JP2014170343A - 不具合検知システムおよび不具合検知方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】不具合検知システムは、プロセス量を対象となる状態量として、状態量の時系列データを取得するデータ取得部1と、状態量変化率の最高値と状態量変化率が最高値に到達するときの状態量とを組合せて代表値として記憶する代表値記憶部2と、データ取得部1が取得した状態量のデータを基に状態量変化率を算出する変化率算出部3と、代表値記憶部2に記憶されている状態量変化率の最高値の絶対値よりも変化率算出部3で算出された最新の状態量変化率の絶対値が大きいときに、代表値記憶部2に記憶されている代表値を、変化率算出部3が算出した最新の状態量変化率とデータ取得部1が取得した最新の状態量との組に更新する代表値更新部4とを備える。
【選択図】 図1
Description
一方で、センサのFD/FPに関しては、温度、圧力、流量などのプロセス量が対象データになる。これらのデータについては、msec.レベルで全てのデータを保存するのが合理的とは言えない。そこで、センサのデータを装置が管理する処理単位毎に、あるいは一定の期間毎に代表値化して、代表値化した値をチェックするEES対応の基板処理装置(特許文献1参照)などが提案されている。代表値とは、最大値、最小値、平均値などである。これらの代表値によりFD/FPが実現できれば、全てのデータを監視する場合と比較して通信量、必要メモリ量などを大幅に削減できるので効率的である。
また、本発明の不具合検知システムの1構成例は、さらに、前記データ取得手段が対象とするプロセス量に関連する少なくとも1つのプロセス量のデータを関連データとして取得する関連データ取得手段と、前記代表値更新手段により代表値が更新されたときの関連データを記憶する関連値記憶手段と、前記代表値更新手段により代表値が更新されたときに、前記関連値記憶手段に記憶されている関連データを、前記関連データ取得手段が取得した関連データに更新する関連値更新手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の不具合検知システムの1構成例は、さらに、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を表示する代表値表示手段と、外部からの操作に応じて前記リセット手段に前記リセット信号を送信するリセット操作手段とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の不具合検知システムの1構成例において、前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、真空装置内の圧力センサの計測値であり、前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記真空装置の真空ポンプである。
また、本発明の不具合検知システムの1構成例において、前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、流体搬送装置の流量センサの計測値であり、前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記流体搬送装置のコントロールバルブと流体搬送圧力発生機器である。
また、本発明の不具合検知システムの1構成例において、前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、空調システムの給気温度センサの計測値であり、前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記空調システムの冷温水流量制御バルブと送水ポンプである。
また、本発明の不具合検知システムの1構成例において、前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、反応炉の温度センサの計測値であり、前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記反応炉のヒータである。
また、本発明の不具合検知方法の1構成例は、さらに、前記データ取得ステップで対象とするプロセス量に関連する少なくとも1つのプロセス量のデータを関連データとして取得する関連データ取得ステップと、前記代表値更新ステップにより代表値が更新されたときに、関連値記憶手段に記憶されている関連データを、前記関連データ取得ステップで取得した関連データに更新する関連値更新ステップとを備えることを特徴とするものである。
また、本発明の不具合検知方法の1構成例は、さらに、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を表示する代表値表示ステップと、外部からの操作に応じて前記リセット信号を送信するリセット操作ステップとを備えることを特徴とするものである。
