JP2014168004A - 吸着ノズルおよび部品実装装置 - Google Patents

Abstract

【課題】部品点数を削減するとともに分解組立作業性を向上させることが可能な吸着ノズルおよびそのような吸着ノズルを提供する。
【解決手段】この吸着ノズル５は、外側に突出する軸方向係合部５４を一体的に含む軸状のノズル本体５０と、ノズル本体５０が軸方向に挿入されて保持される筒状のホルダ部６０と、ホルダ部６０に対してノズル本体５０を軸方向の先端側に付勢するバネ部材７０とを備える。ホルダ部６０は、ホルダ部６０の内側に突出するとともに、ノズル本体５０の軸方向係合部５４の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、ノズル本体５０の軸方向係合部５４の向きが第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する内側上面６５ａを一体的に含む。
【選択図】図４

Description

本発明は、吸着ノズルおよび部品実装装置に関し、特に、ノズル本体がホルダ部によって保持される吸着ノズルおよびそのような吸着ノズルを装着した部品実装装置に関する。

従来、ノズル本体がホルダ部によって保持される吸着ノズルが知られている（たとえば、特許文献１参照）。

上記特許文献１には、外周面に凹状の係合部が形成されたノズル本体と、ノズル本体が挿入される筒状のホルダ部と、ホルダ部の内周面側でノズル本体の係合部と係合する係合ピンと、係合ピンの抜け止め用のクリップ部材と、ノズル本体をホルダ部に対して先端側に付勢するバネ部材とを備えた吸着ノズルが開示されている。係合ピンは、ホルダ部の円筒状の内周面を接線方向に貫通するように形成されたピン孔に挿入（嵌合）されており、係合ピンの外表面がホルダ部の内周面から僅かに露出する。組立時には、ノズル本体をホルダ部内に挿入し、凹状の係合部の位置を係合ピンの挿入位置に合わせた状態で、係合ピンを挿入することにより、ホルダ部の内周面側で係合部と係合ピンとが軸方向に係合する。また、ホルダ部の外表面には、ピン孔の外側を覆うようにクリップ部材が装着され、クリップ部材によって係合ピンが抜け止めされている。

特開２００８−３００５９８号公報

しかしながら、上記特許文献１による吸着ノズルは、ノズル本体と、ホルダ部と、係合ピンと、クリップ部材と、バネ部材との５部材から構成されており、部品点数の削減が望まれている。また、吸着ノズルは、使用に伴って定期的に清掃する必要があり、清掃には分解組立作業を伴う。そのため、上記特許文献１のように係合ピンを用いる構成では、分解組立の際に小さな係合ピンの抜き取りおよび挿入（嵌合）が必要となるため、分解組立作業の容易性の点でも改善の余地がある。

この発明は、上記のような課題を解決するためになされたものであり、この発明の１つの目的は、部品点数を削減するとともに分解組立作業性を向上させることが可能な吸着ノズルおよびそのような吸着ノズルを装着した部品実装装置を提供することである。

上記目的を達成するために、この発明の第１の局面における吸着ノズルは、外側に突出する第１軸方向係合部を一体的に含む軸状のノズル本体と、ノズル本体が軸方向に挿入されて保持される筒状のホルダ部と、ホルダ部に対してノズル本体を軸方向の先端側に付勢するバネ部材とを備え、ホルダ部は、ホルダ部の内側に突出するとともに、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する第２軸方向係合部を一体的に含む。

この発明の第１の局面による吸着ノズルでは、上記のように、外側に突出する第１軸方向係合部を一体的に含む軸状のノズル本体を設けるとともに、ノズル本体が軸方向に挿入されて保持されるホルダ部に、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する第２軸方向係合部をホルダ部の内側に突出するように一体的に設ける。これにより、ノズル本体に一体形成された第１軸方向係合部と、ホルダ部に一体形成された第２軸方向係合部との係合によりノズル本体をホルダ部内に保持させることができる。すなわち、第１軸方向係合部の向きを第１回転角度に合わせて、バネ部材を圧縮させながらノズル本体をホルダ部内に挿入することにより、第１軸方向係合部が第２軸方向係合部と係合せずに第２軸方向係合部を通過することができる。その後、ノズル本体を回転させて第１軸方向係合部の向きを第２回転角度にした状態でバネ部材を復元させれば、ノズル本体が軸方向先端側に押し戻されるとともに、第１軸方向係合部と第２軸方向係合部とを軸方向に係合させることができる。また、分解の際にもノズル本体を第２回転角度から第１回転角度に回転させれば、軸方向の係合を解除してノズル本体を取り外すことができる。これにより、係合ピンやクリップ部材を設ける必要がないので、その分、部品点数を削減することができる。また、ノズル本体のホルダ部内への挿入（移動）およびノズル本体の回転によって分解組立が可能となるので、係合ピンの抜き取りおよび挿入（嵌合）が不要で、分解組立作業性を向上させることができる。

上記第１の局面による吸着ノズルにおいて、好ましくは、ノズル本体は、外表面に第１回転方向係合部をさらに含み、ホルダ部は、ホルダ部の内側に突出するとともに、ノズル本体の第１軸方向係合部と第２軸方向係合部とが第２回転角度で軸方向に係合した状態で、ノズル本体の第１回転方向係合部と軸回りの回転方向に係合する第２回転方向係合部をさらに含む。このように構成すれば、第２回転角度でノズル本体（第１軸方向係合部）をホルダ部（第２軸方向係合部）と係合させる際に、第１回転方向係合部と第２回転方向係合部とを回転方向にも係合させることができる。これにより、ノズル本体とホルダ部との第２回転角度での係合状態で回転方向にも係合させることができるので、意図せずにノズル本体が回転してホルダ部との係合が解除されるのを防ぐことができる。

この場合において、好ましくは、ホルダ部は、先端部にノズル本体が挿入される開口を有するとともに、先端部において、第２軸方向係合部および第２回転方向係合部がそれぞれ形成された係合片を含む。このように構成すれば、ホルダ部の第２軸方向係合部および第２回転方向係合部の両方を共通の係合片に設けることができるので、ホルダ部の構造を簡素化することができる。また、係合片を、開口が形成されるホルダ部の先端部に設けることができるので、ホルダ部内の奥側の位置に係合片を形成する場合と比較して、容易に係合片を形成することができる。

