JP5069064B2 - 刻印検査装置 - Google Patents
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Description
2 刻印面
3 被検査文字
31 スリット光
41 第1レーザスリット光源
42 第2レーザスリット光源
43 第3レーザスリット光源
44 第4レーザスリット光源
45 第5レーザスリット光源
51 X方向
72 移動ステージ
73 Y方向
81 第1CCDカメラ
82 第2CCDカメラ
83 第3CCDカメラ
84 第4CCDカメラ
85 第5CCDカメラ
91 正反射光
101 制御装置
Claims (3)
- 刻印面に刻印された被検査文字を検査する刻印検査装置において、
前記被検査文字の文字列方向に沿って複数並設され、前記被検査文字を含む前記刻印面に対して前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するレーザスリット光源と、
各レーザスリット光源の各々に対応して設けられ、対応したレーザスリット光源より照射された前記スリット光の照射位置を撮像するカメラと、
前記各レーザースリット光源および前記カメラを前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する移動ステージと、
前記各カメラで撮像された前記スリット光のスリット光画像から高さを求めて前記刻印面の三次元情報を取得する処理装置と、を備え、
隣接する各レーザスリット光源からの各スリット光がその両端部で重なっており、第一のタイミングで撮像を行うカメラと第二のタイミングで撮像を行うカメラとを並び方向にて交互に配置し、前記第一のタイミングと前記第二のタイミングによる撮像タイミングを異なるタイミングに設定して隣接するカメラが同時に撮像しないように構成するとともに、
対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期したことを特徴とする刻印検査装置。 - 刻印面に刻印された被検査文字を検査する刻印検査装置において、
前記被検査文字の文字列方向に沿って複数並設され、前記被検査文字を含む前記刻印面に対して前記文字列方向に延在するライン状のスリット光を照射するレーザスリット光源と、
各レーザスリット光源の各々に対応して設けられ、対応したレーザスリット光源より照射された前記スリット光の照射位置を撮像する固定されたカメラと、
前記各レーザースリット光源を前記文字列方向に直交した直交方向へ移動する移動ステージと、
前記スリット光を移動させながら前記各カメラで撮像された画像の各画素で、最大輝度を与える前記移動ステージ位置を求め、このステージ位置と画素の位置に基づいて前記刻印面の三次元情報を取得する処理装置と、を備え、
隣接する各レーザスリット光源からの各スリット光がその両端部で重なっており、第一のタイミングで撮像を行うカメラと第二のタイミングで撮像を行うカメラとを並び方向にて交互に配置し、前記第一のタイミングと前記第二のタイミングによる撮像タイミングを異なるタイミングに設定して隣接するカメラが同時に撮像しないように構成するとともに、
対応関係にあるカメラの撮像タイミングとレーザスリット光源からの前記スリット光の照射タイミングとを同期したことを特徴とする刻印検査装置。 - 前記被検査文字を境とする前記直交方向の一方側に前記各レーザスリット光源を配置し、他方側に前記各カメラを配置する一方、
前記スリット光の正反射光が対応するカメラの視野内に直接入らないように前記各レーザスリット光源の設置位置を対応したカメラに対して前記文字列方向へずらして配置したことを特徴とする請求項1または請求項2記載の刻印検査装置。
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