発明者は、下記のような性質に着眼した。
(A)ヒータ能力、真空ポンプ能力などが劣化する場合、状態量変化率(温度、圧力などの変化速度)の最高到達レベルに劣化傾向が現れる。
(B)センサ(計測機器)の計測特性がシフトする場合、状態量変化率の最高到達点(温度上昇、圧力低下などが最高到達レベルになる温度、圧力など)にシフト傾向が現れる。
(C)200℃を通過する際に最高昇温速度が0.45℃/sec.であれば、最高能力量0.50℃/sec.よりも低下していることになるので、ヒータが劣化している疑いがある。
(D)最高昇温速度0.50℃/sec.に到達したときの温度が203℃であれば、最高能力点200℃とずれていることになるので、温度センサのシフトの疑いがある。
デバイスレベルにFD/FP機能を分散配置するためには、上記のように有効な代表値化に限定していくことが得策であるが、代表値を利用する目的は通信量、必要メモリ量などを削減することであるので、常に代表値のみである必要はない。そこで、発明者は、高度なFD/FP機能と連携できるようにするために、状態量変化率の最高値が計測された時点において、前後の過渡状態データを保存するのが有効であることに想到した。
発明の原理2と同様に、常に代表値のみである必要はないことに着眼する。具体的には、発明者は、高度なFD/FP機能と連携できるようにするために、状態量変化率の最高値が計測された時点において、関連する別のセンサ計測値を同時保存するのが有効であることに想到した。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係る不具合検知システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、上記発明の原理1、発明の原理2、発明の原理3に対応するものである。本実施の形態の不具合検知システムは、プロセス量を対象となる状態量として、この状態量の時系列データを取得するデータ取得部1と、状態量変化率の最高値と状態量変化率が最高値に到達するときの状態量とを組合せて代表値として記憶する代表値記憶部2と、データ取得部1が取得した状態量のデータを基に状態量変化率を算出する変化率算出部3と、代表値記憶部2に記憶されている状態量変化率の最高値の絶対値よりも変化率算出部3で算出された最新の状態量変化率の絶対値が大きいときに、代表値記憶部2に記憶されている代表値を、変化率算出部3が算出した最新の状態量変化率とデータ取得部1が取得した最新の状態量との組に更新する代表値更新部4と、外部からリセット信号を受け取ったときに、代表値記憶部2に記憶されている状態量変化率の最高値を最小値(例えば0.0)にリセットするリセット部5と、予め規定された量の最新の状態量のデータを一時的に記憶するデータ保存部6と、代表値更新部4により代表値が更新されたときの状態量のデータを、代表値に関連する過渡状態データとして記憶する過渡状態記憶部7と、代表値更新部4により代表値が更新されたときに、過渡状態記憶部7に記憶されている過渡状態データを、データ保存部6に記憶されている状態量のデータに更新する過渡状態更新部8と、データ取得部1が対象とするプロセス量に関連する少なくとも1つのプロセス量のデータを関連データとして取得する関連データ取得部9と、代表値更新部4により代表値が更新されたときの関連データを記憶する関連値記憶部10と、代表値更新部4により代表値が更新されたときに、関連値記憶部10に記憶されている関連データを、関連データ取得部9が取得した関連データに更新する関連値更新部11とを備えている。
データ保存部6は、データ取得部1から状態量のデータを受け取り、予め規定された量(例えば20サンプリング分)の最新の状態量のデータを一時的に記憶する(図2ステップS102)。ステップS101の処理が1回実施されると、最新の状態量のデータが1サンプリング分得られたことになるので、データ取得部1が1サンプリング分のデータを取得する度に、データ保存部6の記憶内容が更新されることになる。なお、データ保存部6が記憶するデータの量は、サンプリング数、あるいはデータ保存部6に記憶される最古のデータから最新のデータまでの計測時間で規定される。
次に、変化率算出部3は、データ取得部1から受け取った状態量のデータを基に、次式のように状態量変化率Drを算出する(図2ステップS104)。
Dr=D1−D2 ・・・(1)
式(1)において、D1は最新の状態量のデータ、D2は1サンプリング前の状態量のデータである。
Dr=(D1−D2)/T1 ・・・(2)
式(2)におけるT1は状態量のサンプリング周期[sec.]である。
関連値更新部11は、代表値が更新された場合、関連値記憶部10に記憶されているプロセス量のデータを、関連データ取得部9が取得した最新のプロセス量のデータに更新する(図2ステップS108)。
