JP6682976B2 - 光デバイス - Google Patents
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Description
図1〜図5を用いて、第1実施形態の光デバイスを説明する。第1実施形態では、光デバイスとして、MEMS技術を利用した光スキャナを例に挙げて説明する。図1〜図3は第1実施形態の光デバイスである光スキャナ1を示している。なお、説明をわかりやすくするために、図1は、図2及び図3に示す蓋部がない状態を示している。
図6を用いて、第2実施形態の光デバイスを説明する。第2実施形態では、光デバイスとして、MEMS技術を利用した光スキャナを例に挙げて説明する。図6は図2に対応する。
10,110 パッケージ
11,111 凹部
11a,111a 底面
13,113 ダイパッド
20 光偏向素子(光学素子)
29 ミラー
30 遮光板
31 開口部
40 蓋部
Claims (5)
- 凹部及び前記凹部の底面に形成された導電性のダイパッドを有するパッケージと、
前記凹部に収容されて前記ダイパッドに固定され、偏向駆動するミラーを有する光学素子と、
前記光学素子の上方に配置され、前記ミラーに対応する位置に前記ミラーの外形よりも大きな開口部を有する導電性の遮光板と、
を備え、
前記パッケージは、前記ダイパッド及び前記遮光板と接続するグランド端子を有する
光デバイス。 - 前記ミラーは導電性を有する活性層で形成され、
前記活性層と前記ダイパッドとは導電性部材を介して接続されている
請求項1に記載の光デバイス。 - 前記ダイパッド上の前記ミラー及びその周囲に対応する領域に固定された反射防止部材をさらに備える請求項1または2に記載の光デバイス。
- 前記パッケージは、前記凹部の底面の前記ミラー及びその周囲に対応する領域に形成されたざぐり部をさらに有し、
前記ダイパッドは、前記ざぐり部が形成されている領域に開口部を有する
請求項1または2に記載の光デバイス。 - 前記パッケージに固定された蓋部をさらに備え、前記パッケージと前記蓋部とは密閉された内部空間を形成し、
前記内部空間は、窒素雰囲気または真空状態に維持されている
請求項1〜4のいずれか一項に記載の光デバイス。
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