CN105122116A - 光学模块以及观察装置 - Google Patents

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Abstract

光学模块(1A)具备具有光分支面(11)的偏振光分束器(10A)、分别具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且分别配置于透过光分支面(11)的第1偏振光成分(L2)以及在光分支面(11)上被反射的第2偏振光成分(L4)的光路上的偏振光元件(20)以及(40)、调制通过第1偏振光元件(20)的第1偏振光成分(L2)并进行反射的第1反射型SLM(30)、调制通过第2偏振光元件(40)的第2偏振光成分(L4)并进行反射的第2反射型SLM(50)。在再次通过第1偏振光元件(20)之后在光分支面(11)上被反射的第1调制光(L3)和在再次通过第2偏振光元件(40)之后透过光分支面(11)的第2调制光(L5)被互相合波。

Description

光学模块以及观察装置
技术领域
本发明涉及光学模块以及观察装置。
背景技术
在非专利文献1中公开有在眼底测定装置中使用空间光调制器即PPM(ProgrammablePhaseModulator)来进行像差修正。
现有技术文献
非专利文献
非专利文献1：PedroPrieto,EnriqueFernandez,SilvestreManzanera,andPabloArtal,“adaptiveopticswithaprogrammablephasemodulator:applicationsinthehumaneye”,OpticsExpress,Volume12,Issue17,pp.4059-4071(2004)
发明内容
发明所要解决的问题
近年来，为了达到在观察装置等中的透镜像差的修正等的目的而研究使用SLM来调制被观察光的强度分布或相位分布的技术。然而，由于SLM的结构而会有仅能够调制直线偏振光成分的情况，例如在非专利文献1所记载的结构中，由直线偏振光子从入射到PPM的来自眼底的光(被观察光)仅提取能够在PPM进行调制的直线偏振光的光。这样，在SLM仅能够调制直线偏振光成分的情况下不利用其他的偏振光成分，从而光利用效率(被观察光与调制后的光的强度比)被抑制为较小。
本发明是有鉴于上述问题而完成的发明，其目的在于，提供一种能够提高在调制被观察光等的入射光的装置中的光利用效率的光学模块、以及具备该光学模块的观察装置。
解决问题的技术手段
为了解决上述的问题，本发明的第1光学模块，其特征在于，具备：偏振光分束器，具有反射包含于入射光中的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面；第1偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性(non-reciprocal)的光学活性并且被配置于入射光中的透过了光分支面的第1偏振光成分的光路上；第1反射型SLM，调制通过第1偏振光元件的第1偏振光成分并生成第1调制光并且向第1偏振光元件反射第1调制光；第2偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于入射光中的在光分支面上被反射的第2偏振光成分的光路上；第2反射型SLM，调制通过第2偏振光元件的第2偏振光成分并生成第2调制光并且向第2偏振光元件反射第2调制光；在再次通过第1偏振光元件之后在光分支面上被反射的第1调制光和在再次通过第2偏振光元件之后透过光分支面的第2调制光被互相合波并从偏振光分束器被输出。
在该第1光学模块中，透过偏振光分束器的第1偏振光成分(p偏振光成分)在其偏振光面被第1偏振光元件旋转之后入射到第1反射型SLM。第1偏振光成分被第1反射型SLM调制从而成为第1调制光，该第1调制光的偏振光面再次由第1偏振光元件而被旋转。因为第1偏振光元件具有非互易性的光学活性，所以这样往复于第1偏振光元件之后的第1调制光能够包含在偏振光分束器上被反射的s偏振光成分。还有，优选调制前的第1偏振光成分的偏振光面可以由第1偏振光元件而被旋转45°，调制后的第1调制光的偏振光面可以由第1偏振光元件而被进一步旋转45°。
另外，在偏振光分束器上被反射的第2偏振光成分(s偏振光成分)在其偏振光面被第2偏振光元件旋转之后入射到第2反射型SLM。第2偏振光成分被第2反射型SLM调制从而成为第2调制光，该第2调制光的偏振光面再次由第2偏振光元件而被旋转。因为第2偏振光元件具有非互易性的光学活性，所以这样往复于第2偏振光元件之后的第2调制光能够包含透过偏振光分束器的p偏振光成分。还有，优选调制前的第2偏振光成分的偏振光面可以由第2偏振光元件而被旋转45°，调制后的第2调制光的偏振光面可以由第2偏振光元件而被进一步旋转45°。
之后，包含s偏振光成分的第1调制光在偏振光分束器上被反射，包含p偏振光成分的第2调制光透过偏振光分束器。这些调制光被互相合波，并从偏振光分束器被输出。
如以上所说明的那样，在上述第1光学模块中，能够在使入射光(例如观察光)的p偏振光成分以及s偏振光成分分离之后分别进行调制，且对调制后的第1以及第2调制光进行合波并进行输出。因此，根据该第1光学模块，能够有效地利用入射光的p偏振光成分以及s偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率。
另外，第1光学模块的特征也可以在于，第1以及第2反射型SLM为液晶型，并且第1反射型SLM的液晶的取向方向与第2反射型SLM的液晶的取向方向互相垂直。由此，能够分别在第1以及第2反射型SLM上分别有效地调制偏振光面互相垂直的第1以及第2偏振光成分。
另外，第1光学模块的特征也可以在于，还具备具有互易性的光学活性并且在偏振光分束器与第1反射型SLM之间的光路上或者在偏振光分束器与第2反射型SLM之间的光路上进行配置的偏振光元件。由此，能够任意地控制即将入射到第1反射型SLM之前的第1偏振光成分的偏振光面的角度或者即将入射到第2反射型SLM之前的第2偏振光成分的偏振光面的角度。
