JP2014198365A - プレーナ型アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
Description
2 パッケージ基板
3 半導体基板
4 第2トーションバー
5 第2可動部
6 第1トーションバー
7 第1可動部
8 第1駆動コイル
9 第2駆動コイル
10 サポート部材
Claims (7)
- パッケージ基板に設置された枠状の半導体基板と、
前記半導体基板の内側に支持梁を介して可動自在に支持され駆動手段により駆動される可動部と、
前記半導体基板、前記可動部または前記パッケージ基板の少なくとも1つに熱歪みを抑制するサポート部を設けたことを特徴とするプレーナ型アクチュエータ。 - 前記サポート部は、前記半導体基板、前記可動部または前記パッケージ基板と別体のサポート部材として構成され、前記サポート部材は、前記半導体基板、前記可動部または前記パッケージ基板の少なくとも1つに貼着して設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記サポート部材は、前記可動部または前記半導体基板とほぼ同じ物性を有する材料により形成されていることを特徴とする請求項2に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記サポート部は、前記半導体基板、前記可動部または前記パッケージ基板と一体に設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記サポート部は、前記半導体基板、前記可動部または前記パッケージ基板のうち、前記可動部による光反射面側に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記サポート部は、前記半導体基板、前記可動部または前記パッケージ基板のうち、前記可動部による光反射面と反対側であって前記可動部を駆動するための配線を避けた箇所に設けられていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のプレーナ型アクチュエータ。
- 前記半導体基板と前記可動部の間に、前記可動部を前記支持梁を介して回動自在に支持するとともに、前記半導体基板に第2支持梁を介して回動自在に支持された第2可動部を設け、
前記サポート部は、前記半導体基板、前記可動部、前記第2可動部または前記パッケージ基板の少なくとも1つに設けられていることを特徴とする請求項1に記載のプレーナ型アクチュエータ。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018092458A1 (ja) * | 2016-11-15 | 2018-05-24 | 株式会社デンソー | Memsデバイス |
US11422361B2 (en) | 2019-03-27 | 2022-08-23 | Seiko Epson Corporation | Optical scanner, three-dimensional measuring apparatus, and robot system |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09269459A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Omron Corp | センサ装置 |
JP2007248731A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Hitachi Metals Ltd | マイクロミラー並びにそれを用いた光部品および光スイッチ |
JP2007263766A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Works Ltd | センサ装置 |
JP2008039861A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス |
JP2010085735A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体、それを用いた光走査ミラー及び可動構造体の製造方法 |
-
2013
- 2013-03-29 JP JP2013074868A patent/JP6148057B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09269459A (ja) * | 1996-03-29 | 1997-10-14 | Omron Corp | センサ装置 |
JP2007248731A (ja) * | 2006-03-15 | 2007-09-27 | Hitachi Metals Ltd | マイクロミラー並びにそれを用いた光部品および光スイッチ |
JP2007263766A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Matsushita Electric Works Ltd | センサ装置 |
JP2008039861A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-21 | Seiko Epson Corp | 光学デバイス |
JP2010085735A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Panasonic Electric Works Co Ltd | 可動構造体、それを用いた光走査ミラー及び可動構造体の製造方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018092458A1 (ja) * | 2016-11-15 | 2018-05-24 | 株式会社デンソー | Memsデバイス |
US11422361B2 (en) | 2019-03-27 | 2022-08-23 | Seiko Epson Corporation | Optical scanner, three-dimensional measuring apparatus, and robot system |
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JP6148057B2 (ja) | 2017-06-14 |
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