JP2014166675A - パラレル機構 - Google Patents
パラレル機構 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014166675A JP2014166675A JP2014012513A JP2014012513A JP2014166675A JP 2014166675 A JP2014166675 A JP 2014166675A JP 2014012513 A JP2014012513 A JP 2014012513A JP 2014012513 A JP2014012513 A JP 2014012513A JP 2014166675 A JP2014166675 A JP 2014166675A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base plate
- moving stage
- light
- laser
- parallel mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】移動ステージ5は、直線駆動機構1〜3によって駆動され、ベースプレート4に対して相対運動を行う。直線駆動機構1〜3のそれぞれは、ベースプレート4と移動ステージ5との間に設けられる。移動ステージ5に設けられるリフレクタ531〜533は、入射光の光路を忠実にたどって反射する。ベースプレート4に搭載されるレーザトラッカ431〜433は、それぞれリフレクタ531〜533にレーザ光を照射し、レーザ光とリフレクタ531〜533で反射された反射光との干渉により移動ステージ5の位置と姿勢を観測しつつ、制御部7の指令により移動ステージ5を追尾する。また制御部7は観測データを基に移動ステージの高精度な位置制御を行うことも可能である。
【選択図】図11
Description
まず、実施の形態1にかかるパラレル機構100について説明する。図1は、実施の形態1にかかるパラレル機構100の概略構成を模式的に示す斜視図である。パラレル機構100は、直線駆動機構1、2及び3、ベースプレート4、移動ステージ5、2自由度ジョイントJ11〜J13、J21〜J23、レーザトラッカ411、リフレクタ511を有する。本実施の形態では、パラレル機構100が形状測定機に適用される場合について説明する。パラレル機構100は、制御部7により制御される。制御部7は、パラレル機構100を含む形状測定機及びパラレル機構100に搭載された測定部(レーザトラッカ411)の駆動、さらには形状測定機としての測定動作を制御する。移動ステージ5の下面には、プローブ6が設けられる。プローブ6のスタイラス6aは、鉛直方向(図1のZ軸に沿う方向)に延在している。スタイラス6aの下端には、先端球6bが設けられる。形状測定機においては、先端球6bがステージ72上に載置された被測定物71と接触し、先端球6bの変位量を検出することにより、被測定物71の形状を測定することができる。なお、図1では、図面の簡略化のため、直線駆動機構1〜3、2自由度ジョイントJ11〜J13及びJ21〜J23を簡略化して表示している。
次に、実施の形態2にかかるパラレル機構200について説明する。図8は、実施の形態2にかかるパラレル機構200の構成を模式的に示す斜視図である。パラレル機構200は、パラレル機構100の変形例である。パラレル機構200は、パラレル機構100のレーザトラッカ411及びリフレクタ511の代わりに、レーザトラッカ421及び422、リフレクタ521及び522を有する。レーザトラッカ421及び422は、レーザトラッカ411と同様の構成を有する。リフレクタ521及び522は、リフレクタ511と同様の構成を有する。パラレル機構200のその他の構成は、パラレル機構100と同様であるので、説明を省略する。
次に、実施の形態3にかかるパラレル機構300について説明する。図11は、実施の形態3にかかるパラレル機構300の構成を模式的に示す斜視図である。パラレル機構300は、パラレル機構100の変形例である。パラレル機構300は、パラレル機構100のレーザトラッカ411及びリフレクタ511の代わりに、レーザトラッカ431、432及び433、リフレクタ531、532及び533を有する。レーザトラッカ431、432及び433は、レーザトラッカ411と同様の構成を有する。リフレクタ531、532及び533は、リフレクタ511と同様の構成を有する。パラレル機構300のその他の構成は、パラレル機構100と同様であるので、説明を省略する。
次に、実施の形態4にかかるパラレル機構400について説明する。実施の形態4にかかるパラレル機構400によれば、以下の問題が解決される。すなわち、パラレル機構100の制御部7は、直線駆動機構1〜3を制御して移動ステージ5を移動させるだけでなく、レーザトラッカ411がリフレクタ511を追尾するように2軸回転駆動機構4102を制御する必要がある。パラレル機構100によれば移動ステージ5の位置を高精度に観測することができるが、パラレル機構100のシステム構成が複雑かつ高コストになっている。同様に、パラレル機構200及び300のシステム構成も複雑且つ高コストになっている。