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。図3は本発明の第2の実施の形態に係る不具合検知システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、第1の実施の形態を利用してFD/FP機能を実現する例を示すものである。本実施の形態では、上記発明の原理1の意義を明確にするために、発明の原理1に対応する構成について説明する。
代表値履歴記憶部14は、代表値取得部12が取得した代表値を記憶する(図4ステップS201)。
D_d=|D_new−D_old_i| ・・・(3)
Dx_d=|Dx_new−Dx_old_i| ・・・(4)
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。図5は本発明の第3の実施の形態に係る不具合検知システムの構成を示すブロック図である。本実施の形態は、第1の実施の形態を利用してFD/FP機能を実現するデバイスの例を示すものである。本実施の形態では、上記発明の原理1の意義を明確にするために、発明の原理1に対応する構成について説明する。
データ取得部1と代表値記憶部2と変化率算出部3と代表値更新部4の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
次に、本発明の第4の実施の形態について説明する。本実施の形態は、加熱装置の温度制御系に第1、第2の実施の形態の不具合検知システムを適用した場合の例を示すものである。図7は加熱装置の構成を示すブロック図である。加熱装置は、処理対象の被加熱物を加熱する加熱チャンバー30と、加熱用のアクチュエータである電気ヒータ31と、加熱チャンバー30内の温度を計測する温度センサ32と、加熱チャンバー30内の温度を制御する温調計33と、電力調整器34と、電力調整回路35と、加熱装置全体を制御するPLC36とから構成される。
ここでは、代表値取得部12が間隔T2(1週間)で定期的に代表値記憶部2から代表値(状態量変化率の最高値Dxと、状態量変化率が最高値Dxに到達するときの状態量Dとの組)を取得するものとし、第1週がD=200.0℃、Dx=0.50℃/sec.、第2週がD=199.9℃、Dx=0.51℃/sec.、第3週がD=200.1℃、Dx=0.49℃/sec.、第17週がD=200.8℃、Dx=0.50℃/sec.、第18週がD=200.9℃、Dx=0.51℃/sec.、第27週がD=202.5℃、Dx=0.51℃/sec.、第28週がD=202.8℃、Dx=0.50℃/sec.、第29週がD=203.0℃、Dx=0.49℃/sec.、第30週がD=203.1℃、Dx=0.50℃/sec.という代表値の履歴データが、代表値履歴記憶部14に蓄積されるものとする。
なお、温度センサ32か温調計33かPLC36のいずれかが、データ保存部6と過渡状態記憶部7と過渡状態更新部8と関連データ取得部9と関連値記憶部10と関連値更新部11とを備えている場合は、温度PVが203.0℃を通過する前後の温度PVの時系列データや加熱装置内の別部分の温度なども取得することができる。そして、これらの付加的情報も利用して、オペレータがアラームの原因を分析することができる。
ここでは、代表値取得部12が間隔T2(1週間)で定期的に代表値記憶部2から代表値(状態量変化率の最高値Dxと、状態量変化率が最高値Dxに到達するときの状態量Dとの組)を取得するものとし、第1週がD=200.0℃、Dx=0.49℃/sec.、第2週がD=199.9℃、Dx=0.50℃/sec.、第3週がD=200.1℃、Dx=0.49℃/sec.、第17週がD=200.0℃、Dx=0.49℃/sec.、第18週がD=200.1℃、Dx=0.48℃/sec.、第27週がD=200.2℃、Dx=0.47℃/sec.、第28週がD=200.0℃、Dx=0.46℃/sec.、第29週がD=199.9℃、Dx=0.45℃/sec.、第30週がD=200.1℃、Dx=0.45℃/sec.という代表値の履歴データが、代表値履歴記憶部14に蓄積されるものとする。
なお、温度センサ32か温調計33かPLC36のいずれかが、データ保存部6と過渡状態記憶部7と過渡状態更新部8と関連データ取得部9と関連値記憶部10と関連値更新部11とを備えている場合は、温度PVが199.9℃を通過する前後の温度PVの時系列データやヒータ出力値(操作量MV)なども取得することができる。そして、これらの付加的情報も利用して、オペレータがアラームの原因を分析することができる。
なお、代表値自体の誤差やバラツキを考慮して、代表値履歴記憶部14に取得順に記憶される代表値の履歴データに対して、平滑化処理を適宜加えてもよい。
次に、本発明の第5の実施の形態について説明する。本実施の形態は、真空装置の圧力制御系に第1、第2の実施の形態の不具合検知システムを適用した場合の例を示すものである。図8は真空装置の構成を示すブロック図である。真空装置は、真空チャンバー40と、降圧用のアクチュエータである真空ポンプ41と、真空チャンバー40内の圧力を計測する圧力センサ42(真空計)と、真空装置を制御するPLC43とから構成される。