另外，本发明的第1观察装置，其特征在于，具备上述的任意一个第1光学模块、对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为入射光向光学模块入射的聚光光学系统、对从光学模块输出的光进行成像的成像光学系统、检测被成像光学系统成像的光的光检测器。根据该第1观察装置，通过具备上述的第1光学模块从而能够提高被观察光的光利用效率。
另外，第1观察装置，其特征也可以在于，在成像光学系统与光检测器之间的光路上配置有针孔。由此，能够减少包含于被成像光学系统成像的光中的噪声光并且能够做到更加明了的观察。
本发明的第2光学模块，其特征在于，具备：第1偏振光分束器，具有反射包含于入射光中的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面；第1偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于入射光中的在第1偏振光分束器的光分支面上被反射的第1偏振光成分的光路上；第1反射型SLM，调制通过第1偏振光元件的第1偏振光成分并生成第1调制光并且向第1偏振光元件反射第1调制光；第2偏振光分束器，具有反射s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面并且在光分支面接受入射光中的透过第1偏振光分束器的光分支面的第2偏振光成分；第2偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于在第2偏振光分束器的光分支面上经透过以及反射中的一方的第2偏振光成分的光路上；第2反射型SLM，调制通过第2偏振光元件的第2偏振光成分并生成第2调制光并且向第2偏振光元件反射第2调制光；第1调制光在再次通过第1偏振光元件之后透过第1偏振光分束器的光分支面并被输出，第2调制光在再次通过第2偏振光元件之后在第2偏振光分束器的光分支面上经透过以及反射中的另一方并被输出。
透过第1偏振光分束器的第1偏振光成分在其偏振光面由第1偏振光元件而被旋转之后入射到第1反射型SLM。第1偏振光成分被第1反射型SLM调制从而成为第1调制光，该第1调制光的偏振光面再次由第1偏振光元件而被旋转。因为第1偏振光元件具有非互易性的光学活性，所以这样往复于第1偏振光元件之后的第1调制光能够包含在偏振光分束器上被反射的s偏振光成分，并且在反射后向光学模块的外部输出。还有，优选调制前的第1偏振光成分的偏振光面可以由第1偏振光元件而被旋转45°，调制后的第1调制光的偏振光面可以由第1偏振光元件而被进一步旋转45°。
另外，在第1偏振光分束器上被反射的第2偏振光成分入射到第2偏振光分束器。第2偏振光成分在第2偏振光分束器上经透过以及反射中的一方，在其偏振光面被第2偏振光元件旋转之后入射到第2反射型SLM。第2偏振光成分被第2反射型SLM调制从而成为第2调制光，该第2调制光的偏振光面再次由第2偏振光元件而被旋转。因为第2偏振光元件具有非互易性的光学活性，所以这样往复于第2偏振光元件之后的第2调制光在第2偏振光分束器上经透过以及反射中的另一方而向第2光学模块的外部输出。还有，优选调制前的第2偏振光成分的偏振光面可以由第2偏振光元件而被旋转45°，调制后的第2调制光的偏振光面可以由第2偏振光元件而被进一步旋转45°。
如以上所说明的那样，在上述第2光学模块中，能够在使入射光的p偏振光成分以及s偏振光成分分离之后分别进行调制并输出。因此，根据第2光学模块，能够有效地利用入射光的p偏振光成分以及s偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率。
另外，第2光学模块也可以还具备在第1偏振光分束器与第1反射型SLM之间的光路上进行设置的光路长调整元件。
另外，第2光学模块，其特征也可以在于，还具备具有互易性的光学活性并且在第1偏振光分束器与第2反射型SLM之间的光路上进行设置的偏振光元件。由此，能够使在第2偏振光分束器的光分支面上被反射的第2调制光的偏振光面旋转并且能够适当地透过第1偏振光分束器的光分支面。
另外，本发明的第2观察装置，其特征在于，具备上述的任意一个第2光学模块、对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为入射光向光学模块入射的聚光光学系统、对从光学模块输出的光进行成像的成像光学系统、检测被成像光学系统成像的光的光检测器。根据该第2观察装置，通过具备上述的第2光学模块从而能够提高被观察光的光利用效率。
另外，第2观察装置，其特征也可以在于，在成像光学系统与光检测器之间的光路上配置有针孔。由此，能够减少包含于被成像光学系统成像的光中的噪声光并且能够做到更加明了的观察。
发明的效果
根据本发明所涉及的光学模块以及观察装置，能够提高调制被观察光等的入射光的装置中的光利用效率。
附图说明
图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的光学模块的结构的示意图。
图2是表示具备第1实施方式的光学模块的观察装置的结构的示意图。
图3是表示第1实施方式的一个变形例所涉及的光学模块的结构的示意图。
图4是表示本发明的第2实施方式所涉及的光学模块的结构的示意图。
图5是表示具备第2实施方式的光学模块的观察装置的结构的示意图。
图6是表示本发明的第3实施方式所涉及的光学模块的结构的示意图。
图7是表示具备第3实施方式的光学模块的观察装置的结构的示意图。
图8是表示作为本发明的第4实施方式所涉及的观察装置的共聚焦荧光显微镜的结构的示意图。
具体实施方式
以下，参照附图，对本发明所涉及的光学模块以及观察装置的实施方式进行详细的说明。还有，在附图的说明中将相同符号标注于相同要素，省略重复的说明。
(第1实施方式)
图1是表示本发明的第1实施方式所涉及的光学模块1A的结构的示意图。另外，图2是表示具备光学模块1A的观察装置2A的结构的示意图。还有，为了容易理解，在图1以及图2中一并表示XYZ直角坐标系。另外，在图1以及图2中，为了容易理解，将光L2的光轴与光L3的光轴分开，但是，实际上光L2的光轴与光L3的光轴在一部分上重叠。关于光L4以及光L5也相同。