次に実施の形態5にかかるパラレル機構500について説明する。図21は、パラレル機構500の直線駆動機構1の近傍を示す。パラレル機構500は、パラレル機構400の変形例である。パラレル機構500においては、ユニバーサルレーザ干渉測長ユニット441及びリフレクタ531の機能が直線駆動機構1に組み込まれる。直線駆動機構2及び3は、直線駆動機構1と同様に構成される。
なお、本発明は上記実施の形態に限られたものではなく、趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更することが可能である。実施の形態1乃至3では、1又は2以上のレーザトラッカがベースプレートの移動ステージ側とは反対側の面上に設けられ、レーザトラッカはベースプレートの開口部を通して移動ステージのベースプレート側に設けられたリフレクタにレーザ光を照射する例について説明した。しかし、レーザトラッカは、ベースプレートの移動ステージ側の面に設けられていてもよい。この場合には、ベースプレートの開口部を省略することができる。但し、レーザトラッカと直線駆動機構との干渉の恐れを考慮すると、上述の実施の形態のように、レーザトラッカはベースプレートの移動ステージ側とは反対側の面上に設けられることが望ましい。
4 ベースプレート
5 移動ステージ
6 プローブ
6a スタイラス
6b 先端球
7 制御部
8 ポール
10 伸縮ロッド
11、12 直動ロッド
13、14 直動ベアリング
15〜17、101、131、141 球面ジョイント
18、19 固定具
411、421、422、431〜433 レーザトラッカ
511、521、522、531〜533 リフレクタ
611、621、622、631〜633 開口部
71 被測定物
72 ステージ
100、200、300 パラレル機構
4100 ベースブロック
4101 基準球
4102 2軸回転駆動機構
4103 レーザ干渉測長計
4104 レーザ光
4105 反射光
4106 基台
5101 台座
5102 キャッツアイ
J11〜S13、J21〜J23 2自由度ジョイント
81〜83 従動ジョイント機構
400、500 パラレル機構
441〜443 ユニバーサルレーザ干渉測長ユニット
451 ユニバーサル干渉計部
541 リフレクタ
701 駆動制御部
702 演算処理部
811、821、831、1002 テレスコピック鏡筒
812 ユニバーサルジョイント
1001 干渉計支持部
1003、8101 第1部分
1004、8102 第2部分
1005 シール部
1006 電磁石
1007 ガス導入口
1008 ピストン
1009 永久磁石
1010 空間
1011 摺動ガイド
4107 レーザ光出射口
4108 キャリッジ
4111、4112 光ファイバ
L411 直線
O 基準球の中心
Claims (13)
- ベースプレートと、
前記ベースプレートに対して移動する移動ステージと、
前記ベースプレートと前記移動ステージの間に設けられ、前記ベースプレートに対する前記移動ステージの相対位置を変化させる複数の駆動機構と、
前記移動ステージに設けられ、入射する光を反射する反射部と、
前記ベースプレートに対して空間的に位置が固定され、前記反射部に測定光を照射し、前記反射部で反射した前記測定光と参照光との干渉を観測して前記移動ステージの移動距離及び移動方向を測定する測定部と、
前記複数の駆動機構を制御する制御部と、を備える
パラレル機構。 - 前記反射部は、前記移動ステージの前記ベースプレート側の面に設置され、
前記測定部は、前記ベースプレートに設置され、前記反射部に前記測定光を照射する、
請求項1に記載のパラレル機構。 - 前記複数の駆動機構のそれぞれと、前記ベースプレート及び前記移動ステージと、を連結する複数のジョイントを更に備え、
前記測定部は、前記複数の駆動機構及び前記ベースプレートを連結する前記複数のジョイントのいずれかと、前記測定部が設置された前記ベースプレートの面の図心と、を結ぶ線の上に設置され、
前記反射部は、前記複数の駆動機構及び前記移動ステージを連結する前記複数のジョイントのいずれかと、前記反射部が設置された前記移動ステージの面の図心と、を結ぶ線の上に設置される、
請求項1又は2に記載のパラレル機構。 - 前記反射部は前記移動ステージに所定の間隔で複数設けられ、
複数の前記反射部のそれぞれに測定光を照射する前記測定部が、前記ベースプレートに所定の間隔で複数設けられる、
請求項3に記載のパラレル機構。 - 前記測定部が2つ設けられ、
前記反射部が2つ設けられ、
2つの前記測定部は、前記ベースプレートの面の図心に対して対称な位置に設置され、
2つの前記反射部は、前記移動ステージの面の図心に対して対称な位置に設置される、
請求項4に記載のパラレル機構。 - 前記測定部が3つ設けられ、
前記反射部が3つ設けられ、
3つの前記測定部は、前記ベースプレートの面の図心を基準として等間隔な位置に設置され、
3つの前記反射部は、前記移動ステージの面の図心を基準として等間隔な位置に設置される、
請求項4に記載のパラレル機構。 - 前記複数の駆動機構を構成する第1〜第6の駆動機構と、
前記複数のジョイントを構成する、前記ベースプレートと前記第1〜第6の駆動機構のそれぞれとを連結する第1〜第6のジョイントと、
前記複数のジョイントを構成する、前記移動ステージと前記第1〜第6の駆動機構のそれぞれとを連結する第7〜第12のジョイントと、を備え、
前記第1〜第12のジョイントは球状ジョイントである、
請求項1乃至6のいずれか一項に記載のパラレル機構。 - 前記測定部は、
