JP2014200025A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6435606B2 (ja) * 2013-03-29 2018-12-12 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
US10840882B2 (en) * 2018-04-24 2020-11-17 Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. Crystal unit and manufacturing method thereof
WO2025094647A1 (ja) * 2023-10-31 2025-05-08 京セラ株式会社 圧電デバイス

Family Cites Families (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0435108A (ja) * 1990-05-25 1992-02-05 Toyo Commun Equip Co Ltd 超薄板多重モード水晶フィルタ素子
JP2001144578A (ja) 1999-11-15 2001-05-25 Tokyo Denpa Co Ltd 圧電振動子
JP2002033640A (ja) 2000-07-17 2002-01-31 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電デバイス
JP4524916B2 (ja) * 2000-12-27 2010-08-18 エプソントヨコム株式会社 高周波圧電デバイス
JP3952811B2 (ja) 2002-03-11 2007-08-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電デバイス
US7098574B2 (en) 2002-11-08 2006-08-29 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. Piezoelectric resonator and method for manufacturing the same
JP2004165743A (ja) 2002-11-08 2004-06-10 Toyo Commun Equip Co Ltd 圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、圧電基板ウェハ、圧電基板ウェハの構造、及び製造方法
JP2006203700A (ja) 2005-01-21 2006-08-03 Epson Toyocom Corp 圧電基板の製造方法、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器
JP4305542B2 (ja) * 2006-08-09 2009-07-29 エプソントヨコム株式会社 Ａｔカット水晶振動片及びその製造方法
JP4600692B2 (ja) 2007-12-28 2010-12-15 エプソントヨコム株式会社 水晶振動片、水晶デバイス、および水晶振動片の製造方法
JP5304163B2 (ja) * 2008-03-13 2013-10-02 セイコーエプソン株式会社 振動片および振動デバイス
US8963402B2 (en) * 2010-11-30 2015-02-24 Seiko Epson Corporation Piezoelectric vibrator element, piezoelectric module, and electronic device
TW201251157A (en) * 2011-06-03 2012-12-16 Seiko Epson Corp Piezoelectric vibration element, manufacturing method for piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, electronic device, and electronic apparatus
JP5796355B2 (ja) * 2011-06-03 2015-10-21 セイコーエプソン株式会社 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器
JP5824958B2 (ja) 2011-08-18 2015-12-02 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器
JP5824967B2 (ja) 2011-08-24 2015-12-02 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、電子デバイス、及び電子機器
CN102957394B (zh) * 2011-08-18 2016-12-21 精工爱普生株式会社 振动元件、振子、电子装置、电子设备、移动体及振动元件的制造方法
JP2013042440A (ja) 2011-08-19 2013-02-28 Seiko Epson Corp 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器
US8970316B2 (en) 2011-08-19 2015-03-03 Seiko Epson Corporation Resonating element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and mobile object
JP6051885B2 (ja) 2013-01-18 2016-12-27 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6390104B2 (ja) * 2013-03-05 2018-09-19 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6435606B2 (ja) * 2013-03-29 2018-12-12 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体

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