如图1所示，光学模块1A具备偏振光分束器10A、第1偏振光元件20、第1反射型SLM30、第2偏振光元件40、以及第2反射型SLM50。
偏振光分束器10A是具有光分支面11的光学部件。光分支面11相对于第1方向(在本实施方式中为X轴方向)以及与第1方向相交叉的第2方向(在本实施方式中为Y轴方向)的双方进行倾斜，其倾斜角为例如45°。光分支面11反射包含于从这些方向入射的光中的s偏振光成分并透过p偏振光成分。光分支面11接受从光学模块1A的外部沿着X轴方向进行入射的被观察光L1。该被观察光L1为包含p偏振光成分以及s偏振光成分的双方的光，例如是非偏振光(随机偏振光)、圆偏振光、椭圆偏振光、既不是p偏振光也不是s偏振光的直线偏振光的光或者在p偏振光的光中与其不同波长的s偏振光的光重叠后的光。
另外，沿着XY平面的偏振光分束器10A的截面形状呈现矩形状。再有，偏振光分束器10A具有显现于该截面的光入射面12、光出射面13、第1面14以及第2面15。光入射面12沿着与X轴方向相交叉的平面并接受被观察光L1。光出射面13沿着与Y轴方向相交叉的平面并输出合成调制光L6。第1面14沿着与X轴方向相交叉的平面，光入射面12以及第1面14在X轴方向上被排列设置。第2面15沿着与Y轴方向相交叉的平面，光出射面13以及第2面15在Y轴方向上被排列设置。在这些4个面中光入射面12以及第2面15被配置于光分支面11的一个面侧，光出射面13以及第1面14被配置于光分支面11的另一个面侧。
第1偏振光元件20光学性地与偏振光分束器10A的第1面14相耦合，并且被配置于被观察光L1中透过光分支面11的第1偏振光成分L2(在透过光分支面11的时间点上是p偏振光)的光路上。还有，所谓第1偏振光成分L2的光路，是指被观察光L1中透过光分支面11的光的光路。本实施方式的第1偏振光元件20相对于偏振光分束器10A的光分支面11在X轴方向上被排列配置。第1偏振光元件20具有用于使第1偏振光成分L2的偏振光面旋转的非互易性的光学活性。在此，所谓非互易性的光学活性，是指在正向上行进的光的旋转方向与在反向上行进的光的旋转方向互相相等的偏振光特性。例如，在从某个方向通过第1偏振光元件20的光的偏振光面向规定的方向仅旋转规定的角度(例如45°或者135°)的情况下，从反向通过第1偏振光元件20的光的偏振光面向上述规定的方向进一步仅旋转同样的角度。例如，在规定的角度为45°的情况下，如果光往复于第1偏振光元件20的话则该光的偏振光面旋转90°。第1偏振光元件20在一个例子中优选由法拉第旋转器构成。
还有，由光学性晶体构成的1/2波长板也是使通过光的偏振光面旋转的构件，但是，因为在1/2波长板上在正向上行进的光的旋转方向与在反向上行进的光的旋转方向互相相反，所以如果光进行往复的话则该光的偏振光面恢复原状。因此，1/2波长板不是具有非互易性的光学活性的偏振光元件，不作为第1偏振光元件20来使用。
第1反射型SLM30调制通过第1偏振光元件20的第1偏振光成分L2并生成第1调制光L3并且向第1偏振光元件20反射第1调制光L3。作为第1反射型SLM30，可以应用相位调制型、强度调制(振幅调制)型或者偏振调制型的各种各样的SLM。第1反射型SLM30具有包含被排列成一维或者二维的多个区域(像素)的调制面31。第1反射型SLM30通过在该多个区域的每个区域中调制第1偏振光成分L2的相位、强度等从而生成第1调制光L3。在一个例子中，第1反射型SLM30为具有平行取向向列型液晶的LCOS(LiquidCrystalonSilicon)型的SLM。第1反射型SLM30并不限于电寻址型的液晶元件，例如也可以是光寻址型的液晶元件或具有液晶以外的电光效应材料的元件、由多个微镜构成的元件、可变镜式的光调制器。
第2偏振光元件40与偏振光分束器10A的第2面15相光学性耦合并且被配置于被观察光L1中在光分支面11上被反射的第2偏振光成分L4(在光分支面11上被反射的时间点上是s偏振光成分)的光路上。还有，所谓第2偏振光成分L4的光路，是指被观察光L1中在光分支面11上被反射的光的光路。本实施方式的第2偏振光元件40相对于偏振光分束器10A的光分支面11在Y轴方向上被排列配置。第2偏振光元件40具有用于使第2偏振光成分L4的偏振光面旋转的非互易性的光学活性。还有，非互易性的光学活性的定义与上述的第1偏振光元件20相同。第2偏振光元件40在一个例子中优选由法拉第旋转器构成。
第2反射型SLM50调制通过第2偏振光元件40的第2偏振光成分L4并生成第2调制光L5并且向第2偏振光元件40反射第2调制光L3。作为第2反射型SLM50，与第1反射型SLM30相同，可以应用相位调制型、强度调制(振幅调制)型或者偏振调制型的各种各样的SLM。第2反射型SLM50具有包含被排列成一维或者二维的多个区域(像素)的调制面51。第2反射型SLM50通过在该多个区域的每个区域中调制第2偏振光成分L4的相位、强度等从而生成第2调制光L5。在一个例子中，第2反射型SLM50为具有平行取向向列型液晶的LCOS型的SLM。第2反射型SLM50并不限于电寻址型的液晶元件，例如也可以是光寻址型的液晶元件或具有液晶以外的电光效应材料的元件、由多个微镜构成的元件、可变镜式的光调制器。
还有，在反射型SLM30、50为LCOS型的SLM的情况下，因为仅振动方向与液晶的取向方向相平行的直线偏振光成分被调制，所以如果配合于由偏振光元件20、40进行的旋转后的偏振光面的角度来配置反射型SLM30、50的话即可。
如图2所示，本实施方式的观察装置2A除了上述的光学模块1A之外还具备光源3、照明光学系统5A、聚光光学系统5B、成像光学系统6、工作台7以及光检测器8。
光源3是输出包含p偏振光成分以及s偏振光成分的照明光L0(在一个例子中为非偏振光的光)的光源。光源3经由包含透镜等的照明光学系统5A而与被载置于工作台7上的观察对象物(测定对象物)4相光学性耦合。另外，聚光光学系统5B被配置于观察对象物4与偏振光分束器10A的光入射面12之间的光路上，向偏振光分束器10A对照明光L0透过观察对象物4而生成的被观察光L1进行导光。聚光光学系统5B包含例如物镜。成像光学系统6朝着光检测器8对从光学模块1A输出的合成调制光L6进行成像。光检测器8是将入射的光学图像转换成电气图像数据的装置，经由成像光学系统而与偏振光分束器10A的光出射面13相光学性耦合。
