JP2014202957A - 光学モジュールおよび観察装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】光利用効率を高めることができる光学モジュールおよび観察装置を提供する。
【解決手段】光学モジュール1Aは、光分岐面11を有する偏光ビームスプリッタ10Aと、偏光面を回転させる非相反性の光学活性を各々有し、光分岐面11を透過した第1の偏光成分L2、及び光分岐面11において反射された第2の偏光成分L4の光路上のそれぞれに配置された偏光素子20及び40と、第1の偏光素子20を通過した第1の偏光成分L2を変調して反射する第1の反射型SLM30と、第2の偏光素子40を通過した第2の偏光成分L4を変調して反射する第2の反射型SLM50とを備える。第1の偏光素子20を再び通過した後、光分岐面11において反射された第1の変調光L3と、第2の偏光素子40を再び通過した後、光分岐面11を透過した第2の変調光L5とが互いに合波される。
【選択図】図1
【解決手段】光学モジュール1Aは、光分岐面11を有する偏光ビームスプリッタ10Aと、偏光面を回転させる非相反性の光学活性を各々有し、光分岐面11を透過した第1の偏光成分L2、及び光分岐面11において反射された第2の偏光成分L4の光路上のそれぞれに配置された偏光素子20及び40と、第1の偏光素子20を通過した第1の偏光成分L2を変調して反射する第1の反射型SLM30と、第2の偏光素子40を通過した第2の偏光成分L4を変調して反射する第2の反射型SLM50とを備える。第1の偏光素子20を再び通過した後、光分岐面11において反射された第1の変調光L3と、第2の偏光素子40を再び通過した後、光分岐面11を透過した第2の変調光L5とが互いに合波される。
【選択図】図1
Description
本発明は、光学モジュールおよび観察装置に関するものである。
非特許文献1には、眼底測定装置において、空間光変調器であるPPM(Programmable Phase Modulator)を用いて収差補正を行うことが開示されている。
Pedro Prieto, Enrique Fernandez, Silvestre Manzanera, and PabloArtal, "Adaptive optics with a programmable phase modulator: applications inthe human eye", Optics Express, Volume 12, Issue 17, pp.4059-4071 (2004)
近年、観察装置などにおけるレンズ収差の補正などの目的のために、SLMを用いて被観察光の強度分布や位相分布を変調する技術が研究されている。しかしながら、SLMの構成によっては直線偏光成分しか変調できない場合があり、例えば非特許文献1に記載された構成では、PPMに入射される眼底からの光(被観察光)から、直線偏光子によって、PPMにおいて変調し得る直線偏光の光だけが抽出されている。このように、SLMが直線偏光成分しか変調できない場合、他の偏光成分が利用されず、光利用効率(被観察光と変調後の光との強度比)が小さく抑えられてしまう。
本発明は、このような問題点に鑑みてなされたものであり、被観察光などの入射光を変調する装置における光利用効率を高めることができる光学モジュール、および該光学モジュールを備える観察装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決するために、本発明による第1の光学モジュールは、入射光に含まれるs偏光成分を反射してp偏光成分を透過する光分岐面を有する偏光ビームスプリッタと、偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、入射光のうち光分岐面を透過した第1の偏光成分の光路上に配置された第1の偏光素子と、第1の偏光素子を通過した第1の偏光成分を変調して第1の変調光を生成するとともに、第1の変調光を第1の偏光素子へ反射する第1の反射型SLMと、偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、入射光のうち光分岐面において反射された第2の偏光成分の光路上に配置された第2の偏光素子と、第2の偏光素子を通過した第2の偏光成分を変調して第2の変調光を生成するとともに、第2の変調光を第2の偏光素子へ反射する第2の反射型SLMと、を備え、第1の偏光素子を再び通過した後、光分岐面において反射された第1の変調光と、第2の偏光素子を再び通過した後、光分岐面を透過した第2の変調光とが互いに合波されて偏光ビームスプリッタから出力されることを特徴とする。
この第1の光学モジュールにおいて、偏光ビームスプリッタを透過した第1の偏光成分(p偏光成分)は、その偏光面が第1の偏光素子によって回転されたのち、第1の反射型SLMに入射する。第1の偏光成分は、第1の反射型SLMによって変調されて第1の変調光となり、この第1の変調光の偏光面は、第1の偏光素子によって再び回転される。第1の偏光素子は非相反性の光学活性を有するので、このように第1の偏光素子を往復した後の第1の変調光は、偏光ビームスプリッタにおいて反射されるs偏光成分を含むことができる。なお、好適には、変調前の第1の偏光成分の偏光面が第1の偏光素子によって45°回転され、変調後の第1の変調光の偏光面が第1の偏光素子によって更に45°回転されるとよい。
また、偏光ビームスプリッタにおいて反射された第2の偏光成分(s偏光成分)は、その偏光面が第2の偏光素子によって回転されたのち、第2の反射型SLMに入射する。第2の偏光成分は、第2の反射型SLMによって変調されて第2の変調光となり、この第2の変調光の偏光面は、第2の偏光素子によって再び回転される。第2の偏光素子は非相反性の光学活性を有するので、このように第2の偏光素子を往復した後の第2の変調光は、偏光ビームスプリッタを透過するp偏光成分を含むことができる。なお、好適には、変調前の第2の偏光成分の偏光面が第2の偏光素子によって45°回転され、変調後の第2の変調光の偏光面が第2の偏光素子によって更に45°回転されるとよい。
その後、s偏光成分を含む第1の変調光は偏光ビームスプリッタにおいて反射され、p偏光成分を含む第2の変調光は偏光ビームスプリッタを透過する。これらの変調光は互いに合波され、偏光ビームスプリッタから出力される。
以上に説明したように、上記第1の光学モジュールでは、入射光(例えば被観察光)のp偏光成分及びs偏光成分を分離させた後にそれぞれ変調し、変調後の第1及び第2の変調光を合波して出力することができる。したがって、この第1の光学モジュールによれば、入射光のp偏光成分及びs偏光成分の双方を有効に利用し、光利用効率を高めることができる。
また、第1の光学モジュールは、第1及び第2の反射型SLMが液晶型であり、第1の反射型SLMの液晶の配向方向と、第2の反射型SLMの液晶の配向方向とが互いに直交することを特徴としてもよい。これにより、偏光面が互いに直交する第1及び第2の偏光成分それぞれを、第1及び第2の反射型SLMそれぞれにおいて効率良く変調することができる。
また、第1の光学モジュールは、相反性の光学活性を有し、偏光ビームスプリッタと第1の反射型SLMとの間の光路上、又は偏光ビームスプリッタと第2の反射型SLMとの間の光路上に配置された偏光素子を更に備えることを特徴としてもよい。これにより、第1の反射型SLMに入射する直前の第1の偏光成分の偏光面の角度、または第2の反射型SLMに入射する直前の第2の偏光成分の偏光面の角度を任意に制御することができる。
また、本発明による第1の観察装置は、上記いずれかの第1の光学モジュールと、観察対象物からの被観察光を集光し、光学モジュールへ入射光として入射させる集光光学系と、光学モジュールから出力された光を結像する結像光学系と、結像光学系により結像された光を検出する光検出器とを備えることを特徴とする。この第1の観察装置によれば、上述した第1の光学モジュールを備えることにより、被観察光の光利用効率を高めることができる。
また、第1の観察装置は、結像光学系と光検出器との間の光路上にピンホールが配置されていることを特徴としてもよい。これにより、結像光学系により結像された光に含まれるノイズ光を低減して、より明瞭な観察を可能にできる。
本発明による第2の光学モジュールは、入射光に含まれるs偏光成分を反射してp偏光成分を透過する光分岐面を有する第1の偏光ビームスプリッタと、偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、入射光のうち、第1の偏光ビームスプリッタの光分岐面において反射された第1の偏光成分の光路上に配置された第1の偏光素子と、第1の偏光素子を通過した第1の偏光成分を変調して第1の変調光を生成するとともに、第1の変調光を第1の偏光素子へ反射する第1の反射型SLMと、s偏光成分を反射してp偏光成分を透過する光分岐面を有し、入射光のうち、第1の偏光ビームスプリッタの光分岐面を透過した第2の偏光成分を光分岐面に受ける第2の偏光ビームスプリッタと、偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、第2の偏光ビームスプリッタの光分岐面において透過及び反射のうち一方を経た第2の偏光成分の光路上に配置された第2の偏光素子と、第2の偏光素子を通過した第2の偏光成分を変調して第2の変調光を生成するとともに、第2の変調光を第2の偏光素子へ反射する第2の反射型SLMとを備え、第1の変調光は、第1の偏光素子を再び通過した後、第1の偏光ビームスプリッタの光分岐面を透過して出力され、第2の変調光は、第2の偏光素子を再び通過した後、第2の偏光ビームスプリッタの光分岐面において透過及び反射のうち他方を経て出力されることを特徴とする。
第1の偏光ビームスプリッタを透過した第1の偏光成分は、その偏光面が第1の偏光素子によって回転されたのち、第1の反射型SLMに入射する。第1の偏光成分は、第1の反射型SLMによって変調されて第1の変調光となり、この第1の変調光の偏光面は、第1の偏光素子によって再び回転される。第1の偏光素子は非相反性の光学活性を有するので、このように第1の偏光素子を往復した後の第1の変調光は、偏光ビームスプリッタにおいて反射されるs偏光成分を含むことができ、反射後に光学モジュールの外部へ出力される。なお、好適には、変調前の第1の偏光成分の偏光面が第1の偏光素子によって45°回転され、変調後の第1の変調光の偏光面が第1の偏光素子によって更に45°回転されるとよい。
また、第1の偏光ビームスプリッタにおいて反射された第2の偏光成分は、第2の偏光ビームスプリッタに入射する。第2の偏光成分は、第2の偏光ビームスプリッタにおいて透過及び反射のうち一方を経て、その偏光面が第2の偏光素子によって回転されたのち、第2の反射型SLMに入射する。第2の偏光成分は、第2の反射型SLMによって変調されて第2の変調光となり、この第2の変調光の偏光面は、第2の偏光素子によって再び回転される。第2の偏光素子は非相反性の光学活性を有するので、このように第2の偏光素子を往復した後の第2の変調光は、第2の偏光ビームスプリッタにおいて透過及び反射のうち他方を経て、第2の光学モジュールの外部へ出力される。なお、好適には、変調前の第2の偏光成分の偏光面が第2の偏光素子によって45°回転され、変調後の第2の変調光の偏光面が第2の偏光素子によって更に45°回転されるとよい。
以上に説明したように、上記第2の光学モジュールでは、入射光のp偏光成分及びs偏光成分を分離させた後にそれぞれ変調して出力することができる。したがって、この第2の光学モジュールによれば、入射光のp偏光成分及びs偏光成分の双方を有効に利用し、光利用効率を高めることができる。
また、第2の光学モジュールは、第1の偏光ビームスプリッタと第1の反射型SLMとの間の光路上に設けられた光路長調整素子を更に備えてもよい。
また、第2の光学モジュールは、相反性の光学活性を有し、第1の偏光ビームスプリッタと第2の反射型SLMとの間の光路上に設けられた偏光素子を更に備えることを特徴としてもよい。これにより、第2の偏光ビームスプリッタの光分岐面において反射された第2の変調光の偏光面を回転させ、第1の偏光ビームスプリッタの光分岐面を好適に透過させることができる。
また、本発明による第2の観察装置は、上記いずれかの第2の光学モジュールと、観察対象物からの被観察光を集光し、光学モジュールへ入射光として入射させる集光光学系と、光学モジュールから出力された光を結像する結像光学系と、結像光学系により結像された光を検出する光検出器とを備えることを特徴とする。この第2の観察装置によれば、上述した第2の光学モジュールを備えることにより、被観察光の光利用効率を高めることができる。
また、第2の観察装置は、結像光学系と光検出器との間の光路上にピンホールが配置されていることを特徴としてもよい。これにより、結像光学系により結像された光に含まれるノイズ光を低減して、より明瞭な観察を可能にできる。
本発明による光学モジュールおよび観察装置によれば、被観察光などの入射光を変調する装置における光利用効率を高めることができる。
以下、添付図面を参照しながら本発明による光学モジュールおよび観察装置の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る光学モジュール1Aの構成を示す図である。また、図2は、光学モジュール1Aを備える観察装置2Aの構成を示す図である。なお、理解の容易のため、図1及び図2にはXYZ直交座標系が併せて示されている。また、図1及び図2では、理解の容易のため、光L2の光軸と光L3の光軸とが離れているが、実際には光L2の光軸と光L3の光軸とは一部で重なっている。光L4及び光L5についても同様である。
図1は、本発明の第1実施形態に係る光学モジュール1Aの構成を示す図である。また、図2は、光学モジュール1Aを備える観察装置2Aの構成を示す図である。なお、理解の容易のため、図1及び図2にはXYZ直交座標系が併せて示されている。また、図1及び図2では、理解の容易のため、光L2の光軸と光L3の光軸とが離れているが、実際には光L2の光軸と光L3の光軸とは一部で重なっている。光L4及び光L5についても同様である。
図1に示されるように、光学モジュール1Aは、偏光ビームスプリッタ10Aと、第1の偏光素子20と、第1の反射型SLM30と、第2の偏光素子40と、第2の反射型SLM50とを備えている。
偏光ビームスプリッタ10Aは、光分岐面11を有する光学部品である。光分岐面11は、第1の方向(本実施形態ではX軸方向)、及び第1の方向と交差する第2の方向(本実施形態ではY軸方向)の双方に対して傾斜しており、その傾斜角は例えば45°である。光分岐面11は、これらの方向から入射した光に含まれるs偏光成分を反射し、p偏光成分を透過する。光分岐面11は、光学モジュール1Aの外部からX軸方向に沿って入射された被観察光L1を受ける。この被観察光L1は、p偏光成分及びs偏光成分の双方を含む光であり、例えば無偏光(ランダム偏光)、円偏光、楕円偏光、p偏光でもs偏光でもない直線偏光の光、或いはp偏光の光にそれと波長の異なるs偏光の光が重なった光である。
また、XY平面に沿った偏光ビームスプリッタ10Aの断面形状は矩形状を呈している。そして、偏光ビームスプリッタ10Aは、この断面に現れる光入射面12、光出射面13、第1の面14および第2の面15を有している。光入射面12は、X軸方向と交差する平面に沿っており、被観察光L1を受ける。光出射面13は、Y軸方向と交差する平面に沿っており、合成変調光L6を出力する。第1の面14はX軸方向と交差する平面に沿っており、光入射面12及び第1の面14はX軸方向に並んで配置されている。第2の面15はY軸方向と交差する平面に沿っており、光出射面13及び第2の面15はY軸方向に並んで配置されている。これら4つの面のうち、光入射面12および第2の面15は光分岐面11の一方の面側に配置されており、光出射面13および第1の面14は光分岐面11の他方の面側に配置されている。
第1の偏光素子20は、偏光ビームスプリッタ10Aの第1の面14と光学的に結合されており、被観察光L1のうち光分岐面11を透過した第1の偏光成分L2(光分岐面11を透過した時点ではp偏光成分)の光路上に配置されている。なお、第1の偏光成分L2の光路とは、被観察光L1のうち光分岐面11を透過した光の光路を指す。本実施形態の第1の偏光素子20は、偏光ビームスプリッタ10Aの光分岐面11に対してX軸方向に並んで配置されている。第1の偏光素子20は、第1の偏光成分L2の偏光面を回転させるための非相反性の光学活性を有する。ここで、非相反性の光学活性とは、順方向に進む光の回転の向きと、逆方向に進む光の回転の向きとが互いに等しい偏光特性を意味する。例えば、或る方向から第1の偏光素子20を通過した光の偏光面が所定の向きに所定の角度(例えば、45°もしくは135°)だけ回転する場合、逆方向から第1の偏光素子20を通過した光の偏光面は、上記の所定の向きに更に同じ角度だけ回転する。例えば、所定の角度が45°の場合、第1の偏光素子20を光が往復すると、その光の偏光面は90°回転することとなる。第1の偏光素子20は、一例ではファラデーローテータによって好適に構成される。
なお、光学性結晶から成る1/2波長板も通過光の偏光面を回転させるものであるが、1/2波長板では順方向に進む光の回転の向きと逆方向に進む光の回転の向きとが互いに逆であるため、光が往復すると、その光の偏光面は元に戻ってしまう。したがって、1/2波長板は、非相反性の光学活性を有する偏光素子ではなく、第1の偏光素子20としては用いられない。
第1の反射型SLM30は、第1の偏光素子20を通過した第1の偏光成分L2を変調して第1の変調光L3を生成するとともに、第1の変調光L3を第1の偏光素子20へ反射する。第1の反射型SLM30としては、位相変調型、強度変調(振幅変調)型、或いは偏光変調型といった種々のSLMが適用される。第1の反射型SLM30は、一次元又は二次元に配列された複数の領域(画素)を含む変調面31を有する。第1の反射型SLM30は、その複数の領域毎に第1の偏光成分L2の位相、強度等を変調することにより、第1の変調光L3を生成する。一例では、第1の反射型SLM30は、平行配向ネマティック液晶を有するLCOS(Liquid Crystal on Silicon)型のSLMである。第1の反射型SLM30は、電気アドレス型の液晶素子に限られず、例えば光アドレス型の液晶素子や、液晶以外の電気光効果材料を有する素子、多数のマイクロミラーによって構成される素子、可変鏡型の光変調器であってもよい。
第2の偏光素子40は、偏光ビームスプリッタ10Aの第2の面15と光学的に結合されており、被観察光L1のうち光分岐面11において反射された第2の偏光成分L4(光分岐面11において反射された時点ではs偏光成分)の光路上に配置されている。なお、第2の偏光成分L4の光路とは、被観察光L1のうち光分岐面11において反射された光の光路を指す。本実施形態の第2の偏光素子40は、偏光ビームスプリッタ10Aの光分岐面11に対してY軸方向に並んで配置されている。第2の偏光素子40は、第2の偏光成分L4の偏光面を回転させるための非相反性の光学活性を有する。なお、非相反性の光学活性の定義は前述した第1の偏光素子20と同様である。第2の偏光素子40は、一例ではファラデーローテータによって好適に構成される。
第2の反射型SLM50は、第2の偏光素子40を通過した第2の偏光成分L4を変調して第2の変調光L5を生成するとともに、第2の変調光L5を第2の偏光素子40へ反射する。第2の反射型SLM50としては、第1の反射型SLM30と同様に、位相変調型、強度変調(振幅変調)型、或いは偏光変調型といった種々のSLMが適用される。第2の反射型SLM50は、一次元又は二次元に配列された複数の領域(画素)を含む変調面51を有する。第2の反射型SLM50は、その複数の領域毎に第2の偏光成分L4の位相、強度等を変調することにより、第2の変調光L5を生成する。一例では、第2の反射型SLM50は、平行配向ネマティック液晶を有するLCOS型のSLMである。第2の反射型SLM50は、電気アドレス型の液晶素子に限られず、例えば光アドレス型の液晶素子や、液晶以外の電気光効果材料を有する素子、多数のマイクロミラーによって構成される素子、可変鏡型の光変調器であってもよい。
なお、反射型SLM30,50がLCOS型のSLMである場合、振動方向が液晶の配向方向と平行である直線偏光成分しか変調されないため、偏光素子20,40による回転後の偏光面の角度に合わせて反射型SLM30,50を配置するとよい。
図2に示されるように、本実施形態の観察装置2Aは、上述した光学モジュール1Aに加えて、光源3、照明光学系5A、集光光学系5B、結像光学系6、ステージ7、及び光検出器8を備えている。
光源3は、p偏光成分およびs偏光成分を含む照明光L0(一例では無偏光の光)を出力する光源である。光源3は、レンズ等を含む照明光学系5Aを介して、ステージ7上に載置された観察対象物(測定対象物)4と光学的に結合されている。また、集光光学系5Bは、観察対象物4と偏光ビームスプリッタ10Aの光入射面12との間の光路上に配置されており、照明光L0が観察対象物4を透過して生じた被観察光L1を偏光ビームスプリッタ10Aに向けて導光する。集光光学系5Bは、例えば対物レンズを含む。結像光学系6は、光学モジュール1Aから出力された合成変調光L6を光検出器8に向けて結像する。光検出器8は、入射した光像を電気的な画像データに変換するデバイスであり、結像光学系6を介して偏光ビームスプリッタ10Aの光出射面13と光学的に結合されている。
以上の構成を備える光学モジュール1A及び観察装置2Aの動作について説明する。光源3から照明光L0が出力されると、照明光L0は観察対象物4を透過する。このとき、観察対象物4の光像が被観察光L1として生成される。被観察光L1は、集光光学系5Bを通過して偏光ビームスプリッタ10Aに達する。X軸方向に沿って偏光ビームスプリッタ10Aの光入射面12に入射した被観察光L1のうち、第1の偏光成分L2は光分岐面11を透過し、第1の面14から出射される。また、第2の偏光成分L4は光分岐面11において反射され、第2の面15から出射される。第1の偏光成分L2は第1の偏光素子20を通過するが、このとき、第1の偏光成分L2の偏光面は、第1の偏光素子20によってp偏光面から所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その後、第1の偏光成分L2は、第1の反射型SLM30によって変調されて第1の変調光L3と成り、同時に第1の偏光素子20に向けて反射される。第1の変調光L3は、第1の偏光素子20を再び通過するが、このとき、第1の変調光L3の偏光面は、第1の偏光素子20によって上記所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その結果、第1の変調光L3はs偏光成分を主に含む(或いは、s偏光成分のみから成る)こととなる。
