JP2014194550A - 耐久性を向上させたエキシマレーザ用素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 高エネルギーのイオンプラズマによる衝撃を与えながら被着させることによってコーティングの耐久性の向上を図った。
【選択図】図1
Description
22 るつぼ
24 蒸着物質
26 誘電材料
30” 基板ブレーズ面
50 接着層
60 アルミニウム層
70 誘電体バリア層
Claims (5)
- 基板と、
前記基板の表面に被着されたアルミニウム膜と、
前記アルミニウム膜の表面に積層させた、1つまたは複数の稠密な保護用誘電材料層であって、前記1つまたは複数の層の各々が、20〜150nmの範囲の厚さを有するものと
を備える、エキシマレーザ用の素子であって、
前記1つの誘電材料層を積層するとき、または前記複数の誘電材料層の第1の層を積層する場合に、前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層は、第1の部分および第2の部分からなり、前記第1の部分は、前記アルミニウム膜の前記表面に直接被着され、4〜8nmの範囲の厚さを有し、前記第2の部分は、前記第1の部分の上に被着され、12〜146nmの範囲の厚さを有し、
前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層の前記第1の部分は、高エネルギーの不活性ガスイオンにより稠密化された部分であり、前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層の前記第2の部分は、高エネルギーの不活性ガスイオンと酸素イオンにより稠密化された部分であることを特徴とする素子。 - 前記誘電材料層の誘電材料が、SiO2およびF−SiO2から成る群より選択されることを特徴とする請求項1に記載の素子。
- 前記素子が、反射性かまたは特定の波長帯の光を反射する格子またはミラーから成る群より選択されることを特徴とする請求項1に記載の素子。
- 前記基板がガラスであり、前記素子が接着材料を前記ガラスと前記アルミニウム膜との間にさらに備え、前記接着材料が、ガラスとアルミニウムとを接着するための、ニッケル、クロム、ニッケルクロム合金から成る群より選択されることを特徴とする請求項1に記載の素子。
- リソグラフィレーザシステム用の素子であって、前記素子が、反射性かまたは特定の波長帯の光を反射する格子またはミラーであり、前記素子が、
ガラス、ガラスセラミックまたはセラミックの基板と、
前記基板の表面に被着されたアルミニウム膜と、
前記基板と前記アルミニウム膜との間の接着層であって、前記基板とアルミニウムとを接着するための、ニッケル、クロム、ニッケルクロム合金から成る群より選択される接着材料を含む接着層と、
前記アルミニウム膜の表面に積層させた、1つまたは複数の稠密な保護用誘電材料層であって、前記1つまたは複数の層の各々が、20〜150nmの範囲の厚さを有するものと
を備え、
前記1つの誘電材料層を積層するとき、または前記複数の誘電材料層の第1の層を積層する場合に、前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層は、第1の部分および第2の部分からなり、前記第1の部分は、前記アルミニウム膜の前記表面に直接被着され、4〜8nmの範囲の厚さを有し、前記第2の部分は、前記第1の部分の上に被着され、12〜146nmの範囲の厚さを有し、
前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層の前記第1の部分は、高エネルギーの不活性ガスイオンにより稠密化された部分であり、前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層の前記第2の部分は、高エネルギーの不活性ガスイオンと酸素イオンにより稠密化された部分であること、
前記1つの誘電材料層または前記複数の誘電材料層の前記第1の層の誘電材料が、SiO2およびF−SiO2から成る群より選択される
ことを特徴とする素子。
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