JP2014194389A - 赤外線センサー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】赤外線を検出する検出部12と、検出部12を往復動させる可動部20とを備える赤外線センサー2。また、赤外線センサー2においては、上記の構成要素の他に固定部40、遮蔽部80、検出部用処理部及び可動部用駆動部(集積回路52)、基板部62並びにキャップ部90を備える。
【選択図】図3
Description
図10は、従来の赤外線センサー900を説明するために示す図である。図10は、赤外線センサー900の検出部910を含むように切断した断面を側面側から見た図である。
従来の赤外線センサー900は、図10に示すように、赤外線を検出する検出部910と、入射する赤外線を断続的に遮断する光チョッパー機構920と、検出部910が出力する信号を処理する検出部用処理部(検出回路)930と、光チョッパー機構920を駆動する光チョッパー機構用駆動部(駆動回路)940と、検出部910が配置されている基板部950と、キャップ部960とを備える。
このため、従来の赤外線センサーにおいては、「検出部が存在する層」の他に「チョッパー機構が存在する層」を備えるため、装置の体積や高さの増加、配線の複雑化等を招き、その結果、装置全体としての小型化、低背化及び低コスト化が困難となるという問題がある。
図1は、実施形態1に係る赤外線センサー1を説明するために示す図である。図1(a)は検出部10の正面側(赤外線源を検出可能な側)から見た正面図であり、図1(b)は図1(a)におけるA1−A1断面図である。
検出部10は、可動部20に載置されている。
図1に示すaxは、検出部10における赤外線を検出可能な角度範囲の中心軸であり、以下この中心軸を検出軸と表記する。
また、後述する導電性の物質からなる構成要素(可動部20や弾性部30等)の上に配線を行う場合の方法として、導電性の物質の表面に絶縁体(例えば、導電性の物質がシリコンを主成分とする物質であれば、酸化物皮膜)を形成した後に配線を行う方法を例示することができる。
可動部20は、可動部20そのものが往復動することにより検出部を往復動させる。可動部20は、例えば、全体が導電性の物質からなる。また、可動部20は、櫛歯状の構造からなる可動部側櫛歯部を有する。
なお、可動部側櫛歯部のみが導電性の物質からなる可動部を用いてもよい。
なお、可動部20、弾性部30,32,34,36、固定部40及び周辺部70が、全てシリコンを主成分とする物質からなる場合には、基板部60上にシリコンウェハーを設置してドライエッチング法で形状を作り出すことで、可動部20、弾性部30,32,34,36、固定部40及び周辺部70を一度に形成・製造することができる。
弾性部30,32,34,36には各種配線、例えば、検出部10を駆動するための配線や、検出部10からのアナログ信号を送出するための配線を設けることもできる。
固定部40は、例えば、全体が導電性の物質からなる。また、固定部40は、櫛歯状の構造からなる固定部側櫛歯部42を有する。
なお、固定部側櫛歯部のみが導電性の物質からなる固定部を用いてもよい。
つまり、赤外線センサー1においては、可動部20及び固定部40で櫛歯型静電アクチュエーターを構成している。
集積回路50は、周辺部70及び固定部40のそれぞれに配線で接続されている(図示せず。)。この場合、いずれの配線も可動部20を駆動するための配線である(詳細は後述。)。
その前に、固定部40、集積回路50及び周辺部70の接続について説明する。
上記のような接続により、集積回路50は、可動部側櫛歯部22と固定部側櫛歯部42との間に電位差を与えることができる。
集積回路50(可動部用駆動部)により可動部側櫛歯部22及び固定部側櫛歯部42に電位差が与えられると、可動部側櫛歯部22及び固定部側櫛歯部42との間に静電力が発生し、可動部20と固定部40とが互いに引き寄せ合う。このとき、固定部40は基板部60に固定されているため、結果として可動部20のみが移動する(図2(a)参照。)。
