JP2014186261A - 集積型光回路素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板12と、前記基板12上の光導波路17と、前記光導波路17を伝搬する光を反射するための、前記光導波路17の端部に設けられたミラー18と、前記光導波路17上の、前記ミラー18で反射された光が結合するための、フォトダイオード74とを備えた集積型光回路素子であって、前記フォトダイオード74の後段に、電極配線80および電極パッド82をさらに備え、前記電極配線80および前記電極パッド82は、前記光導波路17の上に直接形成されたことを特徴とする。
【選択図】図4
Description
図5に、本実施形態に係る集積型光回路素子の作製方法の一例を示す。
最初に、Si基板12上に、下部クラッド14−1と、コア16と、上部クラッド14−2とを順次成膜して、光導波路17を作製する。並行して、InP基板84上に、上からn+型層86−1と、n型層86−2と、i型層86−3と、p型層86−4とから成るエピタキシャル層86の構造をMOCVD法等により形成する(図5(a)を参照)。
14 クラッド
14−1 下部クラッド
14−2 上部クラッド
16 コア
17 光導波路
18 ミラー
19 機能素子基板
22 PD
24 絶縁膜
26 電極層
28 電極配線
30 電極パッド
32 ワイヤ
34 電気増幅器
36 電極配線
72 樹脂系接着剤部
74,88 PD
74−1,86−1 n+型層
74−2,86−2 n型層
74−3,86−3 i型層
74−4,86−4 p型層
76 絶縁膜
78 電極層
80 電極配線
82 電極パッド
84 InP基板
86 エピタキシャル層
104 基板
106 絶縁膜
108,110,116,118 導体パターン
112 レーザーダイオード
114,122 金ワイヤ
120 フォトダイオード
124,126 光導波路
128 電極
130 導電性樹脂
Claims (1)
- 基板と、
前記基板上の、クラッドおよびコアから構成された光導波路と、
前記光導波路を伝搬する光を反射するための、前記光導波路の端部に設けられたミラーと、
前記光導波路上の、前記ミラーで反射された光が結合するための、フォトダイオードと
を備えた集積型光回路素子であって、
前記フォトダイオードの後段に、電極配線および電極パッドをさらに備え、
前記電極配線および前記電極パッドは、前記光導波路の上に直接形成されたことを特徴とする集積型光回路素子。
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JP2013062702A JP2014186261A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 集積型光回路素子 |
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JP2013062702A JP2014186261A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 集積型光回路素子 |
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JP2013062702A Pending JP2014186261A (ja) | 2013-03-25 | 2013-03-25 | 集積型光回路素子 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002062448A (ja) * | 1993-08-09 | 2002-02-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光サブモジュールおよびハイブリッド光集積回路 |
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JP2004053659A (ja) * | 2002-07-16 | 2004-02-19 | Ricoh Co Ltd | 光電気集積装置の製造方法及び光電気集積装置 |
-
2013
- 2013-03-25 JP JP2013062702A patent/JP2014186261A/ja active Pending
Patent Citations (3)
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JP2002062448A (ja) * | 1993-08-09 | 2002-02-28 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光サブモジュールおよびハイブリッド光集積回路 |
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Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN6015018029; Yu Kurata, Yusuke Nasu, Munehisa Tamura, Haruki Yokoyama and Yoshifumi Muramoto: 'Heterogeneous integration of high-speed InP PDs on silica-based planar lightwave circuit platform' Optical Communication (ECOC), 2011 37th European Conference and Exhibition&# * |
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