JP6947240B2 - 光デバイス - Google Patents
光デバイス Download PDFInfo
- Publication number
- JP6947240B2 JP6947240B2 JP2020055722A JP2020055722A JP6947240B2 JP 6947240 B2 JP6947240 B2 JP 6947240B2 JP 2020055722 A JP2020055722 A JP 2020055722A JP 2020055722 A JP2020055722 A JP 2020055722A JP 6947240 B2 JP6947240 B2 JP 6947240B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mirror
- die pad
- light
- optical device
- package
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
図1〜図5を用いて、第1実施形態の光デバイスを説明する。第1実施形態では、光デバイスとして、MEMS技術を利用した光スキャナを例に挙げて説明する。図1〜図3は第1実施形態の光デバイスである光スキャナ1を示している。なお、説明をわかりやすくするために、図1は、図2及び図3に示す蓋部がない状態を示している。
図6を用いて、第2実施形態の光デバイスを説明する。第2実施形態では、光デバイスとして、MEMS技術を利用した光スキャナを例に挙げて説明する。図6は図2に対応する。
10,110 パッケージ
11,111 凹部
11a,111a 底面
13,113 ダイパッド
20 光偏向素子(光学素子)
29 ミラー
30 遮光板
31 開口部
40 蓋部
Claims (4)
- 凹部及び前記凹部の底面に形成された導電性のダイパッドを有するパッケージと、
前記凹部に収容されて前記ダイパッドに固定され、偏向駆動するミラーを有する光学素子と、
前記光学素子の上方に配置され、前記ミラーに対応する位置に前記ミラーの外形よりも大きな開口部を有する導電性の遮光板と
を備え、
前記ミラーは導電性を有する活性層で形成され、
前記光学素子は、少なくとも支持体層と前記活性層が積層される積層構造を有し、前記活性層の側面から導電性部材を介して前記ダイパッドに接続されている
ことを特徴とする光デバイス。 - 前記ダイパッド上の前記ミラー及びその周囲に対応する領域に固定された反射防止部材をさらに備えることを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。
- 前記パッケージは、前記凹部の底面の前記ミラー及びその周囲に対応する領域に形成されたざぐり部をさらに有し、
前記ダイパッドは、前記ざぐり部が形成されている領域に開口部を有する
ことを特徴とする請求項1に記載の光デバイス。 - 前記パッケージに固定された蓋部をさらに備え、前記パッケージと前記蓋部とは密閉された内部空間を形成し、
前記内部空間は、窒素雰囲気または真空状態に維持されている
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光デバイス。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2020055722A JP6947240B2 (ja) | 2016-04-15 | 2020-03-26 | 光デバイス |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016081704A JP6682976B2 (ja) | 2016-04-15 | 2016-04-15 | 光デバイス |
JP2020055722A JP6947240B2 (ja) | 2016-04-15 | 2020-03-26 | 光デバイス |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016081704A Division JP6682976B2 (ja) | 2016-04-15 | 2016-04-15 | 光デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020112816A JP2020112816A (ja) | 2020-07-27 |
JP6947240B2 true JP6947240B2 (ja) | 2021-10-13 |
Family
ID=71665915
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020055722A Active JP6947240B2 (ja) | 2016-04-15 | 2020-03-26 | 光デバイス |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6947240B2 (ja) |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5294826A (en) * | 1993-04-16 | 1994-03-15 | Northern Telecom Limited | Integrated circuit package and assembly thereof for thermal and EMI management |
TWI267958B (en) * | 2002-11-21 | 2006-12-01 | Siliconware Precision Industries Co Ltd | Semiconductor package with stilts for supporting dice |
JP4062225B2 (ja) * | 2003-09-30 | 2008-03-19 | ブラザー工業株式会社 | 光スキャナおよびそれを備えた画像形成装置 |
US8194305B2 (en) * | 2003-11-01 | 2012-06-05 | Silicon Quest Kabushiki-Kaisha | Package for micromirror device |
JP2005250307A (ja) * | 2004-03-08 | 2005-09-15 | Canon Inc | 光偏向器 |
US7042623B1 (en) * | 2004-10-19 | 2006-05-09 | Reflectivity, Inc | Light blocking layers in MEMS packages |
KR100772039B1 (ko) * | 2004-12-24 | 2007-10-31 | 엘지전자 주식회사 | 스캐닝 마이크로미러 패키지 및 그 제조 방법과, 이를사용한 광 스캐닝 장치 |
JP4550653B2 (ja) * | 2005-04-15 | 2010-09-22 | 富士通株式会社 | マイクロ可動素子および光スイッチング装置 |
KR100714917B1 (ko) * | 2005-10-28 | 2007-05-04 | 삼성전자주식회사 | 차폐판이 개재된 칩 적층 구조 및 그를 갖는 시스템 인패키지 |
JP4906496B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-03-28 | 新光電気工業株式会社 | 半導体パッケージ |
US20090161223A1 (en) * | 2007-02-26 | 2009-06-25 | Hirotoschi Ichikawa | Anti-reflection layer with nano particles |
-
2020
- 2020-03-26 JP JP2020055722A patent/JP6947240B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020112816A (ja) | 2020-07-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6459392B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP6682976B2 (ja) | 光デバイス | |
KR100667291B1 (ko) | 마이크로 미러 소자 패키지 및 그 제조방법 | |
JP6988062B2 (ja) | 光偏向器、光走査装置、画像投影装置、画像形成装置、および移動体 | |
JP2012237788A (ja) | 光走査装置およびそれを備えた画像投影装置 | |
CN107884925B (zh) | 光扫描装置以及光扫描装置的制造方法 | |
JP2008310295A (ja) | 画像表示装置 | |
WO2013114917A1 (ja) | Memsデバイスおよびプロジェクタ機能を有する電子機器 | |
JP2016151681A (ja) | Mems光スキャナ | |
WO2013187003A1 (ja) | アクチュエータと光学反射素子およびそれを用いた画像形成装置 | |
US11644664B2 (en) | Light deflector, optical scanning system, image projection device, image forming apparatus, and lidar device | |
JP6947240B2 (ja) | 光デバイス | |
JP2016114798A (ja) | 光偏向器及び光偏向器の製造方法 | |
US10394018B2 (en) | Optical scanning device | |
JP2020112817A (ja) | 光デバイス | |
JP6834227B2 (ja) | 光偏向器、画像表示装置、画像投影装置、光書き込み装置、物体認識装置、車両 | |
JP2010060689A (ja) | 光学反射素子ユニット | |
JP6069970B2 (ja) | Memsデバイス、光偏向器、光走査装置、画像形成装置及び画像投影装置 | |
JP5076526B2 (ja) | 光学反射素子 | |
JP2020101588A (ja) | 可動装置、距離測定装置、画像投影装置、車両、及び台座 | |
JP6520263B2 (ja) | 光偏向装置、光走査装置、画像形成装置、画像投影装置および画像読取装置 | |
Gu-Stoppel et al. | New designs for MEMS-micromirrors and micromirror packaging with electrostatic and piezoelectric drive | |
JP6217145B2 (ja) | 把持装置、電気機械装置、および筐体 | |
JP2014153703A (ja) | 光偏向器 | |
JP7019952B2 (ja) | 光偏向器検査方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20200326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20210217 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20210309 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20210427 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20210817 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20210830 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6947240 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |