JP2014169977A - 欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び照明装置 - Google Patents
欠陥検査装置、欠陥検査方法、及び照明装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】欠陥検査装置は、発光する光源部と、検査対象の走行方向に対して直交する方向に配置され、光源からの光の一部を、直交する方向に亘り遮光する直交方向遮光部と、直交方向遮光部に遮光されていない光による縞状パターンを、直交する方向に亘り検査対象に照射するスリット部と、直交方向遮光部とスリット部との境界の近傍から照射されて検査対象を透過した縞状パターンを撮像する撮像部と、撮像された縞状パターンのコントラストに基づいて、検査対象に生じた欠陥を検出する検出部と、を備える。
【選択図】図1
Description
図2には、照明部の構成例が示されている。照明部121は、光源部122と、直交方向遮光部123と、スリット部124と有する。光源部122は、例えば、発光ダイオード(LED:Light Emitting Diode)、蛍光灯、又は、石英ロッド照明である。
以下、撮像部131(図1を参照)により撮像されたライン毎の画像に基づいて、検出部143(図1を参照)が生成した2次元画像において、検査対象200を透過した縞状パターンを構成する低明度部分同士の間隔は、一例として、28画素分の長さになっているものとする。
スリット部124により、前記検査対象の走行方向に対して直交する方向に応じて光量が変化している(光の強弱がある)ので(図4に示すグラフを参照)、前記検査対象に生じた走行方向欠陥には、前記検査対象の走行方向に対して直交する方向からも光が当たり、その光が屈折する。したがって、前記検査対象に生じた走行方向欠陥は、撮像された画像においてコントラストが強調される(例えば、図7を参照)。
また、直交方向遮光部123と、スリット部124の隙間とにより、前記検査対象の走行方向に応じて光量が変化している(光の強弱がある)ので(図3に示すグラフを参照)、前記検査対象に生じた直交方向欠陥には、前記検査対象の走行方向からも光が当たり、その光が屈折する。したがって、前記検査対象に生じた直交方向欠陥は、撮像された画像においてコントラストが強調される(例えば、図9を参照)。
スリット部124により、前記検査対象の走行方向に対して直交する方向に応じて光量が変化している(光の強弱がある)ので(図4に示すグラフを参照)、前記検査対象に生じた点状欠陥には、前記検査対象の走行方向に対して直交する方向からも光が当たり、その光が屈折する。したがって、前記検査対象に生じた点状欠陥は、検査対象200に合焦させて撮像された画像において、コントラストが強調される(例えば、図11を参照)。
また、直交方向遮光部123と、スリット部124の隙間とにより、前記検査対象の走行方向に応じて光量が変化している(光の強弱がある)ので(図3を参照)、前記検査対象に生じた点状欠陥には、前記検査対象の走行方向からも光が当たり、その光が屈折する。したがって、前記検査対象に生じた点状欠陥は、検査対象200に合焦させて撮像された画像において、コントラストが強調される(例えば、図11を参照)。
また、上記プログラムは、このプログラムを記憶装置等に格納したコンピュータシステムから、伝送媒体を介して、あるいは、伝送媒体中の伝送波により他のコンピュータシステムに伝送されてもよい。ここで、プログラムを伝送する「伝送媒体」は、インターネット等のネットワーク(通信網)や電話回線等の通信回線(通信線)のように情報を伝送する機能を有する媒体のことをいう。
また、上記プログラムは、前述した機能の一部を実現するためのものであっても良い。
さらに、前述した機能をコンピュータシステムにすでに記録されているプログラムとの組み合わせで実現できるもの、いわゆる差分ファイル(差分プログラム)であっても良い。
Claims (5)
- 発光する光源部と、
検査対象の走行方向に対して直交する方向に配置され、前記光源からの光の一部を、前記直交する方向に亘り遮光する直交方向遮光部と、
前記直交方向遮光部に遮光されていない光による縞状パターンを、前記直交する方向に亘り前記検査対象に照射するスリット部と、
前記直交方向遮光部と前記スリット部との境界の近傍から照射されて前記検査対象を透過した前記縞状パターンを撮像する撮像部と、
撮像された前記縞状パターンのコントラストに基づいて、前記検査対象に生じた欠陥を検出する検出部と、
を備えることを特徴とする欠陥検査装置。 - 前記撮像部は、前記検査対象に合焦させて、前記縞状パターンを撮像することを特徴とする請求項1に記載の欠陥検査装置。
- 前記検出部は、前記縞状パターンが撮像された画像において隣り合う領域同士の明度のコントラストに基づいて、前記検査対象に生じた欠陥を検出することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の欠陥検査装置。
- 欠陥検査装置における欠陥検査方法であって、
光源部が、発光するステップと、
検査対象の走行方向に対して直交する方向に配置された直交方向遮光部が、前記光源からの光の一部を、前記直交する方向に亘り遮光するステップと、
スリット部が、前記直交方向遮光部に遮光されていない光による縞状パターンを、前記直交する方向に亘り前記検査対象に照射するステップと、
撮像部が、前記直交方向遮光部と前記スリット部との境界の近傍から照射されて前記検査対象を透過した前記縞状パターンを撮像するステップと、
検出部が、撮像された前記縞状パターンのコントラストに基づいて、前記検査対象に生じた欠陥を検出するステップと、
を有することを特徴とする欠陥検査方法。 - 発光する光源部と、
検査対象の走行方向に対して直交する方向に配置され、前記光源からの光の一部を、前記直交する方向に亘り遮光する直交方向遮光部と、
前記直交方向遮光部に遮光されていない光による縞状パターンを、前記直交する方向に亘り前記検査対象に照射するスリット部と、
を備えることを特徴とする照明装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN111272762A (zh) * | 2018-12-04 | 2020-06-12 | 株式会社小糸制作所 | 透光性构件的表面缺陷检查装置 |
WO2024018681A1 (ja) * | 2022-07-20 | 2024-01-25 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査装置及び検査画像の生成方法 |
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JP2004251878A (ja) * | 2002-12-27 | 2004-09-09 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 板状体の光学的歪みを評価する装置および方法 |
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2013
- 2013-03-05 JP JP2013043242A patent/JP6084074B2/ja active Active
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JP6084074B2 (ja) | 2017-02-22 |
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