JP2014179495A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウエーハ2の表面に粘着層を介してプレート3の表面を接合するプレート接合工程と、ウエーハの裏面を研削してウエーハを所定の厚みに形成する裏面研削工程と、ウエーハの裏面に露出した電極と対応する電極を備えたチップ25を電極同士を接合して装着するチップ装着工程と、チップが装着されたウエーハを裏面側からストリート21に沿って加工し、チップが装着された個々のデバイス22に分割する分割工程と、ウエーハの裏面に装着されたチップ側にダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するウエーハ支持工程と、ウエーハの表面に接合されているプレートを剥離するプレート剥離工程とを含む。
【選択図】図7
Description
ウエーハの表面に粘着層を介してプレートの表面を接合するプレート接合工程と、
該プレート接合工程が実施されたウエーハの裏面を研削し、ウエーハを所定の厚みに形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面に露出した該電極と対応する電極を備えたチップを該電極同士を接合して装着するチップ装着工程と、
該チップ装着工程が実施され裏面に該チップが装着されたウエーハを裏面側からストリートに沿って加工し、チップが装着された個々のデバイスに分割する分割工程と、
該分割工程が実施されたウエーハの裏面に装着されたチップ側にダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施されたウエーハの表面に接合されているプレートを剥離するプレート剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
また、上記分割工程は、ストリートに沿ってレーザー光線を照射しレーザー加工を施すことによりウエーハをチップが装着された個々のデバイスに分割する。
また、ウエーハはプレートに接合された状態でチップが装着された個々のデバイスに分割されるため、分割の際に△チップが飛散しないのでダミーのデバイスチップを装着する必要がなく生産性を向上することができる。
切削ブレードの回転速度:30000rpm
切削送り速度 :50mm/秒
レーザー光線の波長 :355nm
繰り返し周波数 :200kHz
出力 :1.5W
集光スポット径 :φ10μm
加工送り速度 :300mm/秒
図10に示す実施形態においても上記図8および図9に示す実施形態と同様に上記ウエーハ保持工程およびアライメント工程を実施する。
レーザー光線の波長 :1064nm
繰り返し周波数 :80kHz
出力 :0.2W
集光スポット径 :φ1μm
加工送り速度 :180mm/秒
21:ストリート
22:デバイス
25:チップ
3:プレート
30:粘着層
4:研削装置
41:研削装置のチャックテーブル
42:研削手段
424:研削ホイール
426:研削砥石
5:チップ装着装置
51:チップ装着装置のチャックテーブル
6:切削装置
61:切削装置のチャックテーブル
62:切削手段
623:切削ブレード
7:レーザー加工装置
71:レーザー加工装置のチャックテーブル
72:レーザー光線照射手段
722:集光器
8:環状のフレーム
80:ダイシングテープ
9:デバイス分離装置
91:フレーム保持手段
92:テープ拡張手段
93:ピックアップコレット
Claims (3)
- 表面に格子状に配列されたストリートによって区画された複数の領域にデバイスが形成され該デバイスに接続する電極が裏面に露出するウエーハの裏面に、該電極と対応する電極を備えたチップを装着するとともに、該チップが装着されたウエーハをストリートに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
ウエーハの表面に粘着層を介してプレートの表面を接合するプレート接合工程と、
該プレート接合工程が実施されたウエーハの裏面を研削し、ウエーハを所定の厚みに形成する裏面研削工程と、
該裏面研削工程が実施されたウエーハの裏面に露出した該電極と対応する電極を備えたチップを該電極同士を接合して装着するチップ装着工程と、
該チップ装着工程が実施され裏面に該チップが装着されたウエーハを裏面側からストリートに沿って加工し、チップが装着された個々のデバイスに分割する分割工程と、
該分割工程が実施されたウエーハの裏面に装着されたチップ側にダイシングテープを貼着しダイシングテープの外周部を環状のフレームによって支持するウエーハ支持工程と、
該ウエーハ支持工程が実施されたウエーハの表面に接合されているプレートを剥離するプレート剥離工程と、を含む、
ことを特徴とするウエーハの加工方法。 - 該分割工程は、切削ブレードによってストリートに沿って切削加工を施すことによりウエーハをチップが装着された個々のデバイスに分割する、請求項1記載のウエーハの加工方法。
- 該分割工程は、ストリートに沿ってレーザー光線を照射しレーザー加工を施すことによりウエーハをチップが装着された個々のデバイスに分割する、請求項1記載のウエーハの加工方法。
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