用ソース端子40に接続されている。
ダイオード41は、アノードがインダクタ43の他方に接続され、カソードが回生用出力3端子42に接続されている。
その他の構成については、図11と同様なので、重複する説明を省略する。
次に動作について説明する。
前記実施の形態1と同様に、カスコード接続パワーデバイス1は、ゲート信号入力端子10へのオン、オフ信号を高周波で入力することにより、ドレイン端子7、ソース端子8間を、高周波でスイッチング動作することができる。
また、GaN HEMT2のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ4の静電容量とGaN HEMT2のドレイン、ソース間の静電容量の和と、MOSFET3のドレイン、ソース間に接続されたキャパシタ5の静電容量とMOSFET3のドレイン、ソース間の静電容量の和の分圧で決まるMOSFET3のドレイン電位を小さくする。
これにより、オン時およびオフ時にMOSFET3のゲート、ドレイン間の静電容量に蓄積する電荷量を小さくすることができ、ミラー期間を小さくし、スイッチング時間を速くすることができ、その結果、スイッチング損失を小さくすることができる。
以上の方法により、スイッチング時間を速くすることができるが、オフ時にキャパシタ4,5に蓄積された電荷は、オン時にカスコード接続パワーデバイス1で消費される。
この損失を小さくするために、オン時にキャパシタ4に蓄積された電荷を、ダイオード33でGaN HEMT2へ放電しないようにブロッキングし、また、オン時にキャパシタ5に蓄積された電荷を、ダイオード34でMOSFET3へ放電しないようにブロッキングし、GaN HEMT2およびMOSFET3がオンしている期間に補助スイッチ3用ゲート信号入力端子37からオン信号を入力し、ゲート抵抗38、補助スイッチ3用ゲート端子39を介して補助スイッチ3用MOSFET36をオンし、キャパシタ4,5の蓄積エネルギーをインダクタ43に移動させる。
インダクタ43に蓄積エネルギーが移動したとき、補助スイッチ3用ゲート信号入力端子37からオフ信号を入力し、ゲート抵抗38、補助スイッチ3用ゲート端子39を介して補助スイッチ3用MOSFET36をオフし、インダクタ43の蓄積エネルギーを、ダイオード41、回生用出力3端子42を介して電源20に回生させる。
この実施の形態12によれば、前記実施の形態1の効果に加え、GaN HEMT2およびMOSFET3のオフ期間に、キャパシタ4,5に蓄積されたエネルギーを、GaN HEMT2およびMOSFET3のオン期間に、インダクタ43、ダイオード41、回生用出力3端子42を介して、電源20に回生し、損失を小さくすることができる。
なお、本願発明はその発明の範囲内において、各実施の形態の自由な組み合わせ、あるいは各実施の形態の任意の構成要素の変形、もしくは各実施の形態において任意の構成要素の省略が可能である。
1 カスコード接続パワーデバイス、2 GaN HEMT、3 MOSFET、4,5 キャパシタ、6 ゲート端子、7 ドレイン端子、8 ソース端子、9,15,27,38 ゲート抵抗、10 ゲート信号入力端子、11,18,23,30,33,34,41 ダイオード、12,24,35 トランス、13 補助スイッチ1用MOSFET、14 補助スイッチ1用ゲート信号入力端子、16 補助スイッチ1用ゲート端子、17 補助スイッチ1用ソース端子、19 回生用出力1端子、20 電源、21 負荷抵抗、22,32,43 インダクタ、25 補助スイッチ2用MOSFET、26 補助スイッチ2用ゲート信号入力端子、28 補助スイッチ2用ゲート端子、29 補助スイッチ2用ソース端子、31 回生用出力2端子、36 補助スイッチ3用MOSFET、37 補助スイッチ3用ゲート信号入力端子、39 補助スイッチ3用ゲート端子、40 補助スイッチ3用ソース端子、42 回生用出力3端子。

Claims (24)

  1. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフするMOSFETと、
    前記GaN HEMTのドレイン、ソース間に接続された第一のキャパシタと、
    前記MOSFETのドレイン、ソース間に接続された第二のキャパシタとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  2. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記MOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記MOSFETのドレイン電位を設定されることを特徴とする請求項1記載のカスコード接続パワーデバイス。
  3. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    前記GaN HEMTのドレイン、ソース間に接続された第一のキャパシタと、
    アノードが前記第一のMOSFETのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記第一のMOSFETのソース間に接続された第二のキャパシタと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、二次巻線の一方が接地されたトランスと、
    ドレインが前記トランスの一次巻線の他方に接続され、ソースが接地された第二のMOSFETと、
    アノードが前記トランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第二のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  4. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記トランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記トランスの二次側から前記第二のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項3記載のカスコード接続パワーデバイス。
  5. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    前記GaN HEMTのドレイン、ソース間に接続された第一のキャパシタと、
    アノードが前記第一のMOSFETのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記第一のMOSFETのソース間に接続された第二のキャパシタと、
    ソースが前記第一のダイオードのアノードに接続された第二のMOSFETと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、一次巻線の他方が前記第二のMOSFETのドレインに接続され、二次巻線の一方が接地されたトランスと、
    アノードが前記トランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第二のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  6. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記トランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記トランスの二次側から前記第二のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項5記載のカスコード接続パワーデバイス。