上記ホルダ部が係合片を含む構成において、好ましくは、係合片は、２つ１組で互いに対向するように設けられ、ノズル本体の第１回転方向係合部は、ノズル本体の一対の側面にそれぞれ設けられており、２つ１組の係合片の第２回転方向係合部とそれぞれの側面で係合するように構成されている。このように構成すれば、ノズル本体の両側面の第１回転方向係合部に対して、２つ１組の係合片（第２回転方向係合部）が両側から係合することにより、容易に、係合状態でのノズル本体の軸回りの両方向の回転を防止することができる。

この場合において、好ましくは、係合片は、ホルダ部の先端部において、開口の四隅にそれぞれ配置されており、ホルダ部の先端側から見て、ホルダ部の開口は、係合片によって、係合片間の第１間隔を有する第１溝部と、第１間隔よりも小さい第２間隔を有する第２溝部とが十字に交差する開口形状に区画されており、ノズル本体の第１軸方向係合部は、ノズル本体から両外側に突出して、第１間隔以下で、かつ、第２間隔よりも大きい幅を有し、ノズル本体の一対の側面にそれぞれ形成された第１回転方向係合部は、一対の側面間の幅が、第２間隔と略等しくなるように形成されている。このように構成すれば、第１軸方向係合部を第１回転角度で第１溝部から通過させて、第２回転角度で第２溝部における係合片の第２軸方向係合部と軸方向に係合させることができる。この際、第１回転方向係合部の形成された一対の側面間の幅が第２間隔と略等しくなるので、第２回転角度で第１回転方向係合部を第２溝部の間に配置して、係合片の第２回転方向係合部と回転方向に係合させることができる。これにより、ノズル本体のホルダ部への挿入と、ノズル本体の回転と、バネ部材による軸方向先端側への復帰との３つの動作だけで、容易に、軸方向および回転方向の両方でノズル本体とホルダ部とを係合させることができる。

上記ノズル本体が第１回転方向係合部を含み、ホルダ部が第２回転方向係合部を含む構成において、好ましくは、ホルダ部は、ノズル本体とは反対側の端部から部品実装装置のノズルシャフトを挿入させた状態で部品実装装置に装着可能なように構成され、ノズル本体は、ホルダ部にノズルシャフトが挿入された状態で、ノズルシャフトと当接するまでの第１距離だけ軸方向に移動可能に設けられ、第１回転方向係合部は、ノズルシャフトが挿入されない状態で、第１軸方向係合部と第２軸方向係合部とが軸方向に係合した状態から、ノズル本体が第１距離よりも大きい第２距離だけホルダ部に挿入されることにより、第２回転方向係合部との係合が解除されるように構成されている。このように構成すれば、ホルダ部にノズルシャフトが挿入された状態では、第１回転方向係合部と第２回転方向係合部との回転方向の係合を解除するための第２距離だけノズル本体を移動させることができなくなる。このため、吸着ノズルが部品実装装置に装着された状態では、ノズル本体を第２回転角度から第１回転角度に回転させることができず、吸着ノズルを分解することができなくなるので、意図せずにノズル本体とホルダ部との係合が解除されるのを確実に防止することができる。

この発明の第２の局面における部品実装装置は、電子部品を吸着して電子部品を基板に実装するための吸着ノズルを装着した部品実装ヘッドを備え、吸着ノズルは、外側に突出する第１軸方向係合部を一体的に含む軸状のノズル本体と、ノズル本体が軸方向に挿入されて保持される筒状のホルダ部と、ホルダ部に対してノズル本体を軸方向の先端側に付勢するバネ部材とを含み、ホルダ部は、ホルダ部の内側に突出するとともに、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する第２軸方向係合部を一体的に有する。

この発明の第２の局面による部品実装装置では、上記のように、吸着ノズルに、外側に突出する第１軸方向係合部を一体的に含む軸状のノズル本体を設けるとともに、ノズル本体が軸方向に挿入されて保持されるホルダ部に、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、ノズル本体の第１軸方向係合部の向きが第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する第２軸方向係合部をホルダ部の内側に突出するように一体的に設ける。これにより、ノズル本体に一体形成された第１軸方向係合部と、ホルダ部に一体形成された第２軸方向係合部との係合によりノズル本体をホルダ部内に保持させることができる。すなわち、第１軸方向係合部の向きを第１回転角度に合わせて、バネ部材を圧縮させながらノズル本体をホルダ部内に挿入することにより、第１軸方向係合部が第２軸方向係合部と係合せずに第２軸方向係合部を通過することができる。その後、ノズル本体を回転させて第１軸方向係合部の向きを第２回転角度にした状態でバネ部材を復元させれば、ノズル本体が軸方向先端側に押し戻されるとともに、第１軸方向係合部と第２軸方向係合部とを軸方向に係合させることができる。また、吸着ノズルの分解の際にもノズル本体を第２回転角度から第１回転角度に回転させれば、軸方向の係合を解除してノズル本体を取り外すことができる。これにより、吸着ノズルに係合ピンやクリップ部材を設ける必要がないので、その分、吸着ノズルの部品点数を削減することができる。また、ノズル本体のホルダ部内への挿入（移動）およびノズル本体の回転によって分解組立が可能となるので、係合ピンの抜き取りおよび挿入（嵌合）が不要で、吸着ノズルの分解組立作業性を向上させることができる。

本発明によれば、上記のように、部品点数を削減するとともに分解組立作業性を向上させることが可能な吸着ノズルおよびそのような吸着ノズルを装着した部品実装装置を提供することができる。

本発明の一実施形態による部品実装装置の構成を示した平面図である。 本発明の一実施形態による部品実装装置を前後方向（Ｙ方向）に沿って見た場合の側面図である。 本発明の一実施形態による吸着ノズルを示した斜視図である。 図３に示した吸着ノズルの縦断面を示した斜視図である。 図３に示した吸着ノズルの分解斜視図である。 図３に示した吸着ノズルの先端部近傍を示した拡大斜視図である。 （Ａ）は、本発明の一実施形態による吸着ノズルのノズル本体の構造を説明するための正面図である。（Ｂ）は、（Ａ）の側面図であり、（Ｃ）は、（Ａ）の底面図である。 （Ａ）は、（Ｂ）の５００−５００線に沿った断面図である。（Ｂ）は、本発明の一実施形態による吸着ノズルのホルダ部の構造を説明するためのホルダ部の底面図である。 （Ａ）は、（Ｂ）の５１０−５１０線に沿った断面図である。（Ｂ）は、第１回転角度でホルダ部にノズル本体を挿入した状態の吸着ノズルの底面図である。 （Ａ）は、（Ｂ）の５２０−５２０線に沿った断面図である。（Ｂ）は、図９（Ｂ）におけるノズル本体を第１回転角度から第２回転角度に回転させた状態の吸着ノズルの底面図である。 （Ａ）は、（Ｂ）の５３０−５３０線に沿った断面図である。（Ｂ）は、図１０（Ｂ）に示した状態から、ノズル本体をホルダ部に係合させた係合状態を示した吸着ノズルの底面図である。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。