对具备上述结构的光学模块1A以及观察装置2A的动作进行说明。如果从光源3输出照明光L0的话则照射光L0透过观察对象物4。此时，观察对象物4的光学图像作为被观察光L1而生成。被观察光L1通过聚光光学系统5B而到达偏振光分束器10A。沿着X轴方向入射到偏振光分束器10A的光入射面12的被观察光L1中的第1偏振光成分L2透过光分支面11并从第1面14出射。另外，第2偏振光成分L4在光分支面11上被反射并从第2面15出射。第1偏振光成分L2通过第1偏振光元件20，但是，此时，第1偏振光成分L2的偏振光面由第1偏振光元件20而从p偏振光面向规定的方向旋转例如45°或者135°。之后，第1偏振光成分L2由第1反射型SLM30而被调制并成为第1调制光L3，同时朝着第1偏振光元件20被反射。第1调制光L3再次通过第1偏振光元件20，但是，此时，第1调制光L3的偏振光面由第1偏振光元件20而向上述规定的方向旋转例如45°或者135°。其结果，第1调制光L3主要包含s偏振光成分(或者仅由s偏振光成分构成)。
另一方面，第2偏振光成分L4通过第2偏振光元件40，但是，此时，第2偏振光成分L4的偏振光面由第2偏振光元件40而从s偏振光面向规定的方向旋转例如45°或者135°。之后，第2偏振光成分L4由第2反射型SLM50而被调制并成为第2调制光L5，同时朝着第2偏振光元件40被反射。第2调制光L5再次通过第2偏振光元件40，但是，此时，第2调制光L5的偏振光面由第2偏振光元件40而向上述规定的方向旋转例如45°或者135°。其结果，第2调制光L5主要包含p偏振光成分(或者仅由p偏振光成分构成)。
之后，包含s偏振光成分的第1调制光L3在偏振光分束器10A上被反射，包含p偏振光成的第2调制光L5透过偏振光分束器10A。这些调制光L3、L5被互相合波，并作为合成调制光L6从偏振光分束器10A的光出射面13被输出。合成调制光L6被成像光学系统6成像并且被光检测器8摄像。
对由以上所说明的本实施方式的光学模块1A以及观察装置2A获得的效果进行说明。在光学模块1A中，能够在使被观察光L1的p偏振光成分(第1偏振光成分L2)以及s偏振光成分(第2偏振光成分L4)分离之后分别进行调制，并对调制后的第1以及第2调制光L3、L5进行合波并进行输出。因此，根据本实施方式的光学模块1A，能够有效地利用被观察光L1的p偏振光成分以及s偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率(被观察光L1的强度与入射到光检测器8的光学图像的强度之比)。由此，能够以较现有更大的光量来观察被观察光L1，并且即使是被观察光L1的光强度为微弱的情况也能够清晰地观察到观察对象物4。
另外，根据本实施方式的光学模块1A以及观察装置2A，能够相对于第1以及第2调制光L3、L5赋予不同的调制图案。由此，例如能够赋予在垂直于光轴的面内上的光相位分布或光强度分布互相不同的2个调制图案。或者，也能够对于每个偏振光成分独立地修正像差。这样，根据本实施方式的光学模块1A以及观察装置2A，能够向使用者提供比现有装置更多样的观察方式。另外，因为对被个别地调制的第1以及第2调制光L3、L5进行合波并进行输出，所以能够减少包含于入射到光检测器8的光学图像中的色斑。还有，在本实施方式中，第1反射型SLM30以及第2反射型SLM50也可以呈现同一调制图案。
另外，在光学模块1A中，2个反射型SLM30、50被配置于1个偏振光分束器10A的周围。于是，向第1反射型SLM30入射的入射光(第1偏振光成分L2)从偏振光分束器10A入射，调制后的光(第1调制光L3)朝着偏振光分束器10A被反射。同样，向第2反射型SLM50入射的入射光(第2偏振光成分L4)从偏振光分束器10A入射，调制后的光(第2调制光L5)朝着偏振光分束器10A被反射。因为由这样的结构而能够沿着反射型SLM30、50的各个调制面31、51的法线方向使光入射以及反射，所以光轴的调整是容易的，并且能够提高向SLM入射的入射效率以及来自SLM的出射效率。另外，因为能够使被观察光L1的光轴和合成调制光L6的光轴垂直而不是倾斜，所以能够容易地做到与聚光光学系统5B或成像光学系统6的连接，另外能够减少像差的发生。再有，因为在一部分的光路上使光往复，所以能够简化光学系统整体的结构并且小型化成为可能。
在本实施方式的光学模块1A中，在第1以及第2反射型SLM30、50为液晶型的情况下如以上所述仅振动方向与液晶的取向方向相平行的直线偏振光成分被调制。因此，优选以第1反射型SLM30的液晶的取向方向和第2反射型SLM50的液晶的取向方向互相垂直的方式配置第1以及第2反射型SLM30、50。由此，能够分别在第1以及第2反射型SLM30、50上分别有效地调制偏振光面互相垂直的第1以及第2偏振光成分L2、L4。
(第1变形例)
图3是表示上述实施方式的一个变形例所涉及的光学模块1B的结构的示意图。本变形例的光学模块1B除了上述实施方式的光学模块1A的结构之外还具备具有互易性的光学活性的偏振光元件即1/2波长板90。在本变形例中，1/2波长板90被配置于偏振光分束器10A与第1反射型SLM30之间的光路上，在图中表示被配置于偏振光分束器10A与第1偏振光元件20之间的光路上的例子。1/2波长板90的延迟轴相对于通过1/2波长板90的第1偏振光成分L2的偏振光面被设定成例如45°。
在该例子中，透过偏振光分束器10A的光分支面11的第1偏振光成分L2通过1/2波长板90。此时，第1偏振光成分L2的偏振光面由1/2波长板90而从p偏振光面向某个旋转方向旋转90°。之后，第1偏振光成分L2往复于第1偏振光元件20与第1反射型SLM30之间而成为第1调制光L3，并再次通过1/2波长板90。此时，第1调制光L3的偏振光面由1/2波长板90而向与上述相反的方向旋转90°。其结果，入射到偏振光分束器10A的时候的第1调制光L3的偏振光面与第1实施方式相同。