図1のデータ取得部1と代表値記憶部2と変化率算出部3と代表値更新部4とリセット部5とは、センサデバイスである圧力センサ42に実装され、図3の代表値取得部12とリセット信号送信部13と代表値履歴記憶部14と第1判定部15と第2判定部16とは、PLC43に実装される。
データ取得部1は、圧力センサ42が計測した状態量(圧力PV)のデータを取得する。代表値記憶部2と変化率算出部3と代表値更新部4とリセット部5の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
また、オペレータは、第2判定部16からアラームBが出力されると、真空ポンプ41の性能劣化や真空チャンバー40の空気漏れなどの不具合の可能性を考慮して、点検を行なうという判断ができる。
次に、本発明の第6の実施の形態について説明する。本実施の形態は、流体搬送装置(冷水供給装置、チラー)の流量制御系に第1、第2の実施の形態の不具合検知システムを適用した場合の例を示すものである。図9は流体搬送装置の構成を示すブロック図である。流体搬送装置は、冷媒を冷却する冷却器50と、冷媒が循環する配管51と、熱交換器52と、冷水が循環する配管53と、バルブ54と、タンク55と、タンク55に水を送る配管56と、タンク55に水を送り込むアクチュエータである送水ポンプ57(水を搬送するための圧力を発生させる搬送圧力発生機器)と、タンク55から送り出される水が流れる配管58と、タンク55から送り出される水の流量を調節するアクチュエータであるコントロールバルブ59と、タンク55から送り出される水の流量を計測する流量センサ60と、流体搬送装置を制御するPLC61とから送り出される構成される。
データ取得部1は、流量センサ60が計測した状態量(流量PV)のデータを取得する。代表値記憶部2と変化率算出部3と代表値更新部4とリセット部5の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
また、オペレータは、第2判定部16からアラームBが出力されると、送水ポンプ57の性能劣化やコントロールバルブ59の稼動部などの不具合の可能性を考慮して、点検を行なうという判断ができる。
なお、本実施の形態では、水を搬送する流体搬送装置について説明しているが、これに限るものではなく、配管56,58を流れる流体は気体でもよい。
次に、本発明の第7の実施の形態について説明する。本実施の形態は、空調システムの給気温度制御系に第1、第2の実施の形態の不具合検知システムを適用した場合の例を示すものである。図10は空調システムの構成を示すブロック図である。空調システムは、空調機71と、空調機71から供給される給気の温度を計測する給気温度センサ72と、熱媒(冷温水)を加熱または冷却する熱媒熱交換器73と、熱媒熱交換器73から送り出された冷温水が流れる配管74と、冷温水を空調機71に送り込むアクチュエータである送水ポンプ75と、空調機71に供給される冷温水の流量を調節するアクチュエータである冷温水流量制御バルブ76と、空調機71で使用された冷温水を熱媒熱交換器73に戻す配管77と、空調機71から送り出された給気を部屋70に供給する配管78と、給気口79と、室温センサ80と、部屋70の空気を空調機71に戻す配管81と、空調システムを制御する空調コントローラ82とから構成される。
データ取得部1は、給気温度センサ72が計測した状態量(給気温度PV)のデータを取得する。代表値記憶部2と変化率算出部3と代表値更新部4とリセット部5の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
また、オペレータは、第2判定部16からアラームBが出力されると、送水ポンプ75の性能劣化や冷温水流量制御バルブ76の稼動部などの不具合の可能性を考慮して、点検を行なうという判断ができる。
次に、本発明の第8の実施の形態について説明する。本実施の形態は、化学プラント反応炉の温度制御系に第1、第2の実施の形態の不具合検知システムを適用した場合の例を示すものである。図11は化学プラント反応炉の構成を示すブロック図である。化学プラント反応炉は、反応炉90と、加熱用のアクチュエータであるヒータ91と、反応炉90内の温度を計測する温度センサ92と、反応炉90内の温度を制御するプラント制御システム93と、電力調整器94と、電力調整回路95とから構成される。
データ取得部1は、温度センサ92が計測した状態量(温度PV)のデータを取得する。代表値記憶部2と変化率算出部3と代表値更新部4とリセット部5の動作は、第1の実施の形態で説明したとおりである。
また、オペレータは、第2判定部16からアラームBが出力されると、ヒータ91の性能劣化の可能性を考慮して、点検を行なうという判断ができる。
Claims (15)