まず、図１〜図１１を参照して、本発明の一実施形態による部品実装装置１００の構造について説明する。

本実施形態による部品実装装置１００は、図１および図２に示すように、基台１と、基台１上に配置されＸ方向に基板１１０を搬送する基板搬送部２と、基板搬送部２の両側（Ｙ１側およびＹ２側）に配置された部品供給部３と、基板搬送部２の上方（Ｚ１方向側）をＸ−Ｙ平面に沿って移動可能なヘッドユニット４とを備えている。ヘッドユニット４には、図２に示すように、先端（下端）に吸着ノズル５が装着された複数（５つ）の部品実装ヘッド４１がＸ方向に配列されている。また、基台１上には、部品実装ヘッド４１の吸着ノズル５に吸着された状態の部品１０を撮像して認識する部品撮像部１ａが、基台１上の前方側（Ｙ２方向側）および後方側（Ｙ１方向側）にそれぞれ設けられている。なお、部品１０は、本発明の「電子部品」の一例である。

基台１上に配置された基板搬送部２は、図１に示すように、基板１１０の搬送方向（Ｘ方向）に延びる一対のコンベア２ａを有している。一対のコンベア２ａは、一方側（Ｘ１側）から基板１１０を受け入れて所定の作業位置まで搬送するとともに、作業位置において基板１１０を保持する機能を有している。また、一対のコンベア２ａは、部品１０の実装完了後に、実装済みの基板１１０を他方側（Ｘ２側）に搬出する機能をさらに有している。

部品供給部３には、複数のテープフィーダ３ａが横方向（Ｘ方向）に沿って並べて配置されている。テープフィーダ３ａには、ＩＣ、トランジスタおよびコンデンサ等の部品１０が収納されたテープ（図示せず）が装着されている。そして、テープフィーダ３ａは、間欠的にテープを繰り出しながら部品１０を基板搬送部２近傍の所定の部品供給位置に供給するように構成されている。

ヘッドユニット４は、図１および図２に示すように、部品供給部３から供給される部品１０を吸着して基板１１０上の所定位置（実装位置）まで移送し、部品１０を基板１１０に実装する機能を有している。ヘッドユニット４の各部品実装ヘッド４１は、下方に延びるノズルシャフト４２を含み、このノズルシャフト４２の先端（下端）に部品吸着用の吸着ノズル５が装着されている。ノズルシャフト４２の内部には、ヘッドユニット４に搭載された圧力発生機（図示せず）と接続された空気通路が形成されており、ノズルシャフト４２を介して、吸着ノズル５の先端部（下端部）に負圧および正圧を発生させることが可能である。これにより、部品実装動作時には、吸着ノズル５の先端（下端）に発生させた負圧によって部品１０が個々に吸着されるとともに、実装位置で吸着ノズル５に正圧を供給することにより、部品１０を搭載するように構成されている。

また、ヘッドユニット４は、基台１上をＸ方向に延びる支持部６を介して移動可能に支持されている。ヘッドユニット４は、支持部６に設けられたサーボモータ７ａによりボールねじ軸７ｂが回動されることによってＸ方向に移動される。また、基台１の上面には、Ｙ方向に延びる一対の高架フレーム８が配置されており、高架フレーム８には、サーボモータ９ａとボールねじ軸９ｂとが設けられている。ここで、支持部６は、一対の固定レール８ａを介して高架フレーム８上をＸ方向に跨いでいる。そして、支持部６は、サーボモータ９ａによりボールねじ軸９ｂが回動されることによって、高架フレーム８上を固定レール８ａに沿ってＹ方向に移動される。このように、ヘッドユニット４は、ボールねじ軸７ｂおよび９ｂがそれぞれ回転されて、基台１上のＸ−Ｙ平面内を任意の位置に移動することが可能に構成されている。

また、図２に示すように、各々の部品実装ヘッド４１は、サーボモータおよび図示しない昇降機構によって、ノズルシャフト４２（吸着ノズル５）を上下方向（Ｚ方向）に昇降可能に構成されている。部品実装装置１００は、ノズルシャフト４２を下降位置まで下げた状態で、吸着ノズル５による部品１０の吸着を行い、部品１０を吸着した状態でノズルシャフト４２を上昇位置に戻して基板１１０上の所定の実装位置の上方まで搬送する。そして、実装位置の上方で再びノズルシャフト４２（吸着ノズル５）が下げられて部品１０を基板１１０に実装する。また、各々の部品実装ヘッド４１は、ノズルシャフト４２（吸着ノズル５）を、サーボモータおよび図示しない回転機構によって、ノズルシャフト４２（吸着ノズル５）の中心を通る鉛直軸線（Ｚ方向）を回動中心として回動させることが可能なように構成されている。これにより、吸着ノズル５の先端部に保持された部品１０の姿勢（Ｘ−Ｙ平面での向き）がその部品の実装角度に一致するように調整される。

また、ヘッドユニット４には、基板１１０に付されたフィデューシャルマーク（図示せず）を認識するための基板撮像部４３が取り付けられている。部品実装装置１００は、基板１１０のフィデューシャルマーク（図示せず）を上方から撮像して基板１１０の位置および姿勢を認識するように構成されている。これにより、基板１１０の任意の実装位置の上方に部品実装ヘッド４１の吸着ノズル５を位置付け、部品実装を行うことが可能である。

また、基台１上の部品撮像部１ａは、ヘッドユニット４（図２参照）の部品実装ヘッド４１（吸着ノズル５）により吸着された実装直前の部品１０を、下面側（Ｚ２側）から撮像する機能を有している。これにより、実装直前の部品１０の吸着ノズル５に対する保持（吸着）状態が部品実装装置１００に認識され、認識結果に基づいて適切な実装位置および実装角度で部品を搭載することが可能である。