在本变形例中，由具有互易性的光学活性的偏振光元件而使入射到第1反射型SLM30的时候的第1偏振光成分L2的偏振光面旋转。由此，能够任意地控制即将入射到第1反射型SLM30之前的第1偏振光成分L2的偏振光面的角度。因此，例如在第1以及第2反射型SLM30、50为液晶型SLM的情况下，能够任意设定第1反射型SLM30的液晶的取向方向。由此，例如可以使第1反射型SLM30的液晶的取向方向和第2反射型SLM50的液晶的取向方向一致(相互平行)，并且相对于输入到第1以及第2反射型SLM30、50的各个的调制数据，对第1以及第2反射型SLM30、50的控制进行共同化成为可能。
还有，1/2波长板90可以被配置于第1偏振光元件20与第1反射型SLM30之间的光路上，或者也可以被配置于偏振光分束器10A与第2反射型SLM50之间(偏振光分束器10A与第2偏振光元件40之间、或者第2偏振光元件40与第2反射型SLM50之间)的光路上。在1/2波长板90被配置于偏振光分束器10A与第2反射型SLM50之间的光路上的情况下，能够任意地控制即将入射到第2反射型SLM50之前的第2偏振光成分L4的偏振光面的角度，并且能够同样取得上述效果。
(第2实施方式)
图4是表示本发明的第2实施方式所涉及的光学模块1C的结构的示意图。另外，图5是表示具备光学模块1C的观察装置2C的结构的示意图。还有，为了容易理解，在图4以及图5中一并表示XYZ直角坐标系。另外，在图4以及图5中，为了容易理解，将光L8的光轴与光L9的光轴分开，但是，实际上光L8的光轴与光L9的光轴在一部分上重叠。关于光L10以及光L11也相同。
如图4所示，光学模块1C具备第1偏振光分束器10B、第2偏振光分束器10C、第1偏振光元件22、第1反射型SLM32、第2偏振光元件42、第2反射型SLM52、光路长调整元件60、以及1/2波长板70。
第1以及第2偏振光分束器10B、10C具有与第1实施方式的偏振光分束器10A相同的结构。即，第1以及第2偏振光分束器10B、10C具有反射入射光的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面11、光入射面12、光出射面13、第1面14、第2面15。第1偏振光分束器10B在光分支面11接受包含p偏振光成分以及s偏振光成分的被观察光L7。被观察光L7与第1实施方式相同例如是非偏振光(随机偏振光)、圆偏振光、或者椭圆偏振光的光。
第1偏振光元件22与偏振光分束器10B的第2面15相光学性耦合，并且被配置于被观察光L7中在光分支面11上被反射的第1偏振光成分L8的光路上。本实施方式的第1偏振光元件22相对于偏振光分束器10B的光分支面11在X轴方向上被排列配置。第1偏振光元件22具有用于使第1偏振光成分L8的偏振光面旋转的非互易性的光学活性。还有，非互易性的光学活性的定义与第1实施方式相同。第1偏振光元件22在一个例子中优选由法拉第旋转器构成。
第1反射型SLM32调制通过第1偏振光元件22的第1偏振光成分L8并生成第1调制光L9并且向第1偏振光元件22反射第1调制光L9。作为第1反射型SLM32，与第1实施方式的第1反射型SLM30相同，可以应用相位调制型、强度调制(振幅调制)型或者偏振调制型的各种各样的SLM。第1反射型SLM32具有包含被排列成一维或者二维的多个区域(像素)的调制面33。第1反射型SLM32通过在该多个区域的每个区域中调制第1偏振光成分L8的相位、强度等从而生成第1调制光L9。
光路长调整元件60被设置于第1偏振光分束器10B与第1反射型SLM32之间的光路上，调整第1偏振光成分L8以及第1调制光L9的光路长。在一个例子中，以第1偏振光成分L8以及第1调制光L9的光路长与后面所述的第2偏振光成分L10以及第2调制光L11的光路长相等的方式设定光路长调整元件60的长度。还有，在图中光路长调整元件60被配置于第1偏振光分束器10B与第1偏振光元件22之间，但是，光路长调整元件60也可以被配置于第1偏振光元件22与第1反射型SLM32之间。
第1调制光L9在再次通过第1偏振光元件22之后透过第1偏振光分束器10B的光分支面11，并从光出射面13输出。
第2偏振光分束器10C以第1偏振光分束器10B的第1面14和第2偏振光分束器10C的光入射面12被互相光学性耦合的方式相对于第1偏振光分束器10B在Y轴方向上被排列配置。在第1偏振光分束器10B与第2偏振光分束器10C之间的光路上设置具有互易性的光学活性的偏振光元件即1/2波长板70。包含透过第1偏振光分束器10B的p偏振光成分的第2偏振光成分L10其偏振光面由该1/2波长板70而被旋转，作为包含s偏振光成分的第2偏振光成分L10入射到第2偏振光分束器10C的光入射面12。第2偏振光分束器10C在光分支面11接受包含s偏振光成分的第2偏振光成分L10。
第2偏振光元件42与偏振光分束器10C的第1面14相光学性耦合并且被配置于在光分支面11上被反射的第2偏振光成分L10的光路上。本实施方式的第2偏振光元件42相对于偏振光分束器10C的光分支面11在X轴方向上被排列设置。第2偏振光元件42具有用于使第2偏振光成分L10的偏振光面旋转的非互易性的光学活性。还有，非互易性的光学活性的定义与第1实施方式相同。第2偏振光元件42在一个例子中优选由法拉第旋转器构成。
第2反射型SLM52调制通过第2偏振光元件42的第2偏振光成分L10并生成第2调制光L11并且向第2偏振光元件42反射第2调制光L11。作为第2反射型SLM52，与第1实施方式的第2反射型SLM50相同，可以应用相位调制型、强度调制(振幅调制)型或者偏振调制型的各种各样的SLM。第2反射型SLM52具有包含被排列成一维或者二维的多个区域(像素)的调制面53。第2反射型SLM52通过在该多个区域的每个区域中调制第2偏振光成分L10的相位、强度等从而生成第2调制光L11。
在一个例子中，第1反射型SLM32以及第2反射型SLM52为具有平行取向向列型液晶的LCOS型的SLM。反射型SLM32、52并不限于电寻址型的液晶元件，例如也可以是光寻址型的液晶元件或可变镜式的光调制器。还有，在反射型SLM32、52为LCOS型的SLM的情况下，因为仅振动方向与液晶的取向方向相平行的直线偏振光成分被调制，所以如果配合于由偏振光元件22、42进行的旋转后的偏振光面的角度来配置反射型SLM32、52的话即可。