前記ベースプレートに対して相対位置が固定された球と、
前記球の中心と前記反射部とを結ぶ線を光軸とする前記測定光を出射し、前記反射部で反射した前記測定光と前記参照光との干渉を観測する干渉計と、
前記球の前記中心で直交する2本の回転軸周りに前記干渉計を駆動する駆動部と、を備える、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のパラレル機構。 - 前記2本の回転軸は、前記測定部が設置された前記ベースプレートの前記測定部が設置された面に平行である、
請求項8に記載のパラレル機構。 - 前記測定部は、
前記測定光を出射し、前記反射部で反射した前記測定光と前記参照光とを干渉させる干渉計と、
前記ベースプレートに設けられ、前記ベースプレートに対して固定された第1の点で直交する2本の回転軸まわりに回転可能なように前記干渉計を支持するベースプレート側回転機構と、
前記干渉計に固定された第1部分と前記第1部分に対して直線往復運動する第2部分とを備えるテレスコピック構造と、
前記移動ステージに設けられ、前記移動ステージに対して固定された第2の点で直交する2本の回転軸まわりに回転可能なように前記テレスコピック構造の前記第2部分を支持する移動ステージ側回転機構と、を備え、
前記反射部は、前記第2の点に配置される、
請求項1乃至7のいずれか一項に記載のパラレル機構。 - 前記測定部は、中心が前記第1の点に一致する球を備え、
前記干渉計は、前記第1の点と前記第2の点を結ぶ直線を光軸として前記測定光を出射する、
請求項10に記載のパラレル機構。 - 前記複数の駆動機構は、直動アクチュエータを備え、
前記テレスコピック構造は前記直動アクチュエータの一部である、
請求項10に記載のパラレル機構。 - 前記干渉計に接続された第1光ファイバ及び第2光ファイバを備え、
前記干渉計は、前記第1光ファイバを介して入力光を入力し、前記入力光から前記測定光及び前記参照光を生成し、前記反射部で反射した前記測定光と前記参照光を干渉させて干渉光を生成し、前記第2光ファイバを介して前記干渉光を出力する、
請求項10乃至12のいずれか一項に記載のパラレル機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014012513A JP6284771B2 (ja) | 2013-01-29 | 2014-01-27 | パラレル機構 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013014329 | 2013-01-29 | ||
JP2013014329 | 2013-01-29 | ||
JP2014012513A JP6284771B2 (ja) | 2013-01-29 | 2014-01-27 | パラレル機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014166675A true JP2014166675A (ja) | 2014-09-11 |
JP6284771B2 JP6284771B2 (ja) | 2018-02-28 |
Family
ID=51616670
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014012513A Active JP6284771B2 (ja) | 2013-01-29 | 2014-01-27 | パラレル機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6284771B2 (ja) |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105305878A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-02-03 | 北京科技大学 | 一种记忆合金驱动多轴舵机 |
JP2017193331A (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | インダストリーネットワーク株式会社 | ドローン飛行体 |
JP2019090495A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | Necエンベデッドプロダクツ株式会社 | 複数方向駆動装置、ロボット関節機構及び複数方向駆動方法 |
US11130224B2 (en) | 2018-12-26 | 2021-09-28 | Fanuc Corporation | Parallel link robot |
CN114876992A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-08-09 | 重庆大学 | 一种基于磁传动的主动控制Stewart减振平台 |
KR102471779B1 (ko) * | 2021-06-03 | 2022-11-28 | 원광대학교산학협력단 | 마이크로 나노 로봇 제어 시스템 |
CN117330801A (zh) * | 2023-10-19 | 2024-01-02 | 深圳市兆兴博拓科技股份有限公司 | 电路板测试装置、调试方法及调试系统 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH031790U (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-09 | ||