次に、図３〜図１１を参照して、本実施形態による吸着ノズル５の構成について説明する。

本実施形態では、図３〜図５に示すように、吸着ノズル５は、軸状のノズル本体５０と、ノズル本体５０が軸方向（Ｚ方向）に挿入されて保持される筒状のホルダ部６０と、ホルダ部６０に対してノズル本体５０を軸方向の先端側（Ｚ２方向）に付勢するバネ部材７０（図５参照）との３部品から構成されている。なお、吸着ノズル５が部品実装ヘッド４１に装着された状態で、吸着ノズル５の軸方向と上下方向（Ｚ方向）とが一致するので、以下の説明では、軸方向を上下方向（Ｚ方向）として説明する。

吸着ノズル５は、分解および組立が可能であり、ノズル本体５０は、ホルダ部６０の先端（下端）側（Ｚ２方向側）から挿入され、軸方向（Ｚ方向）に摺動可能な状態でホルダ部６０に保持されている。ノズル本体５０は、図４および図６に示す組立状態で、後述するように、ノズル本体５０の軸方向係合部５４がホルダ部６０の先端の係合片６５と軸方向に係合することによって、ホルダ部６０内に保持（抜け止め）されている。また、ノズル本体５０の回転方向係合部５７が係合片６５と回転方向に係合することによって、組立状態（係合状態）でのノズル本体５０の中心軸回りの回転方向の移動が規制されている。なお、軸方向係合部５４および回転方向係合部５７は、それぞれ、本発明の「第１軸方向係合部」および「第１回転方向係合部」の一例である。

ノズル本体５０は、工具鋼などの金属材料からなり、内部に空気通路５１（図４参照）が形成された中空軸状の先端部材である。空気通路５１は、先端（下端）の吸引口５２ａ（図９（Ａ）参照）から上端まで連通している。図７（Ａ）〜図７（Ｃ）に示すように、ノズル本体５０は、先端の先細り形状のノズル部５２と、ノズル部５２の上方の中間部５３と、中間部５３の上端で外側に突出する軸方向係合部５４と、軸方向係合部５４の上方の円環状のフランジ部５５と、フランジ部５５よりも上側の軸状部５６とを一体的に含んでいる。

ノズル部５２には、図７（Ｃ）に示すように、先端面に２つの円形の吸引口５２ａが並んで形成されており、空気通路５１を介してこの吸引口５２ａに負圧が供給されることにより、部品１０を吸着することが可能となっている。

中間部５３は、図７（Ａ）および図７（Ｂ）に示すように、ノズル部５２からＡ方向外側に拡がるように形成された部分である。中間部５３は、Ａ方向の最大幅Ｗ１、Ｂ方向の幅Ｗ２（図７（Ｃ）参照）、および、長さＬを有する。中間部５３は、Ｂ方向の両側面５３ａにそれぞれ配置された、平坦面（側面５３ａ）からなる一対の回転方向係合部５７を有している。中間部５３のＡ方向の両端部は、円弧状に形成されている。一対の回転方向係合部５７は、当接領域５７ａ（図７（Ｂ）参照）でホルダ部６０の係合片６５の側端面６５ｂ（図８（Ａ）参照）と中心軸回りの回転方向に係合することにより、ノズル本体５０の回り止めとして機能する。なお、側端面６５ｂは、本発明の「第２回転方向係合部」の一例である。

軸方向係合部５４は、図７（Ａ）に示すように、中間部５３の上端からＢ方向の両外側に突出するように形成されている。また、軸方向係合部５４は、中間部５３の回転方向係合部５７と平行なＡ方向に直線状に延びるように形成されている。軸方向係合部５４は、Ｂ方向の幅Ｗ３（図７（Ｃ）参照）を有する。また、軸方向係合部５４は、平坦面からなる下面５４ａを有する。軸方向係合部５４は、図７（Ｃ）に示すように、この下面５４ａ（当接領域５４ｂ）で、ホルダ部６０の係合片６５の内側上面６５ａ（図８（Ａ）参照）と軸方向に係合するように構成されている。軸方向係合部５４のＡ方向の両端部は、中間部５３の稜線と連続する円弧状に形成されている。なお、内側上面６５ａは、本発明の「第２軸方向係合部」の一例である。

フランジ部５５は、軸方向係合部５４の上側で、半径方向に円環状に張り出すように形成されている。フランジ部５５は、上面側で、軸状部５６に装着されたバネ部材７０の下端部が当接するバネ受部として機能する。

軸状部５６は、フランジ部５５から上方に延びるように外径ｄ１の円筒形状に形成されている。軸状部５６は、ホルダ部６０の軸受部６３（図８（Ａ）参照）に嵌め込まれるように構成されている。また、軸状部５６は、軸受部６３に沿って上下方向に摺動可能となっている。

図４に示すように、ホルダ部６０は、ステンレス鋼などの金属材料からなり、内部にノズル本体５０およびバネ部材７０を保持する筒状部材である。ホルダ部６０は、図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示すように、開口６１ａおよび係合片６５が形成された先端部６１と、バネ部材７０およびノズル本体５０の軸状部５６よりも先端側の部分を収容可能な収容部６２と、上記した軸受部６３と、通路部分６４ａが形成された上側筒部６４とを一体的に含んでいる。

先端部６１は、ホルダ部６０の下端部である。先端部６１に形成された開口６１ａは、収容部６２の内部空間（収容空間６２ａ）と連続した円形状を有し、ノズル本体５０およびバネ部材７０が挿入される入口部分である。開口６１ａは、ノズル本体５０を挿入可能なように、ノズル本体５０の最大幅（中間部５３の幅Ｗ１）よりも僅かに大きい内径を有する。

また、先端部６１には、４つの係合片６５（図８（Ｂ）参照）が先端部６１に一体的に形成されている。それぞれの係合片６５は、図８（Ａ）に示すように、先端部６１の下端面から先端側（Ｚ２方向）に突出した後、内側に向けて突出するように形成されている。これにより、各係合片６５は、図８（Ｂ）に示すように軸方向先端側（Ｚ２方向側）から見て、先端部６１の周縁から内側に張り出して、円形状の開口６１ａと軸方向に部分的に重なっている。これらの係合片６５は、ノズル本体５０と係合してホルダ部６０にノズル本体５０を保持する機能を有する。すなわち、各係合片６５は、ノズル本体５０の軸方向係合部５４と軸方向（Ｚ方向）に係合する内側上面６５ａ（図８（Ａ）参照）と、回転方向係合部５７と係合する側端面６５ｂとを一体的に含んでいる。内側上面６５ａは、図８（Ｂ）に示す当接領域６５ｃで軸方向係合部５４と当接する。なお、図８（Ｂ）および図１１（Ｂ）において、説明のために当接領域６５ｃを係合片６５の下面側に図示しているが、実際には当接領域６５ｃは係合片６５の反対面（内側上面６５ａ）側である。