第2调制光L11在再次通过第2偏振光元件42之后，透过第2偏振光分束器10C的光分支面11并从光出射面13输出。
如图5所示，本实施方式的观察装置2C除了上述的光学模块1C之外还具备光源3、照明光学系统5A、聚光光学系统5B、成像光学系统6A以及6B、工作台7、光检测器8A以及8B。还有，光源3、照明光学系统5A、聚光光学系统5B以及工作台7的结构与上述的第1实施方式相同。
成像光学系统6A朝着光检测器8A对从光学模块1C的偏振光分束器10B输出的第1调制光L9进行成像。光检测器8A是将入射的光学图像转换成电气图像数据的装置，经由成像光学系统6A而与偏振光分束器10B的光出射面13相光学性耦合。另外，成像光学系统6B朝着光检测器8B对从光学模块1C的偏振光分束器10C输出的第2调制光L11进行成像。光检测器8B是将入射的光学图像转换成电气图像数据的装置，经由成像光学系统6B而与偏振光分束器10C的光出射面13相光学性耦合。
对具备上述结构的光学模块1C以及观察装置2C的动作进行说明。如果从光源3输出照明光L0的话则照明光L0透过观察对象物4。此时，观察对象物4的光学图像作为被观察光L7被生成。被观察光L7通过聚光光学系统5B而到达偏振光分束器10B。沿着X轴方向入射到偏振光分束器10B的光入射面12的被观察光L7中的第1偏振光成分L8在光分支面11上被反射并从第2面15出射。另外，第2偏振光成分L10透过光分支面11并从第1面14出射。第1偏振光成分L8通过第1偏振光元件22，但是，此时，第1偏振光成分L8的偏振光面由第1偏振光元件22而从p偏振光面向规定的方向旋转例如45°或者135°。之后，第1偏振光成分L8由第1反射型SLM32而被调制并成为第1调制光L9，同时朝着第1偏振光元件22被反射。第1调制光L9再次通过第1偏振光元件22，但是，此时，第1调制光L9的偏振光面由第1偏振光元件22而向上述规定的方向旋转例如45°或者135°。其结果，第1调制光L9主要包含p偏振光成分(或者仅由p偏振光成分构成)。
之后，包含p偏振光成分的第1调制光L9透过偏振光分束器10B的光分支面11并从偏振光分束器10B的光出射面13输出。第1调制光L9被成像光学系统6A成像并被光检测器8A摄像。
另一方面，包含p偏振光成分的第2偏振光成分L10在透过偏振光分束器10B的光分支面11之后通过1/2波长板70而到达偏振光分束器10C的光分支面11。在第2偏振光成分L10通过1/2波长板70的时候，第2偏振光成分L10的偏振光面从p偏振光面向某个旋转方向旋转90°。因此，第2偏振光成分L10主要包含s偏振光成分(或者仅由s偏振光成分构成)，并且在偏振光分束器10C的光分支面11上被反射。
于是，第2偏振光成分L10通过第2偏振光元件42，但是，此时，第2偏振光成分L10的偏振光面由第2偏振光元件42而从s偏振光面向规定的方向旋转例如45°或者135°。之后，第2偏振光成分L10由第2反射型SLM52而被调制并成为第2调制光L11，同时朝着第2偏振光元件42被反射。第2调制光L11再次通过第2偏振光元件42，但是，此时，第2调制光L11的偏振光面由第2偏振光元件42而向上述规定的方向旋转例如45°或者135°。其结果，第2调制光L11主要包含p偏振光成分(或者仅由p偏振光成分构成)。
之后，包含p偏振光成分的第2调制光L11透过偏振光分束器10C的光分支面11并从偏振光分束器10C的光出射面13输出。第2调制光L11被成像光学系统6B成像并被光检测器8B摄像。
根据以上所说明的本实施方式的光学模块1C以及观察装置2C，能够取得与上述的第1实施方式的光学模块1A以及观察装置2A相同的效果。即，在本实施方式中能够在使被观察光L7的p偏振光成分(第1偏振光成分L8)以及s偏振光成分(第2偏振光成分L10)分离之后分别进行调制并且分别个别地输出调制之后的第1以及第2调制光L9、L11。因此，根据本实施方式的光学模块1C以及观察装置2C，能够有效地利用被观察光L7的p偏振光以及s偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率。由此，能够以大于现有的光量来观察被观察光L7，并且即使是被观察光L7的强度为微弱的情况也能够清晰地观察到观察对象物4。
根据本实施方式的光学模块1C以及观察装置2C，能够相对于第1以及第2调制光L9、L11赋予不同的调制图案。由此，例如能够赋予在垂直于光轴的面内上的光强度分布互相不同的2个调制图案。或者，也能够对于每个偏振光成分独立地修正像差。这样，根据本实施方式的光学模块1C以及观察装置2C，能够向使用者提供比现有装置更多样的观察方式。还有，在本实施方式中，第1反射型SLM30以及第2反射型SLM50也可以呈现同一调制图案。
另外，根据光学模块1C，因为能够沿着反射型SLM32、52的各个调制面33、53的法线方向使光入射以及反射，所以光轴的调整是容易的，并且能够提高向SLM入射的入射效率以及来自SLM的出射效率。另外，因为能够使被观察光L7的光轴和第1以及第2调制光L9、L11的各个光轴垂直而不是倾斜，所以能够容易地做到与聚光光学系统5B或成像光学系统6A、6B的连接，另外能够减少像差的发生。再有，因为在一部分的光路上使光往复，所以能够简化光学系统整体的结构并且小型化成为可能。
另外，如本实施方式那样，在第1偏振光分束器10B与第2偏振光分束器10C之间的光路上优选设置具有互易性的光学活性的偏振光元件(例如1/2波长板70)。由此，使包含透过第1偏振光分束器10B的光分支面11的p偏振光成分的第2偏振光成分L10的偏振光面旋转并包含s偏振光成分，并能够在第2偏振光分束器10C的光分支面11上适当地进行反射。另外，由此，可以使第1反射型SLM32的液晶的取向方向和第2反射型SLM52的液晶的取向方向一致(相互平行)，并且相对于输入到第1以及第2反射型SLM32、52的各个的调制数据对第1以及第2反射型SLM32、52的控制进行共同化成为可能。
(第3实施方式)
