JP2014199938A - メンテナンス方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光源装置は、ランプの少なくとも一部が配置される開口部と、開口部の周囲に設けられ、ランプから発した光を反射する凹面状の反射面とを有する反射鏡と、少なくとも開口部近傍の反射面に気体を導く反射面給気部とを備えている。
【選択図】図2
Description
照明装置ILは、照明領域に配置されたマスクMの一部分を、均一な照度分布の露光光ELで照明する。
図2及び図3に示すように、第1遮光部材31Aは、内部空間30において、第3給気部43と対向するように、且つ、第3給気部43を塞がないように、保持本体部28と楕円鏡2との間に配置される。本実施形態において、第3給気部43に面する第1遮光部材31Aの第1面311の上端は、第3給気部43の上端近傍の保持本体部28の内面に接続され、第1面311の下端は、第3給気部43(保持本体部28の内面)から離れた位置に配置される。
本実施形態において、第1面311と間隙を介して対向する第2遮光部材31Bの第2面312の上端は、第3給気部43の下端近傍の保持本体部28の内面に接続され、第2面312の下端は、プレート部29の上面に接続される。
これにより、第2口金部1Bが保持機構21に固定されていない状態で、支持部材24をハウジング部材22に収容してしまった場合でも、支持部材24(保持機構21)の移動に伴って、第2口金部1Bが保持機構21に固定されるように、回転レバー55を作動することができる。したがって、第2口金部1Bが保持機構21に固定されていない状態で、ランプ1に電力を供給してしまうといった不具合の発生を抑制できる。
ケーブル26が加熱してしまうと、第1口金部1Aに供給される気体の温度が上昇してしまい、第1口金部1Aを冷却することが困難となる可能性がある。本実施形態においては、第2給気部42が導く気体によってケーブル26が冷却されるので、第1口金部1Aに供給される気体の温度上昇も未然に防ぐことができる。
各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
…射出口、2R…反射面、2S…裏面、14…マスクステージ、15…基板ステージ、2
0…光源装置、21…保持機構、22…ハウジング部材、22H…内部空間、22K…開
口、23…保持部材、25…引き出し部材、26…ケーブル、27…フランジ部、28…
保持本体部、29…プレート部、30…内部空間、32T…上面、31…遮光部材、31
A…第1遮光部材、31B…第2遮光部材、38…気体流入口、39…気体流出口、40
…内部流路、41…第1給気部、42…第2給気部、43…第3給気部、44…排気口、
46…挿入口、55…回転レバー、56…ワイヤ部材、57…ガイド機構、58…ストッ
パ機構、EL…露光光、IL…照明装置、M…マスク、P…基板、PL…投影光学系
Claims (20)
- ランプから発した光を射出する光源装置であって、
前記ランプの少なくとも一部が配置される開口部と、前記開口部の周囲に設けられ、前記光を反射する凹面状の反射面とを有する反射鏡と、
少なくとも前記開口部近傍の前記反射面に気体を導く反射面給気部と、を備える光源装置。 - 前記ランプの口金部に接続されるケーブルと、
前記光が照射される前記ケーブルの少なくとも一部に気体を導くケーブル給気部とを備える請求項1記載の光源装置。 - ランプから発した光を射出する光源装置であって、
前記ランプの口金部に接続されるケーブルと、
前記光が照射される前記ケーブルの少なくとも一部に気体を導くケーブル給気部と、を備える光源装置。 - 前記反射面に対して反対側の前記反射鏡の裏面に気体を導く裏面給気部と、
前記裏面の周囲の少なくとも一部に配置され、前記裏面給気部から導かれた気体を前記裏面に沿ってガイドするガイド部材とを備える請求項1〜3のいずれか一項記載の光源装置。 - 前記反射面で反射された光が射出される前記反射鏡の射出口の縁部に接続されるフランジ部、前記ガイド部材の周囲に配置されて一端が前記フランジ部と接続される保持本体部、及び前記保持本体部の他端に接続されるプレート部を一体に含み、前記反射鏡を保持する保持部材を備え、
前記裏面給気部は、前記保持本体部に配置されている請求項4記載の光源装置。 - 前記ガイド部材は、前記フランジ部と前記保持本体部と前記プレート部とで形成される前記保持部材の内部空間において前記裏面給気部と対向するように配置された第1遮光部材と、前記内部空間において前記裏面と対向するように前記保持本体部及び前記プレート部に支持された第2遮光部材とを含む請求項5記載の光源装置。
- 前記プレート部に配置され、前記裏面給気部から導かれた気体の少なくとも一部を排出する排気部を有する請求項5又は6記載の光源装置。
- ランプから発した光を射出する光源装置であって、
前記ランプの少なくとも一部が配置される開口部と、前記開口部の周囲に設けられ、前記光を反射する凹面状の反射面とを有する反射鏡と、
前記反射面で反射された光が射出される前記反射鏡の射出口の縁部に接続されるフランジ部、前記反射鏡の周囲に配置されて一端が前記フランジ部と接続される保持本体部、及び前記保持本体部の他端に接続されるプレート部を一体に含み、前記反射鏡を保持する保持部材と、
前記フランジ部と前記保持本体部と前記プレート部とで形成される前記保持部材の内部空間において、前記反射面に対して反対側の前記反射鏡の裏面の周囲の少なくとも一部に配置された遮光部材と、を備える光源装置。 - 前記保持部材の周囲の少なくとも一部に配置され、前記保持部材を支持する支持部材を備え、
前記保持部材は、前記裏面に気体を導く裏面給気部を有し、
前記支持部材は、前記フランジ部を支持する支持面の少なくとも一部に配置された気体流入部と、前記裏面給気部の近傍に配置された気体流出部と、前記気体流入部と前記気体流出部とを結ぶ内部流路とを有し、
前記裏面給気部は、前記気体流出部からの気体の少なくとも一部を前記裏面に導く請求項8記載の光源装置。 - 出入口を有し、前記支持部材を収容可能なハウジング部材と、
前記ハウジング部材に設けられ、前記ハウジング部材に対して前記支持部材を該支持部材が前記出入口を通過する方向にガイドするガイド機構とを有する請求項9記載の光源装置。 - 前記ハウジング部材に収容された前記支持部材の位置を固定するストッパ機構を有する請求項10記載の光源装置。
- 前記支持部材に支持され、前記ランプの口金部が挿入される挿入口を有し、前記口金部を着脱可能に保持する保持機構と、
前記保持機構に設けられ、前記保持機構が前記ランプを固定する第1状態及び前記ランプの固定を解除する第2状態の一方から他方へ変化するように移動可能な操作レバーと、
前記口金部が前記挿入口に挿入された状態で、前記保持機構とともに移動される前記操作レバーの可動範囲を規制する規制機構とを備える請求項10又は11記載の光源装置。 - ランプから発した光を射出する光源装置であって、
前記ランプの口金部が挿入される挿入口を有し、前記口金部を着脱可能に保持する保持機構と、
出入口を有し、前記ランプを保持した前記保持機構を収容可能なハウジング部材と、
前記保持機構に設けられ、前記保持機構が前記ランプを固定する第1状態及び前記ランプの固定を解除する第2状態の一方から他方へ変化するように移動可能な操作レバーと、
前記口金部が前記挿入口に挿入された状態で、前記保持機構とともに移動される前記操作レバーの可動範囲を規制する規制機構と、を備える光源装置。 - 前記規制機構は、前記口金部が前記挿入口に挿入された状態で、前記操作レバーが前記出入口に対して所定距離以上進入するとき、前記口金部が前記保持機構に固定されるように、前記操作レバーを作動させる請求項12又は13記載の光源装置。
- 前記規制機構は、一端が前記ハウジング部材に接続され、他端が前記操作レバーに接続されたワイヤ部材を含む請求項12〜14のいずれか一項記載の光源装置。
- 前記ランプの下方に移動可能であり、前記ランプと前記ランプの周囲の少なくとも一部に配置される反射面とを有する反射鏡の少なくとも一方から発生する異物を回収可能な引き出し部材を備える請求項1〜15のいずれか一項記載の光源装置。
- ランプから発した光を射出する光源装置であって、
前記ランプの周囲の少なくとも一部に配置される反射面を有する反射鏡と、
出入口を有し、前記ランプ及び前記反射鏡を収容するハウジング部材と、
前記出入口を介して前記ランプ及び前記反射鏡の下方に移動可能であり、前記ハウジング部材の内部空間の異物を回収可能な引き出し部材と、を備える光源装置。 - パターンが形成されたパターン保持部材を支持する第1支持機構と、
感光基板を支持する第2支持機構と、
請求項1〜17のいずれか一項記載の光源装置から射出された光を前記パターン保持部材に照射して、前記パターンを介して前記感光基板を露光する照明装置と、を備える露光装置。 - 前記第1支持機構が支持する前記パターン保持部材のパターンの像を、前記第2支持機構が支持する前記感光基板に投影する投影光学系を備え、
前記照明装置は、前記投影光学系を介して前記感光基板を露光する請求項18記載の露光装置。 - 請求項18又は19記載の露光装置を用いて、前記パターンを前記感光基板に転写することと、
前記パターンが転写された前記感光基板を現像し、前記パターンに対応する形状の転写パターン層を前記感光基板に形成することと、
前記転写パターン層を介して前記感光基板を加工することと、を含むデバイス製造方法。
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