図８（Ｂ）に示すように、４つの係合片６５は、軸方向先端側（Ｚ２方向側）から見て、開口６１ａの四隅にそれぞれ配置されており、Ｅ方向の２つ１組（合計２組）で、側端面６５ｂ同士がＥ方向に互いに対向するように設けられている。ホルダ部６０の開口６１ａは、４つの係合片６５によって、係合片６５間の第１間隔Ｄ１を有しＥ方向に延びる第１溝部６１ｂと、第１間隔Ｄ１よりも小さい第２間隔Ｄ２を有しＦ方向に延びる第２溝部６１ｃとが十字に交差する開口形状に区画されている。すなわち、Ｅ方向の第１溝部６１ｂとＦ方向の第２溝部６１ｃとが直交している。

図８（Ａ）および図８（Ｂ）に示すように、収容部６２は、先端部６１から上方に延びるとともに、内部が開口６１ａから内径一定で連続するように形成された筒状部分である。この収容部６２の内部がノズル本体５０およびバネ部材７０の収容空間６２ａとなっている。収容空間６２ａの内側上端部には、収容空間６２ａの内径が絞られることにより、支持面６２ｂが形成されている。この支持面６２ｂは、軸状部５６に装着されたバネ部材７０（図４参照）の上端部が当接するバネ受部として機能する。

軸受部６３は、収容部６２の上部から連続して上方に延びるように設けられている。軸受部６３は、ノズル本体５０の軸状部５６の外径に略一致する内径ｄ１を有する円筒状に形成されている。軸受部６３に軸状部５６が嵌合されることにより、軸受部６３の上側の通路部分６４ａ（空気通路の一部）と下側の収容部６２の内部との間が非連通状態となり、空気の流通が遮断される。このため、図４に示すように、軸状部５６と軸受部６３との嵌合によって、ホルダ部６０の上側の通路部分６４ａとノズル本体５０の空気通路５１とが連通して、吸着ノズル５全体を上下に延びる空気通路が構成される。また、軸受部６３は、ノズル本体５０の軸状部５６との嵌合によって、ノズル本体５０の軸方向（Ｚ方向）への摺動および中心軸回りの回転をガイドする機能を有する。

図８（Ａ）に示すように、上側筒部６４は、軸受部６３から上方に連続する筒状部分である。上側筒部６４の内部には、ノズル本体５０の空気通路５１と連通する内径一定の円形断面の通路部分６４ａが設けられている。また、この通路部分６４ａは、吸着ノズル５が部品実装ヘッド４１に装着される際に、部品実装ヘッド４１のノズルシャフト４２の先端が挿入されるように構成されている。これにより、上述したヘッドユニット４の圧力発生機（図示せず）からの圧力が、ノズルシャフト４２、通路部分６４ａおよびノズル本体５０の空気通路５１を介してノズル部５２の吸引口５２ａに供給（図１１（Ａ）参照）される。なお、上側筒部６４の外周側には、一対の係合凸部６４ｂが形成されており、一対の係合凸部６４ｂが部品実装ヘッド４１の図示しないクランプ部材と係合することにより、吸着ノズル５が部品実装ヘッド４１に装着される。

なお、ノズル本体５０は、上側筒部６４の通路部分６４ａにノズルシャフト４２が挿入された状態では、ノズル本体５０を第１距離Ｄ３だけ上方に移動させるとノズルシャフト４２の先端部と当接して、上方への移動が係止されるように構成されている。このため、吸着ノズル５が部品実装ヘッド４１に取り付けられた状態では、ノズル本体５０は第１距離Ｄ３の範囲内で移動可能となる。

バネ部材７０は、図４および図９（Ａ）に示すように、圧縮コイルバネであり、ノズル本体５０の軸状部５６が挿入されることにより軸状部５６に装着される。バネ部材７０は、ノズル本体５０の軸状部５６の外周側で、かつ、ホルダ部６０の収容部６２の内周側（収容空間６２ａ内）に配置されている。バネ部材７０は、ノズル本体５０（フランジ部５５）を先端側（Ｚ２方向）に付勢して、軸方向係合部５４を係合片６５の内側上面６５ａに押圧し、係合状態を保持させる機能を有する。また、実装作業時に、ノズル本体５０の先端が部品１０などと接触する際には、ノズル本体５０がバネ部材７０を圧縮させながら、ホルダ部６０の先端部６１側から第１距離Ｄ３（図１１（Ａ）参照）の範囲内で上方（Ｚ１方向）に移動可能である。これにより、バネ部材７０は、吸着ノズル５の接触時の衝撃を緩和する緩衝機能（いわゆるバフィング機能）を有する。

次に、ノズル本体５０とホルダ部６０との係合構造について詳細に説明する。

図９（Ａ）および図９（Ｂ）に示すように、ノズル本体５０は、軸方向係合部５４のＢ方向の幅Ｗ３が、ホルダ部６０の開口６１ａのうち、Ｅ方向に延びる第１溝部６１ｂの第１間隔Ｄ１以下で、かつ、Ｆ方向に延びる第２溝部６１ｃの第２間隔Ｄ２よりも大きくなる（図１０（Ｂ）参照）ように構成されている。このため、軸方向係合部５４のＡ方向を、第１溝部６１ｂの延びるＥ方向に一致させた第１回転角度でノズル本体５０をホルダ部６０に挿入すると、幅Ｗ３の軸方向係合部５４が係合片６５とは係合せずに第１間隔Ｄ１の第１溝部６１ｂを通過することが可能である。

また、軸方向係合部５４がホルダ部６０の内部に配置された状態で、軸方向係合部５４のＡ方向を、第２溝部６１ｃの延びるＦ方向に一致させた第２回転角度にした場合には、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）に示すように、幅Ｗ３の軸方向係合部５４が第２間隔Ｄ２の第２溝部６１ｃを通過できず、第２溝部６１ｃの両側の係合片６５と係合する（図１１（Ａ）参照）。このとき、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示すように、軸方向係合部５４の下面５４ａと、係合片６５の内側上面６５ａとが当接（当接領域５４ｂおよび６５ｃ）して、軸方向係合部５４と係合片６５とが軸方向に係合する。この結果、ノズル本体５０がホルダ部６０に軸方向に保持される。

また、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）に示すように、ノズル本体５０の一対の回転方向係合部５７（中間部５３）は、中間部５３のＢ方向の両側面間の幅Ｗ２がＦ方向に延びる第２溝部６１ｃの第２間隔Ｄ２と略等しくなるように形成されている。これにより、中間部５３は、Ａ方向を第２溝部６１ｃの延びるＦ方向に一致させた第２回転角度で、幅Ｗ２の中間部５３が第２間隔Ｄ２の第２溝部６１ｃに軸方向に摺動可能に嵌り込むように構成されている。その結果、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示すように、第２回転角度で軸方向係合部５４と係合片６５とが軸方向に係合した係合状態で、第２溝部６１ｃの両側の係合片６５の側端面６５ｂが、一対の回転方向係合部５７とそれぞれ当接（当接領域５７ａ、６５ｄ）して、回転方向係合部５７と係合片６５とが回転方向に係合する。

なお、回転方向係合部５７が形成された中間部５３は、軸方向の長さＬを有する。このため、ノズル本体５０は、第２回転角度の係合状態では、回転方向係合部５７が係合片６５よりも上方の位置に配置されるまでの第２距離Ｄ４（図１０（Ａ）参照）だけホルダ部６０内に挿入されなければ、回転方向係合部５７と係合片６５（側端面６５ｂ）との係合が解除されないように構成されている。すなわち、ホルダ部６０を第２回転角度から第１回転角度に回転させるためには、係合状態からノズル本体５０を第２距離Ｄ４だけホルダ部６０内に挿入する必要がある。

ここで、上述の通り、ノズル本体５０は、上側筒部６４の通路部分６４ａにノズルシャフト４２が挿入された状態では、ノズルシャフト４２の先端部と当接するまでの第１距離Ｄ３の範囲内で上方に移動可能である。本実施形態では、回転方向係合部５７と係合片６５（側端面６５ｂ）との回転方向の係合を解除するための第２距離Ｄ４は、この第１距離Ｄ３よりも大きくなるように設定されている。したがって、吸着ノズル５が部品実装ヘッド４１に取り付けられた状態では、ノズル本体５０が上方に移動上限（第１距離Ｄ３）まで移動されても、回転方向係合部５７と係合片６５（側端面６５ｂ）との係合が解除されないため、ノズル本体５０を回転させることができないようになっている。

なお、ノズル本体５０を第２距離Ｄ４だけホルダ部６０内に挿入することにより回転方向係合部５７と係合片６５との係合が解除されるので、係合解除状態（第１回転角度）から係合状態（第２回転角度）にする場合（組立時）にも、ノズル本体５０を第１回転角度から第２回転角度に回転させるためには、ノズルシャフト４２が挿入されていない状態でノズル本体５０を第２距離Ｄ４だけホルダ部６０内に挿入する必要がある。

次に、図９〜図１１を参照して、本実施形態による吸着ノズル５の組立および分解方法について説明する。

吸着ノズル５を組み立てる際には、まず、図９（Ａ）および図９（Ｂ）に示すように、軸状部５６にバネ部材７０が装着された状態で、ノズル本体５０のＡ方向を第１溝部６１ｂの延びるＥ方向に一致させた第１回転角度でノズル本体５０をホルダ部６０に挿入する。これにより、軸方向係合部５４が開口６１ａの第１溝部６１ｂを通過して収容部６２の内部（収容空間６２ａ内）に進入する。この際、バネ部材７０の上端部が支持面６２ｂに当接するので、バネ部材７０の反発力に打ち勝つようにノズル本体５０を上方に押し込む。

第１回転角度のままノズル本体５０が第２距離Ｄ４だけホルダ部内に挿入されると、回転方向係合部５７が係合片６５の位置を通過して上方に配置される。この状態で、図１０（Ａ）および図１０（Ｂ）に示すように、ノズル本体５０を第１回転角度から、Ａ方向を第２溝部６１ｃの延びるＦ方向に一致させた第２回転角度まで９０度回転させる。

最後に、第２回転角度の状態でノズル本体５０の上方への押し込み力を開放してバネ部材７０の圧縮を復元させる。その結果、ノズル本体５０は第２距離Ｄ４分だけ先端側に押し戻される（下方移動する）。このとき、ノズル本体５０の中間部５３が第２溝部６１ｃ内に嵌合し、一対の回転方向係合部５７がそれぞれ係合片６５と回転方向に係合する。図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示すように、バネ部材７０の付勢力によってノズル本体５０が第２距離Ｄ４分だけ先端側に移動すると、ノズル本体５０の軸方向係合部５４が係合片６５と当接して、軸方向に係合される。また、一対の回転方向係合部５７と係合片６５との回転方向の係合もそのまま維持される。この結果、ノズル本体５０がホルダ部６０と軸方向および回転方向に係合した状態で、ノズル本体５０がホルダ部６０に保持される。これにより、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）のように吸着ノズル５をノズルシャフト４２に挿入して、吸着ノズル５を部品実装ヘッド４１に装着することが可能となる。

吸着ノズル５の清掃時などに吸着ノズル５を分解する場合、まず、吸着ノズル５を部品実装ヘッド４１から取り外しておく。その後、組立時とは逆の手順で、図１１（Ａ）および図１１（Ｂ）に示す係合状態から、ノズル本体５０を第２距離Ｄ４だけ上方に押し込み、図１１（Ａ）に示すように回転方向の係合を解除する。次に、ノズル本体５０を第２回転角度から図９（Ａ）に示すように第１回転角度に９０度回転させる。そして、ノズル本体５０を第１回転角度の状態でホルダ部６０から引き抜く。

以上のように、本実施形態では、ノズル本体５０の押し込み（上方移動）、ノズル本体５０の回転、および、ノズル本体５０の引き出し（下方移動）の３動作だけで、吸着ノズルの分解組立が可能となっている。