图6是表示本发明的第3实施方式所涉及的光学模块1D的结构的示意图。另外，图7是表示具备光学模块1D的观察装置2D的结构的示意图。本实施方式的光学模块1D与第2实施方式的光学模块1C不相同的地方在于第2偏振光元件42和第2反射型SLM52的配置、以及不具备1/2波长板70。另外，本实施方式的观察装置2D具备针孔84A、84B。
在本实施方式中，第2偏振光元件42与第2偏振光分束器10C的第1面14相光学性耦合，并被配置于透过第2偏振光分束器10C的光分支面11的第2偏振光成分L10的光路上。本实施方式的第2偏振光元件42相对于偏振光分束器10C的光分支面11在Y轴方向上被排列配置。第2反射型SLM52调制通过第2偏振光元件42的第2偏振光成分L10并生成第2调制光L11，并且向第2偏振光元件42反射第2调制光L11。
在上述结构中，包含透过第2偏振光分束器10C的光分支面11的p偏振光成分的第2偏振光成分L10通过第2偏振光元件42。此时，第2偏振光成分L10的偏振光面由第2偏振光元件42而从p偏振光面向规定的方向旋转例如45°。之后，第2偏振光成分L10由第2反射型SLM52而被调制并成为第2调制光L11，同时朝着第2偏振光元件42被反射。第2调制光L11再次通过第2偏振光元件42，但是，此时，第2调制光L11的偏振光面由第2偏振光元件42而向上述规定的方向旋转例如45°。其结果，第2调制光L11主要包含s偏振光成分(或者仅由s偏振光成分构成)。之后，包含s偏振光成分的第2调制光L11在第2偏振光分束器10C的光分支面11上被反射并从第2偏振光分束器10C的光输出面13输出。
针孔84A被配置于成像光学系统6A与光检测器8A之间的光路上，被成像光学系统6A成像的第1调制光L9通过针孔84A而到达光检测器8A。另外，针孔84B被配置于成像光学系统6B与光检测器8B之间的光路上，被成像光学系统6B成像的第2调制光L11通过针孔84B而到达光检测器8B。通过设置针孔84A、84B从而能够减少包含于由成像光学系统6A、6B而分别被成像的第1以及第2调制光L9、L11中的噪声光，并且能够实现更加清晰的观察。
根据本实施方式的光学模块1D以及观察装置2D，与第2实施方式相同，能够有效地利用被观察光L7的p偏振光成分以及s偏振光成分的双方，并且能够提高光利用效率。另外，因为能够相对于第1以及第2调制光L9、L11赋予不同的调制图案，所以能够将比现有装置更加多样的观察方式提供给使用者。再有，因为能够沿着反射型SLM32、52的各个调制面33、53的法线方向使光入射以及反射，所以能够容易地做到与聚光光学系统5B或成像系统6A、6B的连接并且光学系统整体的小型化成为可能。
(第4实施方式)
图8是表示作为本发明的第4实施方式所涉及的观察装置的共聚焦荧光显微镜2E的结构的示意图。该共聚焦荧光显微镜2E与第1实施方式的观察装2A的不同之处在于向观察对象物4的照明光的照射方式以及具备针孔83。
共聚焦荧光显微镜2E具备光源80、分色镜81、束流扫描器82以及物镜5C来取代第1实施方式的光源3、照明光学系统5A以及聚光光学系统5B。光源80输出包含p偏振光成分以及s偏振光成分的激发光L12(在一个例子中为非偏振光的光)。分色镜81被配置于连结偏振光分束器10A的光入射面12和观察对象物4的光路上，朝向观察对象物4反射来自光源80的激发光L12并且向偏振光分束器10A透过来自观察对象物4的被观察光(荧光)L1。物镜5C被配置于观察对象物4与分色镜81之间的光路上，向观察对象物4对激发光L12进行聚光并且向偏振光分束器10A对从观察对象物4产生的被观察光(荧光)L1进行导光。束流扫描器82能够在垂直于光轴的面内使观察对象物4上的激发光L12的聚光位置移动，并且相对于观察对象物4进行激发光L12的扫描(scan)。束流扫描器82通过二维或者三维地扫描激发光L12从而获得荧光图像。还有，中继透镜也可以被插入到束流扫描器82与物镜5C之间。另外，中继透镜也可以被插入到束流扫描器82与光学模块1A之间。
另外，针孔83被配置于成像光学系统6与光检测器8之间的光路上，被成像光学系统6成像的合成调制光L6通过针孔83而到达光检测器8。通过设置针孔83从而能够减少包含于被成像光学系统6成像的合成调制光L6中的噪声光，并且能够实现更加清晰的观察。
根据本实施方式的共聚焦荧光显微镜2E，与第1实施方式的观察装置2A相同，因为能够有效地利用被观察光(荧光)L1的p偏振光成分以及s偏振光成分的双方并且能够提高光利用效率，所以即使是被观察光(荧光)L1的光强度微弱也能够清晰地进行荧光观察。另外，因为能够相对于第1以及第2调制光L3、L5赋予不同的调制图案，所以能够将比现有共聚焦荧光显微镜更加多样的观察方式提供给使用者。再有，因为能够沿着反射型SLM30、50的各个调制面31、51的法线方向使光入射以及反射，所以能够容易地做到分色镜81或物镜5C、成像光学系统6等的光学系统的连接并且光学系统整体的小型化成为可能。
还有，在本实施方式中，对具备第1实施方式的光学模块1A的共聚焦荧光显微镜进行了说明，但是，共聚焦荧光显微镜也可以具备第1变形例的光学模块1B、第2实施方式的光学模块1C、或者第3实施方式的光学模块1D。通过具备任意一个光学模块从而能够取得上述效果。另外，在图8中，光源80和分色镜81被设置于光学模块1A与束流扫描器82之间，但是，也可以被设置于成像透镜6与光学模块1A之间。
本发明所涉及的光学模块以及光照射装置并不限定于上述的实施方式，可以进行其他各种各样的变形。例如，在第4实施方式中例示了将本发明的光学模块应用于共聚焦荧光显微镜的例子，但是，本发明的光学模块也能够应用于显微观察、眼底观察、不是共焦点的激光扫描显微镜、使用照相机的显微镜、或者透过型的显微镜等。另外，本发明的光学模块也能够应用于不是荧光观察的显微镜、例如背面散射光观察显微镜或各种的拉曼散射观察显微镜。
另外，在上述各个实施方式中使用截面矩形状的偏振光分束器，但是，偏振光分束器的形状并不限定于此，例如也可以是板状。另外，在上述各个实施方式中相对于反射型SLM使光垂直地入射以及出射，但是，相对于反射型SLM的入反射角也可以大于0°。
另外，一般在包含SLM的光学系统中会发生像差，但是在上述各个实施方式中也可以使用于修正像差的图案显示于第1以及第2反射型SLM。通过将这样的图案加到所希望的相位图案从而像差的修正成为可能。在此情况下，独立地求得在第1调制光中所产生的像差和在第2调制光中所产生的像差，如果在第1以及第2反射型SLM的各个中个别地除去这些像差的话即可。
另外，在上述第1～第3实施方式中，观察对象物被透过照明并且其透过光被作为被观察光，但是，来自被暗视场照明的观察对象物的反射光或散射光也可以被作为被观察光。另外，通过照明观察对象物而产生的荧光拉曼散射光、参量振荡光或者高频光也可以被作为被观察光。
产业上的可利用性
本发明能够应用于能够提高光利用效率的光学模块以及观察装置的用途。
符号的说明
1A～1D…光学模块、2A、2C、2D…观察装置、2E…共聚焦荧光显微镜、3…光源、4…观察对象物、5A…照明光学系统、5B…聚光光学系统、5C…物镜、6、6A、6B…成像光学系统、7…工作台、8、8A、8B…光检测器、10A…偏振光分束器、10B…第1偏振光分束器、10C…第2偏振光分束器、11…光分支面、12…光入射面、13…光出射面、14…第1面、15…第2面、20、22…第1偏振光元件、30、32…第1反射型SLM、31、33…调制面、40、42…第2偏振光元件、50、52…第2反射型SLM、51、53…调制面、60…光路长调整元件、70…1/2波长板、80…光源、81…分色镜、82…束流扫描器、83、84A、84B…针孔、90…1/2波长板、L0…照明光、L1、L7…被观察光、L2、L8…第1偏振光成分、L3、L9…第1调制光、L4、L10…第2偏振光成分、L5、L11…第2调制光、L6…合成调制光、L11…第2调制光、L12…激发光。

Claims (10)

1.一种光学模块，其特征在于：
具备：
偏振光分束器，具有反射包含于入射光的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面；
第1偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于所述入射光中的透过所述光分支面的第1偏振光成分的光路上；
第1反射型空间光调制器，调制通过所述第1偏振光元件的所述第1偏振光成分并生成第1调制光并且向所述第1偏振光元件反射所述第1调制光；
第2偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于所述入射光中的在所述光分支面上被反射的第2偏振光成分的光路上；以及
第2反射型空间光调制器，调制通过所述第2偏振光元件的所述第2偏振光成分并生成第2调制光并且向所述第2偏振光元件反射所述第2调制光，
在再次通过所述第1偏振光元件之后在所述光分支面上被反射的所述第1调制光和在再次通过所述第2偏振光元件之后透过所述光分支面的所述第2调制光被互相合波并从所述偏振光分束器被输出。
2.如权利要求1所述的光学模块，其特征在于：
所述第1以及第2反射型空间光调制器为液晶型，
所述第1反射型空间光调制器的液晶的取向方向与所述第2反射型空间光调制器的液晶的取向方向互相垂直。
3.如权利要求1或者2所述的光学模块，其特征在于：
还具备具有互易性的光学活性并且配置于所述偏振光分束器与所述第1反射型空间光调制器之间的光路上或者所述偏振光分束器与所述第2反射型空间光调制器之间的光路上的偏振光元件。
4.一种观察装置，其特征在于：
具备：
权利要求1～3中的任意一项所述的光学模块；
对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为所述入射光向所述光学模块入射的聚光光学系统；
对从所述光学模块输出的光进行成像的成像光学系统；以及
检测由所述成像光学系统成像的光的光检测器。
5.如权利要求4所述的观察装置，其特征在于：
在所述成像光学系统与所述光检测器之间的光路上配置有针孔。
6.一种光学模块，其特征在于：
具备：
第1偏振光分束器，具有反射包含于入射光的s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面；
第1偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于所述入射光中的在所述第1偏振光分束器的所述光分支面上被反射的第1偏振光成分的光路上；
第1反射型空间光调制器，调制通过所述第1偏振光元件的所述第1偏振光成分并生成第1调制光并且向所述第1偏振光元件反射所述第1调制光；
第2偏振光分束器，具有反射s偏振光成分并透过p偏振光成分的光分支面并且在所述光分支面接受所述入射光中的透过所述第1偏振光分束器的所述光分支面的第2偏振光成分；
第2偏振光元件，具有使偏振光面旋转的非互易性的光学活性并且被配置于在所述第2偏振光分束器的所述光分支面上经透过以及反射中的一方的所述第2偏振光成分的光路上；以及
第2反射型空间光调制器，调制通过所述第2偏振光元件的所述第2偏振光成分并生成第2调制光并且向所述第2偏振光元件反射所述第2调制光，
所述第1调制光在再次通过所述第1偏振光元件之后透过所述第1偏振光分束器的所述光分支面并被输出，所述第2调制光在再次通过所述第2偏振光元件之后在所述第2偏振光分束器的所述光分支面上经透过以及反射中的另一方并被输出。
7.如权利要求6所述的光学模块，其特征在于：
还具备设置于所述第1偏振光分束器与所述第1反射型空间光调制器之间的光路上的光路长调整元件。
8.如权利要求6或者7所述的光学模块，其特征在于：
还具备具有互易性的光学活性并且设置于所述第1偏振光分束器与所述第2偏振光分束器之间的光路上的偏振光元件。
9.一种观察装置，其特征在于：
具备：
权利要求6～8中的任意一项所述的光学模块；
对来自观察对象物的被观察光进行聚光并且作为所述入射光向所述光学模块入射的聚光光学系统；
对从所述光学模块输出的光进行成像的成像光学系统；以及
检测由所述成像光学系统成像的光的光检测器。
10.如权利要求9所述的观察装置，其特征在于：
在所述成像光学系统与所述光检测器之间的光路上配置有针孔。
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