- プロセス量を対象となる状態量として、この状態量の時系列データを取得するデータ取得手段と、
状態量変化率の最高値と状態量変化率が最高値に到達するときの状態量とを組合せて代表値として記憶する代表値記憶手段と、
前記データ取得手段が取得した状態量のデータを基に状態量変化率を算出する変化率算出手段と、
前記代表値記憶手段に記憶されている状態量変化率の最高値の絶対値よりも前記変化率算出手段で算出された最新の状態量変化率の絶対値が大きいときに、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を、前記変化率算出手段が算出した最新の状態量変化率と前記データ取得手段が取得した最新の状態量との組に更新する代表値更新手段と、
外部からリセット信号を受け取ったときに、前記代表値記憶手段に記憶されている状態量変化率の最高値を最小値にリセットするリセット手段とを備えることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1記載の不具合検知システムにおいて、
さらに、予め規定された量の最新の状態量のデータを一時的に記憶するデータ保存手段と、
前記代表値更新手段により代表値が更新されたときの状態量のデータを、前記代表値に関連する過渡状態データとして記憶する過渡状態記憶手段と、
前記代表値更新手段により代表値が更新されたときに、前記過渡状態記憶手段に記憶されている過渡状態データを、前記データ保存手段に記憶されている状態量のデータに更新する過渡状態更新手段とを備えることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1または2記載の不具合検知システムにおいて、
さらに、前記データ取得手段が対象とするプロセス量に関連する少なくとも1つのプロセス量のデータを関連データとして取得する関連データ取得手段と、
前記代表値更新手段により代表値が更新されたときの関連データを記憶する関連値記憶手段と、
前記代表値更新手段により代表値が更新されたときに、前記関連値記憶手段に記憶されている関連データを、前記関連データ取得手段が取得した関連データに更新する関連値更新手段とを備えることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至3のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
さらに、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を表示する代表値表示手段と、
外部からの操作に応じて前記リセット手段に前記リセット信号を送信するリセット操作手段とを備えることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
さらに、予め規定された一定間隔で、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を取得する代表値取得手段と、
前記代表値取得手段が代表値を取得した後に前記リセット手段に前記リセット信号を送信するリセット信号送信手段と、
前記代表値取得手段が取得した代表値を取得順に記憶する代表値履歴記憶手段と、
前記代表値履歴記憶手段に代表値として記憶されている状態量と前記代表値取得手段が代表値として取得した最新の状態量との差の絶対値を、前記代表値取得手段が代表値を取得する度に前記代表値履歴記憶手段に記憶されている代表値の各々について算出し、少なくとも1つの絶対値が予め規定された第1閾値を超えたときに、不具合検知あるいは不具合予知の状態と判定して第1アラームを出力する第1判定手段と、
前記代表値履歴記憶手段に代表値として記憶されている状態量変化率の最高値と前記代表値取得手段が代表値として取得した最新の状態量変化率の最高値との差の絶対値を、前記代表値取得手段が代表値を取得する度に前記代表値履歴記憶手段に記憶されている代表値の各々について算出し、少なくとも1つの絶対値が予め規定された第2閾値を超えたときに、不具合検知あるいは不具合予知の状態と判定して第2アラームを出力する第2判定手段とを備えることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、加熱装置内の温度センサの計測値であり、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記加熱装置のヒータであることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、真空装置内の圧力センサの計測値であり、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記真空装置の真空ポンプであることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、流体搬送装置の流量センサの計測値であり、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記流体搬送装置のコントロールバルブと流体搬送圧力発生機器であることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、空調システムの給気温度センサの計測値であり、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記空調システムの冷温水流量制御バルブと送水ポンプであることを特徴とする不具合検知システム。