本実施形態では、上記のように、ノズル本体５０に、Ｂ方向の外側に突出する軸方向係合部５４を一体的に設ける。そして、ホルダ部６０に、軸方向係合部５４の向きが第１回転角度の場合には係合せず、軸方向係合部５４の向きが第２回転角度の場合に軸方向に係合する係合片６５（内側上面６５ａ）をホルダ部６０の内側に突出するように一体的に設ける。これにより、ノズル本体５０に一体形成された軸方向係合部５４と、ホルダ部６０に一体形成された係合片６５（内側上面６５ａ）との係合によりノズル本体５０をホルダ部６０内に保持させることができる。すなわち、第１回転角度でノズル本体５０をホルダ部６０内に挿入し、ノズル本体５０を回転させて軸方向係合部５４の向きを第２回転角度にした状態でバネ部材７０を復元させれば、軸方向係合部５４と係合片６５（内側上面６５ａ）とを軸方向に係合させることができる。また、分解の際にもノズル本体５０を第２回転角度から第１回転角度に回転させれば、軸方向の係合を解除してノズル本体５０を取り外すことができる。これにより、係合ピンやクリップ部材を設ける必要がないので、その分、部品点数を削減することができる。また、ノズル本体５０のホルダ部６０内への挿入（移動）およびノズル本体５０の回転によって分解組立が可能となるので、係合ピンの抜き取りおよび挿入（嵌合）が不要で、分解組立作業性を向上させることができる。

また、本実施形態では、ノズル本体５０の外表面に回転方向係合部５７を設ける。そして、軸方向係合部５４と係合片６５（内側上面６５ａ）とが第２回転角度で軸方向に係合した係合状態で、ノズル本体５０の回転方向係合部５７と軸回りの回転方向に係合する係合片６５（側端面６５ｂ）をホルダ部６０に設ける。これにより、ノズル本体５０とホルダ部６０との第２回転角度での係合状態で回転方向にも係合させることができるので、意図せずにノズル本体５０が回転してホルダ部６０との係合が解除されるのを防ぐことができる。

また、本実施形態では、ホルダ部６０の先端部６１に、内側上面６５ａおよび側端面６５ｂがそれぞれ形成された係合片６５を設ける。これにより、軸方向係合部５４と係合する内側上面６５ａと、回転方向係合部５７と係合する側端面６５ｂとの両方を、共通の係合片６５に設けることができるので、ホルダ部６０の構造を簡素化することができる。また、係合片を、開口６１ａが形成されるホルダ部６０の先端部６１に設けることができるので、ホルダ部６０内の奥側の位置に係合片６５を形成する場合と比較して、容易に係合片６５を形成することができる。

また、本実施形態では、係合片６５を、２つ１組でＥ方向に互いに対向するように設ける。そして、ノズル本体５０の回転方向係合部５７を、２つ１組の係合片６５の側端面６５ｂとそれぞれの側面５３ａで係合するように一対設ける。これにより、ノズル本体５０の両側面５３ａの回転方向係合部５７に対して、２つ１組の係合片６５（側端面６５ｂ）が両側から係合することにより、容易に、係合状態でのノズル本体５０の軸回りの両方向の回転を防止することができる。

また、本実施形態では、ホルダ部６０の開口６１ａを、４つの係合片６５によって、第１間隔Ｄ１を有する第１溝部６１ｂと、第１間隔Ｄ１よりも小さい第２間隔Ｄ２を有する第２溝部６１ｃとに区画する。そして、ノズル本体５０の軸方向係合部５４のＢ方向の幅Ｗ３を、第１間隔Ｄ１以下で、かつ、第２間隔Ｄ２よりも大きくする。そして、回転方向係合部５７が形成された一対の側面５３ａ間の幅Ｗ２を、第２間隔Ｄ２と略等しくなるように回転方向係合部５７を形成する。これにより、軸方向係合部５４を第１回転角度で第１溝部６１ｂから通過させて、第２回転角度で第２溝部６１ｃにおける係合片６５の内側上面６５ａと軸方向に係合させることができる。この際、第２回転角度で回転方向係合部５７を第２溝部６１ｃの間に配置して、係合片６５の側端面６５ｂと回転方向に係合させることができる。これにより、ノズル本体５０のホルダ部６０への挿入と、ノズル本体５０の回転と、バネ部材７０による軸方向先端側への復帰との３つの動作だけで、容易に、軸方向および回転方向の両方でノズル本体５０とホルダ部６０とを係合させることができる。

また、本実施形態では、ノズル本体５０を、ホルダ部６０にノズルシャフト４２が挿入された状態で、ノズルシャフト４２と当接するまでの第１距離Ｄ３だけ軸方向に移動可能に設ける。そして、回転方向係合部５７を、ノズルシャフト４２が挿入されない状態で、係合状態（図１１（Ａ）参照）から、ノズル本体５０が第１距離Ｄ３よりも大きい第２距離Ｄ４だけホルダ部６０に挿入されることにより、係合片６５（側端面６５ｂ）との係合が解除されるように構成する。これにより、ホルダ部６０にノズルシャフト４２が挿入された状態では、回転方向の係合を解除するための第２距離Ｄ４だけノズル本体５０を移動させることができなくなる。このため、吸着ノズル５が部品実装装置１００に装着された状態では、ノズル本体５０を第２回転角度から第１回転角度に回転させることができず、吸着ノズル５を分解することができなくなるので、意図せずにノズル本体５０とホルダ部６０との係合が解除されるのを確実に防止することができる。

なお、今回開示された実施形態は、すべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した実施形態の説明ではなく特許請求の範囲によって示され、さらに特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれる。

たとえば、上記実施形態では、ノズル本体のＡ方向とホルダ部のＥ方向とを一致させた第１回転角度と、ノズル本体のＡ方向とホルダ部のＦ方向とを一致させた第２回転角度とを直交させた例について示したが、本発明はこれに限られない。第１回転角度と第２回転角度とが直交しなくともよい。第２回転角度は、第１回転角度とは異なる角度であればよい。

また、上記実施形態では、軸方向係合部５４と係合する内側上面６５ａと、回転方向係合部５７と係合する側端面６５ｂとの両方を、共通の係合片６５に設けた例を示したが、本発明はこれに限られない。本発明では、軸方向係合部５４と係合する係合片と、回転方向係合部５７と係合する係合片とを別々に設けてもよい。

また、上記実施形態では、軸方向係合部５４と係合片６５の内側上面６５ａとを係合させるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、ホルダ部の内周面に内側に突出する凸部を一体形成して、凸部とノズル本体の軸方向係合部とが係合するようにしてもよい。

また、上記実施形態では、回転方向係合部５７と係合片６５の側端面６５ｂとを係合させるように構成した例を示したが、本発明はこれに限られない。たとえば、係合片６５の内側上面６５ａ側に、上方に延びる凸部を設けて、軸方向係合部５４の下面５４ａと内側上面６５ａとを係合させた時に、軸方向係合部５４の側端面が凸部と回転方向に係合するようにしてもよい。この場合、中間部５３を第２溝部６１ｃの間に配置させる必要がなくなるので、中間部５３のＡ方向の幅Ｗ１を第１間隔Ｄ１まで小さくして、第２溝部６１ｃを設けなくともよい（係合片６５をＥ方向に連続するようにしてもよい）。

また、上記実施形態では、軸方向係合部５４をＡ方向に直線状に延びるように形成し、ホルダ部６０側には係合片６５によって直線状の第１溝部６１ｂおよび第２溝部６１ｃを形成した例を示したが、本発明はこれに限られない。軸方向係合部５４は、第１回転角度でホルダ部側の係合部（係合片６５）と係合せずに通過可能で、第２回転角度ではホルダ部側の係合部（係合片６５）と係合する形状であればよい。このため、ホルダ部側も、第１および第２溝部を形成する必要はない。したがって、たとえば鍵と鍵穴のように、ホルダ部の開口がノズル本体の軸方向係合部に対応する形状となっており、第１回転角度でノズル本体の軸方向係合部を開口から通過させた後、第１回転角度以外の角度ではノズル本体が抜けなくなるような構造となるように、ホルダ部とノズル本体とを構成してもよい。

また、上記実施形態では、回転方向係合部５７と係合片６５（側端面６５ｂ）との回転方向の係合を解除するための第２距離Ｄ４を、ノズル本体５０がノズルシャフト４２の先端部と当接するまでの第１距離Ｄ３よりも大きくなるように設定した例を示したが、本発明はこれに限られない。第２距離Ｄ４が第１距離Ｄ３よりも小さくともよい。

また、上記実施形態では、５つの部品実装ヘッド４１を備えた部品実装装置１００の例を示したが、本発明はこれに限られない。部品実装ヘッドは、１〜４つまたは６つ以上設けてもよい。

５ 吸着ノズル
１０ 部品（電子部品）
４１ 部品実装ヘッド
４２ ノズルシャフト
５０ ノズル本体
５３ａ 側面
５４ 軸方向係合部（第１軸方向係合部）
５７ 回転方向係合部（第１回転方向係合部）
６０ ホルダ部
６５ 係合片
６１ 先端部
６１ａ 開口
６１ｂ 第１溝部
６１ｃ 第２溝部
６５ａ 内側上面（第２軸方向係合部）
６５ｂ 側端面（第２回転方向係合部）
７０ バネ部材
１００ 部品実装装置
１１０ 基板
Ｄ１ 第１間隔
Ｄ２ 第２間隔
Ｄ３ 第１距離
Ｄ４ 第２距離

Claims (7)

1. 外側に突出する第１軸方向係合部を一体的に含む軸状のノズル本体と、
   前記ノズル本体が軸方向に挿入されて保持される筒状のホルダ部と、
   前記ホルダ部に対して前記ノズル本体を軸方向の先端側に付勢するバネ部材とを備え、
   前記ホルダ部は、前記ホルダ部の内側に突出するとともに、前記ノズル本体の前記第１軸方向係合部の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、前記ノズル本体の前記第１軸方向係合部の向きが前記第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する第２軸方向係合部を一体的に含む、吸着ノズル。
2. 前記ノズル本体は、外表面に第１回転方向係合部をさらに含み、
   前記ホルダ部は、前記ホルダ部の内側に突出するとともに、前記ノズル本体の前記第１軸方向係合部と前記第２軸方向係合部とが前記第２回転角度で軸方向に係合した状態で、前記ノズル本体の前記第１回転方向係合部と軸回りの回転方向に係合する第２回転方向係合部をさらに含む、請求項１に記載の吸着ノズル。
3. 前記ホルダ部は、先端部に前記ノズル本体が挿入される開口を有するとともに、前記先端部において、前記第２軸方向係合部および前記第２回転方向係合部がそれぞれ形成された係合片を含む、請求項２に記載の吸着ノズル。
4. 前記係合片は、２つ１組で互いに対向するように設けられ、
   前記ノズル本体の前記第１回転方向係合部は、前記ノズル本体の一対の側面にそれぞれ設けられており、２つ１組の前記係合片の前記第２回転方向係合部とそれぞれの側面で係合するように構成されている、請求項３に記載の吸着ノズル。
5. 前記係合片は、前記ホルダ部の先端部において、前記開口の四隅にそれぞれ配置されており、
   前記ホルダ部の先端側から見て、前記ホルダ部の前記開口は、前記係合片によって、前記係合片間の第１間隔を有する第１溝部と、前記第１間隔よりも小さい第２間隔を有する第２溝部とが十字に交差する開口形状に区画されており、
   前記ノズル本体の前記第１軸方向係合部は、前記ノズル本体から両外側に突出して、前記第１間隔以下で、かつ、前記第２間隔よりも大きい幅を有し、
   前記ノズル本体の一対の側面にそれぞれ形成された前記第１回転方向係合部は、前記一対の側面間の幅が、前記第２間隔と略等しくなるように形成されている、請求項４に記載の吸着ノズル。
6. 前記ホルダ部は、前記ノズル本体とは反対側の端部から部品実装装置のノズルシャフトを挿入させた状態で前記部品実装装置に装着可能なように構成され、
   前記ノズル本体は、前記ホルダ部に前記ノズルシャフトが挿入された状態で、前記ノズルシャフトと当接するまでの第１距離だけ軸方向に移動可能に設けられ、
   前記第１回転方向係合部は、前記ノズルシャフトが挿入されない状態で、前記第１軸方向係合部と前記第２軸方向係合部とが軸方向に係合した状態から、前記ノズル本体が前記第１距離よりも大きい第２距離だけ前記ホルダ部に挿入されることにより、前記第２回転方向係合部との係合が解除されるように構成されている、請求項２〜５のいずれか１項に記載の吸着ノズル。
7. 電子部品を吸着して前記電子部品を基板に実装するための吸着ノズルを装着した部品実装ヘッドを備え、
   前記吸着ノズルは、外側に突出する第１軸方向係合部を一体的に含む軸状のノズル本体と、ノズル本体が軸方向に挿入されて保持される筒状のホルダ部と、前記ホルダ部に対して前記ノズル本体を軸方向の先端側に付勢するバネ部材とを含み、
   前記ホルダ部は、前記ホルダ部の内側に突出するとともに、前記ノズル本体の前記第１軸方向係合部の向きが軸回りの第１回転角度の場合には係合せず、前記ノズル本体の前記第１軸方向係合部の向きが前記第１回転角度とは異なる第２回転角度の場合に軸方向に係合する第２軸方向係合部を一体的に有する、部品実装装置。

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