可動部20は上記のような移動を繰り返し、その結果、可動部20は一定範囲を往復動することになる。
図3は、実施形態2に係る赤外線センサー2を説明するために示す図である。図3(a)は検出部12の正面側から見た正面図であり、図3(b)は検出部12が一の位置にある場合の断面図であり、図3(c)は検出部12が他の位置にある場合の断面図である。なお、図3においては、内部構造を判りやすくするためにキャップ部90を図示していない。また、図3(b)及び図3(c)は、図3(a)におけるA2−A2断面図である。図3(b)及び図3(c)におけるIRの表示がある矢印は、正面側から検出部12に入射する赤外線を表している。
集積回路52(可動部用駆動部及び検出部用処理部)は、基板部64に載置されている。
キャップ部90の端部は基板部64側に向かって伸びており、キャップ部90と基板部64とは直に接合されている。
図5は、実施形態3に係る赤外線センサー3を説明するために示す図である。図5(a)は検出部12の正面側から見た正面図であり、図5(b)は図5(a)におけるA3−A3断面図である。
Claims (8)
- 赤外線を検出する検出部と、
前記検出部を移動させる可動部とを備えることを特徴とする赤外線センサー。 - 請求項1に記載の赤外線センサーにおいて、
前記検出部において、赤外線を検出可能な角度範囲の中心軸を検出軸とするとき、
前記可動部は、前記検出部を、検出軸に対して垂直な方向に沿って往復動させることを特徴とする赤外線センサー。 - 請求項2に記載の赤外線センサーにおいて、
前記検出部は、前記可動部に載置され、
前記可動部は、前記可動部そのものが往復動することにより前記検出部を往復動させることを特徴とする赤外線センサー。 - 赤外線を検出する検出部と、
前記検出部において、赤外線を検出可能な角度範囲の中心軸を検出軸とするとき、前記検出部を前記検出軸に対して垂直な方向に沿って往復動させる可動部と、
前記検出部が出力する信号を処理する検出部用処理部と、
前記検出部で検出すべき波長の赤外線を通過させ、かつ、可視光及び前記検出部で検出すべき波長以外の赤外線の少なくとも一部を通過させないキャップ部とを備え、
前記検出部は、前記可動部に載置され、
前記可動部は、前記可動部そのものが往復動することにより前記検出部を往復動させることを特徴とする赤外線センサー。 - 請求項3又は4に記載の赤外線センサーにおいて、
前記赤外線センサーは、前記可動部の近隣に配置され定位置に固定された固定部と、前記可動部を駆動する可動部用駆動部とをさらに備え、
前記可動部は、導電性の物質で構成され櫛歯状の構造からなる可動部側櫛歯部を有し、
前記固定部は、導電性の物質で構成され櫛歯状の構造からなる固定部側櫛歯部を有し、
前記可動部及び前記固定部は、前記可動部側櫛歯部及び前記固定部側櫛歯部を互い違いに、かつ、非接触で組み合わせた状態で配置され、
前記可動部用駆動部は、前記可動部側櫛歯部と前記固定部側櫛歯部との間に電位差を与えたときに発生する静電力により、前記可動部を駆動する機能を有することを特徴とする赤外線センサー。 - 請求項1〜5のいずれかに記載の赤外線センサーにおいて、
前記可動部により移動させられる前記検出部が取り得る位置のうち、ある位置を一の位置とし、前記一の位置とは異なるある位置を他の位置とするとき、
赤外線を遮蔽することにより、赤外線源から前記検出部に入射する赤外線の量を、前記検出部が前記一の位置にある場合と前記他の位置にある場合とで異なる量とする遮蔽部をさらに備えることを特徴とする赤外線センサー。 - 請求項4〜6のいずれかに記載の赤外線センサーにおいて、
前記赤外線センサーは、前記検出部に赤外線が入射する側とは反対の側に配置されている基板部をさらに備え、
前記検出部用処理部は、前記基板部に載置されていることを特徴とする赤外線センサー。 - 請求項4〜6のいずれかに記載の赤外線センサーにおいて、
前記検出部用処理部は、前記検出部と同様に前記可動部に載置されていることを特徴とする赤外線センサー。
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