  7. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    前記GaN HEMTのドレイン、ソース間に接続された第一のキャパシタと、
    アノードが前記第一のMOSFETのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記第一のMOSFETのソース間に接続された第二のキャパシタと、
    一方が前記第一のダイオードのカソードに接続されたインダクタと、
    ドレインが前記インダクタの他方に接続され、ソースが接地された第二のMOSFETと、
    アノードが前記インダクタの他方に接続され、カソードが電源に接続された第二のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  8. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記インダクタに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記インダクタから前記第二のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項7記載のカスコード接続パワーデバイス。
  9. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間に接続された第二のキャパシタと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、二次巻線の一方が接地されたトランスと、
    ドレインが前記トランスの一次巻線の他方に接続され、ソースが接地された第二のMOSFETと、
    アノードが前記トランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第二のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  10. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第一のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記トランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記トランスの二次側から前記第二のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項9記載のカスコード接続パワーデバイス。
  11. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間に接続された第二のキャパシタと、
    ソースが前記第一のダイオードのアノードに接続された第二のMOSFETと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、一次巻線の他方が前記第二のMOSFETのドレインに接続され、二次巻線の一方が接地されたトランスと、
    アノードが前記トランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第二のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  12. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記トランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記トランスの二次側から前記第二のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項11記載のカスコード接続パワーデバイス。
  13. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間に接続された第二のキャパシタと、
    一方が前記第一のダイオードのカソードに接続されたインダクタと、
    ドレインが前記インダクタの他方に接続され、ソースが接地された第二のMOSFETと、
    アノードが前記インダクタの他方に接続され、カソードが電源に接続された第二のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  14. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記インダクタに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記インダクタから前記第二のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項13記載のカスコード接続パワーデバイス。
  15. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    アノードが前記第一のMOSFETのドレインに接続された第二のダイオードと、
    前記第二のダイオードのカソードと前記第一のMOSFETのソース間に接続された第二のキャパシタと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、二次巻線の一方が接地された第一のトランスと、
    ドレインが前記第一のトランスの一次巻線の他方に接続され、ソースが接地された第二のMOSFETと、
    アノードが前記第一のトランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第三のダイオードと、
    一次巻線の一方が前記第二のダイオードのカソードに接続され、二次巻線の一方が接地された第二のトランスと、
    ドレインが前記第二のトランスの一次巻線の他方に接続され、ソースが接地された第三のMOSFETと、
    アノードが前記第二のトランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが前記電源に接続された第四のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  16. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第一のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記第一のトランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記第一のトランスの二次側から前記第三のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生し、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第三のMOSFETをオンすることで前記第二のトランスに移動後、
    前記第三のMOSFETをオフすることで前記第二のトランスの二次側から前記第四のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項15記載のカスコード接続パワーデバイス。
  17. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    アノードが前記第一のMOSFETのドレインに接続された第二のダイオードと、
    前記第二のダイオードのカソードと前記第一のMOSFETのソース間に接続された第二のキャパシタと、
    ソースが前記第一のダイオードのアノードに接続された第二のMOSFETと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、一次巻線の他方が前記第二のMOSFETのドレインに接続され、二次巻線の一方が接地された第一のトランスと、
    アノードが前記第一のトランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第三のダイオードと、
    ソースが前記第二のダイオードのアノードに接続された第三のMOSFETと、
    一次巻線の一方が前記第二のダイオードのカソードに接続され、一次巻線の他方が前記第三のMOSFETのドレインに接続され、二次巻線の一方が接地された第二のトランスと、
    アノードが前記第二のトランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが前記電源に接続された第四のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  18. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第一のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記第一のトランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記第一のトランスの二次側から前記第三のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生し、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第三のMOSFETをオンすることで前記第二のトランスに移動後、
    前記第三のMOSFETをオフすることで前記第二のトランスの二次側から前記第四のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項17記載のカスコード接続パワーデバイス。
  19. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    アノードが前記第一のMOSFETのドレインに接続された第二のダイオードと、
    前記第二のダイオードのカソードと前記第一のMOSFETのソース間に接続された第二のキャパシタと、
    一方が前記第一のダイオードのカソードに接続された第一のインダクタと、
    ドレインが前記第一のインダクタの他方に接続され、ソースが接地された第二のMOSFETと、
    アノードが前記第一のインダクタの他方に接続され、カソードが電源に接続された第三のダイオードと
    一方が前記第二のダイオードのカソードに接続された第二のインダクタと、
    ドレインが前記第二のインダクタの他方に接続され、ソースが接地された第三のMOSFETと、
    アノードが前記第二のインダクタの他方に接続され、カソードが前記電源に接続された第四のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  20. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第一のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記第一のインダクタに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記第一のインダクタから前記第三のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生し、
    オフ期間に前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第三のMOSFETをオンすることで前記第二のインダクタに移動後、
    前記第三のMOSFETをオフすることで前記第二のインダクタから前記第四のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項19記載のカスコード接続パワーデバイス。
  21. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    カソードが前記第一のMOSFETのソースに接続された第二のダイオードと、
    前記第二のダイオードのアノードと前記第一のMOSFETのドレイン間に接続された第二のキャパシタと、
    一次巻線の一方が前記第一のダイオードのカソードに接続され、二次巻線の一方が接地されたトランスと、
    ドレインが前記トランスの一次巻線の他方に接続され、ソースが前記第二のダイオードのアノードに接続された第二のMOSFETと、
    アノードが前記トランスの二次巻線の他方に接続され、カソードが電源に接続された第三のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  22. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第一のキャパシタおよび前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記トランスに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記トランスの二次側から前記第三のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項21記載のカスコード接続パワーデバイス。
  23. ゲートが接地されたGaN HEMTと、
    ドレインが前記GaN HEMTのソースに接続され、ゲート、ソース間にパルス信号が入力されてドレイン、ソース間がオン・オフする第一のMOSFETと、
    アノードが前記GaN HEMTのドレインに接続された第一のダイオードと、
    前記第一のダイオードのカソードと前記GaN HEMTのソース間に接続された第一のキャパシタと、
    カソードが前記第一のMOSFETのソースに接続された第二のダイオードと、
    前記第二のダイオードのアノードと前記第一のMOSFETのドレイン間に接続された第二のキャパシタと、
    一方が前記第一のダイオードのカソードに接続されたインダクタと、
    ドレインが前記インダクタの他方に接続され、ソースが前記第二のダイオードのアノードに接続された第二のMOSFETと、
    アノードが前記インダクタの他方に接続され、カソードが電源に接続された第三のダイオードとを備えたカスコード接続パワーデバイス。
  24. 前記GaN HEMTのドレイン、ソース間の静電容量と前記第一のキャパシタの静電容量の和と、前記第一のMOSFETのドレイン、ソース間の静電容量と前記第二のキャパシタの静電容量の和の分圧比により、
    オフ期間の前記第一のMOSFETのドレイン電位を設定されるとともに、
    オフ期間に前記第一のキャパシタおよび前記第二のキャパシタに蓄積されたエネルギーを、オン期間に前記第二のMOSFETをオンすることで前記インダクタに移動後、
    前記第二のMOSFETをオフすることで前記インダクタから前記第三のダイオードを経由して前記電源にエネルギーを回生することを特徴とする請求項23記載のカスコード接続パワーデバイス。
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