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載の不具合検知システムにおいて、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量は、反応炉の温度センサの計測値であり、
前記データ取得手段が対象とするプロセス量について状態量変化を与えるアクチュエータは、前記反応炉のヒータであることを特徴とする不具合検知システム。 - プロセス量を対象となる状態量として、この状態量の時系列データを取得するデータ取得ステップと、
前記データ取得ステップで取得した状態量のデータを基に状態量変化率を算出する変化率算出ステップと、
状態量変化率の最高値と状態量変化率が最高値に到達するときの状態量とを組合せて代表値として記憶している代表値記憶手段を参照し、前記代表値記憶手段に記憶されている状態量変化率の最高値の絶対値よりも前記変化率算出ステップで算出した最新の状態量変化率の絶対値が大きいときに、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を、前記変化率算出ステップで算出した最新の状態量変化率と前記データ取得ステップで取得した最新の状態量との組に更新する代表値更新ステップと、
外部からリセット信号を受け取ったときに、前記代表値記憶手段に記憶されている状態量変化率の最高値を最小値にリセットするリセットステップとを備えることを特徴とする不具合検知方法。 - 請求項11記載の不具合検知方法において、
さらに、予め規定された量の最新の状態量のデータをデータ保存手段に一時的に記憶させるデータ保存ステップと、
前記代表値更新ステップにより代表値が更新されたときに、前記代表値に関連する過渡状態データとして過渡状態記憶手段に記憶されている状態量のデータを、前記データ保存手段に記憶されている状態量のデータに更新する過渡状態更新ステップとを備えることを特徴とする不具合検知方法。 - 請求項11または12記載の不具合検知方法において、
さらに、前記データ取得ステップで対象とするプロセス量に関連する少なくとも1つのプロセス量のデータを関連データとして取得する関連データ取得ステップと、
前記代表値更新ステップにより代表値が更新されたときに、関連値記憶手段に記憶されている関連データを、前記関連データ取得ステップで取得した関連データに更新する関連値更新ステップとを備えることを特徴とする不具合検知方法。 - 請求項11乃至13のいずれか1項に記載の不具合検知方法において、
さらに、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を表示する代表値表示ステップと、
外部からの操作に応じて前記リセット信号を送信するリセット操作ステップとを備えることを特徴とする不具合検知方法。 - 請求項11乃至14のいずれか1項に記載の不具合検知方法において、
さらに、予め規定された一定間隔で、前記代表値記憶手段に記憶されている代表値を取得する代表値取得ステップと、
前記代表値取得ステップで代表値を取得した後に前記リセット信号を送信するリセット信号送信ステップと、
前記代表値取得ステップで取得した代表値を取得順に記憶している代表値履歴記憶手段を参照し、前記代表値履歴記憶手段に代表値として記憶されている状態量と前記代表値取得ステップで代表値として取得した最新の状態量との差の絶対値を、前記代表値取得ステップで代表値を取得する度に前記代表値履歴記憶手段に記憶されている代表値の各々について算出し、少なくとも1つの絶対値が予め規定された第1閾値を超えたときに、不具合検知あるいは不具合予知の状態と判定して第1アラームを出力する第1判定ステップと、
前記代表値履歴記憶手段に代表値として記憶されている状態量変化率の最高値と前記代表値取得ステップで代表値として取得した最新の状態量変化率の最高値との差の絶対値を、前記代表値取得ステップで代表値を取得する度に前記代表値履歴記憶手段に記憶されている代表値の各々について算出し、少なくとも1つの絶対値が予め規定された第2閾値を超えたときに、不具合検知あるいは不具合予知の状態と判定して第2アラームを出力する第2判定ステップとを備えることを特徴とする不具合検知方法。
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