一方、第2の偏光成分L4は第2の偏光素子40を通過するが、このとき、第2の偏光成分L4の偏光面は、第2の偏光素子40によってs偏光面から所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その後、第2の偏光成分L4は、第2の反射型SLM50によって変調されて第2の変調光L5と成り、同時に第2の偏光素子40に向けて反射される。第2の変調光L5は、第2の偏光素子40を再び通過するが、このとき、第2の変調光L5の偏光面は、第2の偏光素子40によって上記所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その結果、第2の変調光L5はp偏光成分を主に含む(或いは、p偏光成分のみから成る)こととなる。
その後、s偏光成分を含む第1の変調光L3は偏光ビームスプリッタ10Aにおいて反射され、p偏光成分を含む第2の変調光L5は偏光ビームスプリッタ10Aを透過する。これらの変調光L3,L5は互いに合波され、合成変調光L6として偏光ビームスプリッタ10Aの光出射面13から出力される。合成変調光L6は、結像光学系6によって結像され、光検出器8によって撮像される。
以上に説明した本実施形態の光学モジュール1A及び観察装置2Aによって得られる効果について説明する。光学モジュール1Aでは、被観察光L1のp偏光成分(第1の偏光成分L2)及びs偏光成分(第2の偏光成分L4)を分離させた後にそれぞれ変調し、変調後の第1及び第2の変調光L3,L5を合波して出力することができる。したがって、本実施形態の光学モジュール1Aによれば、被観察光L1のp偏光成分及びs偏光成分の双方を有効に利用し、光利用効率(被観察光L1の強度と、光検出器8に入射する光像の強度との比)を高めることができる。これにより、従来よりも大きな光量で被観察光L1を観察することができ、被観察光L1の光強度が微小である場合であっても、明瞭に観察対象物4を観察することができる。
また、本実施形態の光学モジュール1A及び観察装置2Aによれば、第1及び第2の変調光L3,L5に対して異なる変調パターンを与えることができる。これにより、例えば光軸に垂直な面内での光位相分布や光強度分布が互いに異なる2つの変調パターンを付与することができる。或いは、偏光成分毎に独立して収差を補正することもできる。これらのように、本実施形態の光学モジュール1A及び観察装置2Aによれば、従来の装置よりも多様な観察形態を使用者に提供することを可能にできる。また、個別に変調された第1及び第2の変調光L3,L5を合波して出力するので、光検出器8に入射する光像に含まれるスペックルを低減することができる。なお、本実施形態では、第1の反射型SLM30及び第2の反射型SLM50が、同一の変調パターンを呈示してもよい。
また、光学モジュール1Aでは、一つの偏光ビームスプリッタ10Aの周囲に2つの反射型SLM30,50が配置されている。そして、第1の反射型SLM30への入射光(第1の偏光成分L2)は偏光ビームスプリッタ10Aから入射し、変調後の光(第1の変調光L3)は偏光ビームスプリッタ10Aに向けて反射される。同様に、第2の反射型SLM50への入射光(第2の偏光成分L4)は偏光ビームスプリッタ10Aから入射し、変調後の光(第2の変調光L5)は偏光ビームスプリッタ10Aに向けて反射される。このような構成により、反射型SLM30,50の各変調面31,51の法線方向に沿って光を入射及び反射させることができるので、光軸の調整が容易であり、SLMへの入射効率、およびSLMからの出射効率を高めることができる。また、被観察光L1の光軸と合成変調光L6の光軸とを斜めではなく直交させることができるので、集光光学系5Bや結像光学系6との接続を容易にすることができ、また収差の発生を低減することができる。更に、一部の光路において光を往復させるので、光学系全体の構成を簡素にでき、小型化が可能となる。
本実施形態の光学モジュール1Aにおいて、第1及び第2の反射型SLM30,50が液晶型である場合、前述したように、振動方向が液晶の配向方向と平行である直線偏光成分しか変調されない。したがって、第1の反射型SLM30の液晶の配向方向と、第2の反射型SLM50の液晶の配向方向とが互いに直交するように、第1及び第2の反射型SLM30,50が配置されることが好ましい。これにより、偏光面が互いに直交する第1及び第2の偏光成分L2,L4それぞれを、第1及び第2の反射型SLM30,50それぞれにおいて効率良く変調することができる。
(第1の変形例)
図3は、上記実施形態の一変形例に係る光学モジュール1Bの構成を示す図である。本変形例の光学モジュール1Bは、上記実施形態の光学モジュール1Aの構成に加えて、相反性の光学活性を有する偏光素子である1/2波長板90を更に備えている。本変形例では、1/2波長板90は偏光ビームスプリッタ10Aと第1の反射型SLM30との間の光路上に配置されており、図には偏光ビームスプリッタ10Aと第1の偏光素子20との間の光路上に配置された例が示されている。1/2波長板90の遅延軸は、1/2波長板90を通過する第1の偏光成分L2の偏光面に対して例えば45°に設定される。
図3は、上記実施形態の一変形例に係る光学モジュール1Bの構成を示す図である。本変形例の光学モジュール1Bは、上記実施形態の光学モジュール1Aの構成に加えて、相反性の光学活性を有する偏光素子である1/2波長板90を更に備えている。本変形例では、1/2波長板90は偏光ビームスプリッタ10Aと第1の反射型SLM30との間の光路上に配置されており、図には偏光ビームスプリッタ10Aと第1の偏光素子20との間の光路上に配置された例が示されている。1/2波長板90の遅延軸は、1/2波長板90を通過する第1の偏光成分L2の偏光面に対して例えば45°に設定される。
この例において、偏光ビームスプリッタ10Aの光分岐面11を透過した第1の偏光成分L2は、1/2波長板90を通過する。このとき、第1の偏光成分L2の偏光面は、1/2波長板90によってp偏光面から或る回転方向に90°回転する。その後、第1の偏光成分L2は、第1の偏光素子20と第1の反射型SLM30との間を往復して第1の変調光L3となり、1/2波長板90を再び通過する。このとき、第1の変調光L3の偏光面は、1/2波長板90によって上記とは逆の向きに90°回転する。その結果、偏光ビームスプリッタ10Aに入射するときの第1の変調光L3の偏光面は、第1実施形態と同様になる。
本変形例では、第1の反射型SLM30に入射する際の第1の偏光成分L2の偏光面を、相反性の光学活性を有する偏光素子によって回転させている。これにより、第1の反射型SLM30に入射する直前の第1の偏光成分L2の偏光面の角度を任意に制御することができる。したがって、例えば第1及び第2の反射型SLM30,50が液晶型SLMである場合に、第1の反射型SLM30の液晶の配光方向を任意に設定することができる。これにより、例えば第1の反射型SLM30の液晶の配光方向と第2の反射型SLM50の液晶の配光方向とを揃える(互いに平行にする)ことが可能となり、第1及び第2の反射型SLM30,50のそれぞれに入力される変調データに対し、第1及び第2の反射型SLM30,50の制御を共通化することが可能になる。
なお、1/2波長板90は、第1の偏光素子20と第1の反射型SLM30との間の光路上に配置されてもよく、或いは、偏光ビームスプリッタ10Aと第2の反射型SLM50との間(偏光ビームスプリッタ10Aと第2の偏光素子40との間、もしくは第2の偏光素子40と第2の反射型SLM50との間)の光路上に配置されてもよい。1/2波長板90が偏光ビームスプリッタ10Aと第2の反射型SLM50との間の光路上に配置される場合、第2の反射型SLM50に入射する直前の第2の偏光成分L4の偏光面の角度を任意に制御することができ、上述した効果を同様に奏することができる。
(第2の実施の形態)
図4は、本発明の第2実施形態に係る光学モジュール1Cの構成を示す図である。また、図5は、光学モジュール1Cを備える観察装置2Cの構成を示す図である。なお、理解の容易のため、図4及び図5にはXYZ直交座標系が併せて示されている。また、図4及び図5では、理解の容易のため、光L8の光軸と光L9の光軸とが離れているが、実際には光L8の光軸と光L9の光軸とは一部で重なっている。光L10及び光L11についても同様である。
図4は、本発明の第2実施形態に係る光学モジュール1Cの構成を示す図である。また、図5は、光学モジュール1Cを備える観察装置2Cの構成を示す図である。なお、理解の容易のため、図4及び図5にはXYZ直交座標系が併せて示されている。また、図4及び図5では、理解の容易のため、光L8の光軸と光L9の光軸とが離れているが、実際には光L8の光軸と光L9の光軸とは一部で重なっている。光L10及び光L11についても同様である。
図4に示されるように、光学モジュール1Cは、第1の偏光ビームスプリッタ10Bと、第2の偏光ビームスプリッタ10Cと、第1の偏光素子22と、第1の反射型SLM32と、第2の偏光素子42と、第2の反射型SLM52と、光路長調整素子60と、1/2波長板70とを備えている。
第1及び第2の偏光ビームスプリッタ10B,10Cは、第1実施形態の偏光ビームスプリッタ10Aと同様の構成を有する。すなわち、第1及び第2の偏光ビームスプリッタ10B,10Cは、入射光のs偏光成分を反射し、p偏光成分を透過する光分岐面11と、光入射面12と、光出射面13と、第1の面14と、第2の面15とを有する。第1の偏光ビームスプリッタ10Bは、p偏光成分およびs偏光成分を含む被観察光L7を光分岐面11に受ける。被観察光L7は、第1実施形態と同様に、例えば無偏光(ランダム偏光)、円偏光、或いは楕円偏光の光である。
第1の偏光素子22は、偏光ビームスプリッタ10Bの第2の面15と光学的に結合されており、被観察光L7のうち光分岐面11において反射された第1の偏光成分L8の光路上に配置されている。本実施形態の第1の偏光素子22は、偏光ビームスプリッタ10Bの光分岐面11に対してX軸方向に並んで配置されている。第1の偏光素子22は、第1の偏光成分L8の偏光面を回転させるための非相反性の光学活性を有する。なお、非相反性の光学活性の定義は第1実施形態と同様である。第1の偏光素子22は、一例ではファラデーローテータによって好適に構成される。
第1の反射型SLM32は、第1の偏光素子22を通過した第1の偏光成分L8を変調して第1の変調光L9を生成するとともに、第1の変調光L9を第1の偏光素子22へ反射する。第1の反射型SLM32としては、第1実施形態の第1の反射型SLM30と同様に、位相変調型、強度変調(振幅変調)型、或いは偏光変調型といった種々のSLMが適用される。第1の反射型SLM32は、一次元又は二次元に配列された複数の領域(画素)を含む変調面33を有する。第1の反射型SLM32は、その複数の領域毎に第1の偏光成分L8の位相、強度等を変調することにより、第1の変調光L9を生成する。
光路長調整素子60は、第1の偏光ビームスプリッタ10Bと第1の反射型SLM32との間の光路上に設けられており、第1の偏光成分L8および第1の変調光L9の光路長を調整する。一例では、第1の偏光成分L8および第1の変調光L9の光路長が、後述する第2の偏光成分L10および第2の変調光L11の光路長と等しくなるように、光路長調整素子60の長さが設定される。なお、図では光路長調整素子60が第1の偏光ビームスプリッタ10Bと第1の偏光素子22との間に配置されているが、光路長調整素子60は第1の偏光素子22と第1の反射型SLM32との間に配置されてもよい。
第1の変調光L9は、第1の偏光素子22を再び通過した後、第1の偏光ビームスプリッタ10Bの光分岐面11を透過して、光出射面13から出力される。
第2の偏光ビームスプリッタ10Cは、第1の偏光ビームスプリッタ10Bの第1の面14と、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光入射面12とが互いに光結合されるように、第1の偏光ビームスプリッタ10Bに対してY軸方向に並んで配置されている。第1の偏光ビームスプリッタ10Bと第2の偏光ビームスプリッタ10Cとの間の光路上には、相反性の光学活性を有する偏光素子である1/2波長板70が設けられている。第1の偏光ビームスプリッタ10Bを透過したp偏光成分を含む第2の偏光成分L10は、この1/2波長板70によってその偏光面が回転され、s偏光成分を含む第2の偏光成分L10として第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光入射面12に入射する。第2の偏光ビームスプリッタ10Cは、s偏光成分を含む第2の偏光成分L10を、光分岐面11に受ける。
第2の偏光素子42は、偏光ビームスプリッタ10Cの第2の面15と光学的に結合されており、光分岐面11において反射された第2の偏光成分L10の光路上に配置されている。本実施形態の第2の偏光素子42は、偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11に対してX軸方向に並んで配置されている。第2の偏光素子42は、第2の偏光成分L10の偏光面を回転させるための非相反性の光学活性を有する。なお、非相反性の光学活性の定義は第1実施形態と同様である。第2の偏光素子42は、一例ではファラデーローテータによって好適に構成される。
第2の反射型SLM52は、第2の偏光素子42を通過した第2の偏光成分L10を変調して第2の変調光L11を生成するとともに、第2の変調光L11を第2の偏光素子42へ反射する。第2の反射型SLM52としては、第1実施形態の第2の反射型SLM50と同様に、位相変調型、強度変調(振幅変調)型、或いは偏光変調型といった種々のSLMが適用される。第2の反射型SLM52は、一次元又は二次元に配列された複数の領域(画素)を含む変調面53を有する。第2の反射型SLM52は、その複数の領域毎に第2の偏光成分L10の位相、強度等を変調することにより、第2の変調光L11を生成する。
一例では、第1の反射型SLM32および第2の反射型SLM52は、平行配向ネマティック液晶を有するLCOS型のSLMである。反射型SLM32,52は、電気アドレス型の液晶素子に限られず、例えば光アドレス型の液晶素子や、可変鏡型の光変調器であってもよい。なお、反射型SLM32,52がLCOS型のSLMである場合、振動方向が液晶の配向方向と平行である直線偏光成分しか変調されないため、偏光素子22,42による回転後の偏光面の角度に合わせて反射型SLM32,52を配置するとよい。
第2の変調光L11は、第2の偏光素子42を再び通過した後、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11を透過して、光出射面13から出力される。
図5に示されるように、本実施形態の観察装置2Cは、上述した光学モジュール1Cに加えて、光源3、照明光学系5A、集光光学系5B、結像光学系6A及び6B、ステージ7、並びに光検出器8A及び8Bを備えている。なお、光源3、照明光学系5A、集光光学系5B、及びステージ7の構成は、前述した第1実施形態と同様である。
結像光学系6Aは、光学モジュール1Cの偏光ビームスプリッタ10Bから出力された第1の変調光L9を光検出器8Aに向けて結像する。光検出器8Aは、入射した光像を電気的な画像データに変換するデバイスであり、結像光学系6Aを介して偏光ビームスプリッタ10Bの光出射面13と光学的に結合されている。また、結像光学系6Bは、光学モジュール1Cの偏光ビームスプリッタ10Cから出力された第2の変調光L11を光検出器8Bに向けて結像する。光検出器8Bは、入射した光像を電気的な画像データに変換するデバイスであり、結像光学系6Bを介して偏光ビームスプリッタ10Cの光出射面13と光学的に結合されている。
以上の構成を備える光学モジュール1C及び観察装置2Cの動作について説明する。光源3から照明光L0が出力されると、照明光L0は観察対象物4を透過する。このとき、観察対象物4の光像が被観察光L7として生成される。被観察光L7は、集光光学系5Bを通過して偏光ビームスプリッタ10Bに達する。X軸方向に沿って偏光ビームスプリッタ10Bの光入射面12に入射した被観察光L7のうち、第1の偏光成分L8は光分岐面11において反射され、第2の面15から出射される。また、第2の偏光成分L10は光分岐面11を透過し、第1の面14から出射される。第1の偏光成分L8は第1の偏光素子22を通過するが、このとき、第1の偏光成分L8の偏光面は、第1の偏光素子22によってp偏光面から所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その後、第1の偏光成分L8は、第1の反射型SLM32によって変調されて第1の変調光L9と成り、同時に第1の偏光素子22に向けて反射される。第1の変調光L9は、第1の偏光素子22を再び通過するが、このとき、第1の変調光L9の偏光面は、第1の偏光素子22によって上記所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その結果、第1の変調光L9はp偏光成分を主に含む(或いは、p偏光成分のみから成る)こととなる。
その後、p偏光成分を含む第1の変調光L9は偏光ビームスプリッタ10Bの光分岐面11を透過し、偏光ビームスプリッタ10Bの光出射面13から出力される。第1の変調光L9は、結像光学系6Aによって結像され、光検出器8Aによって撮像される。
一方、p偏光成分を含む第2の偏光成分L10は、偏光ビームスプリッタ10Bの光分岐面11を透過したのち、1/2波長板70を通過して偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11に達する。第2の偏光成分L10が1/2波長板70を通過する際、第2の偏光成分L10の偏光面はp偏光面から或る回転方向に例えば90°回転する。したがって、第2の偏光成分L10は、s偏光成分を主に含む(或いは、s偏光成分のみから成る)こととなり、偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11において反射される。
そして、第2の偏光成分L10は第2の偏光素子42を通過するが、このとき、第2の偏光成分L10の偏光面は、第2の偏光素子42によってs偏光面から所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その後、第2の偏光成分L10は、第2の反射型SLM52によって変調されて第2の変調光L11と成り、同時に第2の偏光素子42に向けて反射される。第2の変調光L11は、第2の偏光素子42を再び通過するが、このとき、第2の変調光L11の偏光面は、第2の偏光素子42によって上記所定の向きに例えば45°若しくは135°回転する。その結果、第2の変調光L11はp偏光成分を主に含む(或いは、p偏光成分のみから成る)こととなる。
その後、p偏光成分を含む第2の変調光L11は偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11を透過し、偏光ビームスプリッタ10Cの光出射面13から出力される。第2の変調光L11は、結像光学系6Bによって結像され、光検出器8Bによって撮像される。
以上に説明した本実施形態の光学モジュール1C及び観察装置2Cによれば、前述した第1実施形態の光学モジュール1A及び観察装置2Aと同様の効果が得られる。すなわち、本実施形態では、被観察光L7のp偏光成分(第1の偏光成分L8)及びs偏光成分(第2の偏光成分L10)を分離させた後にそれぞれ変調し、変調後の第1及び第2の変調光L9,L11をそれぞれ個別に出力することができる。したがって、本実施形態の光学モジュール1C及び観察装置2Cによれば、被観察光L7のp偏光成分及びs偏光成分の双方を有効に利用し、光利用効率を高めることができる。これにより、従来よりも大きな光量で被観察光L7を観察することができ、被観察光L7の光強度が微小である場合であっても、明瞭に観察対象物4を観察することができる。
また、本実施形態の光学モジュール1C及び観察装置2Cによれば、第1及び第2の変調光L9,L11に対して異なる変調パターンを与えることができる。これにより、例えば光軸に垂直な面内での光強度分布が互いに異なる2つの変調パターンを付与することができる。或いは、偏光成分毎に独立して収差を補正することもできる。これらのように、本実施形態の光学モジュール1C及び観察装置2Cによれば、従来の装置よりも多様な観察形態を使用者に提供することを可能にできる。なお、本実施形態では、第1の反射型SLM32及び第2の反射型SLM52が、同一の変調パターンを呈示してもよい。
また、光学モジュール1Cによれば、反射型SLM32,52の各変調面33,53の法線方向に沿って光を入射及び反射させることができるので、光軸の調整が容易であり、SLMへの入射効率、およびSLMからの出射効率を高めることができる。また、被観察光L7の光軸と第1及び第2の変調光L9,L11の各光軸とを斜めではなく直交させることができるので、集光光学系5Bや結像光学系6A,6Bとの接続を容易にすることができ、また収差の発生を低減することができる。更に、一部の光路において光を往復させるので、光学系全体の構成を簡素にでき、小型化が可能となる。
また、本実施形態のように、第1の偏光ビームスプリッタ10Bと第2の偏光ビームスプリッタ10Cとの間の光路上には、相反性の光学活性を有する偏光素子(例えば1/2波長板70)が設けられることが好ましい。これにより、第1の偏光ビームスプリッタ10Bの光分岐面11を透過したp偏光成分を含む第2の偏光成分L10の偏光面を回転させてs偏光成分を含むようにし、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11において好適に反射させることができる。また、これにより、第1の反射型SLM32の液晶の配光方向と第2の反射型SLM52の液晶の配光方向とを揃える(互いに平行にする)ことが可能となり、第1及び第2の反射型SLM32,52のそれぞれに入力される変調データに対し、第1及び第2の反射型SLM30,50の制御を共通化することが可能になる。
(第3の実施の形態)
図6は、本発明の第3実施形態に係る光学モジュール1Dの構成を示す図である。また、図7は、光学モジュール1Dを備える観察装置2Dの構成を示す図である。本実施形態の光学モジュール1Dが第2実施形態の光学モジュール1Cと相違する点は、第2の偏光素子42および第2の反射型SLM52の配置、並びに1/2波長板70を備えない点である。また、本実施形態の観察装置2Dは、ピンホール84A,84Bを備えている。
図6は、本発明の第3実施形態に係る光学モジュール1Dの構成を示す図である。また、図7は、光学モジュール1Dを備える観察装置2Dの構成を示す図である。本実施形態の光学モジュール1Dが第2実施形態の光学モジュール1Cと相違する点は、第2の偏光素子42および第2の反射型SLM52の配置、並びに1/2波長板70を備えない点である。また、本実施形態の観察装置2Dは、ピンホール84A,84Bを備えている。
本実施形態において、第2の偏光素子42は、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの第1の面14と光学的に結合されており、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11を透過した第2の偏光成分L10の光路上に配置されている。本実施形態の第2の偏光素子42は、偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11に対してY軸方向に並んで配置されている。第2の反射型SLM52は、第2の偏光素子42を通過した第2の偏光成分L10を変調して第2の変調光L11を生成するとともに、第2の変調光L11を第2の偏光素子42へ反射する。
上記の構成において、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11を透過したp偏光成分を含む第2の偏光成分L10は、第2の偏光素子42を通過する。その際、第2の偏光成分L10の偏光面が第2の偏光素子42によってp偏光面から所定の向きに例えば45°回転する。その後、第2の偏光成分L10は、第2の反射型SLM52によって変調されて第2の変調光L11となり、同時に第2の偏光素子42に向けて反射される。第2の変調光L11は、第2の偏光素子42を再び通過するが、このとき、第2の変調光L11の偏光面は、第2の偏光素子42によって上記所定の向きに例えば45°回転する。その結果、第2の変調光L11はs偏光成分を主に含む(或いは、s偏光成分のみから成る)こととなる。その後、s偏光成分を含む第2の変調光L11は、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光分岐面11において反射され、第2の偏光ビームスプリッタ10Cの光出射面13から出力される。
ピンホール84Aは結像光学系6Aと光検出器8Aとの間の光路上に配置されており、結像光学系6Aによって結像された第1の変調光L9は、ピンホール84Aを通過して光検出器8Aに達する。また、ピンホール84Bは結像光学系6Bと光検出器8Bとの間の光路上に配置されており、結像光学系6Bによって結像された第2の変調光L11は、ピンホール84Bを通過して光検出器8Bに達する。ピンホール84A,84Bが設けられることにより、結像光学系6A,6Bにより各々結像された第1及び第2の変調光L9,L11に含まれるノイズ光を低減して、より明瞭な観察を可能にできる。
本実施形態の光学モジュール1D及び観察装置2Dによれば、第2実施形態と同様に、被観察光L7のp偏光成分及びs偏光成分の双方を有効に利用し、光利用効率を高めることができる。また、第1及び第2の変調光L9,L11に対して異なる変調パターンを与えることができるので、従来の装置よりも多様な観察形態を使用者に提供することを可能にできる。更に、反射型SLM32,52の各変調面33,53の法線方向に沿って光を入射及び反射させることができるので、集光光学系5Bや結像光学系6A,6Bとの接続を容易にすることができ、また光学系全体の小型化が可能となる。
(第4の実施の形態)
図8は、本発明の第4実施形態に係る観察装置として、共焦点蛍光顕微鏡2Eの構成を示す図である。この共焦点蛍光顕微鏡2Eが第1実施形態の観察装置2Aと相違する点は、観察対象物4への照明光の照射方式、およびピンホール83を備える点である。
図8は、本発明の第4実施形態に係る観察装置として、共焦点蛍光顕微鏡2Eの構成を示す図である。この共焦点蛍光顕微鏡2Eが第1実施形態の観察装置2Aと相違する点は、観察対象物4への照明光の照射方式、およびピンホール83を備える点である。
共焦点蛍光顕微鏡2Eは、第1実施形態の光源3、照明光学系5A及び集光光学系5Bに代えて、光源80、ダイクロイックミラー81、ビームスキャナ82、及び対物レンズ5Cを備えている。光源80は、p偏光成分およびs偏光成分を含む励起光L12(一例では無偏光の光)を出力する。ダイクロイックミラー81は、偏光ビームスプリッタ10Aの光入射面12と観察対象物4とを結ぶ光路上に配置されており、光源80からの励起光L12を観察対象物4へ向けて反射するとともに、観察対象物4からの被観察光(蛍光)L1を偏光ビームスプリッタ10Aに向けて透過する。対物レンズ5Cは、観察対象物4とダイクロイックミラー81との間の光路上に配置されており、励起光L12を観察対象物4に向けて集光するとともに、観察対象物4から生じた被観察光(蛍光)L1を偏光ビームスプリッタ10Aに向けて導光する。ビームスキャナ82は、観察対象物4における励起光L12の集光位置を光軸に垂直な面内において移動させることができ、観察対象物4に対して励起光L12の走査(スキャン)を行う。ビームスキャナ82が励起光L12を二次元的あるいは三次元的に走査することによって、蛍光像が得られる。なお、ビームスキャナ82と対物レンズ5Cとの間に、リレーレンズが挿入されていても良い。また、ビームスキャナ82と光学モジュール1Aとの間にリレーレンズが挿入されていても良い。
また、ピンホール83は結像光学系6と光検出器8との間の光路上に配置されており、結像光学系6によって結像された合成変調光L6は、ピンホール83を通過して光検出器8に達する。ピンホール83が設けられることにより、結像光学系6により結像された合成変調光L6に含まれるノイズ光を低減して、より明瞭な観察を可能にできる。
本実施形態の共焦点蛍光顕微鏡2Eによれば、第1実施形態の観察装置2Aと同様に、被観察光(蛍光)L1のp偏光成分及びs偏光成分の双方を有効に利用し、光利用効率を高めることができるので、被観察光(蛍光)L1の光強度が微小であっても、明瞭に蛍光観察を行うことができる。また、第1及び第2の変調光L3,L5に対して異なる変調パターンを与えることができるので、従来の共焦点蛍光顕微鏡よりも多様な観察形態を使用者に提供することを可能にできる。更に、反射型SLM30,50の各変調面31,51の法線方向に沿って光を入射及び反射させることができるので、ダイクロイックミラー81や対物レンズ5C、結像光学系6といった光学系の接続を容易にすることができ、また光学系全体の小型化が可能となる。
なお、本実施形態では第1実施形態の光学モジュール1Aを備える共焦点蛍光顕微鏡について説明したが、共焦点蛍光顕微鏡は第1変形例の光学モジュール1B、第2実施形態の光学モジュール1C、または第3実施形態の光学モジュール1Dを備えてもよい。何れかの光学モジュールを備えることによって、上述した効果を好適に奏することができる。また、図8では、光源80とダイクロイックミラー81が、光学モジュール1Aとビームスキャナ82との間に設置されているが、結像レンズ6と光学モジュール1Aとの間に設置されていても良い。
本発明による光学モジュールおよび光照射装置は、上述した実施形態に限られるものではなく、他に様々な変形が可能である。例えば、第4実施形態において本発明の光学モジュールを共焦点蛍光顕微鏡に応用した例を示したが、本発明の光学モジュールは、顕微観察、眼底観察、共焦点でないレーザー走査顕微鏡、カメラを用いた顕微鏡、或いは透過型の顕微鏡等にも適用可能である。また、本発明の光学モジュールは、蛍光観察でない顕微鏡、たとえば後方散乱光観察顕微鏡や各種のラマン散乱観察顕微鏡にも適用可能である。
また、上記各実施形態では断面矩形状の偏光ビームスプリッタを用いているが、偏光ビームスプリッタの形状はこれに限られず、例えば板状であってもよい。また、上記各実施形態では反射型SLMに対して光を垂直に入射および出射させているが、反射型SLMに対する入反射角は0°より大きくてもよい。
また、一般的に、SLMを含む光学系には収差が発生するが、上記各実施形態において、収差を補正するためのパターンを第1及び第2の反射型SLMに表示させてもよい。このようなパターンを所望の位相パターンに加えることにより、収差の補正が可能となる。この場合、第1の変調光に生じる収差と、第2の変調光に生じる収差とを独立して求め、それらの収差を第1及び第2の反射型SLMそれぞれで個別に除去するとよい。
また、上記第1〜第3実施形態では、観察対象物が透過照明され、その透過光が被観察光とされているが、暗視野照明がされた観察対象物からの反射光や散乱光が被観察光とされてもよい。また、観察対象物を照明することによって生じた蛍光ラマン散乱光、パラメトリック発振光、或いは高調波光が被観察光とされてもよい。
1A〜1D…光学モジュール、2A,2C,2D…観察装置、2E…共焦点蛍光顕微鏡、3…光源、4…観察対象物、5A…照明光学系、5B…集光光学系、5C…対物レンズ、6,6A,6B…結像光学系、7…ステージ、8,8A,8B…光検出器、10A…偏光ビームスプリッタ、10B…第1の偏光ビームスプリッタ、10C…第2の偏光ビームスプリッタ、11…光分岐面、12…光入射面、13…光出射面、14…第1の面、15…第2の面、20,22…第1の偏光素子、30,32…第1の反射型SLM、31,33…変調面、50,52…第2の反射型SLM、40,42…第2の偏光素子、50,52…第2の反射型SLM、51,53…変調面、60…光路長調整素子、70…1/2波長板、80…光源、81…ダイクロイックミラー、82…ビームスキャナ、83,84A,84B…ピンホール、90…1/2波長板、L0…照明光、L1,L7…被観察光、L2,L8…第1の偏光成分、L3,L9…第1の変調光、L4,L10…第2の偏光成分、L5,L11…第2の変調光、L6…合成変調光、L11…第2の変調光、L12…励起光。
Claims (10)
- 入射光に含まれるs偏光成分を反射してp偏光成分を透過する光分岐面を有する偏光ビームスプリッタと、
偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、前記入射光のうち前記光分岐面を透過した第1の偏光成分の光路上に配置された第1の偏光素子と、
前記第1の偏光素子を通過した前記第1の偏光成分を変調して第1の変調光を生成するとともに、前記第1の変調光を前記第1の偏光素子へ反射する第1の反射型空間光変調器と、
偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、前記入射光のうち前記光分岐面において反射された第2の偏光成分の光路上に配置された第2の偏光素子と、
前記第2の偏光素子を通過した前記第2の偏光成分を変調して第2の変調光を生成するとともに、前記第2の変調光を前記第2の偏光素子へ反射する第2の反射型空間光変調器と、を備え、
前記第1の偏光素子を再び通過した後、前記光分岐面において反射された前記第1の変調光と、前記第2の偏光素子を再び通過した後、前記光分岐面を透過した前記第2の変調光とが互いに合波されて前記偏光ビームスプリッタから出力されることを特徴とする、光学モジュール。 - 前記第1及び第2の反射型空間光変調器が液晶型であり、
前記第1の反射型空間光変調器の液晶の配向方向と、前記第2の反射型空間光変調器の液晶の配向方向とが互いに直交することを特徴とする、請求項1に記載の光学モジュール。 - 相反性の光学活性を有し、前記偏光ビームスプリッタと前記第1の反射型空間光変調器との間の光路上、又は前記偏光ビームスプリッタと前記第2の反射型空間光変調器との間の光路上に配置された偏光素子を更に備えることを特徴とする、請求項1または2に記載の光学モジュール。
- 請求項1〜3のいずれか一項に記載された光学モジュールと、
観察対象物からの被観察光を集光し、前記光学モジュールへ前記入射光として入射させる集光光学系と、
前記光学モジュールから出力された光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系により結像された光を検出する光検出器と
を備えることを特徴とする、観察装置。 - 前記結像光学系と前記光検出器との間の光路上にピンホールが配置されていることを特徴とする、請求項4に記載の観察装置。
- 入射光に含まれるs偏光成分を反射してp偏光成分を透過する光分岐面を有する第1の偏光ビームスプリッタと、
偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、前記入射光のうち、前記第1の偏光ビームスプリッタの前記光分岐面において反射された第1の偏光成分の光路上に配置された第1の偏光素子と、
前記第1の偏光素子を通過した前記第1の偏光成分を変調して第1の変調光を生成するとともに、前記第1の変調光を前記第1の偏光素子へ反射する第1の反射型空間光変調器と、
s偏光成分を反射してp偏光成分を透過する光分岐面を有し、前記入射光のうち、前記第1の偏光ビームスプリッタの前記光分岐面を透過した第2の偏光成分を前記光分岐面に受ける第2の偏光ビームスプリッタと、
偏光面を回転させる非相反性の光学活性を有し、前記第2の偏光ビームスプリッタの前記光分岐面において透過及び反射のうち一方を経た前記第2の偏光成分の光路上に配置された第2の偏光素子と、
前記第2の偏光素子を通過した前記第2の偏光成分を変調して第2の変調光を生成するとともに、前記第2の変調光を前記第2の偏光素子へ反射する第2の反射型空間光変調器と、を備え、
前記第1の変調光は、前記第1の偏光素子を再び通過した後、前記第1の偏光ビームスプリッタの前記光分岐面を透過して出力され、前記第2の変調光は、前記第2の偏光素子を再び通過した後、前記第2の偏光ビームスプリッタの前記光分岐面において透過及び反射のうち他方を経て出力されることを特徴とする、光学モジュール。 - 前記第1の偏光ビームスプリッタと前記第1の反射型空間光変調器との間の光路上に設けられた光路長調整素子を更に備えることを特徴とする、請求項6に記載の光学モジュール。
- 相反性の光学活性を有し、前記第1の偏光ビームスプリッタと前記第2の偏光ビームスプリッタとの間の光路上に設けられた偏光素子を更に備えることを特徴とする、請求項6または7に記載の光学モジュール。
- 請求項6〜8のいずれか一項に記載された光学モジュールと、
観察対象物からの被観察光を集光し、前記光学モジュールへ前記入射光として入射させる集光光学系と、
前記光学モジュールから出力された光を結像する結像光学系と、
前記結像光学系により結像された光を検出する光検出器と
を備えることを特徴とする、観察装置。 - 前記結像光学系と前記光検出器との間の光路上にピンホールが配置されていることを特徴とする、請求項9に記載の観察装置。
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