JP2014192435A - 電子装置及びその製造方法、並びに発振器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る電子装置は、基板と、開口を有し前記基板上に形成された下地層と、前記下地層上に設けられた機能素子と、前記機能素子を収容する空洞を形成する包囲壁であって、少なくとも一部が前記開口内に配置された包囲壁と、を含む。
【選択図】図1
Description
1.1.電子装置
本発明の実施形態に係る電子装置について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る電子装置100の断面を模式的に示す図である。図2は、本実施形態に係る電子装置100を模式的に示す断面図である。図1は、図2のII−II線の断面に相当し、図2は、図1のI−I線の断面に相当する。
周を囲まなくてもよく、図示のように隙間が空いていてもよい。包囲壁40の平面的な形状は、機能素子30を少なくとも一部囲む形状であれば特に限定されない。包囲壁40は周囲の部材と電気的に接続されていてもよい。包囲壁40の厚みは、0.1μm以上10μm以下、好ましくは0.2μm以上5μm以下、更に好ましくは0.5μm以上5μm以下、特に好ましくは0.5μm以上3μm以下である。
A1に形成される。空洞1は、図示の例では、下地層20、包囲壁40及び蓋体50を含む構成により画成されている。空洞1内は、例えば、減圧状態にすることができ、これにより機能素子30の動作精度の向上を図ることができる。
本実施形態の電子装置100は、上記構成の他に、例えば、トランジスター72、層間絶縁層80、コンタクト61、配線62、ビア63、パッド64及び保護層85などから形成される回路部70、並びにガードリング69等の構成を有してもよい。
)などの金属やその合金が挙げられる。
本実施形態の電子装置100では、下地層20の開口22内に包囲壁40の一部が埋込まれて配置されている。これにより、包囲壁40が土台となる下地層20に嵌め込まれるため、空洞1を形成する部材の機械的強度が向上している。
図3及び図4は、変形例に係る電子装置200及び電子装置300の要部の断面を拡大して模式的に示す図である。図3及び図4は、包囲壁40の下部付近を拡大して示している。
近の構成が異なる以外は上述の電子装置100と同様である。従って上で述べたと同様の部材については同様の符号を付して詳細な説明を省略する。
次に、電子装置の製造方法について、図面を参照しながら説明する。
とともに、第2絶縁層82及び第1絶縁層81をエッチングして、機能素子30を少なくとも一部囲む形状で下地層20を露出させる工程と、露出した耐蝕層90をエッチングして、トランジスター72上の第1絶縁層81を露出させるとともに、露出した下地層20をエッチングして下地層20に開口22を形成する工程と、トランジスター72上の第1絶縁層81を除去する工程と、トランジスター72上及び開口22に導電層を形成する工程と、を含む。
えば、窒化シリコン、酸窒化シリコン、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム及びそれらの複合物からなる群より選択される少なくとも1種の材質により形成される。係る耐蝕層90が存在することにより、耐蝕層90をエッチングストッパーとして利用することができ、下地層20に開口22を形成する工程を容易に行うことができる。耐蝕層90は、CVD法、スパッタ法等により形成される。そして図9に示すように、下地層20上に位置する耐蝕層90を除去し、図10に示すように、第2絶縁層82を全面に成膜する。第2絶縁層82は、例えば、CVD法や塗布法等により形成される。
となる領域から離れた位置に形成される。そのため、チタン層を形成する工程を採用してコンタクト61及び包囲壁40の下面にチタンを含む層を形成しても、本実施形態の電子装置100並びに変形例に係る電子装置200及び電子装置300では、上記の効果を十分に得ることができ、リリースエッチングの際にエッチャントが漏れ出すことを十分に抑制することができる。
洞1以外の領域に漏れ出すことを十分に抑制することができる。これにより、少なくとも、リリースエッチングの時間管理におけるマージンを大きくとることができ、製造歩留りを高めることができる。
次に、本実施形態に係る電子装置が発振器である場合について、図面を参照しながら説明する。以下では、電子装置100が発振器である場合について説明する。図21は、本実施形態に係る電子装置(発振器)100を示す回路図である。
Claims (8)
- 基板と、開口を有し前記基板上に形成された下地層と、前記下地層上に設けられた機能素子と、前記機能素子を収容する空洞を形成する包囲壁であって、少なくとも一部が前記開口内に配置された包囲壁と、を含む、電子装置。
- 請求項1において、
前記開口は、前記下地層を貫通しており、
前記基板は、前記下地層の前記開口に対応する位置に凹部を有し、
前記包囲壁の少なくとも一部は、前記凹部内に配置された、電子装置。 - 請求項1又は請求項2において、
前記包囲壁の下面は、チタンを含む材質で形成された、電子装置。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、
前記包囲壁の下面は、凹凸を有する、電子装置。 - 基板上に下地層を形成する工程と、
前記下地層の上に機能素子を形成する工程と、
前記基板上にトランジスターを形成する工程と、
前記機能素子及び前記トランジスターを覆う第1絶縁層を形成する工程と、
前記第1絶縁層を覆う耐蝕層を形成する工程と、
前記下地層上の前記耐蝕層を除去する工程と、
前記耐蝕層及び前記第1絶縁層を覆う第2絶縁層を形成する工程と、
前記第2絶縁層をエッチングして、前記トランジスター上の前記耐蝕層を露出させるとともに、前記第2絶縁層及び前記第1絶縁層をエッチングして、前記機能素子を少なくとも一部囲む形状で前記下地層を露出させる工程と、
前記露出した耐蝕層をエッチングして、前記トランジスター上の前記第1絶縁層を露出させるとともに、前記露出した下地層をエッチングして前記下地層に開口を形成する工程と、
前記トランジスター上の前記第1絶縁層を除去する工程と、
前記トランジスター上及び前記開口に導電層を形成する工程と、
を含む、電子装置の製造方法。 - 請求項5において、
前記下地層に開口を形成する工程では、前記露出した下地層を貫通させ、
前記開口に対応する位置の前記基板に凹部を形成する工程をさらに含み、
前記トランジスター上及び前記開口に導電層を形成する工程において、前記凹部に前記導電層を形成する、電子装置の製造方法。 - 請求項5又は請求項6において、
前記導電層を形成する工程は、チタン層を形成する工程を含む、電子装置の製造方法。 - 請求項1ないし請求項4に記載の電子装置は、発振器であって、前記機能素子を駆動する回路部をさらに含む、発振器。
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