JPH0966480A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-11 | Toyoda Mach Works Ltd | 工具ハンドおよびそれを用いた工作機械 |
JPH1190869A (ja) * | 1997-09-24 | 1999-04-06 | Olympus Optical Co Ltd | パラレルリンク機構 |
JP2005506543A (ja) * | 2001-10-23 | 2005-03-03 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP2005282639A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Taiheiyo Cement Corp | パラレルリンク装置 |
JP2008051602A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
WO2014040937A1 (en) * | 2012-09-11 | 2014-03-20 | Hexagon Technology Center Gmbh | Coordinate measuring machine |
-
2014
- 2014-01-27 JP JP2014012513A patent/JP6284771B2/ja active Active
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH031790U (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-09 | ||
JPH0966480A (ja) * | 1995-08-29 | 1997-03-11 | Toyoda Mach Works Ltd | 工具ハンドおよびそれを用いた工作機械 |
JPH1190869A (ja) * | 1997-09-24 | 1999-04-06 | Olympus Optical Co Ltd | パラレルリンク機構 |
JP2005506543A (ja) * | 2001-10-23 | 2005-03-03 | ドクトル・ヨハネス・ハイデンハイン・ゲゼルシヤフト・ミツト・ベシユレンクテル・ハフツング | 位置測定装置 |
JP2005282639A (ja) * | 2004-03-29 | 2005-10-13 | Taiheiyo Cement Corp | パラレルリンク装置 |
JP2008051602A (ja) * | 2006-08-23 | 2008-03-06 | Mitsutoyo Corp | 測定装置 |
WO2014040937A1 (en) * | 2012-09-11 | 2014-03-20 | Hexagon Technology Center Gmbh | Coordinate measuring machine |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105305878A (zh) * | 2015-12-01 | 2016-02-03 | 北京科技大学 | 一种记忆合金驱动多轴舵机 |
JP2017193331A (ja) * | 2016-04-19 | 2017-10-26 | インダストリーネットワーク株式会社 | ドローン飛行体 |
JP2019090495A (ja) * | 2017-11-15 | 2019-06-13 | Necエンベデッドプロダクツ株式会社 | 複数方向駆動装置、ロボット関節機構及び複数方向駆動方法 |
JP6977235B6 (ja) | 2017-11-15 | 2022-01-17 | Necエンベデッドプロダクツ株式会社 | 複数方向駆動装置、ロボット関節機構及び複数方向駆動方法 |
US11130224B2 (en) | 2018-12-26 | 2021-09-28 | Fanuc Corporation | Parallel link robot |
KR102471779B1 (ko) * | 2021-06-03 | 2022-11-28 | 원광대학교산학협력단 | 마이크로 나노 로봇 제어 시스템 |
CN114876992A (zh) * | 2022-04-15 | 2022-08-09 | 重庆大学 | 一种基于磁传动的主动控制Stewart减振平台 |
CN117330801A (zh) * | 2023-10-19 | 2024-01-02 | 深圳市兆兴博拓科技股份有限公司 | 电路板测试装置、调试方法及调试系统 |
CN117330801B (zh) * | 2023-10-19 | 2024-02-20 | 深圳市兆兴博拓科技股份有限公司 | 电路板测试装置、调试方法及调试系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6284771B2 (ja) | 2018-02-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6284771B2 (ja) | パラレル機構 | |
CA1186893A (en) | Contour measuring system with redundant arrangement of measuring points | |
US20030179362A1 (en) | Method of measuring length and coordinates using laser tracking interferometric length measuring instruments | |
US20060033931A1 (en) | System and method for three-dimensional measurement | |
Gao et al. | Precision measurement of two-axis positions and tilt motions using a surface encoder | |
US20180202796A1 (en) | Measuring device and method for measuring at least one length measurand | |
JP6046967B2 (ja) | 精密二次元移動装置、精密三次元移動装置、および三次元測定機 | |
JP2008064471A (ja) | レーザ干渉追尾測長方法及び装置 | |
Lee et al. | Multi-degree-of-freedom motion error measurement in an ultraprecision machine using laser encoder | |
JP6485992B2 (ja) | 複数の位置測定装置を備えた装置 | |
Kuang et al. | A four-degree-of-freedom laser measurement system (FDMS) using a single-mode fiber-coupled laser module | |
JP2012237686A (ja) | 測定装置 | |
JP2015529818A (ja) | 表面を非常に正確に測定するための方法およびデバイス | |
JP4343106B2 (ja) | 高精度3dモーションのための計測系 | |
US9025165B2 (en) | Normal vector tracing ultra-precision shape measurement method | |
JP2014228451A (ja) | 追尾式レーザ干渉計 | |
CN103134428A (zh) | 一种分布式平面六自由度位姿快速精密测量装置与方法 | |
JP2022145717A (ja) | 多軸レーザ干渉測長器、及び、変位検出方法 | |
Lee et al. | A real time error measuring device for meso-scale machine tools | |
Schwenke et al. | High speed high accuracy multilateration system based on tracking interferometers | |
CN113639677A (zh) | 基于波前校正的高频响二维光电自准直方法与装置 | |
Liu et al. | Design of a compact four degree-of-freedom active compensation system to restrain laser’s angular drift and parallel drift | |
Wang et al. | Modeling and test of an absolute four-degree-of-freedom (DOF) grating encoder | |
JP2012145550A (ja) | 追尾式レーザ干渉測定装置の標的間絶対距離計測方法および追尾式レーザ干渉測定装置 | |
JP3800541B2 (ja) | 球面モータを用いた首振り運動光てこによる光線追尾式レーザ干渉測長装置および該装置を用いた座標測定方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20161209 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20171012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20171017 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20171130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20180130 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20180131 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6284771 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |